CN217620606U - 一种夹持式半导体机械手末端执行装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种夹持式半导体机械手末端执行装置，其技术方案要点是：包括安装支架，所述安装支架用于固定安装所述机械手末端执行装置；导向支撑架，所述导向支撑架用于安装驱动所述安装支架运动的驱动组件；上夹持机构，所述上夹持机构的个数为多个，所述上夹持机构可以用于夹持各种半导体零部件；下夹持机构，所述下夹持机构的个数为多个，所述下夹持机构主要用于夹持半导体晶圆；本实用新型解决了现有的机械手末端执行器一次只能够夹取一个半导体零部件，工作效率较低同时需要夹取不同形状或规格的半导体零部件时，需要更换不同的执行器的问题。

Description

一种夹持式半导体机械手末端执行装置

技术领域

本实用新型涉及机械手技术领域，尤其是一种夹持式半导体机械手末端执行装置。

背景技术

在集成电路、芯片制造等半导体行业中，大量使用机械手运送传输硅片晶圆，硅片传输机械手是半导体工艺链中硅片传输和定位的核心设备，直接影响工艺质量和生产效率，机械手的端部称为末端执行器，末端执行器通常利用真空原理将半导体晶圆可松开地夹持在其上。

例如，公开号为CN208179573U的中国实用新型专利公开了一种多功能半导体机械手末端执行器，所述末端执行器包括系统翻转装置、系统吸附装置、系统托举装置和系统晶圆扫描装置，用以解决现有机械手末端执行器功能单一的问题。

上述这种多功能半导体机械手末端执行器结构体积小，可实现多种抓取功能，更为轻便灵活，但是上述这种多功能半导体机械手末端执行器依然存在一些问题，比如：1、大多数的半导体机械手仅在末端设置一个执行器，因此，一次只能够夹取一个半导体零部件，工作效率较低；2、如果需要夹取不同形状或规格的半导体零部件，需要更换不同的执行器，会影响生产加工的进度。

实用新型内容

针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种夹持式半导体机械手末端执行装置，以解决背景技术中提到的现有的机械手末端执行器一次只能够夹取一个半导体零部件，工作效率较低同时需要夹取不同形状或规格的半导体零部件时，需要更换不同的执行器的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种夹持式半导体机械手末端执行装置，包括安装支架，安装支架用于固定安装机械手末端执行装置；

导向支撑架，导向支撑架用于固定驱动安装支架移动的驱动组件；

上夹持机构，上夹持机构的个数为多个，上夹持机构可以用于夹持各种半导体零部件；

下夹持机构，下夹持机构的个数为多个，下夹持机构主要用于夹持半导体晶圆。

进一步的，安装支架包括主体部以及与主体部固定连接的多个支撑部。

进一步的，导向支撑架包括与安装支架相连接的安装板以及导向套筒，导向套筒的内部开设有通孔。

进一步的，上夹持机构包括固定安装在支撑部上端的上驱动装置，上驱动装置上连接有驱动杆，上驱动装置的上端设置有限位挡板，驱动杆的一端通过连接板固定连接有支撑板，支撑板的前端设置有轨道，轨道上设置有两个滑动块，滑动块的另一端固定连接有上夹爪。

进一步的，连接板包括与驱动杆固定连接的竖板以及设置在限位挡板上端的横板。

进一步的，下夹持机构包括固定安装在支撑部下端的下驱动装置，下驱动装置的前端连接有壳体，壳体的前端部活动设置有手指根部，手指根部的外端转动连接有手指头部，壳体的内部在对应于手指根部的位置处设置有第一转动杆、第二转动杆与第三转动杆，第二转动杆与第三转动杆连接的位置处的外端固定设置有凸块，壳体在对应于凸块的位置处设置有伸缩杆。

综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：

1、该实用新型，通过在安装支架上设置多个末端执行装置，在使用机械手时，操作人员可以根据需要同时操作多个末端执行装置同时工作，从而完成对多个零部件的同时夹取，提高了工作效率。

2、该实用新型，通过设置上夹持机构与下夹持机构，上夹持机构可以用于夹持各种半导体零部件，下夹持机构主要用于夹持半导体晶圆，这样一来，可以夹取多种不同形状或规格的半导体零部件，不会影响生产加工的进度。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为安装支架与导向支撑架的结构示意图；

图3为上夹持机构的爆炸示意图；

图4为下夹持机构的结构示意图。

图中：1、安装支架；11、主体部；12、支撑部；2、导向支撑架；21、安装板；22、导向套筒；221、通孔；3、上夹持机构；31、上驱动装置；32、驱动杆；33、限位挡板；34、连接板；341、竖板；342、横板；35、支撑板；351、轨道；36、滑动块；37、上夹爪；4、下夹持机构；41、下驱动装置；42、壳体；43、手指根部；44、手指头部；45、第一转动杆；46、第二转动杆；47、第三转动杆；48、凸块；49、伸缩杆。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本实用新型实施例进行进一步详细说明。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1

参考图1-图4，一种夹持式半导体机械手末端执行装置，包括安装支架1，安装支架1用于固定安装机械手末端执行装置；导向支撑架2，导向支撑架2用于固定驱动安装支架1移动的驱动组件；上夹持机构3，上夹持机构3的个数为多个，优选地，上夹持机构3的个数为两个，上夹持机构3可以用于夹持各种半导体零部件；下夹持机构4，下夹持机构4的个数为多个，优选地，下夹持机构4的个数为两个，下夹持机构4主要用于夹持半导体晶圆。

