CN217533881U - 光罩智能检测清洁存储设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：包括外柜(1)、分别设置在所述外柜(1)内部的放置架(6)、光罩检测清洁机(7)、智能机械手(8)以及存储架(9)；所述智能机械手(8)能带动光罩(18)在所述放置架(6)、所述光罩检测清洁机(7)以及所述存储架(9)之间转移。本发明将放置架、光罩检测清洁机、智能机械手以及存储架集成于外柜内，使得本发明能够集光罩检测、清洁、存储于一体，提高光罩检测存储效率。

Description

光罩智能检测清洁存储设备

技术领域

本发明涉及光罩检测技术领域，具体是指一种光罩智能检测清洁存储设备。

背景技术

光罩又称为掩膜版或掩模板，其是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，使用时把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其是IC制作的过程中必不可少的工具。

光罩在转运过程中通常会被放置在如图21所示的光罩存放盒中，并且光罩在入库存储时需要将光罩从光罩存放盒中取出并检测其表面是否附着有灰尘颗粒或是否破损，以排除因光罩表面存在缺陷而影响后期电路图形的曝光质量。但是，因为目前还没有一种专门用于光罩检测清洁存储的一体化设备，所以传统的方式是由人工打开光罩存放盒将光罩取出，并采用人工肉眼查看的方式进行检查，然后将没有缺陷的光罩入库存储，这种方式效率低下，并且容易出现漏检的情况，而且整个检测流程下来有可能因为人为原因而造成光罩损坏，给企业带来不必要的经济损失。

发明内容

本发明的目的在于解决上述问题，提供一种光罩智能检测清洁存储设备，其能够自动完成光罩的拿取、检测、清洁以及存储工作，提高了工作效率。

本发明的目的通过下述技术方案实现：光罩智能检测清洁存储设备，包括外柜、分别设置在所述外柜内部的放置架、光罩检测清洁机、智能机械手以及存储架；所述智能机械手能带动光罩在所述放置架、所述光罩检测清洁机以及所述存储架之间转移。

进一步的，所述光罩检测清洁机包括机台、设置在所述机台上用于放置所述光罩的光罩承载机构、设置在所述机台上用于检测所述光罩表面的两个检测机构以及设置在所述机台上的干式超声波除尘器；所述机台能驱动所述光罩承载机构移动至所述干式超声波除尘器的清洁头下方；两个所述检测机构间隔设置，并且所述机台能驱动所述光罩承载机构移动至两个所述检测机构之间，使两个所述检测机构能分别检测所述光罩正、反两个表面。

再进一步的，所述检测机构包括具有弧形槽的背板、安装在所述弧形槽上的安装结构以及安装在所述安装结构上的3D相机。

所述安装结构包括安装在所述弧形槽上的角度调节板、活动连接在所述角度调节板上的安装板以及固定在所述角度调节板上的距离调节块；所述3D相机安装于安装板上，所述角度调节板能沿所述弧形槽移动，从而调节所述3D相机与所述光罩表面之间的夹角；所述距离调节块通过连接部件与所述安装板连接，并且连接部件能带动所述安装板相对所述角度调节板上下移动，从而调节所述3D相机与所述光罩表面之间的间距。

所述光罩承载机构包括连接在所述机台上的支架、设置在所述支架上用于放置所述光罩的至少两根支撑杆以及安装在所述支架上的夹持气缸；两根所述支撑杆上均设置有限位部，所述光罩被夹持在所述夹持气缸的气缸伸缩端和所述限位部之间。

作为另一种优选方案，所述光罩承载机构还包括相对设置的两块夹持板、设置在所述支架上且连接两块所述夹持板的气动手指；所述气动手指能驱动两块所述夹持板移动，使两块所述夹持板能分别夹紧所述光罩的相对两侧边。

