CN217367327U - 一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体加工领域，公开了一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置，包括储罐，所述连接法兰顶端左侧设置有进料口，所述储罐内壁的左侧固定连接有隔板，所述安装框内壁设置有滤网，所述储罐左端底部设置有安装口，所述储罐底端左侧设置有排放口，所述滤芯卡口内径设置有滤芯本体。本实用新型中，通过在隔板左侧装满树脂，超纯异丙醇料与树脂进行离子交换，然后再经过滤网进入滤芯进行过滤，获得目标产物超纯异丙醇进行包装，可以有效防止异丙醇在灌装前受到的颗粒离子第二次污染，此装置专用面积小、操作方便、成本低廉，而且在任何环境要求高的情况下都能安装，并且生产的产品纯度高，质量稳定。

Description

一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，尤其涉及一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置。

背景技术

随着半导体行业的飞速发展，对超净高纯异丙醇的品质要求不断提高，在集成电路的生产过程中，异丙醇可以清洗和刻蚀芯片和硅圆片的表面。并且挥发后不会残留金属，水，有机和机械杂质，超纯异丙醇已广泛应用到半导体材料，集成电路的生产工艺中，对半导体材料的电性能，成品率和可靠性有重大影响，其技术指标已要求达到国际半导体设备和行业制定的SEMI C12标准，及水分要求小于50PPm，阳离子小于100PPT，0.5颗粒/毫升小于3.5个。

由于对超高纯化学品技术门槛要求高，而超纯异丙醇在百级间灌装前，容易受到管道，阀门，储罐的第二次污染，这就需要离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置防止出现二次污染，但现有的装置存在问题，如存在二次污染，体积过大，不方便安装，工作效率不高，实用性较差等问题，因此，我们对现有的离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置进行一定的改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置，包括储罐，所述储罐顶端固定连接有连接法兰，所述连接法兰顶端均设置有多个安装孔，所述连接法兰顶端左侧设置有进料口，所述储罐内壁的左侧固定连接有隔板，所述隔板底部设置有通孔，所述通孔内壁的右侧固定连接有固定板，所述固定板左端通过螺栓连接有安装框，所述安装框内壁设置有滤网，所述储罐左端底部设置有安装口，所述储罐底端左侧设置有排放口，所述储罐底端内壁的右侧固定连接有滤芯卡口，所述滤芯卡口内径设置有滤芯本体，所述储罐底端在滤芯卡口处设置有出料口。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述储罐底端四角均固定连接有支撑柱。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述连接法兰底端靠近储罐固定连接有多个第二加强筋。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述滤芯卡口外径固定连接有多个第一加强筋。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述安装框与固定板之间设置有密封垫。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述滤芯本体外径底部和滤芯卡口内径中部之间设置有密封圈。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述储罐底端靠近出料口右侧设置有排污口。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述连接法兰外侧设置有凹槽。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型中，超纯异丙醇料通过0.2-0.3MPA的压力泵以2000-3000l/t的速度从进料口进入到储罐当中，通过在隔板左侧装满树脂，超纯异丙醇料与树脂进行离子交换，然后再经过滤网进入滤芯进行过滤，获得目标产物超纯异丙醇进行包装，可以有效防止异丙醇在灌装前受到的颗粒离子第二次污染，具有较高的实用性。

2、本实用新型中，此装置结构设计合理，通过设置有安装口、通孔、固定板、安装框、螺栓、密封垫和滤网，方便工作人员安装和更换滤网，提高了工作效率，此装置专用面积小、操作方便、成本低廉，而且在任何环境要求高的情况下都能安装，并且生产的产品纯度高，金属离子含量低，质量稳定，质量能满足生产标准，能满足大面积工业化生产。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置的立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置正视的剖视图；

