CN217426696U - 一种led外延托盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种LED外延托盘，包括托盘本体，所述托盘本体上开设有若干开口槽，所述开口槽内安装有承载台，所述承载台用于放置所述LED外延片，所述托盘本体内设有中空腔，所述承载台通过连接柱连接在所述中空腔的底部，其中一个所述承载台设置在所述托盘本体的中心位置，其余所述承载台环绕所述托盘本体的中心设置；活动筒，活动安装于所述承载台的外围，所述活动筒螺纹连接在所述开口槽中，以使所述活动筒可在所述承载台外围竖向移动，本申请通过活动筒将承载台分隔开，避免在LED外延片生长过程中出现粘连或者贴合的情况，省去了将LED外延片分开的工序，提高了加工效率。

Description

一种LED外延托盘

技术领域

本实用新型属于LED外延的技术领域，具体地涉及一种LED外延托盘。

背景技术

在LED的外延生长过程中，通常需要将衬底放置在托盘上，并通过金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备在衬底上生长出N型层、有源层、P型层等，以形成LED外延片。

现有技术中的LED外延托盘，为了节省空间以及增加衬底的放置数量，通常将放置衬底的承载台相互连通设置，这样使得衬底的边缘会贴合在一起，但如此会导致在LED外延片的生长过程中，LED外延片会粘连或者贴合在一起，需要再次将其分离，增加了加工工序的同时又影响LED外延片的加工效率。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种LED外延托盘，用于解决现有技术LED外延片的生长过程中，LED外延片会粘连或者贴合在一起，需要再次将其分离，增加了加工工序的同时又影响LED外延片的加工效率的技术问题。

该实用新型提供以下技术方案，一种LED外延托盘，包括：

托盘本体，所述托盘本体上开设有若干开口槽，所述开口槽内安装有承载台，所述承载台用于放置所述LED外延片，所述托盘本体内设有中空腔，所述承载台通过连接柱连接在所述中空腔的底部，其中一个所述承载台设置在所述托盘本体的中心位置，其余所述承载台环绕所述托盘本体的中心设置；

活动筒，活动安装于所述承载台的外围，所述活动筒螺纹连接在所述开口槽中，以使所述活动筒可在所述承载台外围竖向移动，所述活动筒的外壁设有外螺纹，所述开口槽上设有与所述外螺纹相适配的内螺纹，所述承载台与所述活动筒的内壁贴合；

其中，所述活动筒的高度等于所述承载台与所述连接柱的高度之和。

相比现有技术，本申请的有益效果为：本申请通过活动筒的阻挡，可将若干个承载台分隔开，使得每个承载台成为一个独立的个体，避免在LED外延片生长过程中出现粘连或者贴合的情况，省去了将LED外延片分开的工序，提高了LED外延片的加工效率。

较佳地，所述承载台的顶面高于所述托盘本体的顶面。

较佳地，所述托盘本体的表面开设有若干冷却孔，所述冷却孔与所述中空腔连通。

较佳地，所述托盘本体由单晶硅材料制成。

较佳地，相邻两个所述承载台之间留有分隔间隙。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的LED外延托盘的立体图；

图2为本实用新型实施例提供的托盘本体的立体图；

图3为本实用新型实施例提供的LED外延托盘的剖面图。

附图标记说明：

托盘本体	1	承载台	2
				活动筒	3	冷却孔	4
开口槽	5	连接柱	6

以下将结合附图对本实用新型实施例作进一步说明。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型的实施例，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

在本实用新型的实施例中，如图1-图3所示，一种LED外延托盘，包括：托盘本体1以及活动安装在所述托盘本体1上的活动筒3。

其中，所述托盘本体1上开设有若干开口槽5，所述开口槽5内安装有承载台2，所述承载台2用于放置所述LED外延片，所述托盘本体1内设有中空腔，所述承载台2通过连接柱6连接在所述中空腔的底部，其中一个所述承载台2设置在所述托盘本体1的中心位置，其余所述承载台2环绕所述托盘本体1的中心设置；

具体的，所述开口槽5具体为圆形结构，其用于安装同样为圆形结构的承载台2，在LED外延片生长过程中，首先将衬底放置在承载台2上，并依次在衬底上生长若干半导体层以形成LED外延片；

其中，承载台2安装在开口槽5中，在开口槽5中还设有一环形安装槽，所述环形安装槽设置在所述承载台2外缘与所述开口槽5外缘之间，即所述环形安装槽设置在开口槽5中，活动筒3连接在环形安装槽中，且活动筒3的内壁与所述承载台2的外缘贴合，活动筒3的外壁与所述开口槽5的外围边缘贴合；

值得说明的是，承载台2通过连接柱6连接在中空腔的底部，所述托盘本体1的内部中空设置以形成所述中空腔，中空腔的设置一方面可以为活动筒3的活动留出足够空间，另一方面可以便于支撑所述承载台2，进一步的，所述连接柱6连接在所述承载台2的底面中心位置，且连接柱6的直径小于所述承载台2的直径，以保证连接柱6的边缘始终处于承载台2在底面的投影范围之内，使得连接柱6的边缘不会超出所述承载台2的边缘，确保连接柱6不会影响活动筒3的移动；

可理解的是，在本实施例中，所述开口槽设有七个，其中一个设置在托盘本体1的中心位置，其余六个环绕托盘本体1的中心设置，使得托盘本体1可同时生长七块LED外延片，大幅度提高了LED外延片的加工效率。