所述放置架包括安装架和分别设置在所述安装架上的若干个光罩存放盒定位开启装置；所述光罩存放盒定位开启装置包括框体、分别设置在所述框体上的下压机构、两个侧面定位机构以及开门机构；所述下压机构和两个所述侧面定位机构之间形成用于放置光罩存放盒的放置空间，所述下压机构用于从上方压紧所述光罩存放盒，两个所述侧面定位机构用于从两侧夹持所述光罩存放盒，所述开门机构用于开启所述光罩存放盒的盒门；所述框体和/或所述侧面定位机构上设置有用于限定所述光罩存放盒前后位置的限位伸缩气缸和限位柱。

所述开门机构包括设置在所述框体上的电机和安装于所述电机主轴上的摇臂。

所述下压机构包括设置在所述框体上的压杆、设置在所述压杆下端的压轮和设置在所述压杆上的扭簧；所述压杆能上下转动，且所述压杆向上转动时能挤压所述扭簧。

所述侧面定位机构包括设置在所述框体上的安装座和设置在所述安装座上的侧面导向轮；所述安装座上设置有安装槽，所述安装槽内安装有安装块，所述安装块背向所述光罩存放盒一侧与所述安装槽的槽壁之间设置有压缩弹簧；所述导向轮设置于所述安装块上，所述安装块能在所述安装槽内移动，且所述安装块移动时能挤压所述压缩弹簧；两个所述侧面定位机构上的所述侧面导向轮能从两侧夹持所述光罩存放盒。

作为另一种优选方案，所述外柜上设置有空气净化器和控制电脑；所述空气净化器、所述放置架、所述光罩检测清洁机以及所述智能机械手均与所述控制电脑电连接。

与现有技术相比，本申请具有如下有益效果：

(1)本发明将放置架、光罩检测清洁机、智能机械手以及存储架集成于外柜内，光罩检测清洁机能够检测并清洁光罩，存储架用于存储检测后的光罩，智能机械手能带动光罩在所述放置架、所述光罩检测清洁机以及所述存储架之间转移，使得本发明能够集光罩检测、清洁、存储于一体，提高光罩检测存储效率。

(2)本发明的外柜上设置有空气净化器，其能够提高外柜内部空气的清洁度，防止光罩存储时空气中的灰尘颗粒落到光罩表面而影响光罩的后续使用。

(3)本发明的光罩检测清洁机上设置有两个检测机构，当机台驱动光罩承载机构移动到两个检测机构之间时，两个检测机构能够分别检测光罩正、反两个表面，因此整个检测过程中不需要翻动光罩，提高了检测效率，也避免了因翻动光罩时造成光罩损伤；另外，本发明的光罩检测清洁机上设置有干式超声波除尘器，其能够很好的去除光罩表面上的灰尘，相比传统采用氮吹的清洁方式，其能够防止灰尘飞扬，清洁效果更好。

(4)本发明的检测机构上的角度调节板能够沿弧形槽移动，并且安装板能相对角度调节板上下移动，因此可以调节3D相机与光罩表面的角度和间距，使3D相机能够更精确的检测光罩表面，提高检测效果。

(5)本发明的光罩承载机构通过夹持气缸、限位部以及两块夹持板来夹持光罩的四个侧边，使光罩能更稳固的放置在支撑杆上，防止检测过程中光罩出现移位而影响检测效果。

(6)本发明的光罩存放盒定位开启装置通过下压机构和侧面定位机构可以对光罩存放盒进行固定，同时再通过开门机构来打开光罩存放盒的盒门，方便智能机械手拿取光罩，提升光罩检测效率。

(7)本发明的光罩存放盒定位开启装置通过设置限位柱和伸缩气缸来对光罩存放盒的前后位置进行定位，并设置前端红外传感器和后端红外传感器对光罩存放盒的位置进行检测，其能够确保光罩存放盒放置到位，提升后续智能机械手拿取光罩时的准确率。

本申请的一部分附加特性可以在下面的描述中进行说明。通过对以下描述和相应附图的检查或者对实施例的生产或操作的了解，本申请的一部分附加特性对于本领域技术人员是明显的。本申请披露的特性可以通过对以下描述的具体实施例的各种方法、手段和组合的实践或使用得以实现和达到。

