CN217691100U - 一种晶圆料架的放置平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆料架的放置平台，涉及晶圆生产加工技术领域。该晶圆料架的放置平台包括底座、第一定位件、第二定位件和对中调节机构，第一定位件和第二定位件相对设置于底座上，晶圆料架通过第一定位件和第二定位件共同定位。对中调节机构包括导杆和驱动组件，导杆固定于底座上，第一定位件和第二定位件均与导杆连接，驱动组件同时驱动第一定位件和第二定位件在导杆上向相反的方向移动，以调节第一定位件和第二定位件之间的间距。该晶圆料架的放置平台不仅能够放置不同规格的晶圆料架，提高了批量生产时的工作效率，降低了生产成本；而且调节间距后的第一定位件和第二定位件依然能够使得晶圆料架对中放置。

Description

一种晶圆料架的放置平台

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产加工技术领域，尤其涉及一种晶圆料架的放置平台。

背景技术

在半导体器件的制造工艺中，需要对半导体晶圆进行磨削加工，在加工过程中，半导体晶圆需通过搬送装置将半导体晶圆从晶圆料架中取出放在磨削装置的卡盘工作台上，然后利用磨削装置进行磨削，磨削完成后，半导体晶圆需再通过搬送装置放回晶圆料架中，晶圆料架在半导体晶圆磨削的整个过程中都被放置在晶圆料架放置平台上。

然而半导体晶圆的尺寸有多种形式，导致收纳半导体晶圆的晶圆料架也存在多种形式，当被加工的半导体晶圆尺寸发生变化时，产生如下问题：由于半导体晶圆的尺寸变化导致晶圆料架的尺寸发生变化，那么原放置平台的料架定位块尺寸将不再适用。而且由于生产厂家的不同，SEMI认证上规定结构尺寸是一个区间值，这就导致了加工相同尺寸的半导体晶圆，其使用的晶圆料架也可能不同，料架定位块不能实现晶圆料架放置的兼容和互换。放置平台上的料架定位块只能对应一种尺寸，当料架尺寸不同时，其他尺寸会无法放置，或者产生间隙，当产生间隙时，料架会向左或者向右偏移无法准确对中放置，搬送装置在搬运晶圆时与料架上的料盒会有碰撞风险。在批量生产工序中，当半导体晶圆尺寸变化时，需要对料架定位块进行替换，而且需要重新对中，降低了工作效率，而且增加了成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种晶圆料架的放置平台，该放置平台能够适用于不同规格的晶圆料架，使得每种规格的晶圆料架都能对中放置，提高了批量生产的工作效率，降低了生产成本。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种晶圆料架的放置平台，包括：

底座；

第一定位件和第二定位件，所述第一定位件和所述第二定位件相对设置于所述底座上，晶圆料架通过所述第一定位件和所述第二定位件共同定位；

对中调节机构，包括导杆和驱动组件，所述导杆固定于所述底座上，所述第一定位件和所述第二定位件均与所述导杆连接，所述驱动组件同时驱动所述第一定位件和所述第二定位件在所述导杆上向相反的方向移动，以调节所述第一定位件和所述第二定位件之间的间距。

作为所述的晶圆料架的放置平台的一个可选方案，所述驱动组件包括电机、正反螺纹调节杆、第一螺母和第二螺母，所述电机与所述正反螺纹调节杆连接，所述第一螺母与所述正反螺纹调节杆的正螺纹传动连接，所述第一螺母与所述第一定位件连接；所述第二螺母与所述正反螺纹调节杆的反螺纹传动连接，所述第二螺母与所述第二定位件连接，所述电机驱动所述正反螺纹调节杆转动，所述第一螺母带动所述第一定位件作直线运动，同时所述第二螺母带动所述第二定位件作直线运动。

