CN217757632U - 轴承外圈支撑组件及轴承外圈内滚道溅射镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种轴承外圈支撑组件，涉及表面工程领域，包括本体，本体用于设置于壳体的真空腔内，本体用于固定轴承外圈，并使轴承外圈相对于溅射靶倾斜；且本体用于与驱动组件连接，并能够在驱动组件的驱动下使轴承外圈自身旋转。本实用新型还提供一种包括上述轴承外圈支撑组件的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置。本实用新型提供的轴承外圈支撑组件及轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，能够提升轴承外圈内滚道上镀膜的均匀性。

Description

轴承外圈支撑组件及轴承外圈内滚道溅射镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及表面工程领域，尤其是涉及一种轴承外圈支撑组件及轴承外圈内滚道溅射镀膜装置。

背景技术

轴承广泛应用于各种机械设备中，主要功能是支撑机械旋转体，降低其运动过程中的摩擦系数，并保证其回旋精度；其中轴承外圈通常固定在轴承座或机器的壳体上，具有支撑滚动体的作用；轴承的工作稳定性及使用寿命的长短直接影响机械设备整体的工作稳定性和工作效率，一般情况轴承外圈内滚道与滚动体有相对滚动，因此较低的摩擦系数尤为重要，目前利用物理气相沉积方法在轴承外圈内滚道上制备涂层，使轴承外圈内滚道具有极高的耐磨性和疲劳强度，并具有极佳的摩擦学特性，配套滚动体能够满足机械旋转体长期稳定的运转；其中,物理气相沉积的溅射镀膜是指在真空条件下,利用获得高能量的粒子轰击靶材料表面,使靶材表面原子获得足够的能量而逃逸的过程，被溅射的靶原子或者分子沉积到基材表面,就称作溅射镀膜。

但是由于轴承外圈内滚道通常直对溅射装置，导致溅射死角较多，导致溅射镀膜装置在轴承外圈内滚道上溅射的薄膜不具有良好的均匀性。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供轴承外圈支撑组件及轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，以解决上述现有技术存在的问题，提升轴承外圈内滚道上薄膜的均匀性。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供一种轴承外圈支撑组件，包括本体，所述本体用于设置于壳体的真空腔内，所述本体用于固定轴承外圈，并使所述轴承外圈相对于溅射靶倾斜；且所述本体用于与驱动组件连接，并能够在所述驱动组件的驱动下使所述轴承外圈自身旋转。

优选地，所述本体包括旋转底盘、旋转顶盘和至少一个中间斜连接件，所述旋转底盘与所述旋转顶盘通过第一支撑杆固定连接且中心线重合，所述旋转底盘和所述旋转顶盘之间用于在纵向上并排固定至少两个相对于所述溅射靶倾斜的所述轴承外圈，所述旋转底盘用于与底部的所述轴承外圈固定连接，所述旋转顶盘用于与顶部的所述轴承外圈固定连接，所述中间斜连接件用于固定连接相邻的两个所述轴承外圈；所述旋转底盘用于与所述驱动组件固定连接，所述驱动组件用于驱动所述旋转底盘和所述旋转顶盘绕所述中心线同步旋转并带动多个所述轴承外圈同步旋转。

优选地，所述本体还包括下支撑杆、下斜连接件、上支撑杆和上斜连接件，所述下支撑杆一端与所述旋转底盘固定连接，所述下支撑杆另一端与所述下斜连接件固定连接，所述下斜连接件具有斜面，所述斜面用于与底部的所述轴承外圈端面面接触并固定连接以使所述轴承外圈相对于所述溅射靶倾斜；所述上支撑杆一端与所述旋转顶盘固定连接，所述上支撑杆另一端与所述上斜连接件固定连接，所述上斜连接件用于与顶部的所述轴承外圈固定连接。

优选地，所述中间斜连接件和所述上斜连接件设置为连接板，所述下斜连接件设置为支撑块，所述支撑块与所述下支撑杆固定连接，且所述支撑块上具有所述斜面，所述斜面与水平面的夹角为°。

