CN217382969U - 尾气处理系统 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种尾气处理系统。所述尾气处理系统包括：依次连接的过滤装置、冷却装置、燃烧装置以及吸附装置；其中，过滤装置与反应装置的排气口连接，用于过滤从排气口排出的尾气中的颗粒物，得到第一混合气体；冷却装置用于冷却第一混合气体，以分离第一混合气体中的卤族化合物，得到第二混合气体；燃烧装置用于燃烧第二混合气体中的可燃气体，得到第三混合气体；吸附装置用于吸附第三混合气体中的指定成分，得到处理后气体。本申请实施例中，所述尾气处理系统可以去除所述尾气中的颗粒物、卤族化合物、可燃气体和指定成分等不适合直接排放的物质，以避免所述尾气直接排放对环境造成的污染。

Description

尾气处理系统

技术领域

本申请属于光伏技术领域，具体涉及一种尾气处理系统。

背景技术

近年来，光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，有着广泛的市场需求。单晶硅片通常由单晶硅棒进行切片处理得到的，而单晶硅棒则可以由硅料融化成硅液之后拉制而成。因此，在形成硅片之前的各个生产环节，硅料、硅液以及硅棒的纯度皆可能会影响到单晶硅片的最终的品质。

在具体的应用中，为了提高单晶硅片的品质，通常可以采用反应气体(例如含卤气体等)与硅料、硅液或者单晶硅棒拉制过程中的热场部件等处理对象反应，以提高硅料或者硅液的纯度。然而，在反应气体与上述处理对象反应后形成的尾气中，通常包含有较多的颗粒物和混合气体，直接将上述尾气排放会对环境造成较大的污染，因此，需要一种尾气处理系统对上述尾气进行处理。

实用新型内容

本申请旨在提供一种尾气处理系统，以解决现有硅料处理后的尾气排放会对环境造成较大的污染的问题。

为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

本申请公开了一种尾气处理系统，所述尾气处理系统包括：依次连接的过滤装置、冷却装置、燃烧装置以及吸附装置；其中，

所述过滤装置与反应装置的排气口连接，用于过滤从所述排气口排出的尾气中的颗粒物，得到第一混合气体；所述颗粒物包括一氧化硅、二氧化硅中的至少一种；

所述冷却装置用于冷却所述第一混合气体，以分离所述第一混合气体中的卤族化合物，得到第二混合气体；

所述燃烧装置用于燃烧所述第二混合气体中的可燃气体，得到第三混合气体；所述可燃气体包括一氧化碳、含卤气体中的至少一种；

所述吸附装置用于吸附所述第三混合气体中的指定成分，得到处理后气体；所述处理后气体至少包括惰性气体，所述指定成分包括二氧化碳、卤族化合物、氢气以及水中的至少一种。

可选地，所述尾气装置还包括：回收装置，所述回收装置至少包括回收管道，所述回收管道的一端与所述吸附装置连接，所述回收管道的另一端与所述反应装置连接，所述回收管道用于将所述反应后气体导入所述反应装置，以回收所述反应后气体中的惰性气体。

可选地，所述尾气系统还包括：精馏装置；其中，所述精馏装置设置于所述吸附装置和所述回收装置之间，且分别与所述吸附装置和所述回收装置连接，所述精馏装置用于冷却所述处理后气体，分离所述处理后气体中的含卤气体；

