CN203307420U - 用于真空镀膜设备的铰链机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的铰链机构，属于真空镀膜设备用连接部件领域。该铰链机构包括：铰链座、转轴、铰链和轴用弹性挡圈；其中，所述铰链座上设有转轴和连接真空室的螺钉；所述铰链设置在所述铰链座的转轴上，能绕所述转轴转动，铰链上设有连接真空室门的螺钉；所述转轴一端为台阶轴，另一端设有使转轴固定在所述铰链座的轴安装孔内的轴用弹性挡圈。该铰链机构结构简单、轻便、稳固性好且安装方便，使真空镀膜设备的真空室门容易装配，从而降低了真空镀膜设备的制造成本。并且使用中也方便了真空室门的开启与关闭，保证了镀膜室的真空密封，保证了镀膜工艺的顺利进行。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜设备用的连接部件，特别是涉及一种用于真空镀膜设备的铰链机构。
背景技术
随着科技的日益进步及经济的不断发展，真空镀膜设备的应用越来越广泛，特别是在光学、电子等领域的应用。同时，不断创新的镀膜工艺对镀膜设备的性能要求越来越高。
在镀膜设备各部分结构中，真空室是真空镀膜设备的主要部件之一，真空镀膜设备的生产过程都是在真空室中进行的，各类真空室均设置有门，其目的之一是便于在室内安装各种机构，其二是用于取送物料和基片，而门通常是由密封法兰、门板、门铰链、密封圈等机构组成的。门铰链的结构，不但关系到装配工作的难易程度，加工装配成本，更关系到镀膜工作的效率和密封效果，从而直接影响到镀膜质量和效率。如何使真空室门既方便装配，且在后续使用时开启、关闭方便，又便于密封是个需要解决的问题。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于真空镀膜设备的铰链机构，可用在真空镀膜设备的真空室门上，其轻便、简洁，能保证真空镀膜设备的使用效率和加工、装配成本，也可以保证关闭后的密封性，从而保证镀膜质量，提高工作效率。
解决上述技术问题的技术方案如下：
本实用新型提供一种用于真空镀膜设备的铰链机构，包括：
铰链座、转轴、铰链和轴用弹性挡圈；其中，
所述铰链座上设有转轴和连接真空室的螺钉；
所述铰链设置在所述铰链座的转轴上，能绕所述转轴转动，铰链上设有连接真空室门的螺钉；
所述转轴一端为台阶轴，另一端设有使转轴固定在所述铰链座的轴安装孔内的轴用弹性挡圈。
上述铰链机构中，铰链的宽度小于所述铰链座的宽度，设置在所述转轴处的所述铰链两端与所述铰链座之间设有调整垫。
上述铰链机构中，调整垫采用用高耐磨的锡青铜垫，用以降低铰链座和铰链的磨损。
上述铰链机构中，铰链座安装转轴的安装孔为椭圆形，使门能随转轴向内外均可以有位移，以保证真空室门的良好密封。
还包括：调整螺钉，设置在所述铰链座的轴安装孔上，调整螺钉前端伸入到轴安装孔内，能调节所述转轴在所述轴安装孔内的位置。
上述铰链机构中，调整螺钉至少为两个，分设在所述铰链座的轴安装孔上。
本实用新型的有益效果为：该铰链机构结构简单、轻便、稳固性好且安装方便，使真空镀膜设备的真空室门容易装配，从而降低了真空镀膜设备的制造成本。并且使用中方便了真空室门的开启与关闭，也保证了真空室门的密封。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。
图1为本实用新型实施例提供的铰链机构的示意图；
图2为本实用新型实施例提供的铰链机构的另一角度示意图；
图3为本实用新型实施例提供的铰链机构的使用状态示意图；
图中各标号为：1－铰链座；2－铰链；3－调整垫；4－连接真空室的螺钉；5－连接门的螺钉；6－转轴；7－调整螺钉；8－轴用弹性挡圈；9－真空室；10－密封件；11－真空室门。
具体实施方式
