CN217719494U - 一种新型的芯片活化等离子装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型的芯片活化等离子装置，涉及等离子装置技术领域，包括机箱、活化单元和升降单元；机箱内部安装有中隔板，中隔板的中部安装有通气槽板；活化单元包含活化箱、下压板、孔喷板、抽液泵、控管磁阀和储液箱，中隔板的上端中部安装有活化箱，下压板的左右两端分别滑动连接在活化箱内部的左右两端，下压板的下端安装有孔喷板，抽液泵安装在中隔板的上端右侧，抽液泵的出液口通过出泵管连接在孔喷板的上端，出泵管的中部安装有控管磁阀，该新型的芯片活化等离子装置，不仅可将特制的溶液滴覆在每个芯片的表面，还可以将内部环境抽真空，提高活化芯片的效果，使用更加方便。

Description

一种新型的芯片活化等离子装置

技术领域

本实用新型涉及等离子装置技术领域，具体为一种新型的芯片活化等离子装置。

背景技术

等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

在对一些芯片进行加工时，需将芯片进行活化，在活化时需将芯片的表面与特制的溶液接触，使芯片的表面反应，进行活化清洁，且在活化清洁时，真空的环境更有利于芯片的活化效果。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种新型的芯片活化等离子装置，不仅可将特制的溶液滴覆在每个芯片的表面，还可以将内部环境抽真空，提高活化芯片的效果，使用更加方便，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型的芯片活化等离子装置，包括机箱、活化单元和升降单元；

机箱：内部安装有中隔板，所述中隔板的中部安装有通气槽板；

活化单元：包含活化箱、下压板、孔喷板、抽液泵、控管磁阀和储液箱，所述中隔板的上端中部安装有活化箱，所述下压板的左右两端分别滑动连接在活化箱内部的左右两端，所述下压板的下端安装有孔喷板，所述抽液泵安装在中隔板的上端右侧，所述抽液泵的出液口通过出泵管连接在孔喷板的上端，所述出泵管的中部安装有控管磁阀，所述中隔板的下端右侧安装有储液箱，所述储液箱的前端安装有加液斜管，所述加液斜管的前端螺纹连接有封管螺帽；通过下压板的上下移动，可带动孔喷板针对不同高度的芯片进行准确的滴液，利用抽液泵可将储液箱内活化水，经出泵管流至孔喷板，进而从孔喷板下端的孔喷出，控管磁阀可控制出泵管的流通。

升降单元：安装在活化箱的上端。

进一步的，所述活化单元还包含进液孔筒，所述抽液泵的进液口连接进泵管的一端，所述进泵管的另一端安装有进液孔筒，所述进液孔筒位于储液箱的内部下侧。当抽液泵工作时，进泵管将储液箱内的活化水抽出，在抽取时进液孔筒可提高接触面积，抽液更稳定。

进一步的，所述升降单元包含升降箱、下连板、导柱和活动板，所述活化箱的上端安装有升降箱，所述升降箱的内部下端安装有下连板，两个导柱分别滑动连接在下连板的左右两端，两个导柱的下端均连接在下压板的上端，两个导柱的上端通过活动板连接。利用活动板的上下移动，在两个导柱的作用下，可使下压板稳定的上下移动。

进一步的，所述升降单元还包含升降电机和升降螺杆，所述升降箱的内部上端安装有升降电机，所述升降电机的输出轴连接升降螺杆的上端，所述升降螺杆的下端转动连接在下连板的上端中部，所述活动板的中部与升降螺杆螺纹连接。升降电机带动升降螺杆转动，利用活动板与升降螺杆的螺纹连接，可使其上下移动。

进一步的，还包括集气斗和真空泵，所述中隔板的下端中部安装有集气斗，所述真空泵安装在机箱内部的左端下侧，所述真空泵的抽气口连接另一控管磁阀的一端，另一控管磁阀的另一端通过抽气管连接在集气斗的下端。真空泵工作可通过抽气管和集气斗将活化箱内空气抽出，为活化提供真空的基础。

进一步的，还包括板座和封箱板，所述机箱的前端开设有放料方孔，所述放料方孔的左端安装有板座，所述封箱板的右端与板座活动连接，所述封箱板的前端安装有密封框。在放置芯片后，活动封箱板，即可将放料方孔堵塞，利用密封框对活化箱的前端封闭，使活化箱密封性更好。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本新型的芯片活化等离子装置，具有以下好处：