作为所述的晶圆料架的放置平台的一个可选方案，所述对中调节机构还包括第一滑块和第二滑块，所述第一滑块和所述第二滑块均滑设于所述导杆上，所述第一螺母通过所述第一滑块与所述第一定位件连接，所述第二螺母通过所述第二滑块与所述第二定位件连接。

作为所述的晶圆料架的放置平台的一个可选方案，所述导杆设置有两个，两个所述导杆平行间隔设置；所述第一定位件和所述第二定位件均与两个所述导杆连接，所述驱动组件设置于两个所述导杆之间。

作为所述的晶圆料架的放置平台的一个可选方案，所述底座上设置有容纳槽，所述容纳槽的两端均设置有贯穿所述底座的通孔，所述导杆自所述容纳槽一端的通孔穿过所述容纳槽延伸至所述容纳槽另一端的所述通孔，所述导杆通过第一紧固件固定于所述底座。

作为所述的晶圆料架的放置平台的一个可选方案，所述放置平台上还设置有第三定位件和第四定位件，所述晶圆料架包括第一端和第二端，所述第一定位件和所述第二定位件共同作用定位所述第一端，所述第三定位件和所述第四定位件共同作用定位所述第二端。

作为所述的晶圆料架的放置平台的一个可选方案，所述第一定位件远离所述第二定位件的一侧设置有第一定位台阶，所述第二定位件远离所述第一定位件的一侧设置有第二定位台阶，通过所述第一定位台阶和所述第二定位台阶共同定位所述第一端；

所述第三定位件远离所述第四定位件的一侧设置有第三定位台阶，所述第四定位件远离所述第三定位件的一侧设置有第四定位台阶，通过所述第三定位台阶和所述第四定位台阶共同定位所述第二端。

作为所述的晶圆料架的放置平台的一个可选方案，所述第一定位件上沿第一方向设置有多个所述第一定位台阶，所述第二定位件上沿所述第一方向设置有多个所述第二定位台阶，多个所述第一定位台阶和多个所述第二定位台阶沿第二方向一一对应设置，所述第一方向平行于所述第一端和所述第二端的连线方向，且所述第一方向垂直于所述第二方向，一一对应的所述第一定位台阶和所述第二定位台阶之间的间距自所述第一定位件靠近所述第三定位件的一端向远离所述第三定位件的一端依次增大；

所述第三定位件上沿所述第一方向设置有多个所述第三定位台阶，所述第四定位件上沿所述第一方向设置有多个所述第四定位台阶，多个所述第三定位台阶和多个所述第四定位台阶沿所述第二方向一一对应设置，一一对应的所述第三定位台阶和所述第四定位台阶之间的间距自所述第三定位件靠近所述第一定位件的一端向远离所述第一定位件的一端依次增大。

作为所述的晶圆料架的放置平台的一个可选方案，所述第三定位件和所述第四定位件之间的间距可调。

作为所述的晶圆料架的放置平台的一个可选方案，所述第三定位件和所述第四定位件均通过第二紧固件固定于所述底座。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的晶圆料架的放置平台，通过设置对中调节机构，能够对放置平台上用于定位晶圆料架的第一定位件和第二定位件之间的间距进行调节，以使得放置平台能够放置不同规格的晶圆料架，提高了批量生产时的工作效率，降低了生产成本。将第一定位件和第二定位件均与导杆连接，驱动组件同时驱动第一定位件和第二定位件在导杆上向相反的方向移动，以使与第一定位件和第二定位件调节后的间距相适配的规格的晶圆料架能够稳定对中放置，避免搬送装置从晶圆料架中取料和放料时出现误差，无法正常搬送。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的晶圆料架的放置平台的俯视图。

图中：

100、晶圆料架；

101、第一端；102、第二端；

1、底座；2、第一定位件；3、第二定位件；4、对中调节机构；5、第三定位件；6、第四定位件；7、第一紧固件；8、第二紧固件；

11、容纳槽；21、第一定位台阶；31、第二定位台阶；41、导杆；42、正反螺纹调节杆；51、第三定位台阶；61、第四定位台阶。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

