CN217677775U - 一种cvd炉内部承重旋转平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种CVD炉内部承重旋转平台，涉及高温热场承重旋转平台技术领域。CVD炉内部承重旋转平台，包括伺服电机、主动轴、保温硬毡、马氟箱、从动轴和承重转盘；所述伺服电机与主动轴连接；所述主动轴与保温硬毡嵌套连接；所述主动轴一端与伺服电机连接，另一端与保温硬毡嵌套连接；所述主动轴与从动轴镶嵌设置于与保温硬毡嵌套连接的一端；所述从动轴一端与主动轴镶嵌设置，另一端与马氟箱嵌套连接；所述保温硬毡与马氟箱之间有间隔，为加热器空间；所述从动轴的另一端伸出马氟箱，与承重转盘连接。本实用新型的承重旋转平台，在高温热场中提供一种承重、旋转的装置，同时能够延长设备使用寿命，降低成本和损耗。

Description

一种CVD炉内部承重旋转平台

技术领域

本实用新型涉及高温热场承重旋转平台技术领域，尤其涉及一种CVD炉内部承重旋转平台。

背景技术

在CVD炉内部一般处于高温热场的状态下，常见的承重旋转平台，显然难以适应高温热场的要求；同时，由于旋转平台的旋转功能需要外部电源供能，会导致外部电源温度过高，而剪短设备使用寿命。

因此，为了解决上述技术问题，针对CVD炉内高温热场环境，急需研究一种CVD炉内部承重旋转平台，能够适应CVD炉内部的高温热场环境，起到承重、旋转作用，能够延长设备使用寿命，降低成本和损耗。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种CVD炉内部承重旋转平台，充分考虑低温至高温热场过渡过程中的设备的材质过度，以便更好的让设备适应温度的变化，适应CVD炉内部的高温热场环境，同时延长设备的使用寿命，降低成本和损耗。

同时，本实用新型的CVD炉内部承重旋转平台通过滚珠的设置减少了转动带来的阻力、提高了平台的承重能力和稳定性，为产品提供稳定可靠的旋转平台。具体的：

一种CVD炉内部承重旋转平台，包括伺服电机、主动轴、保温硬毡、马氟箱、从动轴和承重转盘；所述伺服电机与主动轴连接；所述主动轴与保温硬毡嵌套连接；所述主动轴一端与伺服电机连接，另一端与保温硬毡嵌套连接；所述主动轴与从动轴镶嵌设置于与保温硬毡嵌套连接的一端；所述从动轴一端与主动轴镶嵌设置，另一端与马氟箱嵌套连接；所述保温硬毡与马氟箱之间有间隔，为加热器空间；所述从动轴的另一端伸出马氟箱，与承重转盘连接。

优选的，所述加热器空间与从动轴接触，用于放置加热器。

优选的，还包括外壳，外壳与主动轴密封连接。

优选的，所述保温硬毡设置于外壳上方。

优选的，所述外壳为双层结构，内层为循环冷却水层。

优选的，还包括承重定盘，承重定盘设置于承重转盘和马氟箱之间；承重定盘与从动轴嵌套连接。

优选的，所述从动轴与承重定盘间的嵌套连接为固定连接。

优选的，所述承重定盘与承重转盘之间有交叉设置的滚珠。

优选的，所述伺服电机与主动轴之间通过法兰连接，驱动主动轴运动。

优选的，所述承重转盘与从动轴销接，所述承重转盘可转动。

有益效果：

(1)本实用新型的CVD炉内部承重旋转平台中，伺服电机驱动主动轴转动，主动轴带动从动轴转动，进一步带动承重转盘转动，转动过程使得承重转盘上的产品随之转动，能够在高温热场里提供一个承重、转动的装置。

(2)本实用新型的CVD炉内部承重旋转平台，在承重转盘上放置产品，产品重量通过滚珠转嫁到承重定盘上，可为产品提供稳定的承重平台。同时，滚珠可优选为高强石墨，有自润滑特性；通过滚珠的设置，可防止承重转盘和承重定盘直接接触，减少两者接触导致的磨损，延长设备的使用寿命。

(3)本实用新型的CVD炉内部承重旋转平台中，外壳内部设置有循环冷却水，能够给外壳和主动轴降温；主动轴与外壳可采用常用的钢材材质，可降低成本；同时，与主动轴相连的法兰，以及通过法兰与主动轴相连的伺服电机的运行温度也较低，能够延长设备的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型CVD炉内部承重旋转平台的部分剖视图。