优选地，还包括多个轴承外圈座和多个环形保护盖，各所述轴承外圈座分别用于沿周向套设于各所述轴承外圈外；各所述环形保护盖分别用于盖设于各所述轴承外圈的端面的环形区；所述斜面用于与底部的所述轴承外圈一端面盖设的所述环形保护盖面接触并固定连接；所述中间斜连接件两端用于与相邻的两个所述轴承外圈端面上盖设的两个所述环形保护盖固定连接；所述上斜连接件下端用于与顶部的所述轴承外圈一端面盖设的所述环形保护盖固定连接。

本实用新型还提供一种轴承外圈内滚道溅射镀膜装，包括:壳体、溅射组件、如上所述的轴承外圈支撑组件及驱动组件；所述壳体具有真空腔；所述溅射组件包括设置于所述真空腔内的溅射靶，所述溅射靶用于溅射粒子；所述溅射靶竖直设置于所述真空腔内；所述驱动组件设置于所述壳体上，所述驱动组件与所述轴承外圈支撑组件的本体连接，并用于驱动轴承外圈自身旋转。

优选地，所述轴承外圈支撑组件和所述溅射靶的数量相同且均设置为多个，所述轴承外圈支撑组件和所述溅射靶一一相对设置；各所述轴承外圈支撑组件均用于固定所述轴承外圈，各所述轴承外圈支撑组件的所述本体均与所述驱动组件连接，所述驱动组件用于驱动各所述本体上的所述轴承外圈旋转。

优选地，各所述本体均包括旋转底盘，所述旋转底盘用于与底部的所述轴承外圈固定连接；所述驱动组件包括主驱动部件和从驱动部件，所述从驱动部件的数量与所述轴承外圈支撑组件的数量相同且纵向上一一对应设置；所述主驱动部件包括驱动电机、主转轴和主齿轮，所述驱动电机的输出端与所述主转轴固定连接，所述主齿轮固定套设于所述主转轴外；各所述从驱动部件均包括从转轴和从齿轮，所述从齿轮固定套设于所述从转轴外，且各所述从齿轮均与所述主齿轮啮合连接，各所述从转轴与对应所述旋转底盘固定连接；所述电机用于驱动所述主转轴转动并依次带动所述主齿轮、各所述从齿轮和各所述从转轴同步转动，进而带动各所述本体同步转动。

优选地，所述真空腔内设置有隔板，所述隔板将所述真空腔分隔成上腔和下腔，所述主齿轮、所述主转轴和各所述从驱动部件设置于所述下腔内，所述溅射靶和各所述本体设置于所述上腔内，各所述溅射靶均通过靶座与所述隔板固定连接；所述隔板上设置有与所述本体数量相同的通孔，各所述本体的所述旋转底盘对应设置于一个所述通孔处，并与对应所述从转轴固定连接。

优选地，所述溅射组件还包括抽真空装置、气路系统和电控系统，所述壳体上设置有能够连通所述真空腔的抽气口和通气口；所述抽真空装置与所述抽气口密封连接并连通并用于抽取所述壳体内的空气以形成所述真空腔，所述气路系统与所述通气口密封连接并连通并用于向所述真空腔内提供气体，所述电控系统设置于所述壳体外部并与所述溅射靶连接以用于向所述溅射靶供电。

本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：

本实用新型提供的轴承外圈支撑组件，包括本体，将轴承外圈通过本体放置于壳体的真空腔内，溅射组件的溅射靶在真空腔内溅射粒子，由于轴承外圈相对于溅射靶倾斜，提升轴承外圈内滚道与溅射靶直接相对的面积，便于溅射的粒子直接溅射至轴承外圈内滚道与溅射靶直接相对的部分形成涂层，而且轴承外圈能够在驱动组件的驱动下自身旋转，如此使轴承外圈内滚道其余的部分能够与溅射靶直接相对，如此提升轴承外圈内滚道薄膜的均匀性。

本实用新型提供的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，通过上述轴承外圈支撑组件对轴承外圈进行支撑，使轴承外圈相对于溅射靶倾斜，提升轴承外圈内滚道与溅射靶直接相对的面积，且驱动组件能够驱动轴承外圈自身旋转，如此提升轴承外圈内滚道薄膜的均匀性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为实施例一提供的轴承外圈支撑组件的结构示意图；