附图说明

在此所述的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的限定。在各图中，相同标号表示相同部件。其中，

图1为本发明的结构图。

图2为本发明的外柜去掉侧板后的结构图。

图3为图2中的局部放大示意图。

图4为本发明去掉存储架后的示意图。

图5为本发明的光罩检测清洁机的第一视角的结构图。

图6为本发明的光罩检测清洁机的第二视角的结构图。

图7为本发明的检测机构的结构图。

图8为本发明的安装结构与背板连接的结构图。

图9为本发明的角度调节板与背板连接的结构图。

图10为本发明的光罩承载机构的结构图。

图11为光罩放置于光罩承载机构上的示意图。

图12为本发明的放置架的结构图。

图13为本发明的光罩存放盒定位开启装置的第一视角的结构图。

图14为本发明的光罩存放盒定位开启装置的第二视角的结构图。

图15为本发明的侧面定位机构的结构图。

图16为本发明的安装座上设置有安装槽的结构图。

图17为本发明的侧面导向轮设置于安装块上的结构图。

图18为光罩存放盒放置于光罩存放盒定位开启装置内的示意图。

图19为本发明的存储架的结构图。

图20为图19中局部放大示意图。

图21为光罩存放盒的结构图。

上述附图中的附图标记为：1—外柜，2—空气净化器，3—控制电脑，4—放置开口，5—报警器，6—放置架，7—光罩检测清洁机，8—智能机械手，9—存储架，10—移动轨道，11—机台，12—光照灯，13—激光传感器，14—X轴移动机构，15—干式超声波除尘器，16—读码器，17—检测机构，18—光罩，19—光罩承载机构，20—Y轴移动机构，21—3D相机，22—背板，23—安装板，24—距离调节块，25—角度调节板，26—弧形槽，27—槽孔，28—限位部，29—气缸伸缩端，30—支撑杆，31—夹持板，32—支撑块，33—支架，34—夹持气缸，35—气动手指，36—安装架，37—光罩存放盒定位开启装置，38—框体，39—压杆，40—扭簧，41—压轮，42—摇臂，43—电机，44—侧面定位机构，45—限位柱，46—底部导向轮，47—限位伸缩气缸，48—前端红外传感器，49—后端红外传感器，50—安装座，51—侧面导向轮，52—安装块，53—压缩弹簧，54—安装槽，55—存储架外框，56—盒体，57—盒门，58—把手，59—光罩存放盒。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，如果本申请的说明书和权利要求书及上述附图中涉及到术语“第一”、“第二”等，其是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，如果涉及到术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本申请中，如果涉及到术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等，其指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。

此外，在本申请中，如果涉及到术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”等应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

实施例1

如图1、2所示，本实施例公开了一种光罩智能检测清洁存储设备，其用于将放置在光罩存放盒59内的光罩18取出，并对光罩18进行清洁、检测以及储存；同时也可以用于对储存在其内部的光罩进行清洁、检测后放置于光罩存放盒59内。

该光罩存放盒59为现有技术，为了方便阐述本申请的光罩智能检测清洁存储设备，这里先对光罩存放盒59进行介绍。如图21所示，其包括盒体56，设置在盒体56上的盒门57，设置在盒体56两侧的把手58，光罩18则存放于盒体56内。该盒门57由弹簧牵引，当取出或放入光罩后，弹簧会拉动盒门57自动关闭。

以下对本申请的光罩智能检测清洁存储设备进行详细阐述，如图1～3所示，该光罩智能检测清洁存储设备包括外柜1、分别设置在所述外柜1内部的放置架6、光罩检测清洁机7、智能机械手8以及存储架9。该放置架6设置于外柜1的前端，用于固定和开启光罩存放盒59；具体设置时，该外柜1的侧板上开设有放置开口4，通过放置开口4可以将光罩存放盒59放置于放置架6上。该存储架9设置于放置架6的后方，且数量可设置为多个，本实施例中将存储架9设置为2个，2个存储架9分别分布于外柜1的两侧，其用于存储检测后的光罩18。光罩检测清洁机7设置于放置架6和存储架9之间，其用于清洁和检测光罩18的表面是否有灰尘或破损。智能机械手8能够在外柜1内部移动，其能带动光罩18在所述放置架6、所述光罩检测清洁机7以及所述存储架9之间转移；具体设置时，该外柜1的底部设置有用于智能机械手8移动的移动轨道10，如图4所示。

