CN217376374U - 一种适用于方形晶片的抓取装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种适用于方形晶片的抓取装置,涉及抓取装置技术领域,包括安装座、第一夹臂、第二夹臂、传动齿轮和传动齿条,所述第一夹臂和第二夹臂均滑动连接在安装座的内部,所述安装座的背面固定安装有驱动电机,所述传动齿轮与驱动电机的驱动端固定连接,所述传动齿轮设置在第一夹臂与第二夹臂之间,所述第一夹臂的底面与第二夹臂的顶面均安装有传动齿条。本实用新型中,翻转机构能够在抓取的过程中对方形晶片底面支撑,实现托举固定的效果,防止方形晶片出现脱落,提高抓取稳定性,下压机构能够在抓取的过程中对方形晶片顶面压紧固定,防止方形晶片出现晃动脱落,进一步提高抓取稳定性。

Description

一种适用于方形晶片的抓取装置
技术领域
本实用新型涉及抓取装置技术领域,尤其涉及一种适用于方形晶片的抓取装置。
背景技术
在匀胶显影机对晶片进行加工过程中,会涉及到晶片的抓取。目前,现有的晶片主要为晶圆,如此以方便抓取和上料。在晶圆加工过程中,需要进一步对其进行切割,以获得应用于手机或者电脑上的小芯片。然而,由于晶圆的圆形结构,导致晶圆的利用率不高,造成了边料的浪费。
现有专利(公告号:CN208345273U)提出了适用于方形晶片的抓取装置,包括依次设置的:送料机构、传送机构、抓取机构。抓取装置能够实现方形晶片的抓取,方便了匀胶显影机对方形晶片的加工和搬运。此外,抓取装置在抓取方形晶片的过程中,还有利于保护方形晶片的边缘,避免方形晶片的损坏。
上述抓取装置在使用时具有以下缺点:未设置防止方形晶片脱落的结构,进而存在抓取稳定性较差的问题,在进行抓取时,如果抓取机构夹紧力太紧会导致方形晶片损坏,而夹紧力过松则有可能导致方形晶片脱落,从而产生能量的过度消耗与浪费,不利于实际使用,为此,我们提出一种适用于方形晶片的抓取装置解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型提供一种适用于方形晶片的抓取装置,解决了未设置防止方形晶片脱落的结构,进而存在抓取稳定性较差的问题,在进行抓取时,如果抓取机构夹紧力太紧会导致方形晶片损坏,而夹紧力过松则有可能导致方形晶片脱落,从而产生能量的过度消耗与浪费,不利于实际使用的技术问题。
为解决上述技术问题,本实用新型提供的一种适用于方形晶片的抓取装置,包括安装座、第一夹臂、第二夹臂、传动齿轮和传动齿条,所述第一夹臂和第二夹臂均滑动连接在安装座的内部,所述安装座的背面固定安装有驱动电机,所述传动齿轮与驱动电机的驱动端固定连接,所述传动齿轮设置在第一夹臂与第二夹臂之间,所述第一夹臂的底面与第二夹臂的顶面均安装有传动齿条,所述第一夹臂与第二夹臂通过传动齿条与传动齿轮啮合连接,所述第一夹臂和第二夹臂的底部均开设有转动槽,所述转动槽的内部安装有旋转轴,所述旋转轴上安装有翻转板,所述第一夹臂和第二夹臂上均设有用于驱动翻转板进行角度调节的翻转机构,所述安装座下沿固定安装有承载板,所述承载板上设有下压机构。
优选的,所述翻转机构包括翻转齿轮、第一电动推杆和翻转齿条,所述翻转齿轮安装在旋转轴的一端,所述安装座与第一夹臂外侧均安装有第一电动推杆,所述第一电动推杆的活塞端固定连接有翻转齿条,所述翻转齿条与翻转齿轮啮合连接,能够在抓取的过程中对方形晶片底面支撑,实现托举固定的效果,防止方形晶片出现脱落,提高抓取稳定性。
优选的,所述下压机构包括第二电动推杆、第一压板、连接件和第二压板,所述第二电动推杆固定安装在承载板顶部,所述第二电动推杆的活塞端贯穿承载板延伸至承载板下部且固定连接有第一压板,所述第一压板顶面安装有连接件,所述连接件远离第一压板的一端固定连接有第二压板,能够在抓取的过程中对方形晶片顶面压紧固定,防止方形晶片出现晃动脱落,进一步提高抓取稳定性。
优选的,所述安装座前侧固定安装有导向板,所述导向板上滑动连接有导向杆,所述导向杆底端与第二压板顶面固定连接,通过导向板和导向杆的配合使用对第二压板的滑动进行限位和导向,提高第二压板移动的稳定性。
优选的,所述连接件上设有螺栓,所述连接件通过螺栓与第二压板和第一压板构成固定,通过连接件的连接使得第二压板能够跟随第一压板同步下压,且采用螺栓连接起到便于拆卸的效果。