参考图1和图2，安装支架1包括主体部11以及与主体部11固定连接的多个支撑部12，主体部11与支撑部12为一体式设计，导向支撑架2包括与安装支架1相连接的安装板21以及导向套筒22，导向套筒22的内部开设有通孔221，可以在导向套筒22的内部安装用于驱动安装支架1的气缸或其他驱动组件，气缸上的移动杆能够伸入通孔221的内部并与主体部11固定连接，从而控制安装支架1的移动。

参考图1和图3，上夹持机构3包括固定安装在支撑部12上端的上驱动装置31，上驱动装置31上连接有驱动杆32，上驱动装置31可以为气缸，驱动杆32的一端通过连接板34固定连接有支撑板35，上驱动装置31能够带动驱动杆32移动，从而带动连接板34移动，并带动支撑板35移动，上驱动装置31的上端设置有限位挡板33，限位挡板33主要用于保护驱动杆32，支撑板35的前端设置有轨道351，轨道351上设置有两个滑动块36，轨道351与滑动块36的组合可以为电动导轨滑块，滑动块36的另一端固定连接有上夹爪37，两个滑动块36能够在轨道351上做反方向运动，从而带动两个上夹爪37夹持或松开，连接板34包括与驱动杆32固定连接的竖板341以及设置在限位挡板33上端的横板342，横板342滑动设置在限位挡板33的上端。

参考图1和图4，下夹持机构4包括固定安装在支撑部12下端的下驱动装置41，下驱动装置41的结构与上驱动装置31的结构相同，下驱动装置41的前端连接有壳体42，下驱动装置41能够带动壳体42做直线移动，壳体42的前端部活动设置有手指根部43，手指根部43的外端转动连接有手指头部44，手指根部43与手指头部44分别为两个，两个手指根部43与手指头部44分别设置在壳体42的上、下两侧，壳体42的内部在对应于手指根部43的位置处设置有第一转动杆45、第二转动杆46与第三转动杆47，第一转动杆45转动设置在壳体42的内部，第一转动杆45与第二转动杆46、第二转动杆46与第三转动杆47之间分别转动相连接，第三转动杆47与手指头部44相连接，第二转动杆46与第三转动杆47连接的位置处的外端固定设置有凸块48，壳体42在对应于凸块48的位置处设置有伸缩杆49，伸缩杆49可以通过气管与气泵相连接，伸缩杆49伸长后能够将凸块48顶起，从而带动第一转动杆45、第二转动杆46与第三转动杆47转动，两个第三转动杆47带动两个手指头部44相互靠近，完成夹持工作。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种夹持式半导体机械手末端执行装置，其特征在于：包括安装支架(1)，所述安装支架(1)用于固定安装所述机械手末端执行装置；

导向支撑架(2)，所述导向支撑架(2)用于固定驱动所述安装支架(1)移动的驱动组件；

上夹持机构(3)，所述上夹持机构(3)的个数为多个，所述上夹持机构(3)可以用于夹持各种半导体零部件；

下夹持机构(4)，所述下夹持机构(4)的个数为多个，所述下夹持机构(4)主要用于夹持半导体晶圆。

2.根据权利要求1所述的一种夹持式半导体机械手末端执行装置，其特征在于：所述安装支架(1)包括主体部(11)以及与所述主体部(11)固定连接的多个支撑部(12)。

3.根据权利要求1所述的一种夹持式半导体机械手末端执行装置，其特征在于：所述导向支撑架(2)包括与所述安装支架(1)相连接的安装板(21)以及导向套筒(22)，所述导向套筒(22)的内部开设有通孔(221)。

4.根据权利要求2所述的一种夹持式半导体机械手末端执行装置，其特征在于：所述上夹持机构(3)包括固定安装在所述支撑部(12)上端的上驱动装置(31)，所述上驱动装置(31)上连接有驱动杆(32)，所述上驱动装置(31)的上端设置有限位挡板(33)，所述驱动杆(32)的一端通过连接板(34)固定连接有支撑板(35)，所述支撑板(35)的前端设置有轨道(351)，所述轨道(351)上设置有两个滑动块(36)，所述滑动块(36)的另一端固定连接有上夹爪(37)。

5.根据权利要求4所述的一种夹持式半导体机械手末端执行装置，其特征在于：所述连接板(34)包括与所述驱动杆(32)固定连接的竖板(341)以及设置在所述限位挡板(33)上端的横板(342)。

6.根据权利要求2所述的一种夹持式半导体机械手末端执行装置，其特征在于：所述下夹持机构(4)包括固定安装在所述支撑部(12)下端的下驱动装置(41)，所述下驱动装置(41)的前端连接有壳体(42)，所述壳体(42)的前端部活动设置有手指根部(43)，所述手指根部(43)的外端转动连接有手指头部(44)，所述壳体(42)的内部在对应于所述手指根部(43)的位置处设置有第一转动杆(45)、第二转动杆(46)与第三转动杆(47)，所述第二转动杆(46)与所述第三转动杆(47)连接的位置处的外端固定设置有凸块(48)，所述壳体(42)在对应于所述凸块(48)的位置处设置有伸缩杆(49)。

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