本实施例中的外柜1顶部设置有若干个空气净化器2，其侧板上设置有控制电脑3。所述空气净化器2、放置架6、光罩检测清洁机7以及智能机械手8均与所述控制电脑3电连接，由控制电脑3控制工作。外柜1上设置有空气净化器2能够提高外柜1内部空气的清洁度，防止光罩18存储时空气中的灰尘颗粒落到光罩18表面而影响光罩18的后续使用。另外，该外柜1上设置有用于操作人员进入的门。

如图12所示，该放置架6包括固定于外柜1内部的安装架36和分别设置在所述安装架36上的若干个光罩存放盒定位开启装置37。具体设置时，光罩存放盒定位开启装置37呈阵列分布在安装架36上。

如图13、14所示，该光罩存放盒定位开启装置37包括框体38，分别设置在所述框体38上的下压机构、两个侧面定位机构44以及开门机构。该框体38包括有底板，连接在底板后端的后端板，设置在后端板左右两端且位于底板上方的两根横梁。两个侧面定位机构44分别设置于底板左右两侧，而下压机构设置在横梁上。根据实际使用情况，下压机构的数量可设置为多个，它们分别分布于左右两根横梁上。下压机构和两个所述侧面定位机构44之间形成用于放置光罩存放盒59的放置空间，而后端板上可设置一个入口，该入口与放置开口4连通。使用时将光罩存放盒59依次从入口、放置开口推入到放置空间内，由下压机构从上方压紧该光罩存放盒59，两个侧面定位机构44则从两侧夹持所述光罩存放盒59，从而将光罩存放盒59固定。

该开门机构可以安装于横梁上，其位于靠近底板前端一侧，用于开启所述光罩存放盒59的盒门57。

具体的，所述开门机构包括设置在所述框体38上的电机43，安装于所述电机43主轴上的摇臂42。该电机43能驱动摇臂42转动，当光罩存放盒59放入到放置空间内后，电机43驱动摇臂42转动，摇臂42转动的过程中其前端抵靠光罩存放盒59的盒门57的边缘，进而推动盒门57打开。当电机43带动摇臂42反转时，由于摇臂42不再给盒门57施加推力，盒门57在光罩存放盒59内弹簧的拉力作用下自行关闭。

该下压机构包括设置在框体38上的压杆39，设置在所述压杆39下端的压轮41，设置在所述压杆39上的扭簧40。具体设置时，该压杆39上具有转轴，整个压杆39通过转轴安装在框体38的横梁上，并且该压杆39能以转轴为中心上下转动。该扭簧40套设在压杆39的转轴上，当压杆39向上转动时能挤压所述扭簧40。压轮41安装于压杆39的下端，并且能够转动，方便光罩存放盒59推入放置空间内。

通过上述结构，当将光罩存放盒59推入放置空间的过程中，光罩存放盒59向上顶起压杆39，使压杆39向上转动，此时扭簧40受挤压，又由于扭簧40的回复力作用，使得压杆39有一个向下的压力，进而使压轮41向下压紧光罩存放盒59的上表面。

如图15～17所示，所述侧面定位机构44包括设置在框体38的底板上的安装座50，设置在安装座50上的侧面导向轮51。当将光罩存放盒59推入到放置空间内时，左右两个侧面定位机构44上的侧面导向轮51能从两侧夹持该光罩存放盒59。该侧面导向轮51能够转动，方便光罩存放盒59推入放置空间。

另外，所述安装座50上表面设置有安装槽54，安装槽54内安装有安装块52，安装块52背向光罩存放盒59一侧与所述安装槽54的槽壁之间设置有压缩弹簧53。该安装块52的宽度小于安装槽54的宽度，使得安装块52能在所述安装槽54内移动，并且当安装块52移动时能挤压所述压缩弹簧53，使压缩弹簧53收缩。