在半导体器件的生产过程中，晶圆的正面设置有分割预定线，通过磨削晶圆背面而薄化到规定的厚度后，沿着分割预定线利用切削装置或者激光加工装置等进行分割，从而制造出半导体器件。

在对晶圆磨削前后，都需通过搬送装置搬送晶圆料架中的晶圆。由于晶圆的规格不同，用于收纳晶圆的晶圆料架的规格也不同。而晶圆料架通过放置平台上的定位件定位，以使搬送装置在搬送晶圆料架中的晶圆时能够准确取料和放料。当晶圆料架的规格不同时，放置平台上的定位件之间的间距也不同。

现有技术中在更换不同规格的晶圆料架时，调节定位件之间的间距时需要对放置平台上的定位件进行拆卸更换，在批量生产时，工作效率低，而且生产成本高。而且安装新的定位件时还需重新对中，否则搬送装置在搬送晶圆时会出现偏差无法正常搬送。

为了解决上述问题，如图1所示，本实施例提供了一种晶圆料架的放置平台，包括底座1、第一定位件2、第二定位件3和对中调节机构4，第一定位件2和第二定位件3相对设置于底座1上，晶圆料架100通过第一定位件2和第二定位件3共同定位。对中调节机构4包括导杆41和驱动组件，导杆41固定于底座1上，第一定位件2和第二定位件3均与导杆41连接，驱动组件同时驱动第一定位件2和第二定位件3在导杆41上向相反的方向移动，以调节第一定位件2和第二定位件3之间的间距。

通过设置对中调节机构4，能够对放置平台上用于定位晶圆料架100的第一定位件2和第二定位件3之间的间距进行调节，以使得放置平台能够放置不同规格的晶圆料架100，提高了批量生产时的工作效率，降低了生产成本。将第一定位件2和第二定位件3均与导杆41连接，驱动组件同时驱动第一定位件2和第二定位件3在导杆41上向相反的方向移动，以使与第一定位件2和第二定位件3调节后的间距相适配的规格的晶圆料架100能够稳定对中放置，避免搬送装置从晶圆料架100中取料和放料时出现误差，无法正常搬送。

作为晶圆料架的放置平台的一个可选方案，放置平台上还设置有第三定位件5和第四定位件6，晶圆料架100包括第一端101和第二端102，第一定位件2和第二定位件3共同作用定位第一端101，第三定位件5和第四定位件6共同作用定位第二端102。

晶圆料架100的第一端101和第二端102的结构不同，通常第一端101的宽度大于第二端102的宽度，而且对于不同规格的晶圆料架100，大多数第一端101的宽度不同，而第二端102的宽度相同。因此将放置平台上用于定位第一端101的第一定位件2和第二定位件3之间的间距设置为可调，以满足不同规格的晶圆料架100的定位需求，通用性增强，而且成本较低。

在本实施例中，第三定位件5和第四定位件6均通过第二紧固件8固定于底座1。在第三定位件5和第四定位件6上均设置有第一腰形孔，底座1上设置有螺纹孔。第二紧固件8为紧固螺栓，紧固螺栓穿过第一腰形孔与螺纹孔螺接，将第三定位件5和第四定位件6固定于底座1。

在晶圆料架的放置平台的另一个可选实施例中，第三定位件5和第四定位件6之间的间距可调。通过将第三定位件5和第四定位件6之间的间距也设置为可调节，使得放置平台能够放置更多规格的晶圆料架100，适用范围更广泛。

第三定位件5和第四定位件6可以通过对中调节机构4进行间距调节。

作为晶圆料架的放置平台的一个可选方案，第一定位件2远离第二定位件3的一侧设置有第一定位台阶21，第二定位件3远离第一定位件2的一侧设置有第二定位台阶31，通过第一定位台阶21和第二定位台阶31共同定位第一端101；第三定位件5远离第四定位件6的一侧设置有第三定位台阶51，第四定位件6远离第三定位件5的一侧设置有第四定位台阶61，通过第三定位台阶51和第四定位台阶61共同定位第二端102。

