CN217587864U - 玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱,包括箱体和设置在箱体外部的异物收集装置，箱体内设置有用于容纳基板的腔室，腔室的侧壁具有若干排气孔，排气孔上设置排气阀，异物收集装置包括收集装置以及排气管，排气管的一端与排气孔连接，另一端与收集装置连接，收集装置用于收集从排气管排出的异物。设置收集装置和排气管，异物伴随着气体从排气孔排出并经过排气管进入到收集装置内部，在收集装置的作用下，异物被截留在收集装置的内部，从而防止异物排放到箱体的外部而粘附在一侧的防护板上，避免异物重新进入到腔室内而影响基板的光刻质量。

Description

玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱

技术领域

本实用新型涉及显示装置制造设备技术领域，尤其涉及一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱。

背景技术

显示装置的玻璃基板在光刻时，需要利用真空干燥箱对表面涂覆有光刻胶的玻璃基板进行干燥处理。参照图1，为了保证安全，真空干燥箱1＇的一侧间隔设置有防护板3＇，通过防护板3＇隔开人行通道和真空干燥箱1＇，防止人员与真空干燥箱1＇发生碰撞，此外，为优化工作车间内部工作环境，还会在车间的上方设置送风机，加快空气流通。真空干燥箱1＇包括用于容纳待处理玻璃基板的腔室，真空干燥箱1＇上设置有供玻璃基板进入和送出的入口和出口，入口和出口均与腔室连通，且入口和出口通过门体选择性封堵，真空干燥箱1＇朝向防护板3＇的一侧贯穿设置有多个连通腔室的排气孔，排气孔上设置有阀门。具体处理玻璃基板时，玻璃基板从入口进入到腔室内部，此时腔室内部的气压与大气压一致，将玻璃基板摆放好在腔室内部之后，关闭入口和出口的门体，并利用泵体将腔室内部的空气抽出，当腔室内部接近真空状态后，腔室对玻璃基板加热，使玻璃基板上的光刻胶干燥至工艺要求，然后利用泵体将空气泵入腔室内部，使腔室内部的气压缓慢升高，当腔室内部的气压升高至一定程度后，打开门体，将玻璃基板从开口送出到真空干燥箱1＇外，完成玻璃基板的干燥处理。腔室对玻璃基板加热时，高温会使光刻胶在腔室中形成异物2＇(比如粉尘颗粒)，打开门体前，需要打开排气孔上的阀门，使腔室内部的异物随着气体排出，排出的异物会粘附在防护板上，下一轮泵体将空气泵入腔室内部时，在气流的影响下粘附在防护板上的异物会脱落并重新进入到腔室内，进入腔室内部的异物粘附在光刻胶上会影响玻璃基板的光刻质量。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于：提供一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其能收集从排气孔排出的异物，防止异物重新进入到真空干燥箱内而影响基板光刻的质量。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，提供一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，包括箱体和设置在所述箱体外部的异物收集装置，所述箱体内设置有用于容纳基板的腔室，所述腔室的侧壁具有若干排气孔，所述排气孔上设置排气阀，所述异物收集装置包括收集装置以及排气管，所述排气管的一端与所述排气孔连接，另一端与所述收集装置连接，所述收集装置用于收集从所述排气管排出的异物。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，所述排气孔具有至少两个，至少两个所述排气孔与同一个所述排气管连接。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，所述排气管为柔性管。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，还包括消音组件，所述消音组件设置在所述排气管上。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，所述排气管包括第一管和第二管，所述消音组件包括消音管和设置在所述消音管两端的封板，所述封板上设置有通孔，所述消音管的内径大于所述第一管的外径和所述第二管的外径，所述第一管的一端与所述排气孔连接，所述第二管的一端与所述收集装置连接，所述第一管远离所述排气孔的一端以及所述第二管远离所述收集装置的一端均具有插入端，所述第一管的所述插入端和所述第二管的所述插入端分别穿过所述通孔伸入至所述消音管的内部，且所述第一管的所述插入端与所述第二管的所述插入端间隔设置。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，所述第一管的所述插入端和所述第二管的所述插入端的管侧壁均贯穿设置有消音孔。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，所述消音孔为圆锥孔，所述第一管上的所述消音孔的大端部靠近所述第一管的轴线，所述第二管上的所述消音孔的大端部远离所述第二管的轴线。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，所述第一管和所述第二管均通过弹性密封圈与对应的所述封板密封连接。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，所述通孔位于所述封板的中部。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，所述第一管上分别设置有第一接头和第一控制阀，所述第一接头位于所述第一控制阀与所述消音管之间，所述第二管分别设置有第二接头和第二控制阀，所述第二接头位于所述第二控制阀与所述消音管之间，所述第一接头用于连接高压进气管，所述第二接头用于连接高压出气管。