侧面导向轮51设置于所述安装块52上，在初始状态下，左右两个侧面定位机构44上的侧面导向轮51之间的距离略小于光罩存放盒59的宽度，当将光罩存放盒59推入放置空间时，光罩存放盒59挤压左右两个侧面定位机构44的侧面导向轮51，使安装块52在安装槽54内移动，此时压缩弹簧53被压缩，又由于压缩弹簧53的回复力作用，使得左右两个侧面定位机构44的侧面导向轮51从两侧将光罩存放盒59夹紧。

另外，框体38上设置有用于限定所述光罩存放盒59前后位置的伸缩气缸47和限位柱45。具体设置时，限位柱45位于框体38的前端，而伸缩气缸47则位于框体38的后端。当光罩存放盒59推入到位时，光罩存放盒59的把手58抵靠到限位柱45上，通过限位柱45来限定光罩存放盒59前端的位置。光罩存放盒59推送到位后，控制伸缩气缸47的伸缩头伸出，从后端对光罩存放盒59进行限位。当然，伸缩气缸47和限位柱45也可设置在侧面定位机构44的安装座上，或者框体38和侧面定位机构44的安装座上都设置伸缩气缸47和限位柱45，其设置方式同样是限位柱45在前，伸缩气缸47在后。该电机43、伸缩气缸47等电器部件均与控制电脑3连接，由控制电脑3进行控制。

使用时，将光罩存放盒59的盒门57朝向前端并将光罩存放盒59从入口推入到放置空间内，使光罩存放盒59两侧的把手抵靠在限位柱45上，当光罩存放盒59推送到位后控制伸缩气缸47的伸缩头伸出，从后端对光罩存放盒59进行限位，此时下压机构从上方压紧光罩存放盒59，两个侧面定位机构44从两侧将光罩存放盒59夹紧，光罩存放盒59得以固定。控制电机43工作，电机43驱动摇臂42转动，摇臂42转动的过程中其前端抵靠光罩存放盒59的盒门57的边缘，进而推动盒门57打开，如图18所示，智能机械手8从前端将光罩18取出，光罩18取出后控制电机43反转，盒门57关闭，控制伸缩气缸47的伸缩头收缩，即可取出光罩存放盒59。

该智能机械手8上设置有两根托杆，智能机械手8拿取光罩18时均是从下方将光罩18托起，因此不会损伤光罩18的表面。智能机械手8从放置架6中取出光罩18后将光罩放置于光罩检测清洁机7上进行清洁、检测。

为了更好的对光罩18进行清洁、检测，如图5、6所示，该光罩检测清洁机7包括机台11，该机台11可以采用现有设备的工作台来实现，其上面设置有立柱，X轴移动机构14，连接在X轴移动机构14上的Y轴移动机构20等部件，该机台11与控制电脑3连接，由控制电脑3进行控制。通过控制电脑3能够控制X轴移动机构14和Y轴移动机构20移动，X轴移动机构14和Y轴移动机构20均包括拖链、龙门等部件，由于机台11为现有技术，在此不作过多赘述。

本实施例中，机台11上设置有光罩承载机构19，该光罩承载机构19安装于X轴移动机构14或者Y轴移动机构20上，用于放置待检测的光罩18；通过X轴移动机构14和Y轴移动机构20带动光罩承载机构19沿X轴和Y轴方向移动。

机台11上还设置有干式超声波除尘器15，该干式超声波除尘器15的清洁头固定于机台11的立柱上，该机台11能够带动光罩承载机构19移动至干式超声波除尘器15的清洁头下方，通过干式超声波除尘器15清除光罩18表面的灰尘颗粒。本申请采用干式超声波除尘器15清除光罩18表面的灰尘，其相比传统氮吹的清洁方式，能够防止灰尘飞扬，清洁效果更好。

