CN217691073U - 一种可调节的晶圆清洗固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种可调节的晶圆清洗固定装置，包括稳定支座，收集盒，操作定位杆架结构，活动座，转动轴，安装盒，步进电机，移动螺杆，活动调节夹紧座结构，第一齿轮，旋转电机，减速器，固定轴，第二齿轮和防滑脚，所述的稳定支座上端的中间部位螺栓安装有收集盒；所述的操作定位杆架结构均支撑在稳定支座上端的左右两侧，并且在操作定位杆架结构外侧支撑有活动座；所述的转动轴一端焊接有安装盒，另一端通过轴承镶嵌有活动座。本实用新型操作定位杆架结构的设置，便于配合组装板右侧的弧形板支撑并实现角度的调节，进而配合不同规格的晶圆夹紧。

Description

一种可调节的晶圆清洗固定装置

技术领域

本实用新型属于晶圆清洗技术领域，尤其涉及一种可调节的晶圆清洗固定装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，现有的晶圆在进行清洗加工的过程中，需要通过固定装置进行固定，从而更加方便的进行清洗等工作。

但是，现有的晶圆清洗固定装置还存在着不便于对该装置的弧度进行调节和不便于精准的实现高度调节的问题。

因此，发明一种可调节的晶圆清洗固定装置显得非常必要。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种可调节的晶圆清洗固定装置，以解决现有的晶圆清洗固定装置不便于对该装置的弧度进行调节和不便于精准的实现高度调节的问题。一种可调节的晶圆清洗固定装置，包括稳定支座，收集盒，操作定位杆架结构，活动座，转动轴，安装盒，步进电机，移动螺杆，活动调节夹紧座结构，第一齿轮，旋转电机，减速器，固定轴，第二齿轮和防滑脚，所述的稳定支座上端的中间部位螺栓安装有收集盒；所述的操作定位杆架结构均支撑在稳定支座上端的左右两侧，并且在操作定位杆架结构外侧支撑有活动座；所述的转动轴一端焊接有安装盒，另一端通过轴承镶嵌有活动座；所述的步进电机螺栓安装在安装盒的外壁外侧；所述的移动螺杆通过轴承安装在安装盒内部的前后两侧，同时移动螺杆的一端穿过安装盒镶嵌在步进电机的输出轴上；所述的活动调节夹紧座结构安装在安装盒的内侧；所述的第一齿轮镶嵌在转动轴的外壁上；所述的减速器螺栓安装在活动座的内侧，并且减速器一端与旋转电机螺栓连接，另一端镶嵌有固定轴；所述的第二齿轮镶嵌在固定轴的外壁上；所述的防滑脚均胶接在稳定支座下端的四周；所述的活动调节夹紧座结构包括活动基座，压紧侧板，延伸螺杆，夹紧螺母，操作杆，组装板和活动调控弧板结构，所述的活动基座右端的上下两部均焊接有延伸螺杆；所述的压紧侧板套接在延伸螺杆的外侧；所述的夹紧螺母螺纹连接在延伸螺杆的外壁上，并且均在夹紧螺母的前后两端焊接有操作杆；所述的组装板左端的上下两部均焊接有压紧侧板；所述的活动调控弧板结构安装在组装板的右侧。

优选的，所述的活动调控弧板结构包括弧形板，弧形边，拧动头，操作螺杆，夹紧条和保护垫，所述的弧形板前端的上下两部均焊接有弧形边；所述的弧形边内部螺纹连接有操作螺杆；所述的操作螺杆一端螺栓安装有拧动头，另一端活动镶嵌有夹紧条；所述的保护垫镶嵌在夹紧条内部的内侧。

优选的，所述的操作定位杆架结构包括安装轴承，螺纹竖柱，工作头，稳定板，测量杆和刻度线，所述的安装轴承内部镶嵌有螺纹竖柱；所述的工作头螺栓安装在螺纹竖柱的上端，同时在工作头外壁下部活动套接有稳定板；所述的测量杆螺栓安装在稳定板下端的前部，同时在测量杆的前表面刻画有刻度线。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1.本实用新型中，所述的活动基座的设置，稳定被移动螺杆带动移动。

