CN217757619U - 一种真空镀膜镀件除尘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了真空镀膜机技术领域的一种真空镀膜镀件除尘装置，包括外壳、基片放置板、固定板、滑动块、平移单元、横臂、摆动杆，所述摆动杆下端设有吸气管，所述吸气管通过管路与外部负压设备贯通，所述吸气管由摆动单元驱动其沿与横臂的铰接处摆动。通过外部负压设备工作产生负压，经由吸气管能够对基片放置板上放置的镀件表面进行吸气除尘，另外通过平移单元驱动滑动块水平移动，进而使得吸气管的吸气范围能够扩大，此外，通过摆动单元驱动吸气管进行往复摆动，这样使得吸气管的吸气除尘范围能够进一步扩大，进而提高除尘效率。

Description

一种真空镀膜镀件除尘装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体是一种真空镀膜镀件除尘装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

目前的真空镀膜机在对待镀膜件（或者称为基片）进行镀膜时，需要待镀膜件的待镀膜表面保持无尘状态，而现有技术中，由于待镀膜件需要周转并放置于真空镀膜机内，在此过程中，可能会导致待镀膜件的待镀膜面附着灰尘或细小异物，进而可能会对镀膜的表面质量产生影响。

基于此，本实用新型设计了一种真空镀膜镀件除尘装置，以解决上述问题。

发明内容

针对现有的问题，本实用新型提供一种真空镀膜镀件除尘装置，有效的解决背景技术中提出的问题。

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：一种真空镀膜镀件除尘装置，包括真空镀膜机的外壳，所述外壳内设有基片放置板，所述外壳的内侧壁上设有固定板，所述固定板上沿其长度方向水平滑动连接有滑动块，所述滑动块由平移单元驱动其水平移动，所述滑动块上设有一横臂，所述横臂远离滑动块的一端铰接有摆动杆，所述摆动杆下端设有吸气管，所述吸气管通过管路与外部负压设备贯通，所述吸气管由摆动单元驱动其沿与横臂的铰接处摆动。

如上所述的一种真空镀膜镀件除尘装置中，所述平移单元包括水平转动连接在固定板上的丝杆，所述滑动块上嵌装有丝母套，所述丝母套螺纹套装在丝杆上，所述丝杆由安装在固定板上的电机驱动其转动。

如上所述的一种真空镀膜镀件除尘装置中，所述摆动单元包括设于横臂上的安装板，所述安装板上水平滑动穿设有滑动杆，所述滑动杆一端穿设有短销，所述摆动杆上端开设有短销插合的、且能沿摆动杆长度方向自由滑动的腰形孔，所述滑动杆的另一端转动连接有滚轮，所述固定板上设有垫板，所述垫板朝向滑动块的一面沿其长度方向阵列设有多个弧形凸出部，所述滚轮在弧形凸出部的外弧面及垫板表面上滚动，所述滑动杆由弹性复位结构驱动其朝远离吸气管的方向移动。

如上所述的一种真空镀膜镀件除尘装置中，所述弹性复位结构包括套接在滑动杆上的限位环，所述限位环与安装板之间设有弹性件。

如上所述的一种真空镀膜镀件除尘装置中，所述弹性件为套装在滑动杆上的弹簧，所述弹簧弹力方向两端分别弹性抵顶限位环及安装板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过外部负压设备工作产生负压，经由吸气管能够对基片放置板上放置的镀件表面进行吸气除尘，另外通过平移单元驱动滑动块水平移动，进而使得吸气管的吸气范围能够扩大，此外，通过摆动单元驱动吸气管进行往复摆动，这样使得吸气管的吸气除尘范围能够进一步扩大，进而提高除尘效率。

附图说明

图1为本实用新型的组装结构示意图；

图2为图1中省略外壳后的结构示意图；

图3为图2中结构的另一个角度示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-外壳，2-滑动块，3-滑动杆，4-固定板，5-轴承座，6-丝杆，7-摆动杆，8-吸气管，9-基片放置板，10-横臂，11-丝母套，12-电机，13-滚轮，14-弧形凸出部，15-垫板，16-限位环,17-腰形孔，18-短销，19-安装板，20-弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-3所示，本实施例中提供了一种真空镀膜镀件除尘装置，包括真空镀膜机的外壳1，外壳1内设有基片放置板9，外壳1的内侧壁上设有固定板4，固定板4上沿其长度方向水平滑动连接有滑动块2，滑动块2由平移单元驱动其水平移动，滑动块2上设有一横臂10，横臂10远离滑动块2的一端铰接有摆动杆7，摆动杆7下端设有吸气管8，吸气管8通过管路与外部负压设备贯通，吸气管8由摆动单元驱动其沿与横臂10的铰接处摆动，将待镀膜件放置在基片放置板上，且待镀膜表面朝上，再通过外部负压设备工作产生负压，经由吸气管对待镀膜件的表面进行吸气除尘，另外通过平移单元驱动滑动块水平往复移动，使得吸气管的吸气范围能够扩大，此外通过驱动单元驱动摆动杆进行往复摆动，这样进一步扩大了吸气管的除尘范围内。