对光罩表面进行清洁后需要对清洁效果进行检测，因此，机台11上还设置有两个用于检测光罩18表面的检测机构17，两个检测机构17上下间隔的安装于机台11的立柱上，当X轴移动机构14和Y轴移动机构20驱动光罩承载机构19移动至两个检测机构17之间时，两个检测机构17则分别检测光罩18正、反两个表面，提高了检测效果。

如图10、11所示，所述光罩承载机构19包括连接在机台11的X轴移动机构14或者Y轴移动机构20上的支架33，通过螺栓安装在支架33上的至少两根支撑杆30。本实施例中的支撑杆30设置为两根，并且间隔设置，光罩18的边缘放置在两根支撑杆30上，由两根支撑杆30支撑起光罩18。

另外，支架33上还设置有夹持气缸34，并且本实施例中的两根支撑杆30上均设置有限位部28。

检测时，光罩18被放置在夹持气缸34的气缸伸缩端29和限位部28之间，通过控制夹持气缸34的气缸伸缩端29伸出，即可将光罩18夹紧在气缸伸缩端29和限位部28之间，防止光罩18移位。

如图7、8、9所示，该检测机构17包括背板22、安装结构以及3D相机21。具体的，背板22可以安装于机台11的立柱上，其上设置有弧形槽26，安装结构安装于弧形槽26上。具体安装时，可以采用螺栓从背板22的一侧穿过弧形槽26后连接在安装结构上，并通过螺母锁紧，使用时松开螺母即可将安装结构沿弧形槽26移动。该3D相机21安装于安装结构上，当安装结构沿弧形槽26移动时，可以调节所述3D相机21与所述光罩18表面之间的夹角。

为了更好的安装3D相机21，如图8、9所示，该安装结构包括连接在所述弧形槽26上的角度调节板25，活动连接在角度调节板25上的安装板23，以及固定在角度调节板25上的距离调节块24；该3D相机21安装于安装板23上。

具体设置时，该安装板23上可设置槽孔27，采用螺栓从角度调节板25的一侧依次穿过角度调节板25和槽孔27后再通过螺母锁紧。通过设置槽孔27可以使安装板23能够相对角度调节板25上下移动一小段距离，从而调节所述3D相机21与所述光罩18表面之间的间距。

另外，距离调节块24通过连接部件与安装板23连接，并且连接部件能带动安装板23相对角度调节板25上下移动。该连接部件可以是螺栓或者螺杆。使用时，将螺栓或者螺杆穿过调节块24后拧入到安装板23中，通过正、反拧动螺栓或者螺杆即可带动安装板23上下移动。

检测时，调节好3D相机21与所述光罩18表面之间的夹角和间距，启动设备，智能机械手8从放置架6中将待检测的光罩18取出并放置于光罩承载机构19的支撑杆30上，控制夹持气缸34动作以夹紧该光罩18。控制机台11工作，使X轴移动机构14和Y轴移动机构20带动光罩承载机构19移动到干式超声波除尘器15的清洁头下方，干式超声波除尘器15对光罩18进行清洁，清洁后X轴移动机构14和Y轴移动机构20带动光罩承载机构19从两个检测机构17之间穿过，在此过程中，两个3D相机21则采集光罩18两个表面的图像信息，采集的信息传输给控制电脑3，控制电脑3通过分析图像即可得知光罩18的表面是否有灰尘颗粒或破损，如果没有则控制智能机械手8拿取该合格的光罩18存储于存储架9上。如果有灰尘则控制X轴移动机构14和Y轴移动机构20带动光罩承载机构19再次移动到干式超声波除尘器15的清洁头下方，进行重复清洁、检测。该外柜1上设置有报警器5，当光罩18存在破损时，控制电脑3则控制报警器5报警，提醒工作人员处理。本申请整个检测过程不需要翻动光罩18，提高了检测效率，也避免了因翻动光罩18时造成光罩损伤。该检测机构17上的3D相机21、干式超声波除尘器15等部件也由控制器3进行控制。