本实用新型的有益效果为：设置收集装置和排气管，异物伴随着气体从排气孔排出并经过排气管进入到收集装置内部，在收集装置的作用下，异物被截留在收集装置的内部，从而防止异物排放到箱体的外部而粘附在一侧的防护板上，避免异物重新进入到腔室内而影响基板的光刻质量。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为现有技术中的真空干燥箱与防护板的分布图。

图2为实施例所述玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的结构示意图。

图3为一实施例所述排气管和消音组件的结构图。

图4为实施例所述排气管和消音管的剖视图。

图5为实施例所述封板的结构图。

图6为另一实施例所述排气管和消音组件的结构图。

图7为再一实施例所述排气管和消音组件的结构图。

图1和图2中：

1＇、真空干燥箱；2＇、异物；3＇、防护板。

图2至图7中：

1、箱体；2、排气管；201、第一管；202、第二管；203、插入端；3、收集装置；4、排气孔；5、排气阀；6、消音管；7、消音孔；8、第一接头；9、第二接头；10、第一控制阀；11、第二控制阀；12、第三控制阀；13、第四控制阀；14、抖动台；15、封板；16、弹性密封圈；17、通孔；18、高压进气管；19、高压出气管。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

本实施例中，提供一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱(简称真空干燥箱)，参照图2，真空干燥箱包括箱体1和箱体1外部的异物收集装置，箱体1具有用于容纳基板的腔室，腔室的侧壁具有若干排气孔4，排气孔4上设置有排气阀5，异物收集装置包括收集装置3以及排气管2，排气管2的一端与排气孔4连接，另一端与收集装置3连接，收集装置3用于收集从排气管2排出的异物。

可以理解的是，基板表面涂覆光刻胶后，放置在箱体1的腔室内，在腔室内对基板表面进行加热，使基板表面的光刻胶干燥至工艺要求。对基板进行处理的过程中，高温作用会使基板表面的光刻胶在腔室内部形成异物(例如粉尘颗粒)，基板干燥完成排气孔4排出腔室内部的异物。本实施例中，设置收集装置3和排气管2，异物伴随着气体从排气孔4排出并经过排气管2进入到收集装置3内部，在收集装置3的作用下，异物被截留在收集装置3的内部，从而防止异物排放到箱体1的外部而粘附在一侧的防护板上，避免异物重新进入到腔室内而影响基板的光刻质量。

可以理解的是，收集装置3为现有技术，本方案中是利用收集装置3截留从排气孔4排出的异物，因此本说明书中并不对收集装置3的结构进行详细描述。

一实施例中，排气孔4具有至少两个，至少两个排气孔4与同一个排气管连接。将至少两个排气孔4与同一个排气管2连接，使至少两个排气孔4共用一个排气管2，不仅节约排气管2的设置数量，而且便于排气管2的布置以及有利于节约成本。

优选地，排气管2为柔性管。本实施例中排气管2为橡胶软管。橡胶软管具有良好的柔性，可灵活摆放排气管2，为排气管2的布置提供便捷。

另一实施例中，参照图3至图7，异物收集装置还包括消音组件，消音组件设置在排气管2上。可以理解的是，排气孔4排气时，较大速度的气流经过排气管2并进入到收集装置3的过程中会产生较大的噪音，本实施例中，在排气管2上设置消音组件，利用消音组件可以降低排气管2的工作噪音，有利于优化工作环境。

具体地，排气管2包括第一管201和第二管202，消音组件包括消音管6和设置在消音管6两端的封板15，封板15上开设通孔17。消音管6的内径大于第一管201的外径和第二管202的外径，第一管201的一端与排气孔4连接，第二管202的一端与收集装置3连接。第一管201远离排气孔4的一端以及第二管202远离收集装置3的一端均具有插入端203，第一管201的插入端203和第二管202的插入端203分别穿过通孔17伸入至消音管6的内部，且第一管201的插入端203与第二管202的插入端203间隔设置。由于消音管6的内径大于第一管201的外径和第二管202的外径，排气孔4排放气体时，气体从第一管201的插入端203进入到消音管6内部，通过消音管6的缓冲后进入第二管202，然后输出到收集装置3中，通过消音管6对气体进行缓冲能够降低排气管2的噪音，减小真空干燥箱的工作噪音。

一实施例中，参照图3和图4，第一管201的插入端203和第二管202的插入端203的管侧壁均贯穿设置有消音孔7。气体输送至第一管201的插入端203后分为两部分，一部分气体从插入端203的端部输入到消音管6内，另一部分气体从消音孔7进入到消音管6内，在消音管6内部进行缓冲后，再从第二管202的插入端203的端部以及第二管202的消音孔7进入到第二管202内部。通过消音孔7进一步降低排气管2的气流噪音。图3中的箭头表示气体的流动方向。