可选地，所述尾气处理系统还包括：干泵，所述干泵连接在所述过滤装置与所述冷却装置之间，所述干泵用于将第一混合气体泵送至所述冷却装置中。

可选地，所述过滤装置包括过滤罐，所述过滤罐包括罐体以及设置在所述罐体内的多层过滤网，

所述罐体上设置有第一进气口和第一出气口；

所述第一进气口与所述反应装置的排气口连接，用于将所述尾气导入所述罐体内；

所述多层过滤网设置于所述第一进气口与所述第一出气口之间，用于过滤所述尾气中的颗粒物，得到第二混合气体；

所述第一出气口与所述冷却装置连接，用于将所述第二混合气体导出至所述冷却装置。

可选地，所述多层过滤网依次设置于所述第一进气口与所述第一出气口之间，且沿所述第一进气口至所述第一出气口的方向，所述过滤网的孔径依次递减。

可选地，所述冷却装置包括冷却塔，所述冷却塔包括塔体和设置在所述塔体内的冷却通道；

所述塔体上设置有第二进气口和第二出气口；

所述第二进气口与所述过滤装置连接，用于将所述第一混合气体导入所述塔体内；

所述冷却通道设置于所述第二进气口和所述第二出气口之间，用于冷却所述第一混合气体膜分离出所述第一混合气体中的卤族化合物，得到第二混合气体；

所述第二出气口与所述燃烧装置连接，用于将所述第二混合气体导出至所述燃烧装置。

可选地，所述塔体上还设置有用于向所述冷却通道导入冷却介质的第一进口，用于将冷却介质从所述冷却通道内导出的第一出口，以及用于将所述卤族化合物从所述塔体排出的第二出口，其中，所述第二出口设置于所述塔体的底部。

可选地，所述燃烧装置为化学燃烧室。

可选地，所述吸附装置为沸石分子筛。

本申请实施例中，通过设置依次连接的过滤装置、冷却装置、燃烧装置以及吸附装置，可以对从反应装置排出的尾气依次进行过滤、冷却、燃烧以及吸附等处理，以去除所述尾气中的颗粒物、卤族化合物、可燃气体和指定成分等不适合直接排放的物质，以避免所述尾气直接排放对环境造成的污染。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请实施例所述的一种尾气处理系统的结构示意图；

图2是本申请实施例所述的另一种尾气处理系统的结构示意图；

图3是本申请实施例的再一种尾气处理系统的结构示意图；

图4是本申请实施例所述的一种尾气处理方法的步骤流程图；

附图标记：10-反应装置，20-过滤装置，201-第一进气口，202-第一出气口，30-冷却装置，301-第二进气口，302-第二出气口，303-第一进口， 304-第一出口，305-第二出口，40-燃烧装置，50-吸附装置，60-回收管道， 70-精馏装置，701-第二进口，703-第三出口，80-干泵。

具体实施方式

下面将详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1，示出了本申请实施例所述的一种尾气处理系统的结构示意图，如图1所示，所述尾气处理系统具体可以包括：依次连接的过滤装置20、冷却装置30、燃烧装置40以及吸附装置50；其中，过滤装置20与反应装置10的排气口连接，用于过滤从所述排气口排出的尾气中的颗粒物，得到第一混合气体；所述颗粒物包括一氧化硅、二氧化硅中的至少一种；冷却装置30用于冷却所述第一混合气体，以分离所述第一混合气体中的卤族化合物，得到第二混合气体；燃烧装置40用于燃烧所述第二混合气体中的可燃气体，得到第三混合气体；所述可燃气体包括一氧化碳、含卤气体中的至少一种；吸附装置50用于吸附所述第三混合气体中的指定成分，得到处理后气体；所述处理后气体至少包括惰性气体，所述指定成分包括二氧化碳、卤族化合物、氢气以及水中的至少一种。

本申请实施例中，通过设置依次连接的过滤装置20、冷却装置30、燃烧装置40以及吸附装置50，可以对从反应装置10排出的尾气依次进行过滤、冷却、燃烧以及吸附等处理，以去除所述尾气中的颗粒物、卤族化合物、可燃气体和指定成分等不适合直接排放的物质，以避免所述尾气直接排放对环境造成的污染。

具体的，反应装置10可以为反应气体与硅料、硅液或者热场部件发生反应的装置。示例的，所述反应气体可以包括含卤气体和惰性气体等，所述含卤气体可以为卤素单质气体或者包含有卤元素的化合物气体。示例的，所述寒露气体可以包括但不局限于氯气、溴气、氟气、四氯化碳、氯化氢、氟利昂中的至少一种。所述惰性气体可以包括但不局限于氮气、氩气、氦气中的至少一种。本申请实施例对于所述含卤气体和所述惰性气体的具体类型可以不做限定。反应装置10可以为单晶炉或者硅料反应炉等，本申请实施例对反应装置10的具体类型可以不做限定。

在实际应用中，所述尾气的成分可以包括一氧化硅和二氧化硅等颗粒物(硅料或者硅液与氧气高温反应后得到)，四氯化硅以及金属氯化物等卤族化合物 (硅料、硅液以及硅料或者硅液中的金属杂质与含卤气体反应后得到)，一氧化碳(热场部件与氧气高温反应后得到)、惰性气体以及未完成反应的含卤气体等。