图2为图1中B处的放大示意图；

图3为实施例一提供的支撑块的结构示意图；

图4为实施例二提供的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置(未示出上盖)的结构示意图；

图5为图4提供的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置的俯视图；

图6为图5中A-A向的剖面示意图。

图标：1-轴承外圈内滚道溅射镀膜装置；10-壳体；11-真空腔；12-隔板；13-上腔；14-下腔；20-溅射组件；21-溅射靶；22-靶座；30-本体；31-旋转底盘；32-旋转顶盘；33-中间斜连接件；34-下支撑杆；35-下斜连接件；351-斜面；36-上支撑杆；37-上斜连接件；38-第一支撑杆；40-驱动组件；41-主驱动部件；411-主转轴；412-主齿轮；42-从驱动部件；421-从转轴；422-从齿轮；50-轴承外圈座；60-环形保护盖；70-观察窗；2-轴承外圈内滚道。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的目的是提供一种轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，以解决上述现有技术存在的问题，提升轴承外圈内滚道上镀膜的均匀性。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

实施例一

本实施例提供一种轴承外圈支撑组件，请参见图1，包括本体30，本体30用于设置于壳体10的真空腔11内，本体30用于固定轴承外圈，并使轴承外圈相对于溅射靶21倾斜；且本体30用于与驱动组件40连接，并能够在驱动组件40的驱动下使轴承外圈自身旋转。

将轴承外圈通过本体30放置于壳体10的真空腔11内，溅射组件20的溅射靶21在真空腔11内溅射粒子，由于轴承外圈相对于溅射靶21倾斜，提升轴承外圈内滚道2与溅射靶21直接相对的面积，便于溅射的粒子直接溅射至轴承外圈内滚道2与溅射靶21直接相对的部分形成涂层，而且驱动组件40能够驱动轴承外圈自身旋转，如此使轴承外圈内滚道2其余的部分能够与溅射靶21直接相对，如此提升轴承外圈内滚道2薄膜的均匀性。

本实施例的可选方案中，较为优选地，请参见图2和图3，本体30包括旋转底盘31、旋转顶盘32和至少一个中间斜连接件33，旋转底盘31与旋转顶盘32通过第一支撑杆38固定连接且中心线重合，中心线重合能够提升旋转的稳定性，且第一支撑杆38的个数不宜过多，避免影响溅射粒子的移动；旋转底盘31和旋转顶盘32之间用于在纵向上并排固定至少两个相对于溅射靶21倾斜的轴承外圈，固定多个轴承外圈，提升镀膜效率；旋转底盘31用于与底部的轴承外圈固定连接，旋转顶盘32用于与顶部的轴承外圈固定连接，中间斜连接件33用于固定连接相邻的两个轴承外圈；旋转底盘31与驱动组件40固定连接，驱动组件40用于驱动旋转底盘31和旋转顶盘32绕中心线同步旋转并带动多个轴承外圈同步旋转，提升镀膜效率。

此外，还可通过直接驱动轴承外圈的方式使轴承外圈发生旋转，如轴承外圈旋转设置于旋转底盘31和旋转顶盘32之间，使轴承外圈直接与旋转驱动部件相连，驱动部件驱动轴承外圈在旋转底盘31和旋转顶盘32之间旋转。

本实施例的可选方案中，较为优选地，本体30还包括下支撑杆34、下斜连接件35、上支撑杆36和上斜连接件37，下支撑杆34一端与旋转底盘31固定连接，下支撑杆34另一端与下斜连接件35固定连接，下斜连接件35具有斜面351，斜面351用于与底部的轴承外圈端面面接触并固定连接以使轴承外圈相对于溅射靶21倾斜，面接触能够提升连接的稳定性，具体可通过螺栓连接实现面接触的固定；上支撑杆36一端与旋转顶盘32固定连接，上支撑杆36另一端与上斜连接件37固定连接，上斜连接件37用于与顶部的轴承外圈固定连接。