2.本实用新型中，所述的压紧侧板和延伸螺杆的设置，便于配合组装板右侧的弧形板支撑并实现角度的调节，进而配合不同规格的晶圆夹紧。

3.本实用新型中，所述的夹紧螺母和操作杆的设置，对所活动的压紧侧板压紧固定。

4.本实用新型中，所述的弧形板和弧形边的设置，配合其它结构进行活动支撑使用。

5.本实用新型中，所述的拧动头、操作螺杆和夹紧条的设置，对晶圆夹紧，进而增加了紧固的效果。

6.本实用新型中，所述的安装轴承和螺纹竖柱的设置，便于配合活动座升降活动。

7.本实用新型中，所述的工作头和稳定板的设置，便于稳定的操作使用。

8.本实用新型中，所述的测量杆和刻度线的设置，精准的配合活动座升降调节使用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的活动调节夹紧座结构的结构示意图。

图3是本实用新型的活动调控弧板结构的结构示意图。

图4是本实用新型的操作定位杆架结构的结构示意图。

图中：

1、稳定支座；2、收集盒；3、操作定位杆架结构；31、安装轴承；32、螺纹竖柱；33、工作头；34、稳定板；35、测量杆；36、刻度线；4、活动座；5、转动轴；6、安装盒；7、步进电机；8、移动螺杆；9、活动调节夹紧座结构；91、活动基座；92、压紧侧板； 93、延伸螺杆；94、夹紧螺母；95、操作杆；96、组装板；97、活动调控弧板结构；971、弧形板；972、弧形边；973、拧动头；974、操作螺杆；975、夹紧条；976、保护垫；10、第一齿轮；11、旋转电机；12、减速器；13、固定轴；14、第二齿轮；15、防滑脚。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步描述：

实施例：

如附图1所示，一种可调节的晶圆清洗固定装置，包括稳定支座 1，收集盒2，操作定位杆架结构3，活动座4，转动轴5，安装盒6，步进电机7，移动螺杆8，活动调节夹紧座结构9，第一齿轮10，旋转电机11，减速器12，固定轴13，第二齿轮14和防滑脚15，所述的稳定支座1上端的中间部位螺栓安装有收集盒2；所述的操作定位杆架结构3均支撑在稳定支座1上端的左右两侧，并且在操作定位杆架结构3外侧支撑有活动座4；所述的转动轴5一端焊接有安装盒6，另一端通过轴承镶嵌有活动座4；所述的步进电机7螺栓安装在安装盒6的外壁外侧；所述的移动螺杆8通过轴承安装在安装盒6内部的前后两侧，同时移动螺杆8的一端穿过安装盒6镶嵌在步进电机7的输出轴上；所述的活动调节夹紧座结构9安装在安装盒6的内侧；所述的第一齿轮10镶嵌在转动轴5的外壁上；所述的减速器12螺栓安装在活动座4的内侧，并且减速器12一端与旋转电机11螺栓连接，另一端镶嵌有固定轴13；所述的第二齿轮14镶嵌在固定轴13的外壁上；所述的防滑脚15均胶接在稳定支座1下端的四周。

如附图2所示，上述实施例中，具体的，所述的活动调节夹紧座结构9包括活动基座91，压紧侧板92，延伸螺杆93，夹紧螺母94，操作杆95，组装板96和活动调控弧板结构97，所述的活动基座91 右端的上下两部均焊接有延伸螺杆93；活动弧形板971配合组装板 96左侧的压紧侧板92在活动基座91上活动；所述的压紧侧板92套接在延伸螺杆93的外侧；所述的夹紧螺母94螺纹连接在延伸螺杆 93的外壁上，并且均在夹紧螺母94的前后两端焊接有操作杆95；操作操作杆95使夹紧螺母94在延伸螺杆93上活动并夹紧压紧侧板92 和活动基座91的连接处固定；所述的组装板96左端的上下两部均焊接有压紧侧板92；所述的活动调控弧板结构97安装在组装板96的右侧。

