CN217468363U - 晶圆承载装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆生产技术领域，具体的说是晶圆承载装置，包括承载座；所述承载座顶部安装有伸缩顶针，所述伸缩顶针在承载座内部设有多组；所述伸缩顶针顶端固接有托盘；所述托盘中部为凹陷设置；通过将伸缩顶针顶部设置有托盘，可增加伸缩顶针对晶圆支撑时的接触面积，同时在托盘内部设有凹陷，可使杂质落入到托盘的内部，减少在托盘与晶圆之间堆积的问题，提升伸缩顶针在对晶圆支撑时的稳定性，减少晶圆在伸缩顶针顶部被划伤的问题。

Description

晶圆承载装置

技术领域

本实用新型属于晶圆生产技术领域，具体的说是晶圆承载装置。

背景技术

晶圆承载装置是放置晶圆的一种装置，可控制顶针的升降来使得顶部放置的晶圆进行提升和下降。

在现有的晶圆承载装置在使用时，都是通过顶针来对晶圆进行支撑，长时间的使用观察中，发现了顶针端部与晶圆长时间接触会导致晶圆出现局部划伤的问题。

为此，本实用新型提供一种晶圆承载装置。

实用新型内容

为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的晶圆承载装置，包括承载座；所述承载座顶部安装有伸缩顶针，所述伸缩顶针在承载座内部设有多组；所述伸缩顶针顶端固接有托盘；所述托盘中部为凹陷设置；在使用时，先使得多个伸缩顶针同时伸长至预定高度，然后将晶圆放置在托盘顶部，然后再使多个伸缩顶针同时下降，使得晶圆处于承载座内部，通过将伸缩顶针顶部设置有托盘，可增加伸缩顶针对晶圆支撑时的接触面积，同时在托盘内部设有凹陷，可使杂质落入到托盘的内部，减少在托盘与晶圆之间堆积的问题，提升伸缩顶针在对晶圆支撑时的稳定性，减少晶圆在伸缩顶针顶部被划伤的问题。

优选的，所述托盘顶部内侧壁设有吸盘座；所述吸盘座与托盘之间安装有弹簧；所述吸盘座顶部固接有吸盘本体；通过在托盘顶部设有吸盘本体，可使托盘对晶圆进行支撑时，吸盘本体对晶圆进行吸附，减少托盘对晶圆支撑时，晶圆出现移位导致的掉落或是划伤问题，进一步提升托盘对晶圆支撑的稳定性。

优选的，所述托盘与伸缩顶针的底部承载筒之间设有条形气囊；所述条形气囊一端与托盘连接，另一端与伸缩顶针的底部承载筒连接；所述条形气囊与吸盘本体之间连通有导气管；通过在伸缩顶针中部设有条形气囊，可在伸缩顶针上升时条形气囊被拉长，此时条形气囊内部的气体就会从导气管处排出，当晶圆放置在吸盘本体顶部时，伸缩顶针即可下降，在伸缩顶针顶部下降的过程中，条形气囊会自身形变复位，将吸盘本体内部的气体抽出，此时晶圆就会被吸附在吸盘本体顶部，在伸缩顶针顶端上升时，条形气囊内部的气体又会进入到吸盘本体内部，将晶圆顶起，使得晶圆可正常取下，该设置可提升伸缩顶针在对晶圆支撑时的稳定性。

优选的，所述托盘底部内侧壁固接有多组限位杆；所述限位杆设置在吸盘座的底部；通过在吸盘座底部设有限位杆，可对吸盘座进行限位，避免吸盘座的过度下降导致的晶圆与吸盘本体脱落问题。

优选的，所述吸盘座与托盘之间连接有伸缩杆；所述伸缩杆在吸盘座与托盘之间设有多组；通过在吸盘座与托盘之间设有伸缩杆，可使吸盘座对晶圆的支撑更加稳定，不会出现左右偏移的问题。

优选的，所述吸盘本体内侧壁固接有防渣网a；所述防渣网a设置在吸盘本体内部与导气管对应位置处；通过在导气管顶部设有防渣网a，可使吸盘本体对晶圆记性支撑时，碎屑不易掉落至条形气囊内部是，提升条形气囊使用的稳定性。

优选的，所述吸盘本体顶部固接有防渣网b；所述防渣网b覆盖在防渣网 a顶部；通过在防渣网a顶部设有防渣网b，可使得防渣网b对防渣网a进行防护，对导气管和条形气囊进行二次防护。

一种涂胶显影设备；所述涂胶显影设备包括基座；所述基座适用于上述的晶圆承载装置，且使用方法包括：

S1：将晶圆置于托盘顶部，且使得托盘将晶圆提升至预定高度；

S2：将托盘顶部的晶圆吸附移动至晶圆承载装置上；

S3：对晶圆进行涂胶显影处理。

本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型所述的晶圆承载装置，通过将伸缩顶针顶部设置有托盘，可增加伸缩顶针对晶圆支撑时的接触面积，同时在托盘内部设有凹陷，可使杂质落入到托盘的内部，减少在托盘与晶圆之间堆积的问题，提升伸缩顶针在对晶圆支撑时的稳定性，减少晶圆在伸缩顶针顶部被划伤的问题。

2.本实用新型所述的晶圆承载装置，通过在托盘顶部设有吸盘本体，可使托盘对晶圆进行支撑时，吸盘本体对晶圆进行吸附，减少托盘对晶圆支撑时，晶圆出现移位导致的掉落或是划伤问题，进一步提升托盘对晶圆支撑的稳定性。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型的立体图；

