CN217606788U - 一种晶圆级产品贴膜治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆级产品贴膜治具，包括底座、载板和定位框，载板放置于底座上，载板上贴附有膜，定位框安装于底座上，定位框设有镂空部、以暴露出用于贴合晶圆级产品的膜，定位框的镂空部边缘覆盖住膜的边缘和载板的边缘，底座设有定位针以定位载板，底座设有定位销以定位定位框，底座设有方向标识，定位框设有凹口指示杆，凹口指示杆位于方向标识所在侧，晶圆级产品设有凹口，晶圆级产品贴合于膜时、凹口对准凹口指示杆。本实用新型适用于小批量实验，该晶圆级产品贴膜治具的底座、载板、定位框有定位，底座、定位框和晶圆级产品有方向表示，可快速、精确地完成晶圆级产品的贴合作业，能够提高工作效率，降低成本。

Description

一种晶圆级产品贴膜治具

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片封装技术领域，更具体涉及一种晶圆级产品贴膜治具。

背景技术

晶圆级封装(WLP，Wafer Level Package)以晶圆为加工对象，在晶圆上同时对众多芯片进行封装、测试，然后切割成单个器件。晶圆级封装中，需要将不满足目标尺寸的晶圆级产品通过塑封或再塑封工艺，使其达到目标尺寸。为了支撑晶圆，在塑封之前需要执行转贴工序，即，将晶圆上的产品正面通过膜贴在载板上，之后进行塑封。转贴工序的操作步骤如下：第一步：将膜贴在载板上；第二步：将晶圆级产品贴在膜上。

现有自动贴膜机适用于大批量生产，不适用于小批量实验。目前，对于小批量实验，都是采用手动将膜贴在载板上，再将晶圆级产品贴装到膜上，贴装位置不准确。

因此，急需研究出一种适用于小批量实验的贴膜治具。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种晶圆级产品贴膜治具，适用于小批量实验，可快速精确的将晶圆级产品贴合到贴附有膜的载板上，能够降低成本，提高效率。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种晶圆级产品贴膜治具，包括底座、载板和定位框，载板放置于底座上，载板上贴附有膜，定位框安装于底座上，定位框设有镂空部、以暴露出用于贴合晶圆级产品的膜，定位框的镂空部边缘覆盖住膜的边缘和载板的边缘。由此，贴附有膜的载板被定位框和底座夹持固定住，然后再将晶圆级产品贴合于位置不变的膜上，这样，方便快速地贴合晶圆级产品，提高工作效率。

在一些实施方式中，底座设有方向标识，定位框设有凹口指示杆，凹口指示杆位于方向标识所在侧，晶圆级产品设有凹口，晶圆级产品贴合于膜时、凹口对准凹口指示杆。由此，通过方向标识和凹口指示杆，便于定位框安装时快速识别方向，利用凹口与凹口指示杆对齐，便于晶圆级产品贴合于膜时快速识别方向并精准对位，提高晶圆级产品贴合的精确性。

在一些实施方式中，底座设有定位销，定位框设有与定位销相配合的定位销孔，底座设有定位针，载板设有与定位针相配合的定位针孔一。由此，定位针用于定位载板，定位销用于定位定位框，确保载板和定位框安装后不会移动，提高晶圆级产品贴合时的精准度。

在一些实施方式中，定位框设有与定位针相配合的定位针孔二。由此，当载板放置于底座后，定位针的顶部突出于载板，定位针的突出部分被收容于定位框的定位针孔二内，以避免定位针的顶部顶起定位框。

在一些实施方式中，定位框设有多处镂空区，镂空区分布于镂空部的外围。由此，设置镂空区，可以减轻定位框的重量。

在一些实施方式中，定位框设有一对把手，把手对称设于镂空部的两侧。由此，便于拆装定位框，方便操作人员作业。

在一些实施方式中，底座设有朝向底座中间凹陷的凹陷部，凹陷部至少设有两处、且相对于底座中心呈对称设置。由此，对称设置的凹陷部，方便手动取放载板。

在一些实施方式中，载板为钢板。

在一些实施方式中，膜为热剥离膜，膜的外径大于晶圆级产品的外径至少0.5㎜，膜的厚度不小于晶圆级产品的厚度的一半。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的晶圆级产品贴膜治具，适用于小批量实验，将载板放置于底座上，通过定位针固定，将切割好的膜贴在载板上，将定位框安装于底座上并通过定位销固定，定位框的凹口指示杆需要朝向底座的方向标识一侧，再将晶圆级产品贴合在定位框中间的镂空部所在区域的膜上，晶圆级产品的凹口对准凹口指示杆，然后取下定位框，压合晶圆级产品后，取下完成贴合有晶圆级产品的载板，该晶圆级产品贴膜治具可快速精确完成晶圆级产品的贴合作业，能够降低成本，提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型一种晶圆级产品贴膜治具的一实施方式的部件分解结构示意图；

图2是定位框的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本实用新型作进一步的说明。

如图1和2所示，本实用新型所述一实施方式的一种晶圆级产品5贴膜治具，其包括底座1、载板2和定位框4，载板2放置于底座1上，载板2上贴附有膜3，定位框4安装于底座1上，定位框4的中心开设有镂空部41、以暴露出用于贴合晶圆级产品5的膜3，定位框4的镂空部41边缘覆盖住膜3的边缘和载板2的边缘。这样，贴附有膜3的载板2被定位框4和底座1夹持固定住，然后再将晶圆级产品5贴合于位置不变的膜3上，这样，方便快速地贴合晶圆级产品5，提高工作效率。