第一端101设置有与第一定位台阶21和第二定位台阶31配合的第一定位槽，以实现第一端101的定位。第二端102设置有与第三定位台阶51和第四定位台阶61配合的第二定位槽，以实现第二端102的定位。

加工相同尺寸的晶圆，由于生产厂家不同，晶圆料架100上的第一定位槽和第二定位槽的加工尺寸也可能不同，但均在一个设定的区间内，此时要求定位第一端101的第一定位台阶21和第二定位台阶31之间的间距以及定位第二端102的第三定位台阶51和第四定位台阶61之间的间距也不同。

作为晶圆料架的放置平台的一个可选方案，第一定位件2上沿第一方向设置有多个第一定位台阶21，第二定位件3上沿第一方向设置有多个第二定位台阶31，多个第一定位台阶21和多个第二定位台阶31沿第二方向一一对应设置，第一方向平行于第一端101和第二端102的连线方向，且第一方向垂直于第二方向，一一对应的第一定位台阶21和第二定位台阶31之间的间距自第一定位件2靠近第三定位件5的一端向远离第三定位件5的一端依次增大。第三定位件5上沿第一方向设置有多个第三定位台阶51，第四定位件6上沿第一方向设置有多个第四定位台阶61，多个第三定位台阶51和多个第四定位台阶61沿第二方向一一对应设置，一一对应的第三定位台阶51和第四定位台阶61之间的间距自第三定位件5靠近第一定位件2的一端向远离第一定位件2的一端依次增大。

在本实施例中，多个第一定位台阶21和多个第二定位台阶31的设置以适应不同宽度和不同定位深度的第一定位槽。多个第三定位台阶51和多个第四定位台阶61的设置以适应不同宽度和不同定位深度的第二定位槽。这样，即使不调节第一定位件2和第二定位件3之间的间距或第三定位件5与第四定位件6之间的间距也能实现一些不同规格的晶圆料架100的定位。

作为晶圆料架的放置平台的一个可选方案，驱动组件包括电机、正反螺纹调节杆42、第一螺母和第二螺母，电机与正反螺纹调节杆42连接，第一螺母与正反螺纹调节杆42的正螺纹传动连接，第一螺母与第一定位件2连接；第二螺母与正反螺纹调节杆42的反螺纹传动连接，第二螺母与第二定位件3连接，电机驱动正反螺纹调节杆42转动，第一螺母带动第一定位件2作直线运动，同时第二螺母带动第二定位件3作直线运动。

当电机转动时，驱动正反螺纹调节杆42转动，正反螺纹调节杆42转动，驱动第一螺母和第二螺母同时在导杆41上向相反的方向直线运动，从而带动第一定位件2和第二定位件3向相反的方向运动，而且当第一定位件2和第二定位件3在初始状态时，相对底座1的中线对称设置，通过对中调节机构4调节第一定位件2和第二定位件3之间的间距时，二者的移动距离相同，调节后，第一定位件2和第二定位件3仍然相对底座1的中线对称设置，能够避免搬送装置取放晶圆时出现偏差，无法正常搬送。

当第三定位件5和第四定位件6之间的间距也通过对中调节机构4进行调节时，对中调节机构4驱动第三定位件5和第四定位件6移动的工作原理和驱动第一定位件2和第二定位件3移动的工作原理相同，在此不再赘述。

当然，在其他实施例中，驱动组件也可以设置两个电动推杆或设置两个液压油缸。通过控制两个电动推杆同时动作，且两个电动推杆的伸缩距离相同，也能调节第一定位件2和第二定位件3之间的间距，而且调节后也能使晶圆料架100对中放置。或，控制两个液压油缸同时动作，且两个活塞杆的伸缩距离相同。