在本申请的一些可选实施例中，过滤装置20可以包括过滤罐，所述过滤罐可以包括罐体以及设置在所述罐体内的多层过滤网，所述罐体上设置有第一进气口201和第一出气口202；第一进气口201与反应装置10的排气口连接，用于将所述尾气导入所述罐体内；所述多层过滤网设置于第一进气口201与第一出气口202之间，用于过滤所述尾气中的颗粒物，得到第二混合气体；第一出气口202与所述冷却装置30连接，用于将所述第二混合气体导出至冷却装置 30。

在实际应用中，由于尾气中的一氧化硅、二氧化硅等通常以颗粒物的形式存在，因此，在尾气从反应装置10的排气口出来后，采用过滤装置20对所述尾气进行过滤处理，以滤除所述尾气中的上述颗粒物，得到第一混合气体。具体的，所述第一混合气体为所述尾气中的一氧化硅、二氧化硅等颗粒物被滤除后得到的气体。通过在所述过滤罐内设置多层过滤网，可以实现对于所述尾气的多重过滤，以实现较好的过滤效果。

具体的，由于反应装置10排出的尾气中的颗粒物的粒径较大，如果不优先去除所述颗粒物，将会对后续的干泵、冷却装置等造成损坏。因此，本申请实施例中，通过将过滤装置20直接与反应装置10连接，先过滤反应装置10排出的尾气中的一氧化硅、二氧化硅等粒径较大的颗粒物，可避免所述颗粒物进入后续工艺中对干泵80、吸附装置50造成损坏，提高干泵80、吸附装置50的使用寿命，从而，可以提高所述尾气处理系统的使用寿命。

可选地，所述多层过滤网依次设置于第一进气口201与第一出气口202之间，且沿第一进气口201至第一出气口202的方向，所述过滤网的孔径依次递减。这样，可以按照颗粒物的粒径大小，按照从大到小的顺序依次滤除掉所述颗粒物，提高所述颗粒物的过滤效果。

需要说明的是，在实际应用中，所述过滤网的数量可以根据实际情况进行设定，例如，所述过滤网的数量可以为3层、5层或者6层等，而且，过滤网的孔径也可以根据实际情况进行设定，本申请实施例对于所述过滤网的层数和孔径不做具体限定。

在本申请的一些可选实施例中，冷却装置30可以包括冷却塔，所述冷却塔包括塔体和设置在所述塔体内的冷却通道；所述塔体上设置有第二进气口301 和第二出气口302；第二进气口301与过滤装置20连接，用于将所述第一混合气体导入所述塔体内；所述冷却通道设置于第二进气口301和第二出气口302 之间，用于冷却所述第一混合气体并分离出所述第一混合气体中的卤族化合物，得到第二混合气体；第二出气口302与燃烧装置40连接，用于将所述第二混合气体导出至燃烧装置40。

具体的，冷却装置30内可以设置有冷却通道，所述冷却通道内可以通入循环的冷却介质。这样，在所述第一混合气体通入所述冷却塔内之后，在所述冷却通道的冷却作用下，所述第一混合气体中沸点较低的四氯化硅以及熔点较低的金属氯化物等卤族化合物容易液化或者固化从所述冷却塔中排出。在实际应用中，经所述冷却通道冷却作用去除了卤族化合物之后，得到的第二混合气体可以从第二出气口302排出至燃烧装置40。

在实际应用中，由于四氯化硅、金属氯化物的熔沸点与其他气体差异巨大，在常温下差异巨大，而且，燃烧后产物对环境的污染较大。因此，本申请实施例中，可以利用四氯化硅、金属氯化物的熔沸点与其他气体的差异，使用冷却装置30将所述第一混合气体冷却至四氯化硅、金属氯化物的沸点以下 (15-30℃)，即可有效的分离出四氯化硅、金属氯化物，工艺简单且分离效率较高，体现了从易到难的分离原则，从而，可以极大地提高尾气的处理效率。

可选地，所述塔体上还设置有用于向所述冷却通道导入冷却介质的第一进口303，用于将冷却介质从所述冷却通道内导出的第一出口304，以及用于将所述卤族化合物从所述塔体排出的第二出口305，其中，所述第二出口305设置于所述罐体的底部。

在实际应用中，所述冷却介质可以从第一进口303进入所述冷却塔内的冷却通道，流经所述冷却通道后从第一出口304流出，实现循环冷却的效果。而所述第一混合气体经所述冷却通道冷却后得到的液态或者固定的卤族化合物则可以从所述塔体底部的第二出口305排出。