本实施例中，参照图4，消音孔7为圆锥孔。具体地，消音孔7具有大端部和小端部，消音孔7的孔径由大端部朝向小端部逐渐减小。第一管201上的消音孔7的大端部靠近第一管201的轴线，第二管202上的消音孔7的大端部远离第二管202的轴线。将第一管201上的消音孔7的大端部远离消音管6的管侧壁，气体在第一管201内从消音孔7的大端部进入再从小端部排出，消音孔7的大端部孔径较大，可以将气体进行有效的缓冲后再从消音孔7的小端部排出到消音管6中，进一步提高消音效果。而将第二管202上的消音孔7的大端部靠近消音管6的管侧壁设置，孔径较大的消音孔7端部有利于对消音管6内部的气体引流，便于气体在消音管6通过消音孔7进入到第二管202。

具体地，继续参照图4，第一管201和第二管201均通过弹性密封圈16与对应的封板15密封连接，弹性密封圈16具有良好的密封性，利用弹性密封圈16可以封堵第一管201与封板15之间以及第二管202与封板15之间的间隙。

优选地，通孔17位于封板15的中部，使第一管201和第二管202均位于消音管6的管径中部位置，可以保证第一管201与消音管6之间以及第二管202与消音管6之间均具有足够的空间缓冲气体，提高消音组件的消音效果。当然，在实际设计中，也可以根据需要灵活第一管201和第二管202的具体位置。

参照图6和图7，可以理解的是，由于气体中异物的存在，异物会在消音孔7和消音管6内积累，从而引起堵塞，导致气体不能顺畅排出，因此需要定期清理消音孔7和消音管6。第一管201上分别设置有第一接头8和第一控制阀10，第一接头8位于第一控制阀10与消音管6之间，第二管202分别设置有第二接头9和第二控制阀11，第二接头9位于第二控制阀11与消音管6之间，第一接头8用于连接高压进气管18，第二接头9用于连接高压出气管19。具体使用时，腔室停止工作，并关闭第一控制阀10，切断第一管201与排气孔4的通路，关闭第二控制阀11切断第二管202与收集装置3的通路，高压气管将外部的高压气体通入第一管201，由于第一控制阀10的存在，高压气体只能经过消音管6从高压出气管19排出而不能进入腔室内，高压气体排出时经过消音孔7和消音管6，粘附在消音孔7和消音管6内侧壁上的异物被高压气体吹落，最终伴随高压气体从高压出气管19排出，实现清理消音孔7和消音管6的目的，防止消音孔7和消音管6堵塞。

具体地，第一接头8和第二接头9上分别设置有第三控制阀12和第四控制阀13，第三控制阀12能够封堵第一接头8，第四控制阀13能够封堵第二接头9，对消音孔7和消音管6清理完毕后，关闭第三控制阀12和第四控制阀13，保证排气管2正常使用。

参照图7，为了增强消音孔7和消音管6的清理效果，真空干燥箱在上述结构的基础上增设设置在箱体1外部的抖动台14，消音管6设置在抖动台14上，抖动台14能够带动消音管6、第一管201和第二管202抖动，通过抖动台14的抖动，能够抖落粘附在消音孔7和消音管6上的异物，此时配合高压气体的吹扫能够提高清洁效果。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，包括箱体和设置在所述箱体外部的异物收集装置，所述箱体内设置有用于容纳基板的腔室，所述腔室的侧壁具有若干排气孔，所述排气孔上设置排气阀，所述异物收集装置包括收集装置以及排气管，所述排气管的一端与所述排气孔连接，另一端与所述收集装置连接，所述收集装置用于收集从所述排气管排出的异物。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述排气孔具有至少两个，至少两个所述排气孔与同一个所述排气管连接。

3.根据权利要求1所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述排气管为柔性管。

4.根据权利要求1-3任一项所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，还包括消音组件，所述消音组件设置在所述排气管上。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述排气管包括第一管和第二管，所述消音组件包括消音管和设置在所述消音管两端的封板，所述封板上设置有通孔，所述消音管的内径大于所述第一管的外径和所述第二管的外径，所述第一管的一端与所述排气孔连接，所述第二管的一端与所述收集装置连接，所述第一管远离所述排气孔的一端以及所述第二管远离所述收集装置的一端均具有插入端，所述第一管的所述插入端和所述第二管的所述插入端分别穿过所述通孔伸入至所述消音管的内部，且所述第一管的所述插入端与所述第二管的所述插入端间隔设置。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述第一管的所述插入端和所述第二管的所述插入端的管侧壁均贯穿设置有消音孔。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述消音孔为圆锥孔，所述第一管上的所述消音孔的大端靠近所述第一管的轴线，所述第二管上的所述消音孔的大端部远离所述第二管的轴线。

8.根据权利要求5所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述第一管和所述第二管均通过弹性密封圈与对应的所述封板密封连接。

9.根据权利要求5所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述通孔位于所述封板的中部。

10.根据权利要求5所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述第一管上分别设置有第一接头和第一控制阀，所述第一接头位于所述第一控制阀与所述消音管之间，所述第二管分别设置有第二接头和第二控制阀，所述第二接头位于所述第二控制阀与所述消音管之间，所述第一接头用于连接高压进气管，所述第二接头用于连接高压出气管。

Images