1、该新型的芯片活化等离子装置设有活化单元，通过下压板的上下移动，可带动孔喷板针对不同高度的芯片进行准确的滴液，利用抽液泵可将储液箱内活化水，经出泵管流至孔喷板，进而从孔喷板下端的孔喷出，控管磁阀可控制出泵管的流通。

2、该新型的芯片活化等离子装置设有活化单元，当抽液泵工作时，进泵管将储液箱内的活化水抽出，在抽取时进液孔筒可提高接触面积，抽液更稳定。

3、该新型的芯片活化等离子装置设有升降单元，升降电机带动升降螺杆转动，利用活动板与升降螺杆的螺纹连接，活动板上下移动，在两个导柱的作用下，可使下压板稳定的上下移动。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型前侧剖面结构示意图。

图中：1机箱、2中隔板、3活化单元、31活化箱、32下压板、33孔喷板、34抽液泵、35控管磁阀、36储液箱、37进液孔筒、4升降单元、41升降箱、42下连板、43导柱、44活动板、45升降电机、46升降螺杆、5集气斗、6真空泵、7板座、8封箱板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实施例提供一种技术方案：一种新型的芯片活化等离子装置，包括机箱1、活化单元3和升降单元4；

机箱1：内部安装有中隔板2，中隔板2的中部安装有通气槽板；

活化单元3：包含活化箱31、下压板32、孔喷板33、抽液泵34、控管磁阀35和储液箱36，中隔板2的上端中部安装有活化箱31，下压板32的左右两端分别滑动连接在活化箱31内部的左右两端，下压板32的下端安装有孔喷板33，抽液泵34安装在中隔板2的上端右侧，抽液泵34的出液口通过出泵管连接在孔喷板33的上端，出泵管的中部安装有控管磁阀35，中隔板2的下端右侧安装有储液箱36，储液箱36的前端安装有加液斜管，加液斜管的前端螺纹连接有封管螺帽；通过下压板32的上下移动，可带动孔喷板33针对不同高度的芯片进行准确的滴液，利用抽液泵34可将储液箱36内活化水，经出泵管流至孔喷板33，进而从孔喷板33下端的孔喷出，控管磁阀35可控制出泵管的流通。

活化单元3还包含进液孔筒37，抽液泵34的进液口连接进泵管的一端，进泵管的另一端安装有进液孔筒37，进液孔筒37位于储液箱36的内部下侧。当抽液泵34工作时，进泵管将储液箱36内的活化水抽出，在抽取时进液孔筒37可提高接触面积，抽液更稳定。

升降单元4：安装在活化箱31的上端。

升降单元4包含升降箱41、下连板42、导柱43和活动板44，活化箱31的上端安装有升降箱41，升降箱41的内部下端安装有下连板42，两个导柱43分别滑动连接在下连板42的左右两端，两个导柱43的下端均连接在下压板32的上端，两个导柱43的上端通过活动板44连接。利用活动板44的上下移动，在两个导柱43的作用下，可使下压板32稳定的上下移动。

升降单元4还包含升降电机45和升降螺杆46，升降箱41的内部上端安装有升降电机45，升降电机45的输出轴连接升降螺杆46的上端，升降螺杆46的下端转动连接在下连板42的上端中部，活动板44的中部与升降螺杆46螺纹连接。升降电机45带动升降螺杆46转动，利用活动板44与升降螺杆46的螺纹连接，可使其上下移动。

还包括集气斗5和真空泵6，中隔板2的下端中部安装有集气斗5，真空泵6安装在机箱1内部的左端下侧，真空泵6的抽气口连接另一控管磁阀35的一端，另一控管磁阀35的另一端通过抽气管连接在集气斗5的下端。真空泵6工作可通过抽气管和集气斗5将活化箱31内空气抽出，为活化提供真空的基础。

还包括板座7和封箱板8，机箱1的前端开设有放料方孔，放料方孔的左端安装有板座7，封箱板8的右端与板座7活动连接，封箱板8的前端安装有密封框。在放置芯片后，活动封箱板8，即可将放料方孔堵塞，利用密封框对活化箱31的前端封闭，使活化箱31密封性更好。