优选的,所述第一夹臂与第二夹臂相对的一侧均设有夹持垫,所述夹持垫为橡胶材质,橡胶材质的夹持垫具有一定的弹性变形效果,能够避免在抓取的过程中第一夹臂与第二夹臂与方形晶片硬性接触造成方形晶片损坏。
优选的,两个所述翻转板相对的一侧均设有防滑纹路,通过设置的防滑纹路增大了翻转板表面摩擦力,使得翻转板能够与方形晶片稳定接触,提高抓取稳定性。
优选的,所述安装座的内顶壁和内底壁均设有滑块,所述第一夹臂顶面与第二夹臂底面均开设有与滑块相适配的滑槽,所述滑块滑动与滑槽滑动连接,通过滑块和滑槽的配合使用对第一夹臂与第二夹臂的滑动进行限位和导向,提高第一夹臂与第二夹臂移动稳定性。
优选的,所述滑块外表面开设有环形槽,所述环形槽的内部安装有滚珠,所述滚珠与滑槽槽底相抵,将滑动摩擦转变与滚动摩擦,减小摩擦力,防止第一夹臂与第二夹臂长期使用出现磨损的情况。
优选的,所述安装座内底壁开设有弹簧槽,所述弹簧槽的内部滑动连接有梯形块,所述梯形块上表面安装有接触传感器,所述梯形块底面安装有支撑弹簧,所述支撑弹簧远离梯形块的一端与弹簧槽内底面连接,所述安装座的顶部安装有控制器,所述驱动电机、第一电动推杆、第二电动推杆和接触传感器均与控制器电性连接,通过设置的控制器可控制驱动电机、第一电动推杆、第二电动推杆和接触传感器的开闭,使得装置具备智能化操作的效果,方便操作人员使用,进而增强了装置的实用性。
与相关技术相比较,本实用新型提供的一种适用于方形晶片的抓取装置具有如下有益效果:
1、本实用新型中,通过第一电动推杆活塞端推动翻转齿条向下移动,翻转齿条带动与其啮合的翻转齿轮转动,使得旋转轴带动翻转板向内侧翻转,通过两个翻转板的配合能够对对方形晶片底面进行支撑,实现托举固定的效果,防止方形晶片出现脱落,提高抓取稳定性,同时第二电动推杆活塞端推动第一压板向下移动,通过连接件的连接带动第二压板与第一压板同步移动,通过第一压板与第二压板的配合能够在抓取的过程中对方形晶片顶面压紧固定,防止方形晶片出现晃动脱落,进一步提高抓取稳定性。
2、本实用新型中,通过设置的控制器可控制驱动电机、第一电动推杆、第二电动推杆和接触传感器的开闭,当驱动电机启动时,第一夹臂和第二夹臂相对移动,第二夹臂在移动的过程中与接触传感器接触,并将接触传感器压入弹簧槽的内部,接触传感器将信号传递给控制器,控制器可控制第一电动推杆和第二电动推杆同步启动,使得装置具备智能化操作的效果,方便操作人员使用,进而增强了装置的实用性。
附图说明
图1为一种适用于方形晶片的抓取装置的结构示意图;
图2为一种适用于方形晶片的抓取装置的剖面结构示意图;
图3为图1中A处的结构放大图;
图4为图2中B处的结构放大图;
图5为图2中C处的结构放大图。
图中标号:1、安装座;2、第一夹臂;3、第二夹臂;4、传动齿轮;5、传动齿条;6、翻转板;7、翻转齿轮;8、第一电动推杆;9、翻转齿条;10、夹持垫;11、承载板;12、第二电动推杆;13、第一压板;14、连接件;15、第二压板;16、导向板;17、导向杆;18、控制器;19、滑块;20、滑槽;21、滚珠;22、弹簧槽;23、梯形块;24、支撑弹簧;25、接触传感器。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施方式,所述实施方式的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,如果有涉及到的术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接。可以是机械连接,也可以是电连接。可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例一,由图1-5给出,一种适用于方形晶片的抓取装置,包括安装座1、第一夹臂2、第二夹臂3、传动齿轮4和传动齿条5,第一夹臂2和第二夹臂3均滑动连接在安装座1的内部,安装座1的背面固定安装有驱动电机,传动齿轮4与驱动电机的驱动端固定连接,传动齿轮4设置在第一夹臂2与第二夹臂3之间,第一夹臂2的底面与第二夹臂3的顶面均安装有传动齿条5,第一夹臂2与第二夹臂3通过传动齿条5与传动齿轮4啮合连接,第一夹臂2和第二夹臂3的底部均开设有转动槽,转动槽的内部安装有旋转轴,旋转轴上安装有翻转板6,第一夹臂2和第二夹臂3上均设有用于驱动翻转板6进行角度调节的翻转机构,安装座1下沿固定安装有承载板11,承载板11上设有下压机构,翻转机构包括翻转齿轮7、第一电动推杆8和翻转齿条9,翻转齿轮7安装在旋转轴的一端,安装座1与第一夹臂2外侧均安装有第一电动推杆8,第一电动推杆8的活塞端固定连接有翻转齿条9,翻转齿条9与翻转齿轮7啮合连接,能够在抓取的过程中对方形晶片底面支撑,实现托举固定的效果,防止方形晶片出现脱落,提高抓取稳定性。