本实施例的可选方案中，较为优选地，请参见图2和图3，中间斜连接件33和上斜连接件37设置为连接板，尽量减少自身面积，避免粘附过多溅射粒子；下斜连接件35设置为支撑块，提升支撑的稳定性，支撑块与下支撑杆34固定连接，具体可通过螺纹连接，且支撑块上具有斜面351，斜面351与水平面的夹角为45°，且溅射靶21竖直设置于真空腔11内，如此使轴承外圈也呈45°设置，配合溅射靶21的竖直设置，尽可能提升轴承外圈内滚道2直接与溅射靶21相对的面积。

本实施例的可选方案中，较为优选地，本实施例提供的轴承外圈支撑组件还包括多个轴承外圈座50和多个环形保护盖60，各轴承外圈座50分别用于沿周向套设于各轴承外圈外；各环形保护盖60分别用于盖设于各轴承外圈的端面的环形区；斜面351用于与底部的轴承外圈一端面盖设的环形保护盖60面接触并固定连接；中间斜连接件33两端用于与相邻的两个轴承外圈端面上盖设的两个环形保护盖60固定连接；上斜连接件37下端用于与顶部的轴承外圈一端面盖设的环形保护盖60固定连接；如此避免轴承外圈的其他部位粘附溅射的粒子，同时设置轴承外圈座50和环形保护盖60便于和本体30的其他结构连接，避免轴承外圈直接连接，影响轴承外圈的自身结构；具体地，支撑块、中间斜连接件33和上斜连接件37与环形保护盖60均可通过螺栓连接，且一个轴承外圈两端面的环形保护盖60可通过穿过轴承外圈座50的螺栓固定。

实施例二

本实施例提供一种轴承外圈内滚道溅射镀膜装置1，请参见图4，具体包括壳体10、溅射组件20、如实施例一提供的轴承外圈支撑组件及驱动组件40，壳体10具有真空腔11；溅射组件20包括设置于真空腔11内的溅射靶21，溅射靶21用于溅射粒子；溅射靶21竖直设置于真空腔11内；驱动组件40设置于壳体10上，驱动组件40与轴承外圈支撑组件的本体30连接，并用于驱动轴承外圈自身旋转。

本实施例的可选方案中，较为优选地，请参见图4和图5，轴承外圈支撑组件和溅射靶21的数量相同且均设置为多个，轴承外圈支撑组件和溅射靶21一一相对设置，本体30和溅射靶21均设置于真空腔11内，且各溅射靶21靠近外侧并朝向各轴承外圈，使溅射粒子能够尽量朝真空腔11的中间扩散，提升轴承外圈的镀膜效率；各本体30均用于固定轴承外圈，各本体30均与驱动组件40连接，驱动组件40用于驱动各本体30上的轴承外圈旋转。

本实施例的可选方案中，较为优选地，请参见图6，各本体30均包括旋转底盘31，旋转底盘31用于与底部的轴承外圈固定连接；驱动组件40包括主驱动部件41和从驱动部件42，从驱动部件42的数量与本体30的数量相同且竖向上一一对应设置；主驱动部件41包括驱动电机、主转轴411和主齿轮412，驱动电机的输出端与主转轴411固定连接，主齿轮412固定套设于主转轴411外；各从驱动部件42均包括从转轴421和从齿轮422，从齿轮422固定套设于从转轴421外，且各从齿轮422均与主齿轮412啮合连接，各从转轴421与对应旋转底盘31固定连接；电机用于驱动主转轴411转动并依次带动主齿轮412、各从齿轮422和各从转轴421同步转动，进而带动各本体30同步转动，齿轮驱动稳定性好；且主转轴421和各从转轴421可与壳体10转动连接。

本实施例的可选方案中，较为优选地，请参见图3，真空腔11内设置有隔板12，隔板12将真空腔11分隔成上腔13和下腔14，主齿轮412、主转轴411和各从驱动部件42设置于下腔14内，溅射靶21和各本体30设置于上腔13内，避免粒子溅射至驱动组件40上；各溅射靶21均通过靶座22与隔板12固定连接；隔板12上设置有与本体30数量相同的通孔，各本体30的旋转底盘31对应设置于一个通孔处，并与对应从转轴421固定连接；具体地，驱动电机的输出端可穿过壳体10下壁的连接孔与主转轴411固定连接，并对壳体10下壁上连接孔的做密封处理，便于营造真空环境。