图2为本实用新型CVD炉内部承重旋转平台的正视图。

图3为本实用新型CVD炉内部承重旋转平台的侧视图。

图4为本实用新型CVD炉内部承重旋转平台的示意图。

图中标识说明：

1-承重转盘；2-承重定盘；3-滚珠；4-从动轴；5-主动轴；6-伺服电机；7-保温硬毡；8-马氟箱；9-加热器空间；10-外壳；11-法兰。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”和“包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。

还应当理解，在此本实用新型说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本实用新型。如在本实用新型说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。

还应当进一步理解，在本实用新型说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平、竖直或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-4，CVD炉内部承重旋转平台包括承重转盘1、承重定盘2、滚珠3、从动轴4、主动轴5、伺服电机6、保温硬毡7、马氟箱8、加热器空间9、外壳10和法兰11。

外壳10为双层结构，内层设置有循环冷却水，为循环冷却水层。保温硬毡7设置于外壳10上方，马氟箱8设置于保温硬毡7上方；马氟箱8与保温硬毡7之间有间隔，为加热器空间9；加热器空间9用于放置加热器，所述加热器能够加热至最高温度1450℃。因此，马氟箱8为耐高温、耐腐蚀材料，优选的，马氟箱8的材质可选为等静压石墨；保温硬毡7则优选保温效果好的材料，可选为石墨硬毡。

马氟箱8上方设置有承重定盘2；承重定盘2与马氟箱8接触，为耐高温、耐腐蚀材料，又由于承重的需要，具有高强度的特性，可优选的为高强石墨。

承重转盘1设置于承重定盘2上方；承重转盘1上可放置产品，用于承重以及转动。为适应高温热场环境以及承重的要求，承重转盘1为耐高温、耐腐蚀和高强度的材料，优选的，可为高强石墨。

承重转盘1与承重定盘2之间有交叉设置的若干对滚珠3。承重转盘1承重时，其承重的重量可通过滚珠3转嫁到承重定盘2上，用于保证CVD炉内部承重旋转平台的承重能力与稳定性。为了能够减轻承重转盘1与承重定盘2之间的摩擦损耗，延长设备使用寿命，滚珠3有自润滑特性。因此，为了适应高温热场的环境以及承重要求，滚珠3的材质优选为耐高温，高强度且有自润滑特性的材料，可优选为高强石墨。滚珠3可选为4对，每对滚珠连接线相交于同一点，且相隔45度；滚珠3还可选为6对，每对滚珠连接线相交于同一点，且相隔30度。多对滚珠3的设置，能够极大减轻承重转盘1与承重定盘2之间的摩擦损耗。

伺服电机6与主动轴5通过法兰11连接，伺服电机6驱动主动轴5运动。

主动轴5一端与伺服电机6连接，另一端贯穿外壳10的中心，与保温硬毡7的中心嵌套连接。具体的，主动轴5与外壳10的中心密封连接，防止热量流出，升高法兰11温度，提高伺服电机6的运行温度。

外壳10内层为循环冷却水层，用于主动轴5的降温冷却。因此，在CVD炉内部承重旋转平台工作时，外壳10、主动轴5和法兰11的温度均不高；即外壳10、主动轴5和法兰11均可选择钢材等普通材质，降低成本。

从动轴4与主动轴5镶嵌设置于主动轴与保温硬毡7嵌套连接的一端。从动轴4另一端贯穿马氟箱8中心、承重定盘2中心，与承重转盘1中心连接。承重定盘2设置于马氟箱8和承重转盘1之间。

马氟箱8与保温硬毡7之间的加热器空间9，与贯穿马氟箱8的从动轴4接触，用于放置加热器，使马氟箱8和从动轴4升温；而保温硬毡7则是用于维持加热器空间9的温度，维持CVD炉内部热场的稳定。承重转盘1与从动轴4销接，具体的，可为六角螺母的销接。承重转盘1为可转动结构；具体的，伺服电机6通过法兰11带动主动轴5转动，主动轴5带动镶嵌设置的从动轴4转动，进而带动承重转盘1转动。

与此同时，为了保持CVD炉内部承重旋转平台的稳定性，从动轴4与承重定盘2的中心为固定连接，即从动轴4转动时，承重定盘2固定不动。而承重定盘2上的滚珠3能够将承重转盘1上的重量转嫁到承重定盘2上；又由于滚珠3的设置，能够减轻承重转盘1与承重定盘2之间的摩擦损耗，延长设备使用寿命。