本实用新型提供的一种新型的芯片活化等离子装置的工作原理如下：先将置有芯片的卡板，放置在活化箱31的内部下端，然后通过升降电机45工作，使升降螺杆46带动活动板44上下移动，将孔喷板33贴近芯片表面，接着活动封箱板8，将放料方孔堵塞，密封框对活化箱31的前端封闭，提高活化箱31密封性后，抽液泵34工作，控管磁阀35打开，进泵管将储液箱36内的活化水抽出，经出泵管流至孔喷板33，进而从孔喷板33下端的孔滴出至芯片表面后，真空泵6工作，控管磁阀35和抽液泵34关闭，另一控管磁阀35打开，通过抽气管和集气斗5将活化箱31内空气抽出，使活化箱31内真空，提高活化效果，使用更加方便。

值得注意的是，以上实施例中所公开的抽液泵34采用品牌Auseana/奥海纳的，控管磁阀35采用品牌山野的，升降电机45采用步进电机，真空泵6采用品牌飞越的，抽液泵34、两个控管磁阀35、升降电机45和真空泵6的输入端分别电连接外部控制开关组的输出端，外部控制开关组的输入端电连接外部电源的输出端，外部控制开关组控制抽液泵34、两个控管磁阀35、升降电机45和真空泵6工作采用现有技术中常用的方法。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种新型的芯片活化等离子装置，其特征在于：包括机箱(1)、活化单元(3)和升降单元(4)；

机箱(1)：内部安装有中隔板(2)，所述中隔板(2)的中部安装有通气槽板；

活化单元(3)：包含活化箱(31)、下压板(32)、孔喷板(33)、抽液泵(34)、控管磁阀(35)和储液箱(36)，所述中隔板(2)的上端中部安装有活化箱(31)，所述下压板(32)的左右两端分别滑动连接在活化箱(31)内部的左右两端，所述下压板(32)的下端安装有孔喷板(33)，所述抽液泵(34)安装在中隔板(2)的上端右侧，所述抽液泵(34)的出液口通过出泵管连接在孔喷板(33)的上端，所述出泵管的中部安装有控管磁阀(35)，所述中隔板(2)的下端右侧安装有储液箱(36)，所述储液箱(36)的前端安装有加液斜管，所述加液斜管的前端螺纹连接有封管螺帽；

升降单元(4)：安装在活化箱(31)的上端。

2.根据权利要求1所述的一种新型的芯片活化等离子装置，其特征在于：所述活化单元(3)还包含进液孔筒(37)，所述抽液泵(34)的进液口连接进泵管的一端，所述进泵管的另一端安装有进液孔筒(37)，所述进液孔筒(37)位于储液箱(36)的内部下侧。

3.根据权利要求1所述的一种新型的芯片活化等离子装置，其特征在于：所述升降单元(4)包含升降箱(41)、下连板(42)、导柱(43)和活动板(44)，所述活化箱(31)的上端安装有升降箱(41)，所述升降箱(41)的内部下端安装有下连板(42)，两个导柱(43)分别滑动连接在下连板(42)的左右两端，两个导柱(43)的下端均连接在下压板(32)的上端，两个导柱(43)的上端通过活动板(44)连接。

4.根据权利要求3所述的一种新型的芯片活化等离子装置，其特征在于：所述升降单元(4)还包含升降电机(45)和升降螺杆(46)，所述升降箱(41)的内部上端安装有升降电机(45)，所述升降电机(45)的输出轴连接升降螺杆(46)的上端，所述升降螺杆(46)的下端转动连接在下连板(42)的上端中部，所述活动板(44)的中部与升降螺杆(46)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种新型的芯片活化等离子装置，其特征在于：还包括集气斗(5)和真空泵(6)，所述中隔板(2)的下端中部安装有集气斗(5)，所述真空泵(6)安装在机箱(1)内部的左端下侧，所述真空泵(6)的抽气口连接另一控管磁阀(35)的一端，另一控管磁阀(35)的另一端通过抽气管连接在集气斗(5)的下端。

6.根据权利要求1所述的一种新型的芯片活化等离子装置，其特征在于：还包括板座(7)和封箱板(8)，所述机箱(1)的前端开设有放料方孔，所述放料方孔的左端安装有板座(7)，所述封箱板(8)的右端与板座(7)活动连接，所述封箱板(8)的前端安装有密封框。

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