示例的，所述冷却介质可以包括冷却水、冷却油或者冷却气体，本申请实施例对于所述冷却介质的具体类型可以不做限定。

本申请实施例中，燃烧装置40为化学燃烧室。具体的，所述燃烧室内可以提供点火机构、氧气以及氢气，以使得所述第二混合气体中的可燃气体充分的反应，以去除所述第二混合气体中的可燃气体，得到第三混合气体。

示例的，所述第二混合气体中的可燃气体可以包括但不局限于一氧化碳以及未完成反应含卤气体等。在实际应用中，一氧化碳经燃烧反应后可以得到二氧化碳，含卤气体经燃烧反应之后可以得到氯化氢等卤族化合物，因此，所述化学燃烧室燃烧反应后得到的第三混合气体中，除了不参与燃烧反应的惰性气体之外，可能还包括有二氧化碳、卤族化合物、水或者未反应完全的氧气和氢气等。

本申请实施例中，按照从易到难的原则，经过冷却装置30以后，所述第二混合气体中可能会存在含卤气体、惰性气体、一氧化碳和二氧化碳。由于含卤气体和一氧化碳的化学性质较为活泼，可采用化学燃烧法将其燃烧反应为稳定的氧化物，以便后续工艺中采用吸附装置50将燃烧后形成的氧化物与惰性气体进行分离，以避免所述第二混合气体直接进入吸附装置时卤族气体腐蚀吸附装置50导致吸附装置50无法起到吸附分离的作用。

可选地，吸附装置50为沸石分子筛。所述沸石分子筛的吸附是一种物理变化过程。当所述第三混合气体流过所述沸石分子筛时，所述第三混合气体中的一些分子由于做不规则运动而碰撞到吸附剂表面，在表面产生分子浓聚，使流体中的这种分子数目减少，达到分离、清除的目的。由于沸石分子筛孔径均匀，只有当分子动力学直径小于沸石分子筛孔径时才能很容易进入晶穴内部而被吸附，所以沸石分子筛对于气体和液体分子就犹如筛子一样，根据分子的大小来决定是否被吸附。本申请实施例中，可以根据需要设置所述沸石分子筛孔径，使得所述沸石分子筛具备吸附二氧化碳、卤族化合物、水或者氧气和氢气的功能。

在实际应用中，在吸附装置50将所述第三混合气体中的二氧化碳、卤族化合物、水或者未反应完全的氧气和氢气进行吸附之后，可以得到处理后气体，所述处理后气体至少可以包括惰性气体。

在实际应用中，由于惰性气体对环境基本上不存在影响，因此，可以将所述惰性气体直接排放至空气中，也可以将所述惰性气体进行回收利用，本申请实施例对于所述反应后气体的具体流向可以不做限定。

参照图2，示出了本申请实施例所述的另一种尾气处理系统的结构示意图，如图2所示，所述尾气装置还可以包括：回收装置，所述回收装置至少包括回收管道60，回收管道60的一端与吸附装置50连接，回收管道60的另一端与反应装置10连接，回收管道60可以用于将所述反应后气体导入反应装置10，以回收所述反应后气体中的惰性气体，使得所述惰性气体能够被回收再利用，提高所述尾气回收装置的经济效益。

示例的，所述回收装置还可以包括设置于回收管道60的阀体、流量计以及控制所述阀体通断的控制器等，本申请实施例对于所述回收装置的具体内容可以不做限定。

参照图3，示出了本申请实施例的再一种尾气处理系统的结构示意图，如图3所示，所述尾气系统还包括：精馏装置70；其中，所述精馏装置70设置于吸附装置50和所述回收装置之间，且分别与吸附装置50和所述回收装置连接，精馏装置70可以用于冷却所述处理后气体，分离所述处理后气体中的含卤气体。

在实际应用中，由于所述处理后气体中可能还会存在存留的含卤气体，将所述处理后气体直接排放或者再次回收利用都存在较大的风险，因此，在排放或者回收所述处理后气体之前，可以采用精馏装置70再次分离所述处理后气体中可能存在的含卤气体。

示例地，精馏装置70可以为精馏塔，所述精馏塔的底部可以设置有用于通入冷区介质的第二进口701，所述精馏塔的顶部则可以设置用于排出所述冷却介质的第三出口703。所述精馏塔可以用于提供低于所述含卤气体沸点并高于所述惰性气体沸点的冷却环境，以使得所述含卤气体经过所述精馏塔之后可以冷却成液体并从所述精馏塔中排出。