本实施例的可选方案中，较为优选地，溅射组件20还包括抽真空装置、气路系统和电控系统，壳体10上设置有能够连通真空腔11的抽气口和通气口，具体抽气口和通气口可设置于壳体10的侧壁上或者顶壁上；抽真空装置与抽气口密封连接并连通并用于抽取壳体10内的空气以形成真空腔11，气路系统与通气口密封连接并连通并用于向真空腔11内提供气体，电控系统设置于壳体10外部并与溅射靶21连接以用于向溅射靶21供电。

在抽真空装置的作用下形成真空腔11，并通过气路系统向真空腔11内充入氩气(Ar)，并在在电控系统的高电压下使氩气进行辉光放电，可使氩(Ar)原子电离成氩离子(Ar+)。氩离子在电场力的作用下，加速轰击以镀料制作的阴极靶材，靶材会被溅射出来而沉积到工件表面形成薄膜，完成物理气相沉积过程，即完成轴承外圈内滚道2的镀膜。

具体抽真空装置、气路系统和电控系统采用与现有技术相同的装置，在此不做过多赘述。

进一步地，壳体10可一体成型，壳体10侧壁上还可设置多个观察窗70，便于观察真空腔11内轴承外圈的镀膜情况；且通过设置能够打开的观察窗70或者侧门，将相应部件放置或取出于壳体10内。

此外，还可通过将壳体10的顶部设置为能够拆卸连接的上盖，通过上盖将相应部件放置或取出于壳体10内。

本实用新型中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种轴承外圈支撑组件，其特征在于：包括本体(30)，所述本体(30)用于设置于壳体(10)的真空腔(11)内，所述本体(30)用于固定轴承外圈，并使所述轴承外圈相对于溅射靶(21)倾斜；且所述本体(30)用于与驱动组件(40)连接，并能够在所述驱动组件(40)的驱动下使所述轴承外圈自身旋转。

2.根据权利要求1所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：所述本体(30)包括旋转底盘(31)、旋转顶盘(32)和至少一个中间斜连接件(33)，所述旋转底盘(31)与所述旋转顶盘(32)通过第一支撑杆(38)固定连接且中心线重合，所述旋转底盘(31)和所述旋转顶盘(32)之间用于在纵向上并排固定至少两个相对于所述溅射靶(21)倾斜的所述轴承外圈，所述旋转底盘(31)用于与底部的所述轴承外圈固定连接，所述旋转顶盘(32)用于与顶部的所述轴承外圈固定连接，所述中间斜连接件(33)用于固定连接相邻的两个所述轴承外圈；所述旋转底盘(31)用于与所述驱动组件(40)固定连接，所述驱动组件(40)用于驱动所述旋转底盘(31)和所述旋转顶盘(32)绕所述中心线同步旋转并带动多个所述轴承外圈同步旋转。

3.根据权利要求2所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：所述本体(30)还包括下支撑杆(34)、下斜连接件(35)、上支撑杆(36)和上斜连接件(37)，所述下支撑杆(34)一端与所述旋转底盘(31)固定连接，所述下支撑杆(34)另一端与所述下斜连接件(35)固定连接，所述下斜连接件(35)具有斜面(351)，所述斜面(351)用于与底部的所述轴承外圈端面面接触并固定连接以使所述轴承外圈相对于所述溅射靶(21)倾斜；所述上支撑杆(36)一端与所述旋转顶盘(32)固定连接，所述上支撑杆(36)另一端与所述上斜连接件(37)固定连接，所述上斜连接件(37)用于与顶部的所述轴承外圈固定连接。

4.根据权利要求3所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：所述中间斜连接件(33)和所述上斜连接件(37)设置为连接板，所述下斜连接件(35)设置为支撑块，所述支撑块与所述下支撑杆(34)固定连接，且所述支撑块上具有所述斜面(351)，所述斜面(351)与水平面的夹角为45°。