如附图3所示，上述实施例中，具体的，所述的活动调控弧板结构97包括弧形板971，弧形边972，拧动头973，操作螺杆974，夹紧条975和保护垫976，所述的弧形板971前端的上下两部均焊接有弧形边972；将晶圆置放到弧形板971之间，之后驱动步进电机7带动移动螺杆8旋转从而带动活动基座91以及弧形板971稳定的在安装盒6内活动实现晶圆的初步夹紧；所述的弧形边972内部螺纹连接有操作螺杆974；操作拧动头973配合操作螺杆974旋转再次使保护垫976和夹紧条975对晶圆固定；所述的操作螺杆974一端螺栓安装有拧动头973，另一端活动镶嵌有夹紧条975；所述的保护垫976镶嵌在夹紧条975内部的内侧；旋转电机11配合减速器12使固定轴 13以及第二齿轮14转动，所转动的第二齿轮14配合第一齿轮10带动转动轴5、安装盒6、弧形板971以及晶圆整体的翻转进行使用。

如附图4所示，上述实施例中，具体的，所述的操作定位杆架结构3包括安装轴承31，螺纹竖柱32，工作头33，稳定板34，测量杆 35和刻度线36，所述的安装轴承31内部镶嵌有螺纹竖柱32；转动工作头33带动螺纹竖柱32旋转从而使活动座4根据测量杆35表面的刻度线36进行精准的升降调节；所述的工作头33螺栓安装在螺纹竖柱32的上端，同时在工作头33外壁下部活动套接有稳定板34；所述的测量杆35螺栓安装在稳定板34下端的前部，同时在测量杆 35的前表面刻画有刻度线36。

上述实施例中，具体的，所述的活动基座91插入在安装盒6的内部，同时在活动基座91的内部螺纹连接有移动螺杆8。

上述实施例中，具体的，所述的压紧侧板92活动支撑在活动基座91外壁的延伸螺杆93上，同时延伸螺杆93外壁上的夹紧螺母94 顶住压紧侧板92。

上述实施例中，具体的，所述的弧形板971左端通过组装板96 进行支撑，同时弧形板971内侧对弧形边972支撑。

上述实施例中，具体的，所述的夹紧条975内侧的保护垫976采用橡胶垫，同时夹紧条975设置在弧形边972的内侧。

上述实施例中，具体的，所述的安装轴承31均镶嵌在稳定支座 1内部左右两侧的中间部位，所述的安装轴承31内部的螺纹竖柱32 与活动座4内部的后侧螺纹连接。

上述实施例中，具体的，所述的测量杆35穿过活动座4内部的前侧，同时测量杆35与稳定支座1螺栓连接，所述的测量杆35前端刻度线36的单位设置为厘米。

上述实施例中，具体的，所述的步进电机7采用型号为 110BYGHB型电机，所述的旋转电机11采用型号为 130ST-M10015LFB型电机。

工作原理

本实用新型中，在使用时转动工作头33带动螺纹竖柱32旋转从而使活动座4根据测量杆35表面的刻度线36进行精准的升降调节，初步调节好之后将晶圆置放到弧形板971之间，之后驱动步进电机7 带动移动螺杆8旋转从而带动活动基座91以及弧形板971稳定的在安装盒6内活动实现晶圆的初步夹紧，再之后操作拧动头973配合操作螺杆974旋转再次使保护垫976和夹紧条975对晶圆固定，固定好之后即可进行清洗干燥等工作，在工作的过程中旋转电机11配合减速器12使固定轴13以及第二齿轮14转动，所转动的第二齿轮14配合第一齿轮10带动转动轴5、安装盒6、弧形板971以及晶圆整体的翻转进行使用，在使用过程中需要调节弧形板971的弧度配合不同规格晶圆时，活动弧形板971配合组装板96左侧的压紧侧板92在活动基座91上活动，之后操作操作杆95使夹紧螺母94在延伸螺杆93上活动并夹紧压紧侧板92和活动基座91的连接处固定，这样即可完成调节弧度使用。

