CN217616360U - 一种晶圆涂覆清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶片加工设备的技术领域，具体为一种晶圆涂覆清洗装置，一种晶圆涂覆清洗装置，包括壳体，供液组件、其特征在于，所述的壳体上固定连接有底盘，所述的底盘上的连接有电机支架，所述的电机支架上转动连接有第一电动机，所述的底盘上转动连接有吸盘，所述的吸盘上经同心定位装置配合有钢环，使得钢环位于吸盘中间位置，所述的壳体内侧壁转动连接有支撑臂，所述的支撑臂上设有与晶圆对应的喷头，所述的壳体上固定连接有摆动电动机，所述的摆动电动机转动轴与支撑臂转动轴间固定连接。

Description

一种晶圆涂覆清洗装置

技术领域

本实用新型属于晶片加工设备的技术领域，具体为一种晶圆涂覆清洗装置。

背景技术

目前在晶圆激光开槽加工中，必须先在晶圆表面均匀涂上保护液，在晶圆激光开槽过程中才能有效保护芯片。现在工艺流程是把晶圆先贴在带膜的钢环上进行工序流转；

现有放置钢环过程，利用机械手臂将钢环吸合放置到吸盘上，不能保证钢环放置到吸盘的中间，涂覆和清洗保护液的过程会有所影响，通用性不强。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供了一种晶圆涂覆清洗装置，解决了现有放置钢环过程，利用机械手臂将钢环吸合放置到吸盘上，不能保证钢环放置到吸盘的中间，涂覆和清洗保护液的过程会有所影响，通用性不强的技术问题。

本实用新型采取的方案为：一种晶圆涂覆清洗装置，包括壳体，供液组件、其特征在于，所述的壳体上固定连接有底盘，所述的底盘上的连接有电机支架，所述的电机支架上转动连接有第一电动机，所述的底盘上转动连接有吸盘，所述的吸盘上经同心定位装置配合有钢环，使得钢环位于吸盘中间位置，所述的壳体内侧壁转动连接有支撑臂，所述的支撑臂上设有与晶圆对应的喷头，所述的壳体上固定连接有摆动电动机，所述的摆动电动机转动轴与支撑臂转动轴间固定连接。

优选的，所述的同心定位装置包括吸盘上沿周向间隔固定连接的四组第一伸缩杆，四组所述的第一伸缩杆上固定连接有辅助固定块，所述的辅助固定块上间隔固定连接有两组第二伸缩杆，两组所述的第二伸缩杆伸出端固定连接有支撑辅助盘，所述的支撑辅助盘上滑动连接有与钢环对应的放置板，所述的放置板与支撑辅助盘间固定连接有复位弹簧，所述的放置板上固定连接有与支撑辅助盘滑动连接的调节手柄。

优选的，所述的吸盘上沿周向间隔开设有与钢环对应的数组真空吸口。

本实用新型的有益效果：

一、首先利用机械手将固定有晶圆的钢环放置在吸盘的中间位置，再启动吸盘，将钢环和晶圆吸合，启动吸盘，将钢环吸合，此时，在启动壳体上固定连接的摆动电动机，调节支撑臂的位置，调节到喷头与晶圆对应位置时为止，利用供液组件，同时启动第一电动机，均速带动吸盘转动，使得晶圆完成涂覆保护液的工作；

二、在安装钢环时，首先根据钢环直径大小进行调节第二伸缩杆的距离，使得钢环能放置到放置板上，通过移动第一伸缩杆，降低到一定高度，移动调节手柄，克服放置板与支撑辅助盘间固定连接的复位弹簧的弹力，放置板动作，将钢环放置到吸盘上，实现与吸盘同心，实现涂覆保护液均匀的功能。

附图说明

图1是本实用新型的立体图视角之一。

图2是本实用新型的立体剖图视角之一。

图3是本实用新型的立体剖图视角之二。

图4是本实用新型的立体剖图视角之三。

图5是本实用新型的立体剖图视角之四。

图6是本实用新型的钢环立体图视角之一。

附图标记：1、壳体；2、供液组件；3、底盘；4、电机支架；5、第一电动机；6、吸盘；7、钢环；8、支撑臂；9、喷头；10、摆动电动机；11、第一伸缩杆；12、辅助固定块；13、第二伸缩杆；14、支撑辅助盘；15、放置板；16、复位弹簧；17、调节手柄；18、真空吸口。