下面对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。
下面结合附图对本实用新型实施例作进一步地详细描述。
如图1～3所示，本实用新型实施例的铰链机构由铰链座1、铰链2、调整垫3、连接真空室的螺钉4、连接门的螺钉5、转轴6、调整螺钉7、轴用弹性挡圈8等组成；其中，铰链座1通过连接真空室的螺钉4与真空室连接，铰链2用连接真空室门螺钉5与真空室门11连接，铰链座1上设有转轴6，转轴6设置在铰链座1的轴安装孔内，一端设计为台阶轴，另一端设有固定转轴用的轴用弹性挡圈8，铰链2设置在转轴6上，能绕转轴6转动一定角度，通过转轴6和轴用弹性挡圈8将铰链座1和铰链2连接起来，从而将真空室门11与真空室9连接在一起，并且两者能绕转轴6开合。铰链2的宽度小于铰链座1的宽度，这样转动时设置在转轴6处的铰链2两端会与铰链座1之间产生摩擦力形成磨损，为防止磨损，在铰链座1和铰链2接触处之间设置由高强度和高耐磨性的锡青铜制成的调整垫3，从而降低铰链座1和铰链2的摩擦力及两者的磨损。转轴6作为整个门开关的旋转轴，使真空室门11绕其旋转，按需要控制真空室门11的转动角度，铰链座1上的轴安装孔采用椭圆形，使真空室门11能随转轴6向内外均可以有一定位移，为确保关门时，使真空室门11与真空室9之间的密封面保持平行状态，在铰链座1的轴安装孔上设置调整螺钉7，调整螺钉7前端伸入到轴安装孔内，调整螺钉7可顶住轴安装孔内的转轴6，通过调整螺钉7可调整转轴6在轴安装孔内的位置，从而确保关门时，使真空室门11与密封面保持平行状态，不仅延长了真空室门11与真空室9之间密封件10的使用寿命，同时保证了密封的可靠性。调整螺钉7至少为两个，可分设在铰链2两侧的铰链座1的轴安装孔上，从而保证调整时的平衡性和稳固性。
本实用新型的铰链机构具有结构简单，加工装配容易，且通用性强，在保证性能的前提下降低了制造成本。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
Claims (5)
1.一种用于真空镀膜设备的铰链机构，其特征在于，包括：
铰链座、转轴、铰链和轴用弹性挡圈；其中，
所述铰链座上设有转轴和连接真空室的螺钉；
所述铰链设置在所述铰链座的转轴上，能绕所述转轴转动，铰链上设有连接真空室门的螺钉；
所述转轴一端为台阶轴，另一端设有使转轴固定在所述铰链座的轴安装孔内的轴用弹性挡圈。
2.根据权利要求1所述的铰链机构，其特征在于，所述铰链的宽度小于所述铰链座的宽度，设置在所述转轴处的所述铰链两端与所述铰链座之间设有调整垫。
3.根据权利要求2所述的铰链机构，其特征在于，所述调整垫采用锡青铜垫。
4.根据权利要求1或2所述的铰链机构，其特征在于，所述铰链座的安装转轴的轴安装孔为椭圆形；
还包括：调整螺钉，设置在所述铰链座的轴安装孔上，调整螺钉前端伸入到轴安装孔内，能调节所述转轴在所述轴安装孔内的位置。
5.根据权利要求4所述的铰链机构，其特征在于，所述调整螺钉至少为两个，分设在所述铰链座的轴安装孔上。
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Cited By (2)
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| CN104453516A (zh) * | 2014-12-04 | 2015-03-25 | 常熟宝成五金制品有限公司 | 耐低温的合页 |
| CN110819955A (zh) * | 2019-11-01 | 2020-02-21 | 南阳光驰科技有限公司 | 一种承重门可调节铰链装置 |
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