利用本实用新型所述的技术方案，或本领域的技术人员在本实用新型技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种可调节的晶圆清洗固定装置，其特征在于，该可调节的晶圆清洗固定装置，包括稳定支座(1)，收集盒(2)，操作定位杆架结构(3)，活动座(4)，转动轴(5)，安装盒(6)，步进电机(7)，移动螺杆(8)，活动调节夹紧座结构(9)，第一齿轮(10)，旋转电机(11)，减速器(12)，固定轴(13)，第二齿轮(14)和防滑脚(15)，所述的稳定支座(1)上端的中间部位螺栓安装有收集盒(2)；所述的操作定位杆架结构(3)均支撑在稳定支座(1)上端的左右两侧，并且在操作定位杆架结构(3)外侧支撑有活动座(4)；所述的转动轴(5)一端焊接有安装盒(6)，另一端通过轴承镶嵌有活动座(4)；所述的步进电机(7)螺栓安装在安装盒(6)的外壁外侧；所述的移动螺杆(8)通过轴承安装在安装盒(6)内部的前后两侧，同时移动螺杆(8)的一端穿过安装盒(6)镶嵌在步进电机(7)的输出轴上；所述的活动调节夹紧座结构(9)安装在安装盒(6)的内侧；所述的第一齿轮(10)镶嵌在转动轴(5)的外壁上；所述的减速器(12)螺栓安装在活动座(4)的内侧，并且减速器(12)一端与旋转电机(11)螺栓连接，另一端镶嵌有固定轴(13)；所述的第二齿轮(14)镶嵌在固定轴(13)的外壁上；所述的防滑脚(15)均胶接在稳定支座(1)下端的四周；所述的活动调节夹紧座结构(9)包括活动基座(91)，压紧侧板(92)，延伸螺杆(93)，夹紧螺母(94)，操作杆(95)，组装板(96)和活动调控弧板结构(97)，所述的活动基座(91)右端的上下两部均焊接有延伸螺杆(93)；所述的压紧侧板(92)套接在延伸螺杆(93)的外侧；所述的夹紧螺母(94)螺纹连接在延伸螺杆(93)的外壁上，并且均在夹紧螺母(94)的前后两端焊接有操作杆(95)；所述的组装板(96)左端的上下两部均焊接有压紧侧板(92)；所述的活动调控弧板结构(97)安装在组装板(96)的右侧。

2.如权利要求1所述的可调节的晶圆清洗固定装置，其特征在于，所述的活动调控弧板结构(97)包括弧形板(971)，弧形边(972)，拧动头(973)，操作螺杆(974)，夹紧条(975)和保护垫(976)，所述的弧形板(971)前端的上下两部均焊接有弧形边(972)；所述的弧形边(972)内部螺纹连接有操作螺杆(974)；所述的操作螺杆(974)一端螺栓安装有拧动头(973)，另一端活动镶嵌有夹紧条(975)；所述的保护垫(976)镶嵌在夹紧条(975)内部的内侧。

3.如权利要求1所述的可调节的晶圆清洗固定装置，其特征在于，所述的操作定位杆架结构(3)包括安装轴承(31)，螺纹竖柱(32)，工作头(33)，稳定板(34)，测量杆(35)和刻度线(36)，所述的安装轴承(31)内部镶嵌有螺纹竖柱(32)；所述的工作头(33)螺栓安装在螺纹竖柱(32)的上端，同时在工作头(33)外壁下部活动套接有稳定板(34)；所述的测量杆(35)螺栓安装在稳定板(34)下端的前部，同时在测量杆(35)的前表面刻画有刻度线(36)。

4.如权利要求1所述的可调节的晶圆清洗固定装置，其特征在于，所述的压紧侧板(92)活动支撑在活动基座(91)外壁的延伸螺杆(93)上，同时延伸螺杆(93)外壁上的夹紧螺母(94)顶住压紧侧板(92)。

5.如权利要求2所述的可调节的晶圆清洗固定装置，其特征在于，所述的弧形板(971)左端通过组装板(96)进行支撑，同时弧形板(971)内侧对弧形边(972)支撑。

6.如权利要求3所述的可调节的晶圆清洗固定装置，其特征在于，所述的安装轴承(31)均镶嵌在稳定支座(1)内部左右两侧的中间部位，所述的安装轴承(31)内部的螺纹竖柱(32)与活动座(4)内部的后侧螺纹连接。

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