所述活动筒3活动安装于所述承载台2的外围，所述活动筒3螺纹连接在所述开口槽5中，以使所述活动筒3可在所述承载台2外围竖向移动，所述活动筒3的外壁设有外螺纹，所述开口槽5上设有与所述外螺纹相适配的内螺纹，所述承载台2与所述活动筒3的内壁贴合；

具体的，所述活动筒3螺纹连接开口槽5内的环形安装槽中，通过转动活动筒3可使得活动筒3在所述承载台2的外围上下移动，外螺纹设置在活动筒3的外壁，可保证活动筒3内壁与承载台2外围接触光滑，以便于活动筒3的移动，同时所述承载台2与所述活动筒3贴合设置，一方面便于活动筒3的移动，另一方面便于放置衬底；

可理解的是，通过活动筒3的设置，可将若干个承载台2分隔开，使得每个承载台2成为一个独立的个体，避免在LED外延片生长过程中出现粘连或者贴合的情况，省去了将LED外延片分开的工序，提高了LED外延片的加工效率；

同时，由于活动筒3可在承载台2外围竖向移动，使得活动筒3超出承载台2的高度可根据实际生产要求改变，由于不同LED外延片的厚度可能不同，为了进一步保证LED外延片的生长过程中不会出现粘连的情况，需控制活动筒3伸出承载台2顶面的高度，保证活动筒3伸出承载台2顶面的高度大于LED外延片成品的厚度，以起到更好的阻隔作用；

而且，在LED外延片生长完毕后，需要将其取出，此时可转动活动筒3，使得活动筒3整体朝下运动，以保证生长完毕后的LED外延片逐渐裸露出来，便于拿取LED外延片。

所述活动筒3的高度等于所述承载台2与所述连接柱6的高度之和；

值得说明的是，在转动活动筒3的过程中，如果活动筒3的高度过大，会导致活动筒3伸出承载台2的高度过大，此时活动筒3顶面与承载台2顶面之间的间距过大，在取出LED外延片时较为困难，如果活动筒3的高度过小，会导致在转动活动筒3时，可能会出现活动筒3掉入中空腔的情况，影响后续的加工过程，因而，在本实施例中，活动筒3的高度等于承载台2与连接柱6的高度之和，既能便于拿取LED外延片的过程，又保证活动筒3不会掉入中空腔。

在本实施例中，所述承载台2的顶面高于所述托盘本体1的顶面；

具体的，如此设置使得在拿取生长完毕后的LED外延片时，更加方便，同时也进一步避免活动筒3掉入中空腔的情况，在转动活动筒3时，只需保证活动筒3转动至其顶面与承载台2的顶面平齐即可，此时在拿取LED外延片时较为方便，且此时活动筒3的顶面超出托盘本体1的顶面，以便于再次转动活动筒3。

在本实施例中，所述托盘本体1的表面开设有若干冷却孔4，所述冷却孔4与所述中空腔连通；

值得说明的是，在LED外延片生长过程在高温的环境下进行，通过冷却孔4可快速对生长完毕后的LED外延片进行冷却，提高加工效率。

在本实施例中，所述托盘本体1由单晶硅材料制成。

在本实施例中，相邻两个所述承载台2之间留有分隔间隙；

具体的，通过分割间隙可进一步将承载台2分割开，避免LED外延片生长过程中出现粘连的情况。

综上，本实用新型上述实施例当中的LED外延托盘，本申请通过活动筒3的设置，可将若干个承载台2分隔开，使得每个承载台2成为一个独立的个体，避免在LED外延片生长过程中出现粘连或者贴合的情况，省去了将LED外延片分开的工序，提高了LED外延片的加工效率，同时由于活动筒3可在承载台2外围竖向移动，使得活动筒3超出承载台2顶面的高度可根据实际生产要求改变，为了进一步保证LED外延片的生长过程中不会出现粘连的情况，需控制活动筒3伸出承载台2顶面的高度，保证活动筒3伸出承载台2顶面的高度大于成品LED外延片的厚度，以起到更好的阻隔作用；而且，在LED外延片生长完毕后，需要将其取出，此时则可转动活动筒3，使得活动筒3整体朝下运动，以保证生长完毕后的LED外延片逐渐裸露出来，便于拿取LED外延片。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种LED外延托盘，用于承载LED外延片的生长，其特征在于，包括：

托盘本体，所述托盘本体上开设有若干开口槽，所述开口槽内安装有承载台，所述承载台用于放置所述LED外延片，所述托盘本体内设有中空腔，所述承载台通过连接柱连接在所述中空腔的底部，其中一个所述承载台设置在所述托盘本体的中心位置，其余所述承载台环绕所述托盘本体的中心设置；

活动筒，活动安装于所述承载台的外围，所述活动筒螺纹连接在所述开口槽中，以使所述活动筒可在所述承载台外围竖向移动，所述活动筒的外壁设有外螺纹，所述开口槽上设有与所述外螺纹相适配的内螺纹，所述承载台与所述活动筒的内壁贴合；

其中，所述活动筒的高度等于所述承载台与所述连接柱的高度之和。

2.根据权利要求1所述的LED外延托盘，其特征在于，所述承载台的顶面高于所述托盘本体的顶面。

3.根据权利要求1所述的LED外延托盘，其特征在于，所述托盘本体的表面开设有若干冷却孔，所述冷却孔与所述中空腔连通。

4.根据权利要求1所述的LED外延托盘，其特征在于，所述托盘本体由单晶硅材料制成。

5.根据权利要求1所述的LED外延托盘，其特征在于，相邻两个所述承载台之间留有分隔间隙。

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