如图19、20所示，该存储架9包括存储架外框55，该存储架外框55上设置有若干块隔板，相邻两块隔板上由上至下设置有若干个存储组件。具体的，存储组件包括相对设置在相邻两块隔板上的两组支撑块32。存储时，智能机械手8将检测合格后的光罩18放置在相对设置的两组支撑块32上。该存储架9上设置有编号，以便于记录光罩18的编号。

实施例2

本实施例在实施例1的基础上，其在框体38的前端设置有前端红外传感器48，框体38的后端设置有后端红外传感器49。当光罩存放盒59推入到放置空间后，如果后端红外传感器49检测到光罩存放盒59而前端红外传感器48没有检测到光罩存放盒59，说明光罩存放盒59还需要进一步向前推送。当后端红外传感器49没有检测到光罩存放盒59而前端红外传感器48检测到光罩存放盒59，说明可能由于光罩存放盒59没有与限位柱5抵靠等原因而使得光罩存放盒59过度向前推送。只有当光罩存放盒59推送到位后，前端红外传感器48和后端红外传感器49均会检测到光罩存放盒59，此时电机43才会执行开门动作，智能机械手8才会进行后续的光罩拿取动作。前端红外传感器48和后端红外传感器49也均与控制电脑3电连接，其信号传输给控制电脑3。

实施例3

本实施例在实施例1或2的基础上，其在框体38上设置有底部导向轮46，该底部导向轮46能够转动，其用于支撑所述光罩存放盒59。即当光罩存放盒59从入口推入时会被置于底部导向轮46上，通过设置底部导向轮46可以更顺畅的将光罩存放盒59推入放置空间内。当然，该底部导向轮46也可以设置于侧面定位机构44的安装座上。

实施例4

本实施例在实施例3的基础上，其光罩承载机构19还包括两块夹持板31和气动手指35；该气动手指35安装在支架33上，而两块夹持板31则分别连接在气动手指35的两端，气动手指35能带动两块夹持板31移动，使两块所述夹持板31能分别夹紧光罩18的相对两侧边，这样即可从光罩18的四个侧边对光罩18进行夹紧。

实施例5

本实施例在实施例4的基础上，其在机台11上设置有读码器16，读码器16位于光罩18移动路径的上方，其用于读取光罩18的编号。光罩18在转运时会在其边缘上粘贴条码，通过读码器16扫描条码即可获取当前检测的光罩18的编号，以便于记录检测结果和存储。

另外，机台11上还可以设置光照灯12，以便于读码器16能更清晰的描条码。

机台11上还可以设置激光传感器13，其用于检测光罩18是否放平。该读码器16、光照灯12以及激光传感器13均由控制电脑3进行控制。另外，智能机械手8上也可设置激光传感器13，以提高智能机械手8拿取光罩的准确性。

需要注意的是，本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

另外，上述具体实施例是示例性的，本领域技术人员可以在本发明公开内容的启发下想出各种解决方案，而这些解决方案也都属于本发明的公开范围并落入本发明的保护范围之内。本领域技术人员应该明白，本发明说明书及其附图均为说明性而并非构成对权利要求的限制。本发明的保护范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：包括外柜(1)、分别设置在所述外柜(1)内部的放置架(6)、光罩检测清洁机(7)、智能机械手(8)以及存储架(9)；所述智能机械手(8)能带动光罩(18)在所述放置架(6)、所述光罩检测清洁机(7)以及所述存储架(9)之间转移。

2.根据权利要求1所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述光罩检测清洁机(7)包括机台(11)、设置在所述机台(11)上用于放置所述光罩(18)的光罩承载机构(19)、设置在所述机台(11)上用于检测所述光罩(18)表面的两个检测机构(17)以及设置在所述机台(11)上的干式超声波除尘器(15)；所述机台(11)能驱动所述光罩承载机构(19)移动至所述干式超声波除尘器(15)的清洁头下方；两个所述检测机构(17)间隔设置，并且所述机台(11)能驱动所述光罩承载机构(19)移动至两个所述检测机构(17)之间，使两个所述检测机构(17)能分别检测所述光罩(18)正、反两个表面。