在底座1的四角分别安装有一个定位销12，定位框4开设有与定位销12相配合的定位销孔43，定位框4安装于底座1时，该四个定位销12用于定位定位框4。底座1上安装有两个定位针13，载板2开设有与两个定位针13相配合的定位针孔一21，载板2放置于底座1时，定位针13用于定位载板2。定位销12和定位针13，确保载板2和定位框4安装后不会移动，提高晶圆级产品5贴合时的速度和精准度。

定位框4设有与定位针13相配合的定位针孔二46。当载板2放置于底座1后，定位针13的顶部突出于载板2时，定位针13的突出部分被收容于定位框4的定位针孔二46内，以避免定位针13的顶部顶起定位框4。如果定位针13的长度短，控制在当载板2放置于底座1后，定位针13的顶部相对于载板2不突出时，定位框4上可不设置与定位针13相配合的定位针孔二46。本实施例中，载板2的厚度为1.5㎜，如果定位针13的高度在0.5～1.5㎜，即小于载板2的厚度，定位框4上可以不设置定位针孔二46。

在底座1开设有缺口，作为方向标识11，相应的，定位框4安装有凹口指示杆42。定位框4与底座1装配时，凹口指示杆42位于方向标识11所在侧。晶圆级产品5的边缘具有凹口51，晶圆级产品5贴合于膜3时，凹口51对准凹口指示杆42。通过方向标识11和凹口指示杆42，便于定位框4安装时快速识别方向。利用凹口51与凹口指示杆42对齐，便于晶圆级产品5贴合于膜3时快速识别方向并精准对位，进一步提高晶圆级产品5贴合的精确性。

底座1设有朝向底座1中间凹陷的凹陷部14，凹陷部14至少设有两处，且两处凹陷部14相对于底座1中心呈对称设置，这样，方便手动取放载板2。

在定位框4的四周设有八处镂空区44，一边分别设置两个镂空区44，镂空区44分布于镂空部41的外围。镂空区44的数量可根据实际情况变化，但是需要确保定位框4不变形，设置镂空区44，可以尽可能地减轻定位框4的重量。

定位框4上具有一对把手45，把手45对称设于镂空部41的两侧。这样，便于拆装定位框4，方便操作人员作业。

本实施例中，载板2为钢板。膜3为热剥离膜，膜3的外径大于晶圆级产品5的外径至少0.5㎜，膜3的厚度不小于晶圆级产品5的厚度的一半，晶圆级产品5的厚度一般为0.2～5㎜。

下面具体阐述利用本实施例的晶圆级产品5贴膜治具进行晶圆级产品5贴膜的流程，步骤如下：

步骤一：将载板2放置于底座1上，通过定位针13固定。

步骤二：将切割好的膜3(热剥离膜)贴在载板2上，注意上下左右对称，用滚轮在膜3表面来回滚动压合。

步骤三：将定位框4安装于底座1上，并通过定位销12固定，定位框4的凹口指示杆42需要朝向底座1的方向标识11一侧。

步骤四：将晶圆级产品5贴合在定位框4中间的镂空部41所在区域的膜3上，晶圆级产品5的凹口51对准凹口指示杆42。

步骤五：取下定位框4，用滚轮在产品表面来回滚动压合，取出完成产品贴合的载板2。

本实用新型提供的晶圆级产品5贴膜治具，适用于小批量实验，该晶圆级产品5贴膜治具的底座1、载板2、定位框4有定位，底座1、定位框4和晶圆级产品5有方向标识，可快速、精确地完成晶圆级产品5的贴合作业，能够提高工作效率，降低成本。

以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型的创造构思的前提下，还可以做出其它变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，包括底座(1)、载板(2)和定位框(4)，所述载板(2)放置于底座(1)上，所述载板(2)上贴附有膜(3)，所述定位框(4)安装于底座(1)上，所述定位框(4)设有镂空部(41)、以暴露出用于贴合晶圆级产品(5)的膜(3)，所述定位框(4)的镂空部(41)边缘覆盖住膜(3)的边缘和载板(2)的边缘。

2.根据权利要求1所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述底座(1)设有方向标识(11)，所述定位框(4)设有凹口指示杆(42)，所述凹口指示杆(42)位于方向标识(11)所在侧，所述晶圆级产品(5)设有凹口(51)，所述晶圆级产品(5)贴合于膜(3)时、所述凹口(51)对准凹口指示杆(42)。

3.根据权利要求2所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述底座(1)设有定位销(12)，所述定位框(4)设有与定位销(12)相配合的定位销孔(43)，所述底座(1)设有定位针(13)，所述载板(2)设有与定位针(13)相配合的定位针孔一(21)。

4.根据权利要求3所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述定位框(4)设有与定位针(13)相配合的定位针孔二(46)。

5.根据权利要求1所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述定位框(4)设有多处镂空区(44)，所述镂空区(44)分布于镂空部(41)的外围。

6.根据权利要求5所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述定位框(4)设有一对把手(45)，所述把手(45)对称设于镂空部(41)的两侧。

7.根据权利要求1所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述底座(1)设有朝向底座(1)中间凹陷的凹陷部(14)，所述凹陷部(14)至少设有两处、且相对于底座(1)中心呈对称设置。

8.根据权利要求1所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述载板(2)为钢板。

9.根据权利要求1所述的晶圆级产品贴膜治具，其特征在于，所述膜(3)为热剥离膜，所述膜(3)的外径大于晶圆级产品(5)的外径至少0.5㎜，所述膜(3)的厚度不小于晶圆级产品(5)的厚度的一半。

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