CN217405395U - 一种吸附湿润晶圆的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种吸附湿润晶圆的装置，涉及晶片湿法处理的技术领域。所述装置主体为承片手指1，所述承片手指1通过管路连接至减压阀一2与减压阀二3，所述减压阀一2与承片手指1的连通管路上设置两通通断阀4，所述减压阀二3与承片手指1的连通管路上设置三通通断阀5，所述三通通断阀5的第三通出口连接至单向阀6和节流阀7。本实用新型通过引入一路压缩空气，可将每次吸入管路的少量液体排出，避免了的大量液体的积累，具有成本低、应用范围广的有益效果。

Description

一种吸附湿润晶圆的装置

技术领域

本实用新型涉及晶片湿法处理的技术领域，具体是一种吸附湿润晶圆的装置。

背景技术

半导体湿法处理设备内部一般都设有湿处理单元，有时候晶圆在单元内部无法进行旋转甩干，这样湿处理过的晶圆背面可能就会附着一层液体薄膜，这样当真空手指采用真空吸附的方式将晶圆取出时，晶圆背面附着的液体会一同被吸进真空管路里面，当液体积累过多时，可能造成真空管路的堵塞或者将液体吸入到真空泵中造成吸附不良或者真空泵的损坏。

实用新型内容

为解决上述问题，即解决上述背景技术提出的问题，本实用新型提出了一种吸附湿润晶圆的装置，具体技术方案如下：

一种吸附湿润晶圆的装置，所述装置主体为承片手指1，所述承片手指1通过管路连接至减压阀一2与减压阀二3，所述减压阀一2与承片手指1的连通管路上设置两通通断阀4，所述减压阀二3与承片手指1的连通管路上设置三通通断阀5，所述三通通断阀5的第三通出口连接至单向阀6和节流阀7。

进一步的，所述减压阀一2一端连接至承片手指1，另一端连接至压缩空气源8。

进一步的，所述减压阀二3一端连接至承片手指1，另一端连接至真空源9。

进一步的，所述单向阀6节流阀7并联至三通通断阀5。

本实用新型的有益技术效果为：本实用新型通过引入一路压缩空气，可将每次吸入管路的少量液体排出，避免了的大量液体的积累，具有成本低、应用范围广的有益效果。

附图说明

图1为本实用新型一种实施方式的结构示意图。

附图标记1，承片手指；2，减压阀一；3，减压阀二；4，两通通断阀；5，三通通断阀；6，单向阀；7，节流阀；8，压缩空气源；9，真空源；10，晶圆。

具体实施方式

下面参照附图来描述本实用新型的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本实用新型的技术原理，并非旨在限制本实用新型的保护范围。

如图所示，一种吸附湿润晶圆的装置，所述装置主体为承片手指1，所述承片手指1通过管路连接至减压阀一2与减压阀二3，所述减压阀一2与承片手指1的连通管路上设置两通通断阀4，所述减压阀二3与承片手指1的连通管路上设置三通通断阀5，所述三通通断阀5的第三通出口连接至单向阀6和节流阀7。

所述减压阀一2一端连接至承片手指1，另一端连接至压缩空气源8。

所述减压阀二3一端连接至承片手指1，另一端连接至真空源9。

所述单向阀6节流阀7并联至三通通断阀5。

本实用新型的工作过程及工作原理如下：

使用时，减压阀二设定一个预设的真空压力值，三通通断阀切换到真空源与承片手指管路想通，当承片手指接触晶圆10的时候，晶圆毁在真空力的作用下被吸附在承片手指上，同时因为晶圆背面沾有液体，少量液体同样会被吸进真空管路中去；当晶圆被传递到预定位置后，三通通断阀切换，将真空源关闭，承片手指的真空管路与大气相通，同时单向阀在负压状态下被打开，空气进入承片手指管路，晶圆可与承片手指脱离。承片手指缩回离开景园区域后，两通通断阀切换状态，将承片手指管路与压缩空气管路联通，此时残留在承片手指管路中的少量液体在压缩空气的推动下被吹出手指，保证液体不会大量寄存。同时为了保证压缩空气的吹扫效果，三通通断阀的出口设置节流阀，可适当调整控制和减小此出口的排气量，使大部分的压缩空气从承片手指的出口处排出，之后将两通通断阀复位，三通通断阀复位，承片手指恢复继续取晶圆的状态。

虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件，尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

在本实用新型的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，还需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

术语“包括”或者任何其它类似用语旨在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、物品或者设备/装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其它要素，或者还包括这些过程、物品或者设备/装置所固有的要素。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本实用新型的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本实用新型的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本实用新型的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种吸附湿润晶圆的装置，其特征在于：所述装置主体为承片手指（1），所述承片手指（1）通过管路连接至减压阀一（2）与减压阀二（3），所述减压阀一（2）与承片手指（1）的连通管路上设置两通通断阀（4），所述减压阀二（3）与承片手指（1）的连通管路上设置三通通断阀（5），所述三通通断阀（5）的第三通出口连接至单向阀（6）和节流阀（7）。

2.根据权利要求1所述的一种吸附湿润晶圆的装置，其特征在于：所述减压阀一（2）一端连接至承片手指（1），另一端连接至压缩空气源（8）。

3.根据权利要求1所述的一种吸附湿润晶圆的装置，其特征在于：所述减压阀二（3）一端连接至承片手指（1），另一端连接至真空源（9）。

4.根据权利要求1所述的一种吸附湿润晶圆的装置，其特征在于：所述单向阀（6）节流阀（7）并联至三通通断阀（5）。

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