作为晶圆料架的放置平台的一个可选方案，对中调节机构4还包括第一滑块和第二滑块，第一滑块和第二滑块均滑设于导杆41上，第一螺母通过第一滑块与第一定位件2连接，第二螺母通过第二滑块与第二定位件3连接。

第一滑块的底部与第一螺母连接，中间设置有第一贯穿孔，导杆41穿过第一贯穿孔，使得第一滑块能在导杆41上滑动。第一滑块的顶部固定有第一定位件2，第一滑块带动第一定位件2在导杆41上滑动。同理，第二滑块的底部与第二螺母连接，中间设置有第二贯穿孔，导杆41穿过第二贯穿孔，使得第二滑块能在导杆41上滑动。第二滑块的顶部固定有第二定位件3，第二滑块带动第二定位件3在导杆41上滑动。

作为晶圆料架的放置平台的一个可选方案，导杆41设置有两个，两个导杆41平行间隔设置；第一定位件2和第二定位件3均与两个导杆41连接，驱动组件设置于两个导杆41之间。通过设置两个导杆41，驱动组件设置于两个导杆41之间，使得驱动组件调节第一定位件2和第二定位件3之间的间距时驱动更加稳定，避免第一定位件2和第二定位件3受力不均衡导致定位不准确。

作为晶圆料架的放置平台的一个可选方案，底座1上设置有容纳槽11，容纳槽11的两端均设置有贯穿底座1的通孔，导杆41自容纳槽11一端的通孔穿过容纳槽11延伸至容纳槽11另一端的通孔，导杆41通过第一紧固件7固定于底座1。

第一紧固件7为紧固螺钉或定位销，当第一紧固件7为紧固螺栓时，在导杆41的两端均设置与导杆41同轴的螺纹孔，紧固螺钉与螺纹孔螺接，紧固螺钉的螺帽与底座1抵接。当第一紧固件7为定位销时，在导杆41的两端均设置轴线与导杆41的轴线垂直的定位孔，定位销插入定位孔，以限制导杆41沿其轴线方向的移动。

由于第一定位件2和第二定位件3均用于定位晶圆料架100，需具有一定的支撑强度，将导杆41设置于容纳槽11内，第一定位件2连接于第一滑块的顶部后，第一定位件2的底面依然支撑于底座1上，同理，通过将导杆41设置于底座1的容纳槽11内，使得第二定位件3与第二滑块的顶部连接后，第二定位件3的底面依然支撑于底座1上。这样的设置，能够避免将第一定位件2和第二定位件3悬空设置造成的晶圆料架100的重量完全靠导杆41支撑，降低导杆41的强度要求，安全性较高。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种晶圆料架的放置平台，其特征在于，包括：

底座(1)；

第一定位件(2)和第二定位件(3)，所述第一定位件(2)和所述第二定位件(3)相对设置于所述底座(1)上，晶圆料架(100)通过所述第一定位件(2)和所述第二定位件(3)共同定位；

对中调节机构(4)，包括导杆(41)和驱动组件，所述导杆(41)固定于所述底座(1)上，所述第一定位件(2)和所述第二定位件(3)均与所述导杆(41)连接，所述驱动组件同时驱动所述第一定位件(2)和所述第二定位件(3)在所述导杆(41)上向相反的方向移动，以调节所述第一定位件(2)和所述第二定位件(3)之间的间距。

2.根据权利要求1所述的晶圆料架的放置平台，其特征在于，所述驱动组件包括电机、正反螺纹调节杆(42)、第一螺母和第二螺母，所述电机与所述正反螺纹调节杆(42)连接，所述第一螺母与所述正反螺纹调节杆(42)的正螺纹传动连接，所述第一螺母与所述第一定位件(2)连接；所述第二螺母与所述正反螺纹调节杆(42)的反螺纹传动连接，所述第二螺母与所述第二定位件(3)连接，所述电机驱动所述正反螺纹调节杆(42)转动，所述第一螺母带动所述第一定位件(2)作直线运动，同时所述第二螺母带动所述第二定位件(3)作直线运动。