实施例二,在实施例一的基础上,下压机构包括第二电动推杆12、第一压板13、连接件14和第二压板15,第二电动推杆12固定安装在承载板11顶部,第二电动推杆12的活塞端贯穿承载板11延伸至承载板11下部且固定连接有第一压板13,第一压板13顶面安装有连接件14,连接件14远离第一压板13的一端固定连接有第二压板15,能够在抓取的过程中对方形晶片顶面压紧固定,防止方形晶片出现晃动脱落,进一步提高抓取稳定性。
实施例三,在实施例一的基础上,安装座1前侧固定安装有导向板16,导向板16上滑动连接有导向杆17,导向杆17底端与第二压板15顶面固定连接,通过导向板16和导向杆17的配合使用对第二压板15的滑动进行限位和导向,提高第二压板15移动的稳定性。
实施例四,在实施例一的基础上,连接件14上设有螺栓,连接件14通过螺栓与第二压板15和第一压板13构成固定,通过连接件14的连接使得第二压板15能够跟随第一压板13同步下压,且采用螺栓连接起到便于拆卸的效果。
实施例五,在实施例一的基础上,第一夹臂2与第二夹臂3相对的一侧均设有夹持垫10,夹持垫10为橡胶材质,橡胶材质的夹持垫10具有一定的弹性变形效果,能够避免在抓取的过程中第一夹臂2与第二夹臂3与方形晶片硬性接触造成方形晶片损坏。
实施例六,在实施例一的基础上,两个翻转板6相对的一侧均设有防滑纹路,通过设置的防滑纹路增大了翻转板6表面摩擦力,使得翻转板6能够与方形晶片稳定接触,提高抓取稳定性。
实施例七,在实施例一的基础上,安装座1的内顶壁和内底壁均设有滑块19,第一夹臂2顶面与第二夹臂3底面均开设有与滑块19相适配的滑槽20,滑块19滑动与滑槽20滑动连接,通过滑块19和滑槽20的配合使用对第一夹臂2与第二夹臂3的滑动进行限位和导向,提高第一夹臂2与第二夹臂3移动稳定性,滑块19外表面开设有环形槽,环形槽的内部安装有滚珠21,滚珠21与滑槽20槽底相抵,将滑动摩擦转变与滚动摩擦,减小摩擦力,防止第一夹臂2与第二夹臂3长期使用出现磨损的情况。
实施例八,在实施例一的基础上,安装座1内底壁开设有弹簧槽22,弹簧槽22的内部滑动连接有梯形块23,梯形块23上表面安装有接触传感器25,梯形块23底面安装有支撑弹簧24,支撑弹簧24远离梯形块23的一端与弹簧槽22内底面连接,安装座1的顶部安装有控制器18,驱动电机、第一电动推杆8、第二电动推杆12和接触传感器25均与控制器18电性连接,通过设置的控制器18可控制驱动电机、第一电动推杆8、第二电动推杆12和接触传感器25的开闭,使得装置具备智能化操作的效果,方便操作人员使用,进而增强了装置的实用性。
工作原理:使用时启动驱动电机,通过驱动电机驱动传动齿轮4转动,通过传动齿条5的啮合传动使第一夹臂2与第二夹臂3相对移动,通过第一夹臂2与第二夹臂3的配合能够将方形晶片抓取,通过第一电动推杆8活塞端推动翻转齿条9向下移动,翻转齿条9带动与其啮合的翻转齿轮7转动,使得旋转轴带动翻转板6向内侧翻转,通过两个翻转板6的配合能够对对方形晶片底面进行支撑,实现托举固定的效果,防止方形晶片出现脱落,提高抓取稳定性,同时第二电动推杆12活塞端推动第一压板13向下移动,通过连接件14的连接带动第二压板15与第一压板13同步移动,通过第一压板13与第二压板15的配合能够在抓取的过程中对方形晶片顶面压紧固定,防止方形晶片出现晃动脱落,进一步提高抓取稳定性,通过设置的控制器18可控制驱动电机、第一电动推杆8、第二电动推杆12和接触传感器25的开闭,当驱动电机启动时,第一夹臂2和第二夹臂3相对移动,第二夹臂3在移动的过程中与接触传感器25接触,并将接触传感器25压入弹簧槽22的内部,接触传感器25将信号传递给控制器18,控制器18可控制第一电动推杆8和第二电动推杆12同步启动,使得装置具备智能化操作的效果,方便操作人员使用,进而增强了装置的实用性,当抓取完成后,驱动电机反向转动,第一夹臂2与第二夹臂3相背运动,并恢复到原来位置,当第二夹臂3完全复位后支撑弹簧24的弹力推动梯形块23向上移动,进而使接触传感器25从弹簧槽22内部伸出。