本实施例中的平移单元包括通过安装轴承座5水平转动连接在固定板4上的丝杆6，滑动块2上嵌装有丝母套11，丝母套11螺纹套装在丝杆6上，丝杆6由安装在固定板4上的电机12驱动其转动，通过外部电源对电机进行通电，使得电机通电转动并驱动丝杆转动，进而能够带动丝杆进行转动，使得丝杆带动滑动块水平移动。

本实施例中的摆动单元包括设于横臂10上的安装板19，安装板19上水平滑动穿设有滑动杆3，滑动杆3一端穿设有短销18，摆动杆7上端开设有短销18插合的、且能沿摆动杆7长度方向自由滑动的腰形孔17，滑动杆3的另一端转动连接有滚轮13，固定板4上设有垫板15，垫板15朝向滑动块2的一面沿其长度方向阵列设有多个弧形凸出部14，滚轮13在弧形凸出部14的外弧面及垫板15表面上滚动，滑动杆3由弹性复位结构驱动其朝远离吸气管8的方向移动，滑动块在水平移动过程中，滚轮将在弧形凸出部的外弧面以及垫板表面滚动，同时通过弹性复位结构对滑动杆产生朝向固定板的弹性抵顶力，这样使得滑动杆能够产生往复的水平移动，进而能够驱动短销在腰形孔内滑动，这样使得摆动杆能够沿横臂的铰接处往复摆动，进而使得吸气管的口部朝向能够进行往复地调节。

本实施例中的弹性复位结构包括套接在滑动杆3上的限位环16，限位环16与安装板19之间设有套装在滑动杆3上的弹簧20，弹簧20弹力方向两端分别弹性抵顶限位环16及安装板19，通过弹簧对限位环产生弹性抵顶，使得滑动杆能够产生朝固定板方向移动的趋势。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序，而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种真空镀膜镀件除尘装置，包括真空镀膜机的外壳（1），所述外壳（1）内设有基片放置板（9），其特征在于，所述外壳（1）的内侧壁上设有固定板（4），所述固定板（4）上沿其长度方向水平滑动连接有滑动块（2），所述滑动块（2）由平移单元驱动其水平移动，所述滑动块（2）上设有一横臂（10），所述横臂（10）远离滑动块（2）的一端铰接有摆动杆（7），所述摆动杆（7）下端设有吸气管（8），所述吸气管（8）通过管路与外部负压设备贯通，所述吸气管（8）由摆动单元驱动其沿与横臂（10）的铰接处摆动。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于，所述平移单元包括水平转动连接在固定板（4）上的丝杆（6），所述滑动块（2）上嵌装有丝母套（11），所述丝母套（11）螺纹套装在丝杆（6）上，所述丝杆（6）由安装在固定板（4）上的电机（12）驱动其转动。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于，所述摆动单元包括设于横臂（10）上的安装板（19），所述安装板（19）上水平滑动穿设有滑动杆（3），所述滑动杆（3）一端穿设有短销（18），所述摆动杆（7）上端开设有短销（18）插合的、且能沿摆动杆（7）长度方向自由滑动的腰形孔（17），所述滑动杆（3）的另一端转动连接有滚轮（13），所述固定板（4）上设有垫板（15），所述垫板（15）朝向滑动块（2）的一面沿其长度方向阵列设有多个弧形凸出部（14），所述滚轮（13）在弧形凸出部（14）的外弧面及垫板（15）表面上滚动，所述滑动杆（3）由弹性复位结构驱动其朝远离吸气管（8）的方向移动。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于，所述弹性复位结构包括套接在滑动杆（3）上的限位环（16），所述限位环（16）与安装板（19）之间设有弹性件。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜镀件除尘装置，其特征在于，所述弹性件为套装在滑动杆（3）上的弹簧（20），所述弹簧（20）弹力方向两端分别弹性抵顶限位环（16）及安装板（19）。

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