本实用新型的CVD炉内部承重旋转平台，主要应用于CVD炉内部运行过程中的转动过程。

在CVD炉运行时，CVD炉内部处于高温热场环境。产品经传送放置于承重转盘1上，承重转盘1通过滚珠3将重量转嫁到承重定盘2上。同时，伺服电机6运行，通过法兰11驱动主动轴5转动，与主动轴5镶嵌设置的从动轴4也随之转动；接着与从动轴4销接的承重转盘1转动，使得承重转盘1上放置的产品转动。

同时，外壳10内部的循环冷却水开始循环流动，将热量带走；因此，外壳10以及与外壳10嵌套连接的主动轴5温度下降。因此，外壳10和主动轴5的材料选择要求不高，可选为钢材；同时，与主动轴5连接的法兰11，以及通过法兰11连接的伺服电机6的运行温度也不高，材质要求不高，可优选为常用的材质，降低设备成本。

顺带的，CVD炉运行过程中，马氟箱8与保温硬毡7之间的加热器空间9，放置有加热器，加热器加热，与CVD炉内部高温热场一致，有利于CVD炉的整体应用。

具体的，加热器空间9热场温度可达1450℃，马氟箱8内部热场温度可达1400℃；同时外壳10温度为200℃左右，外壳10内循环冷却水带走热量，使主动轴5降温，实现从动轴4与主动轴5的材质过度，降低设备成本。

本实用新型的CVD炉内部承重旋转平台中，伺服电机驱动主动轴转动，主动轴带动从动轴转动，进一步带动承重转盘转动，转动过程使得承重转盘上的产品随之转动，能够在高温热场里提供一个承重、转动的装置。

本实用新型的CVD炉内部承重旋转平台，在承重转盘上放置产品，产品重量通过滚珠转嫁到承重定盘上，可为产品提供稳定的承重平台。同时，滚珠可优选为高强石墨，有自润滑特性；通过滚珠的设置，可防止承重转盘和承重定盘直接接触，减少两者接触导致的磨损，延长设备的使用寿命。

本实用新型的CVD炉内部承重旋转平台中，外壳内部设置有循环冷却水，能够给外壳和主动轴降温；主动轴与外壳可采用常用的钢材材质，可降低成本；同时，与主动轴相连的法兰，以及通过法兰与主动轴相连的伺服电机的运行温度也较低，能够延长设备的使用寿命。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种CVD炉内部承重旋转平台，其特征在于，包括伺服电机、主动轴、保温硬毡、马氟箱、从动轴和承重转盘；所述伺服电机与主动轴连接；所述主动轴与保温硬毡嵌套连接；所述主动轴一端与伺服电机连接，另一端与保温硬毡嵌套连接；所述主动轴与从动轴镶嵌设置于与保温硬毡嵌套连接的一端；所述从动轴一端与主动轴镶嵌设置，另一端与马氟箱嵌套连接；所述保温硬毡与马氟箱之间有间隔，为加热器空间；所述从动轴的另一端伸出马氟箱，与承重转盘连接。

2.根据权利要求1所述的CVD炉内部承重旋转平台，其特征在于，所述加热器空间与从动轴接触，用于放置加热器。

3.根据权利要求2所述的CVD炉内部承重旋转平台，其特征在于，还包括外壳，外壳与主动轴密封连接。

4.根据权利要求3所述的CVD炉内部承重旋转平台，其特征在于，所述保温硬毡设置于外壳上方。

5.根据权利要求4所述的CVD炉内部承重旋转平台，其特征在于，所述外壳为双层结构，内层为循环冷却水层。

6.根据权利要求5所述的CVD炉内部承重旋转平台，其特征在于，还包括承重定盘，承重定盘设置于承重转盘和马氟箱之间；承重定盘与从动轴嵌套连接。

7.根据权利要求6所述的CVD炉内部承重旋转平台，其特征在于，所述从动轴与承重定盘间的嵌套连接为固定连接。

8.根据权利要求7所述的CVD炉内部承重旋转平台，其特征在于，所述承重定盘与承重转盘之间有交叉设置的滚珠。

9.根据权利要求8所述的CVD炉内部承重旋转平台，其特征在于，所述伺服电机与主动轴之间通过法兰连接，驱动主动轴运动。

10.根据权利要求9所述的CVD炉内部承重旋转平台，其特征在于，所述承重转盘与从动轴销接，所述承重转盘可转动。

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