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种适用于方形晶片的抓取装置,包括安装座(1)、第一夹臂(2)、第二夹臂(3)、传动齿轮(4)和传动齿条(5),其特征在于,所述第一夹臂(2)和第二夹臂(3)均滑动连接在安装座(1)的内部,所述安装座(1)的背面固定安装有驱动电机,所述传动齿轮(4)与驱动电机的驱动端固定连接,所述传动齿轮(4)设置在第一夹臂(2)与第二夹臂(3)之间,所述第一夹臂(2)的底面与第二夹臂(3)的顶面均安装有传动齿条(5),所述第一夹臂(2)与第二夹臂(3)通过传动齿条(5)与传动齿轮(4)啮合连接,所述第一夹臂(2)和第二夹臂(3)的底部均开设有转动槽,所述转动槽的内部安装有旋转轴,所述旋转轴上安装有翻转板(6),所述第一夹臂(2)和第二夹臂(3)上均设有用于驱动翻转板(6)进行角度调节的翻转机构,所述安装座(1)下沿固定安装有承载板(11),所述承载板(11)上设有下压机构。
2.根据权利要求1所述的一种适用于方形晶片的抓取装置,其特征在于,所述翻转机构包括翻转齿轮(7)、第一电动推杆(8)和翻转齿条(9),所述翻转齿轮(7)安装在旋转轴的一端,所述安装座(1)与第一夹臂(2)外侧均安装有第一电动推杆(8),所述第一电动推杆(8)的活塞端固定连接有翻转齿条(9),所述翻转齿条(9)与翻转齿轮(7)啮合连接。
3.根据权利要求1所述的一种适用于方形晶片的抓取装置,其特征在于,所述下压机构包括第二电动推杆(12)、第一压板(13)、连接件(14)和第二压板(15),所述第二电动推杆(12)固定安装在承载板(11)顶部,所述第二电动推杆(12)的活塞端贯穿承载板(11)延伸至承载板(11)下部且固定连接有第一压板(13),所述第一压板(13)顶面安装有连接件(14),所述连接件(14)远离第一压板(13)的一端固定连接有第二压板(15)。
4.根据权利要求3所述的一种适用于方形晶片的抓取装置,其特征在于,所述安装座(1)前侧固定安装有导向板(16),所述导向板(16)上滑动连接有导向杆(17),所述导向杆(17)底端与第二压板(15)顶面固定连接。
5.根据权利要求3所述的一种适用于方形晶片的抓取装置,其特征在于,所述连接件(14)上设有螺栓,所述连接件(14)通过螺栓与第二压板(15)和第一压板(13)构成固定。
6.根据权利要求1所述的一种适用于方形晶片的抓取装置,其特征在于,所述第一夹臂(2)与第二夹臂(3)相对的一侧均设有夹持垫(10),所述夹持垫(10)为橡胶材质。
7.根据权利要求1所述的一种适用于方形晶片的抓取装置,其特征在于,两个所述翻转板(6)相对的一侧均设有防滑纹路。
8.根据权利要求1所述的一种适用于方形晶片的抓取装置,其特征在于,所述安装座(1)的内顶壁和内底壁均设有滑块(19),所述第一夹臂(2)顶面与第二夹臂(3)底面均开设有与滑块(19)相适配的滑槽(20),所述滑块(19)滑动与滑槽(20)滑动连接。
9.根据权利要求8所述的一种适用于方形晶片的抓取装置,其特征在于,所述滑块(19)外表面开设有环形槽,所述环形槽的内部安装有滚珠(21),所述滚珠(21)与滑槽(20)槽底相抵。
10.根据权利要求3所述的一种适用于方形晶片的抓取装置,其特征在于,所述安装座(1)内底壁开设有弹簧槽(22),所述弹簧槽(22)的内部滑动连接有梯形块(23),所述梯形块(23)上表面安装有接触传感器(25),所述梯形块(23)底面安装有支撑弹簧(24),所述支撑弹簧(24)远离梯形块(23)的一端与弹簧槽(22)内底面连接,所述安装座(1)的顶部安装有控制器(18),所述驱动电机、第一电动推杆(8)、第二电动推杆(12)和接触传感器(25)均与控制器(18)电性连接。
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