例如，在所述含卤气体为氯气，所述惰性气体为氩气的情况下。由于氯气的沸点为-34摄氏度，氩气的沸点为-185.7摄氏度，因此，在所述精馏塔内的冷却环境的温度为-34摄氏度至-185.7摄氏度之间的任意温度值时，即可有效的分离氯气和氩气。

在本申请的另一些可选实施例中，所述尾气处理系统还包括：干泵80，干泵80连接在过滤装置20与冷却装置30之间，干泵80可以用于将第一混合气体泵送至冷却装置30中，加快所述第一混合气体通入冷却装置30的速度，进而，可以提升所述尾气处理系统的整体效率。

需要说明的是，干泵80还可以放置在吸附装置50的后面，本申请实施例对于干泵80的具体位置可以不做限定。

综上，本申请实施例所述的尾气处理系统至少可以包括以下优点：

本申请实施例中，通过设置依次连接的过滤装置、冷却装置、燃烧装置以及吸附装置，可以对从反应装置排出的尾气依次进行过滤、冷却、燃烧以及吸附等处理，以去除所述尾气中的颗粒物、卤族化合物、可燃气体和指定成分等不适合直接排放的物质，以避免所述尾气直接排放对环境造成的污染。

参照图4，示出了本申请实施例所述的一种尾气处理方法的步骤流程图，如图4所示，所述尾气处理方法具体可以包括：

步骤401：采用过滤装置过滤从反应装置的排气口排出的尾气中的颗粒物，得到第一混合气体；其中，所述颗粒物包括一氧化硅、二氧化硅中的至少一种。

本申请实施例中，过滤装置20可以包括过滤罐，所述过滤罐可以包括罐体以及设置在所述罐体内的多层过滤网，所述罐体上设置有第一进气口201和第一出气口202；第一进气口201与反应装置10的排气口连接，用于将所述尾气导入所述罐体内；所述多层过滤网设置于第一进气口201与第一出气口202之间，用于过滤所述尾气中的颗粒物，得到第二混合气体；第一出气口202与所述冷却装置30连接，用于将所述第二混合气体导出至冷却装置30。

在实际应用中，由于尾气中的一氧化硅、二氧化硅等通常以颗粒物的形式存在，因此，在尾气从反应装置10的排气口出来后，采用过滤装置20对所述尾气进行过滤处理，以滤除所述尾气中的上述颗粒物，得到第一混合气体。具体的，所述第一混合气体为所述尾气中的一氧化硅、二氧化硅等颗粒物被滤除后得到的气体。通过在所述过滤罐内设置多层过滤网，可以实现对于所述尾气的多重过滤，以实现较好的过滤效果。

具体的，由于反应装置10排出的尾气中的颗粒物的粒径较大，如果不优先去除所述颗粒物，将会对后续的干泵、冷却装置等造成损坏。因此，本申请实施例中，通过将过滤装置20直接与反应装置10连接，先过滤反应装置10排出的尾气中的一氧化硅、二氧化硅等粒径较大的颗粒物，可避免所述颗粒物进入后续工艺中对干泵80、吸附装置50造成损坏，提高干泵80、吸附装置50的使用寿命，从而，可以提高所述尾气处理系统的使用寿命。

可选地，所述多层过滤网依次设置于第一进气口201与第一出气口202之间，且沿第一进气口201至第一出气口202的方向，所述过滤网的孔径依次递减。这样，可以按照颗粒物的粒径大小，按照从大到小的顺序依次滤除掉所述颗粒物，提高所述颗粒物的过滤效果。

需要说明的是，在实际应用中，所述过滤网的数量可以根据实际情况进行设定，例如，所述过滤网的数量可以为3层、5层或者6层等，而且，过滤网的孔径也可以根据实际情况进行设定，本申请实施例对于所述过滤网的层数和孔径不做具体限定。

步骤402：采用冷却装置冷却所述第一混合气体，以分离所述第一混合气体中的卤族化合物，得到第二混合气体。

本申请实施例中，冷却装置30可以包括冷却塔，所述冷却塔包括塔体和设置在所述塔体内的冷却通道；所述塔体上设置有第二进气口301和第二出气口 302；第二进气口301与过滤装置20连接，用于将所述第一混合气体导入所述塔体内；所述冷却通道设置于第二进气口301和第二出气口302之间，用于冷却所述第一混合气体并分离出所述第一混合气体中的卤族化合物，得到第二混合气体；第二出气口302与燃烧装置40连接，用于将所述第二混合气体导出至燃烧装置40。