5.根据权利要求3所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：还包括多个轴承外圈座(50)和多个环形保护盖(60)，各所述轴承外圈座(50)分别用于沿周向套设于各所述轴承外圈外；各所述环形保护盖(60)分别用于盖设于各所述轴承外圈的端面的环形区；所述斜面(351)用于与底部的所述轴承外圈一端面盖设的所述环形保护盖(60)面接触并固定连接；所述中间斜连接件(33)两端用于与相邻的两个所述轴承外圈端面上盖设的两个所述环形保护盖(60)固定连接；所述上斜连接件(37)下端用于与顶部的所述轴承外圈一端面盖设的所述环形保护盖(60)固定连接。

6.一种轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，其特征在于：包括:

壳体(10)，所述壳体(10)具有真空腔(11)；

溅射组件(20)，所述溅射组件(20)包括设置于所述真空腔(11)内的溅射靶(21)，所述溅射靶(21)用于溅射粒子；所述溅射靶(21)竖直设置于所述真空腔(11)内；

如权利要求1-5任一项所述的轴承外圈支撑组件；及

驱动组件(40)，所述驱动组件(40)设置于所述壳体(10)上，所述驱动组件(40)与所述轴承外圈支撑组件的本体(30)连接，并用于驱动轴承外圈自身旋转。

7.根据权利要求6所述的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，其特征在于：所述轴承外圈支撑组件和所述溅射靶(21)的数量相同且均设置为多个，所述轴承外圈支撑组件和所述溅射靶(21)一一相对设置；各所述轴承外圈支撑组件均用于固定所述轴承外圈，各所述轴承外圈支撑组件的所述本体(30)均与所述驱动组件(40)连接，所述驱动组件(40)用于驱动各所述本体(30)上的所述轴承外圈旋转。

8.根据权利要求7所述的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，其特征在于：各所述本体(30)均包括旋转底盘(31)，所述旋转底盘(31)用于与底部的所述轴承外圈固定连接；所述驱动组件(40)包括主驱动部件(41)和从驱动部件(42)，所述从驱动部件(42)的数量与所述轴承外圈支撑组件的数量相同且纵向上一一对应设置；所述主驱动部件(41)包括驱动电机、主转轴(411)和主齿轮(412)，所述驱动电机的输出端与所述主转轴(411)固定连接，所述主齿轮(412)固定套设于所述主转轴(411)外；各所述从驱动部件(42)均包括从转轴(421)和从齿轮(422)，所述从齿轮(422)固定套设于所述从转轴(421)外，且各所述从齿轮(422)均与所述主齿轮(412)啮合连接，各所述从转轴(421)与对应所述旋转底盘(31)固定连接；所述电机用于驱动所述主转轴(411)转动并依次带动所述主齿轮(412)、各所述从齿轮(422)和各所述从转轴(421)同步转动，进而带动各所述本体(30)同步转动。

9.根据权利要求8所述的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，其特征在于：所述真空腔(11)内设置有隔板(12)，所述隔板(12)将所述真空腔(11)分隔成上腔(13)和下腔(14)，所述主齿轮(412)、所述主转轴(411)和各所述从驱动部件(42)设置于所述下腔(14)内，所述溅射靶(21)和各所述本体(30)设置于所述上腔(13)内，各所述溅射靶(21)均通过靶座(22)与所述隔板(12)固定连接；所述隔板(12)上设置有与所述本体(30)数量相同的通孔，各所述本体(30)的所述旋转底盘(31)对应设置于一个所述通孔处，并与对应所述从转轴(421)固定连接。

10.根据权利要求6所述的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，其特征在于：所述溅射组件(20)还包括抽真空装置、气路系统和电控系统，所述壳体(10)上设置有能够连通所述真空腔(11)的抽气口和通气口；所述抽真空装置与所述抽气口密封连接并连通并用于抽取所述壳体(10)内的空气以形成所述真空腔(11)，所述气路系统与所述通气口密封连接并连通并用于向所述真空腔(11)内提供气体，所述电控系统设置于所述壳体(10)外部并与所述溅射靶(21)连接以用于向所述溅射靶(21)供电。

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