3.根据权利要求2所述的晶圆料架的放置平台，其特征在于，所述对中调节机构(4)还包括第一滑块和第二滑块，所述第一滑块和所述第二滑块均滑设于所述导杆(41)上，所述第一螺母通过所述第一滑块与所述第一定位件(2)连接，所述第二螺母通过所述第二滑块与所述第二定位件(3)连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆料架的放置平台，其特征在于，所述导杆(41)设置有两个，两个所述导杆(41)平行间隔设置；所述第一定位件(2)和所述第二定位件(3)均与两个所述导杆(41)连接，所述驱动组件设置于两个所述导杆(41)之间。

5.根据权利要求4所述的晶圆料架的放置平台，其特征在于，所述底座(1)上设置有容纳槽(11)，所述容纳槽(11)的两端均设置有贯穿所述底座(1)的通孔，所述导杆(41)自所述容纳槽(11)一端的所述通孔穿过所述容纳槽(11)延伸至所述容纳槽(11)另一端的所述通孔，所述导杆(41)通过第一紧固件(7)固定于所述底座(1)。

6.根据权利要求1所述的晶圆料架的放置平台，其特征在于，所述放置平台上还设置有第三定位件(5)和第四定位件(6)，所述晶圆料架(100)包括第一端(101)和第二端(102)，所述第一定位件(2)和所述第二定位件(3)共同作用定位所述第一端(101)，所述第三定位件(5)和所述第四定位件(6)共同作用定位所述第二端(102)。

7.根据权利要求6所述的晶圆料架的放置平台，其特征在于，所述第一定位件(2)远离所述第二定位件(3)的一侧设置有第一定位台阶(21)，所述第二定位件(3)远离所述第一定位件(2)的一侧设置有第二定位台阶(31)，通过所述第一定位台阶(21)和所述第二定位台阶(31)共同定位所述第一端(101)；

所述第三定位件(5)远离所述第四定位件(6)的一侧设置有第三定位台阶(51)，所述第四定位件(6)远离所述第三定位件(5)的一侧设置有第四定位台阶(61)，通过所述第三定位台阶(51)和所述第四定位台阶(61)共同定位所述第二端(102)。

8.根据权利要求7所述的晶圆料架的放置平台，其特征在于，所述第一定位件(2)上沿第一方向设置有多个所述第一定位台阶(21)，所述第二定位件(3)上沿所述第一方向设置有多个所述第二定位台阶(31)，多个所述第一定位台阶(21)和多个所述第二定位台阶(31)沿第二方向一一对应设置，所述第一方向平行于所述第一端(101)和所述第二端(102)的连线方向，且所述第一方向垂直于所述第二方向，一一对应的所述第一定位台阶(21)和所述第二定位台阶(31)之间的间距自所述第一定位件(2)靠近所述第三定位件(5)的一端向远离所述第三定位件(5)的一端依次增大；

所述第三定位件(5)上沿所述第一方向设置有多个所述第三定位台阶(51)，所述第四定位件(6)上沿所述第一方向设置有多个所述第四定位台阶(61)，多个所述第三定位台阶(51)和多个所述第四定位台阶(61)沿所述第二方向一一对应设置，一一对应的所述第三定位台阶(51)和所述第四定位台阶(61)之间的间距自所述第三定位件(5)靠近所述第一定位件(2)的一端向远离所述第一定位件(2)的一端依次增大。

9.根据权利要求6所述的晶圆料架的放置平台，其特征在于，所述第三定位件(5)和所述第四定位件(6)之间的间距可调。

10.根据权利要求6所述的晶圆料架的放置平台，其特征在于，所述第三定位件(5)和所述第四定位件(6)均通过第二紧固件(8)固定于所述底座(1)。

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