具体的，冷却装置30内可以设置有冷却通道，所述冷却通道内可以通入循环的冷却介质。这样，在所述第一混合气体通入所述冷却塔内之后，在所述冷却通道的冷却作用下，所述第一混合气体中沸点较低的四氯化硅以及熔点较低的金属氯化物等卤族化合物容易液化或者固化从所述冷却塔中排出。在实际应用中，经所述冷却通道冷却作用去除了卤族化合物之后，得到的第二混合气体可以从第二出气口302排出至燃烧装置40。

在实际应用中，由于四氯化硅、金属氯化物的熔沸点与其他气体差异巨大，在常温下差异巨大，而且，燃烧后产物对环境的污染较大。因此，本申请实施例中，可以利用四氯化硅、金属氯化物的熔沸点与其他气体的差异，使用冷却装置30将所述第一混合气体冷却至四氯化硅、金属氯化物的沸点以下 (15-30℃)，即可有效的分离出四氯化硅、金属氯化物，工艺简单且分离效率较高，体现了从易到难的分离原则，从而，可以极大地提高尾气的处理效率。

可选地，所述塔体上还设置有用于向所述冷却通道导入冷却介质的第一进口303，用于将冷却介质从所述冷却通道内导出的第一出口304，以及用于将所述卤族化合物从所述塔体排出的第二出口305，其中，所述第二出口305设置于所述塔体的底部。

在实际应用中，所述冷却介质可以从第一进口303进入所述冷却塔内的冷却通道，流经所述冷却通道后从第一出口304流出，实现循环冷却的效果。而所述第一混合气体经所述冷却通道冷却后得到的液态或者固定的卤族化合物则可以从所述塔体底部的第二出口305排出。

示例的，所述冷却介质可以包括冷却水、冷却油或者冷却气体，本申请实施例对于所述冷却介质的具体类型可以不做限定。

步骤403：采用燃烧装置燃烧所述第二混合气体中的可燃气体，得到第三混合气体；所述可燃气体包括一氧化碳、含卤气体中的至少一种。

本申请实施例中，燃烧装置40为化学燃烧室。具体的，所述燃烧室内可以提供点火机构、氧气以及氢气，以使得所述第二混合气体中的可燃气体充分的反应，以去除所述第二混合气体中的可燃气体，得到第三混合气体。

示例的，所述第二混合气体中的可燃气体可以包括但不局限于一氧化碳以及未完成反应含卤气体等。在实际应用中，一氧化碳经燃烧反应后可以得到二氧化碳，含卤气体经燃烧反应之后可以得到氯化氢等卤族化合物，因此，所述化学燃烧室燃烧反应后得到的第三混合气体中，除了不参与燃烧反应的惰性气体之外，可能还包括有二氧化碳、卤族化合物、水或者未反应完全的氧气和氢气等。

本申请实施例中，按照从易到难的原则，经过冷却装置30以后，所述第二混合气体中可能会存在含卤气体、惰性气体、一氧化碳和二氧化碳。由于含卤气体和一氧化碳的化学性质较为活泼，可采用化学燃烧法将其燃烧反应为稳定的氧化物，以便后续工艺中采用吸附装置50将燃烧后形成的氧化物与惰性气体进行分离，以避免所述第二混合气体直接进入吸附装置时卤族气体腐蚀吸附装置50导致吸附装置50无法起到吸附分离的作用。

步骤404：采用吸附装置吸附所述第三混合气体中的指定成分，得到处理后气体；所述处理后气体至少包括惰性气体，所述指定成分包括二氧化碳、卤族化合物、氢气以及水中的至少一种。

本申请实施例中，吸附装置50为沸石分子筛。所述沸石分子筛的吸附是一种物理变化过程。当所述第三混合气体流过所述沸石分子筛时，所述第三混合气体中的一些分子由于做不规则运动而碰撞到吸附剂表面，在表面产生分子浓聚，使流体中的这种分子数目减少，达到分离、清除的目的。由于沸石分子筛孔径均匀，只有当分子动力学直径小于沸石分子筛孔径时才能很容易进入晶穴内部而被吸附，所以沸石分子筛对于气体和液体分子就犹如筛子一样，根据分子的大小来决定是否被吸附。本申请实施例中，可以根据需要设置所述沸石分子筛孔径，使得所述沸石分子筛具备吸附二氧化碳、卤族化合物、水或者氧气和氢气的功能。

