CN217757646U - 一种新型化学气相沉积炉炉盖 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型化学气相沉积炉炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体上固定安装有炉盖本体上法兰，所述炉盖本体上开设有炉盖本体快冷抽气口，所述炉盖本体两端均安装有炉盖本体加强筋，所述炉盖本体加强筋底端安装有炉盖本体大法兰，所述炉盖本体内安装有炉盖本体安装板，所述炉盖本体安装板底端开设有炉盖本体中心排气管，本实用新型的炉盖本体设有热电偶检测口，通过热电偶检测口可实现精准的温度检测，本实用新型实施例的沉积炉炉盖在传统气相沉积炉结构基础上，将炉盖和快冷抽气环做了集成，减少了制作成本，本实用新型实施例的气相沉积炉炉盖与传统气相沉积炉炉盖相比钢材用量减少30％，降低材料成本的同时，减轻了炉盖重量。
Description
技术领域
本实用新型涉及涉及碳材料制备技术领域，具体为一种新型化学气相沉积炉炉盖。
背景技术
C/C复合材料化学气相沉积炉是CVI工艺的专用设备，在一定的真空或惰性气氛条件下，利用电阻发热的原理将炉内工件加热到一定温度后，通入碳源性气体，气体在高温下裂解后产生含碳物质，沉积于工件表面，达到组织增密的目的。
现有碳元素均匀扩散效果不高，而且制作成本高，需要一种新型化学气相沉积炉炉盖来解决这一问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种新型化学气相沉积炉炉盖，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型化学气相沉积炉炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体上固定安装有炉盖本体上法兰，所述炉盖本体上开设有炉盖本体快冷抽气口，所述炉盖本体两端均安装有炉盖本体加强筋，所述炉盖本体加强筋底端安装有炉盖本体大法兰，所述炉盖本体内安装有炉盖本体安装板，所述炉盖本体安装板底端开设有炉盖本体中心排气管，所述炉盖本体中心排气管一端安装有炉盖本体周围排气管，所述炉盖本体一端安装有炉盖本体压力表安装口，所述炉盖本体上分别固定安装有保温棉和保温板。
优选地，所述炉盖本体为双层焊接而成，所述炉盖本体封头为蝶形封头。
优选地，所述炉盖本体上安装有炉盖本体外壁与炉盖本体内壁，所述炉盖本体外壁与炉盖本体内壁间还设有隔水条与隔水板。
优选地，所述炉盖本体设有热电偶检测口，所述热电偶检测口上安装K型热电偶。
优选地，所述炉盖本体快冷抽气口为双层圆形带水冷结构。
优选地，所述炉盖本体上固定安装有炉盖本体加强筋并连接炉盖下法兰上下板。
优选地，所述炉盖本体设置有1路中心集气管和6路周围集气管。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、该新型化学气相沉积炉炉盖，本实用新型的炉盖本体设有热电偶检测口，通过热电偶检测口可实现精准的温度检测，本实用新型实施例的沉积炉炉盖在传统气相沉积炉结构基础上，将炉盖和快冷抽气环做了集成，减少了制作成本，本实用新型实施例的气相沉积炉炉盖与传统气相沉积炉炉盖相比钢材用量减少30％，降低材料成本的同时，减轻了炉盖重量。
2、该新型化学气相沉积炉炉盖，本实用新型实施例的沉积炉炉盖，还包括：炉盖本体快冷抽气口，所述炉盖本体快冷抽气口为双层圆形带水冷结构，本实用新型实施例的沉积炉炉盖布有加强筋，连接上下板，增加整体刚性，中间可过水，保证冷却水的流动性，本实用新型实施例的沉积炉炉盖路集气与传统气相沉积炉炉盖路集气相比，碳元素均匀扩散效果更好。
3、该新型化学气相沉积炉炉盖，通过利用炉盖本体中心排气管和炉盖本体从而能够在一次的加强碳元素均匀扩散，当炉盖本体内部燃烧时，能够快速提高沉积室内上层周围的沉积效果，以及在炉盖本体安板板和炉盖本体中心排气管按图示排列布置，实现均匀集气。
附图说明
图1为本实用新型炉盖本体的结构示意图；
图2为本实用新型气相沉积炉炉盖的俯视图；
图3为本实用新型气相沉积炉炉盖的结构剖视图；
图4为本实用新型气相沉积炉炉盖结构仰视图。
图中：1、炉盖本体；2、炉盖本体上法兰；3、炉盖本体外壁；4、炉盖本体内壁；5、炉盖本体快冷抽气口；6、炉盖本体加强筋；7、炉盖本体大法兰；8、炉盖本体安装板；9、炉盖本体中心排气管；10、炉盖本体周围排气管；11、热电偶检测口；12、炉盖本体压力表安装口；13、保温棉；14、保温板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1、4，本实用新型提供一种新型化学气相沉积炉炉盖技术方案：一种新型化学气相沉积炉炉盖，包括炉盖本体1，所述炉盖本体1上固定安装有炉盖本体上法兰2，所述炉盖本体1上开设有炉盖本体快冷抽气口5，所述炉盖本体1两端均安装有炉盖本体加强筋6，所述炉盖本体加强筋6底端安装有炉盖本体大法兰7，所述炉盖本体1内安装有炉盖本体安装板8，所述炉盖本体安装板8底端开设有炉盖本体中心排气管9，所述炉盖本体中心排气管9一端安装有炉盖本体周围排气管10，所述炉盖本体1一端安装有炉盖本体压力表安装口12，所述炉盖本体1上分别固定安装有保温棉13和保温板14。