3.根据权利要求2所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述检测机构(17)包括具有弧形槽(26)的背板(22)、安装在所述弧形槽(26)上的安装结构以及安装在所述安装结构上的3D相机(21)；

所述安装结构包括安装在所述弧形槽(26)上的角度调节板(25)、活动连接在所述角度调节板(25)上的安装板(23)以及固定在所述角度调节板(25)上的距离调节块(24)；所述3D相机(21)安装于安装板(23)上，所述角度调节板(25)能沿所述弧形槽(26)移动，从而调节所述3D相机(21)与所述光罩(18)表面之间的夹角；所述距离调节块(24)通过连接部件与所述安装板(23)连接，并且连接部件能带动所述安装板(23)相对所述角度调节板(25)上下移动，从而调节所述3D相机(21)与所述光罩(18)表面之间的间距。

4.根据权利要求2所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述光罩承载机构(19)包括连接在所述机台(11)上的支架(33)、设置在所述支架(33)上用于放置所述光罩(18)的至少两根支撑杆(30)以及安装在所述支架(33)上的夹持气缸(34)；两根所述支撑杆(30)上均设置有限位部(28)，所述光罩(18)被夹持在所述夹持气缸(34)的气缸伸缩端(29)和所述限位部(28)之间。

5.根据权利要求4所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述光罩承载机构(19)还包括相对设置的两块夹持板(31)、设置在所述支架(33)上且连接两块所述夹持板(31)的气动手指(35)；所述气动手指(35)能驱动两块所述夹持板(31)移动，使两块所述夹持板(31)能分别夹紧所述光罩(18)的相对两侧边。

6.根据权利要求1所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述放置架(6)包括安装架(36)和分别设置在所述安装架(36)上的若干个光罩存放盒定位开启装置(37)；所述光罩存放盒定位开启装置(37)包括框体(38)、分别设置在所述框体(38)上的下压机构、两个侧面定位机构(44)以及开门机构；所述下压机构和两个所述侧面定位机构(44)之间形成用于放置光罩存放盒(59)的放置空间，所述下压机构用于从上方压紧所述光罩存放盒(59)，两个所述侧面定位机构(44)用于从两侧夹持所述光罩存放盒(59)，所述开门机构用于开启所述光罩存放盒(59)的盒门(57)；所述框体(38)和/或所述侧面定位机构(44)上设置有用于限定所述光罩存放盒(59)前后位置的限位伸缩气缸(47)和限位柱(45)。

7.根据权利要求6所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述开门机构包括设置在所述框体(38)上的电机(43)和安装于所述电机(43)主轴上的摇臂(42)。

8.根据权利要求6所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述下压机构包括设置在所述框体(38)上的压杆(39)、设置在所述压杆(39)下端的压轮(41)和设置在所述压杆(39)上的扭簧(40)；所述压杆(39)能上下转动，且所述压杆(39)向上转动时能挤压所述扭簧(40)。

9.根据权利要求6所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述侧面定位机构(44)包括设置在所述框体(38)上的安装座(50)和设置在所述安装座(50)上的侧面导向轮(51)；所述安装座(50)上设置有安装槽(54)，所述安装槽(54)内安装有安装块(52)，所述安装块(52)背向所述光罩存放盒(59)一侧与所述安装槽(54)的槽壁之间设置有压缩弹簧(53)；所述导向轮(51)设置于所述安装块(52)上，所述安装块(52)能在所述安装槽(54)内移动，且所述安装块(52)移动时能挤压所述压缩弹簧(53)；两个所述侧面定位机构(44)上的所述侧面导向轮(51)能从两侧夹持所述光罩存放盒(59)。

10.根据权利要求1所述的光罩智能检测清洁存储设备，其特征在于：所述外柜(1)上设置有空气净化器(2)和控制电脑(3)；所述空气净化器(2)、所述放置架(6)、所述光罩检测清洁机(7)以及所述智能机械手(8)均与所述控制电脑(3)电连接。

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