图2是本实用新型中顶针的结构示意图；

图3是图2中A处局部放大图；

图4是本实用新型中防渣网的第二种实施列结构示意图；

图5是本实用新型中的显影方法图；

图中：1、承载座；11、伸缩顶针；12、托盘；2、吸盘座；21、吸盘本体；3、条形气囊；31、导气管；4、限位杆；5、伸缩杆；6、防渣网a；7、防渣网b。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

实施例一

如图1至图3所示，本实用新型实施例所述的一种晶圆承载装置包括承载座1；所述承载座1顶部安装有伸缩顶针11，所述伸缩顶针11在承载座1 内部设有多组；所述伸缩顶针11顶端固接有托盘12；所述托盘12中部为凹陷设置；在使用时，先使得多个伸缩顶针11同时伸长至预定高度，然后将晶圆放置在托盘12顶部，然后再使多个伸缩顶针11同时下降，使得晶圆处于承载座1内部，通过将伸缩顶针11顶部设置有托盘12，可增加伸缩顶针11 对晶圆支撑时的接触面积，同时在托盘12内部设有凹陷，可使杂质落入到托盘12的内部，减少在托盘12与晶圆之间堆积的问题，提升伸缩顶针11在对晶圆支撑时的稳定性，减少晶圆在伸缩顶针11顶部被划伤的问题。

所述托盘12顶部内侧壁设有吸盘座2；所述吸盘座2与托盘12之间安装有弹簧；所述吸盘座2顶部固接有吸盘本体21；通过在托盘12顶部设有吸盘本体21，可使托盘12对晶圆进行支撑时，吸盘本体21对晶圆进行吸附，减少托盘12对晶圆支撑时，晶圆出现移位导致的掉落或是划伤问题，进一步提升托盘12对晶圆支撑的稳定性。

所述托盘12与伸缩顶针11的底部承载筒之间设有条形气囊3；所述条形气囊3一端与托盘12连接，另一端与伸缩顶针11的底部承载筒连接；所述条形气囊3与吸盘本体21之间连通有导气管31；通过在伸缩顶针11中部设有条形气囊3，可在伸缩顶针11上升时条形气囊3被拉长，此时条形气囊3 内部的气体就会从导气管31处排出，当晶圆放置在吸盘本体21顶部时，伸缩顶针11即可下降，在伸缩顶针11顶部下降的过程中，条形气囊3会自身形变复位，将吸盘本体21内部的气体抽出，此时晶圆就会被吸附在吸盘本体 21顶部，在伸缩顶针11顶端上升时，条形气囊3内部的气体又会进入到吸盘本体21内部，将晶圆顶起，使得晶圆可正常取下，该设置可提升伸缩顶针11 在对晶圆支撑时的稳定性。

所述托盘12底部内侧壁固接有多组限位杆4；所述限位杆4设置在吸盘座2的底部；通过在吸盘座2底部设有限位杆4，可对吸盘座2进行限位，避免吸盘座2的过度下降导致的晶圆与吸盘本体21脱落问题。

所述吸盘座2与托盘12之间连接有伸缩杆5；所述伸缩杆5在吸盘座2 与托盘12之间设有多组；通过在吸盘座2与托盘12之间设有伸缩杆5，可使吸盘座2对晶圆的支撑更加稳定，不会出现左右偏移的问题。

所述吸盘本体21内侧壁固接有防渣网a6；所述防渣网a6设置在吸盘本体21内部与导气管31对应位置处；通过在导气管31顶部设有防渣网a6，可使吸盘本体21对晶圆记性支撑时，碎屑不易掉落至条形气囊3内部是，提升条形气囊3使用的稳定性。

实施例二

如图4所示，对比实施例一，其中本实用新型的另一种实施方式为：所述吸盘本体21顶部固接有防渣网b7；所述防渣网b7覆盖在防渣网a6顶部；通过在防渣网a6顶部设有防渣网b7，可使得防渣网b7对防渣网a6进行防护，对导气管31和条形气囊3进行二次防护。

一种涂胶显影设备；所述涂胶显影设备包括基座；所述基座适用于上述的晶圆承载装置，且使用方法包括：

S1：将晶圆置于托盘12顶部，且使得托盘12将晶圆提升至预定高度；

S2：将托盘12顶部的晶圆吸附移动至晶圆承载装置上；

S3：对晶圆进行涂胶显影处理。

上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种晶圆承载装置，其特征在于：包括承载座(1)；所述承载座(1)顶部安装有伸缩顶针(11)，所述伸缩顶针(11)在承载座(1)内部设有多组；所述伸缩顶针(11)顶端固接有托盘(12)；所述托盘(12)中部为凹陷设置。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆承载装置，其特征在于：所述托盘(12)顶部内侧壁设有吸盘座(2)；所述吸盘座(2)与托盘(12)之间安装有弹簧；所述吸盘座(2)顶部固接有吸盘本体(21)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆承载装置，其特征在于：所述托盘(12)与伸缩顶针(11)的底部承载筒之间设有条形气囊(3)；所述条形气囊(3)一端与托盘(12)连接，另一端与伸缩顶针(11)的底部承载筒连接；所述条形气囊(3)与吸盘本体(21)之间连通有导气管(31)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆承载装置，其特征在于：所述托盘(12)底部内侧壁固接有多组限位杆(4)；所述限位杆(4)设置在吸盘座(2)的底部。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆承载装置，其特征在于：所述吸盘座(2)与托盘(12)之间连接有伸缩杆(5)；所述伸缩杆(5)在吸盘座(2)与托盘(12)之间设有多组。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆承载装置，其特征在于：所述吸盘本体(21)内侧壁固接有防渣网a(6)；所述防渣网a(6)设置在吸盘本体(21)内部与导气管(31)对应位置处。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆承载装置，其特征在于：所述吸盘本体(21)顶部固接有防渣网b(7)；所述防渣网b(7)覆盖在防渣网a(6)顶部。

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