在实际应用中，在吸附装置50将所述第三混合气体中的二氧化碳、卤族化合物、水或者未反应完全的氧气和氢气进行吸附之后，可以得到处理后气体，所述处理后气体至少可以包括惰性气体。

在实际应用中，由于惰性气体对环境基本上不存在影响，因此，可以将所述惰性气体直接排放至空气中，也可以将所述惰性气体进行回收利用，本申请实施例对于所述反应后气体的具体流向可以不做限定。

综上，本申请实施例所述的尾气处理方法至少可以包括以下优点：

本申请实施例中，通过设置依次连接的过滤装置、冷却装置、燃烧装置以及吸附装置，可以对从反应装置排出的尾气依次进行过滤、冷却、燃烧以及吸附等处理，以去除所述尾气中的颗粒物、卤族化合物、可燃气体和指定成分等不适合直接排放的物质，以避免所述尾气直接排放对环境造成的污染。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理系统包括：依次连接的过滤装置、冷却装置、燃烧装置以及吸附装置；其中，

所述过滤装置与反应装置的排气口连接，用于过滤从所述排气口排出的尾气中的颗粒物，得到第一混合气体；所述颗粒物包括一氧化硅、二氧化硅中的其中一种；

所述冷却装置包括冷却塔，所述冷却塔用于冷却所述第一混合气体，以分离所述第一混合气体中的卤族化合物，得到第二混合气体；

所述燃烧装置包括化学燃烧室，所述化学燃烧室用于燃烧所述第二混合气体中的可燃气体，得到第三混合气体；所述可燃气体包括一氧化碳、含卤气体中的其中一种；

所述吸附装置包括沸石分子筛，所述沸石分子筛用于吸附所述第三混合气体中的指定成分，得到处理后气体；所述处理后气体至少包括惰性气体，所述指定成分包括二氧化碳、卤族化合物、氢气以及水中的其中一种。

2.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理系统还包括：回收装置，所述回收装置至少包括回收管道，所述回收管道的一端与所述吸附装置连接，所述回收管道的另一端与所述反应装置连接，所述回收管道用于将所述反应后气体导入所述反应装置，以回收所述反应后气体中的惰性气体。

3.根据权利要求2所述的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理系统还包括：精馏装置；其中，所述精馏装置设置于所述吸附装置和所述回收装置之间，且分别与所述吸附装置和所述回收装置连接，所述精馏装置用于冷却所述处理后气体，分离所述处理后气体中的含卤气体。

4.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理系统还包括：干泵，所述干泵连接在所述过滤装置与所述冷却装置之间，所述干泵用于将第一混合气体泵送至所述冷却装置中。

5.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述过滤装置包括过滤罐，所述过滤罐包括罐体以及设置在所述罐体内的多层过滤网，

所述罐体上设置有第一进气口和第一出气口；

所述第一进气口与所述反应装置的排气口连接，用于将所述尾气导入所述罐体内；

所述多层过滤网设置于所述第一进气口与所述第一出气口之间，用于过滤所述尾气中的颗粒物，得到第二混合气体；

所述第一出气口与所述冷却装置连接，用于将所述第二混合气体导出至所述冷却装置。

6.根据权利要求5所述的尾气处理系统，其特征在于，所述多层过滤网依次设置于所述第一进气口与所述第一出气口之间，且沿所述第一进气口至所述第一出气口的方向，所述过滤网的孔径依次递减。

7.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述冷却塔包括塔体和设置在所述塔体内的冷却通道；

所述塔体上设置有第二进气口和第二出气口；

所述第二进气口与所述过滤装置连接，用于将所述第一混合气体导入所述塔体内；

所述冷却通道设置于所述第二进气口和所述第二出气口之间，用于冷却所述第一混合气体膜分离出所述第一混合气体中的卤族化合物，得到第二混合气体；

所述第二出气口与所述燃烧装置连接，用于将所述第二混合气体导出至所述燃烧装置。

8.根据权利要求7所述的尾气处理系统，其特征在于，所述塔体上还设置有用于向所述冷却通道导入冷却介质的第一进口，用于将冷却介质从所述冷却通道内导出的第一出口，以及用于将所述卤族化合物从所述塔体排出的第二出口，其中，所述第二出口设置于所述塔体的底部。

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