具体实施方式

有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图1-6实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的结构内容，均是以说明书附图为参考。

下面将参照附图描述本实用新型的各示例性的实施例。

实施例一，一种晶圆涂覆清洗装置，包括壳体1，供液组件2、其特征在于，所述的壳体1上固定连接有底盘3，所述的底盘3上的连接有电机支架4，所述的电机支架4上转动连接有第一电动机5，所述的底盘3上转动连接有吸盘6，所述的吸盘6上经同心定位装置配合有钢环7，使得钢环7位于吸盘6中间位置，所述的壳体1内侧壁转动连接有支撑臂8，所述的支撑臂8上设有与晶圆对应的喷头9，所述的壳体1上固定连接有摆动电动机10，所述的摆动电动机10转动轴与支撑臂8转动轴间固定连接。

实施例二，在实施例一的基础上，所述的同心定位装置包括吸盘6上沿周向间隔固定连接的四组第一伸缩杆11，四组所述的第一伸缩杆11上固定连接有辅助固定块12，所述的辅助固定块12上间隔固定连接有两组第二伸缩杆13，两组所述的第二伸缩杆13伸出端固定连接有支撑辅助盘14，所述的支撑辅助盘14上滑动连接有与钢环7对应的放置板15，所述的放置板15与支撑辅助盘14间固定连接有复位弹簧16，所述的放置板15上固定连接有与支撑辅助盘14滑动连接的调节手柄17。

实施例三，在实施例二的基础上，所述的吸盘6上沿周向间隔开设有与钢环7对应的数组真空吸口18。

该实施例在使用的时候，首先将UV膜与钢环7配合，粘贴在钢环7底面，裁去多余的UV膜，再利用机械手和同心定位装置将钢环7放置到吸盘6的中间位置，启动吸盘6，将钢环7吸合，此时，再启动壳体1上固定连接的摆动电动机10，调节支撑臂8的位置，调节到喷头9与晶圆对应位置时为止，利用供液组件2，同时启动第一电动机5，均速带动吸盘6转动，使得晶圆完成涂胶工作；

在安装钢环7时，首先根据钢环7直径大小进行调节第二伸缩杆13的距离，使得钢环7能放置到放置板15上，通过移动第一伸缩杆11，降低到一定高度，移动调节手柄17，克服放置板15与支撑辅助盘14间固定连接的复位弹簧16的弹力，放置板15动作，将钢环7放置到吸盘6上，实现与吸盘6同心，实现涂覆保护液均匀的功能；将供液系统中的液体更换为水可完成晶圆表面的清洗功能。

上面所述只是为了说明本实用新型，应该理解为本实用新型并不局限于以上实施例，符合本实用新型思想的各种变通形式均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种晶圆涂覆清洗装置，包括壳体（1），供液组件（2）、其特征在于，所述的壳体（1）上固定连接有底盘（3），所述的底盘（3）上的连接有电机支架（4），所述的电机支架（4）上转动连接有第一电动机（5），所述的底盘（3）上转动连接有吸盘（6），所述的吸盘（6）上经同心定位装置配合有钢环（7），使得钢环（7）位于吸盘（6）中间位置，所述的壳体（1）内侧壁转动连接有支撑臂（8），所述的支撑臂（8）上设有与晶圆对应的喷头（9），所述的壳体（1）上固定连接有摆动电动机（10），所述的摆动电动机（10）转动轴与支撑臂（8）转动轴间固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆涂覆清洗装置，其特征在于，所述的同心定位装置包括吸盘（6）上沿周向间隔固定连接的四组第一伸缩杆（11），四组所述的第一伸缩杆（11）上固定连接有辅助固定块（12），所述的辅助固定块（12）上间隔固定连接有两组第二伸缩杆（13），两组所述的第二伸缩杆（13）伸出端固定连接有支撑辅助盘（14），所述的支撑辅助盘（14）上滑动连接有与钢环（7）对应的放置板（15），所述的放置板（15）与支撑辅助盘（14）间固定连接有复位弹簧（16），所述的放置板（15）上固定连接有与支撑辅助盘（14）滑动连接的调节手柄（17）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆涂覆清洗装置，其特征在于，所述的吸盘（6）上沿周向间隔开设有与钢环（7）对应的数组真空吸口（18）。

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