本实施例中，设置的炉盖本体快冷抽气口5焊接于炉盖本体外壁3上，炉盖本体快冷抽气口5是一个焊接组件，由法兰和内筒、外筒焊为一体，炉盖本体大法兰7为双层带水冷结构，炉盖本体加强筋6圆周均匀分布，连接上下双层钢板，中间开有通水口保证水循环，起到增加炉盖本体大法兰7整体强度的作用，炉盖本体安板板8和炉盖本体中心排气管9按图示排列布置，实现均匀集气。
其中，炉盖本体1为双层焊接而成，所述炉盖本体封头为蝶形封头。
本实施例中，本实用新型实施例的气相沉积炉炉盖与传统气相沉积炉炉盖相比钢材用量减少30％，降低材料成本的同时，减轻了炉盖重量。
其中，炉盖本体1上安装有炉盖本体外壁3与炉盖本体内壁4，所述炉盖本体外壁3与炉盖本体内壁4间还设有隔水条与隔水板。
其中，炉盖本体1设有热电偶检测口11，所述热电偶检测口11上安装K型热电偶。
其中，炉盖本体快冷抽气口5为双层圆形带水冷结构。
其中，炉盖本体1上固定安装有炉盖本体加强筋6并连接炉盖下法兰上下板。
本实施例中，连接炉盖下法兰上下板可增加整体刚性，中间可过水，保证冷却水的流动性。
其中，炉盖本体1设置有1路中心集气管和6路周围集气管。
工作原理：设置的炉盖本体快冷抽气口5焊接于炉盖本体外壁3上，炉盖本体快冷抽气口5是一个焊接组件，由法兰和内筒、外筒焊为一体，炉盖本体大法兰7为双层带水冷结构，炉盖本体加强筋6圆周均匀分布，连接上下双层钢板，中间开有通水口保证水循环，起到增加炉盖本体大法兰7整体强度的作用，炉盖本体安板板8和炉盖本体中心排气管9按图示排列布置，实现均匀集气，通过利用炉盖本体中心排气管9和炉盖本体1从而能够在一次的加强碳元素均匀扩散，与传统气相沉积炉炉盖路集气相比，碳元素均匀扩散效果更好。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种新型化学气相沉积炉炉盖，包括炉盖本体(1)，其特征在于：所述炉盖本体(1)上固定安装有炉盖本体上法兰(2)，所述炉盖本体(1)上开设有炉盖本体快冷抽气口(5)，所述炉盖本体(1)两端均安装有炉盖本体加强筋(6)，所述炉盖本体加强筋(6)底端安装有炉盖本体大法兰(7)，所述炉盖本体(1)内安装有炉盖本体安装板(8)，所述炉盖本体安装板(8)底端开设有炉盖本体中心排气管(9)，所述炉盖本体中心排气管(9)一端安装有炉盖本体周围排气管(10)，所述炉盖本体(1)一端安装有炉盖本体压力表安装口(12)，所述炉盖本体(1)上分别固定安装有保温棉(13)和保温板(14)。
2.根据权利要求1所述的一种新型化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述炉盖本体(1)为双层焊接而成，所述炉盖本体封头为蝶形封头。
3.根据权利要求2所述的一种新型化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述炉盖本体(1)上安装有炉盖本体外壁(3)与炉盖本体内壁(4)，所述炉盖本体外壁(3)与炉盖本体内壁(4)间还设有隔水条与隔水板。
4.根据权利要求1所述的一种新型化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述炉盖本体(1)设有热电偶检测口(11)，所述热电偶检测口(11)上安装K型热电偶。
5.根据权利要求1所述的一种新型化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述炉盖本体快冷抽气口(5)为双层圆形带水冷结构。
6.根据权利要求1所述的一种新型化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述炉盖本体(1)上固定安装有炉盖本体加强筋(6)并连接炉盖下法兰上下板。
7.根据权利要求1所述的一种新型化学气相沉积炉炉盖，其特征在于：所述炉盖本体(1)设置有1路中心集气管和6路周围集气管。
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2022
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