图3为本实用新型提出的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置左视的剖视图；

图4为本实用新型提出的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置的仰视图。

图例说明：

1、储罐；2、安装口；3、连接法兰；4、安装孔；5、凹槽；6、进料口；7、支撑柱；8、排放口；9、螺栓；10、密封垫；11、安装框；12、通孔；13、滤芯本体；14、滤芯卡口；15、第一加强筋；16、排污口；17、密封圈；18、出料口；19、固定板；20、隔板；21、滤网；22、第二加强筋。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置，包括储罐1，储罐1顶端固定连接有连接法兰3，连接法兰3顶端均设置有多个安装孔4，方便安装装置，连接法兰3顶端左侧设置有进料口6，储罐1内壁的左侧固定连接有隔板20，注入树脂，进行离子交换，隔板20底部设置有通孔12，通孔12内壁的右侧固定连接有固定板19，固定板19左端通过螺栓9连接有安装框11，安装框11内壁设置有滤网21，储罐1左端底部设置有安装口2，方便安装和更换滤网21，储罐1底端左侧设置有排放口8，储罐1底端内壁的右侧固定连接有滤芯卡口14，滤芯卡口14内径设置有滤芯本体13，获得目标产物超纯异丙醇进行包装，可以有效防止异丙醇在灌装前受到的颗粒离子第二次污染，具有较高的实用性，储罐1底端在滤芯卡口14处设置有出料口18，超纯异丙醇料通过0.2-0.3MPA的压力泵以2000-3000l/t的速度从进料口6进入到储罐1当中，通过在隔板20左侧装满树脂，超纯异丙醇料与树脂进行离子交换，然后再经过滤网21进入滤芯进行过滤，获得目标产物超纯异丙醇进行包装，可以有效防止异丙醇在灌装前受到的颗粒离子第二次污染，具有较高的实用性，此装置结构设计合理，通过设置有安装口2、通孔12、固定板19、安装框11、螺栓9、密封垫10和滤网21，方便工作人员安装和更换滤网21，提高了工作效率，此装置专用面积小、操作方便、成本低廉，而且在任何环境要求高的情况下都能安装，并且生产的产品纯度高，金属离子含量低，质量稳定，质量能满足生产标准，能满足大面积工业化生产。

储罐1底端四角均固定连接有支撑柱7，连接法兰3底端靠近储罐1固定连接有多个第二加强筋22，滤芯卡口14外径固定连接有多个第一加强筋15，提高装置的稳定性，安装框11与固定板19之间设置有密封垫10，滤芯本体13外径底部和滤芯卡口14内径中部之间设置有密封圈17，起到密封作用，避免二次污染，储罐1底端靠近出料口18右侧设置有排污口16，排出废料，连接法兰3外侧设置有凹槽5，方便安装装置。

工作原理：超纯异丙醇料通过0.2-0.3MPA的压力泵以2000-3000l/t的速度从进料口6进入到储罐1当中，通过在隔板20左侧装满树脂，超纯异丙醇料与树脂进行离子交换，然后再经过滤网21进入滤芯进行过滤，获得目标产物超纯异丙醇进行包装，可以有效防止异丙醇在灌装前受到的颗粒离子第二次污染，具有较高的实用性，此装置结构设计合理，通过设置有安装口2、通孔12、固定板19、安装框11、螺栓9、密封垫10和滤网21，方便工作人员安装和更换滤网21，提高了工作效率，此装置专用面积小、操作方便、成本低廉，而且在任何环境要求高的情况下都能安装，并且生产的产品纯度高，金属离子含量低，质量稳定，质量能满足生产标准，能满足大面积工业化生产。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置，包括储罐(1)，其特征在于：所述储罐(1)顶端固定连接有连接法兰(3)，所述连接法兰(3)顶端均设置有多个安装孔(4)，所述连接法兰(3)顶端左侧设置有进料口(6)，所述储罐(1)内壁的左侧固定连接有隔板(20)，所述隔板(20)底部设置有通孔(12)，所述通孔(12)内壁的右侧固定连接有固定板(19)，所述固定板(19)左端通过螺栓(9)连接有安装框(11)，所述安装框(11)内壁设置有滤网(21)，所述储罐(1)左端底部设置有安装口(2)，所述储罐(1)底端左侧设置有排放口(8)，所述储罐(1)底端内壁的右侧固定连接有滤芯卡口(14)，所述滤芯卡口(14)内径设置有滤芯本体(13)，所述储罐(1)底端在滤芯卡口(14)处设置有出料口(18)。

2.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置，其特征在于：所述储罐(1)底端四角均固定连接有支撑柱(7)。

3.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置，其特征在于：所述连接法兰(3)底端靠近储罐(1)固定连接有多个第二加强筋(22)。

4.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置，其特征在于：所述滤芯卡口(14)外径固定连接有多个第一加强筋(15)。

5.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置，其特征在于：所述安装框(11)与固定板(19)之间设置有密封垫(10)。

6.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置，其特征在于：所述滤芯本体(13)外径底部和滤芯卡口(14)内径中部之间设置有密封圈(17)。

7.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置，其特征在于：所述储罐(1)底端靠近出料口(18)右侧设置有排污口(16)。

8.根据权利要求1所述的一种离子和颗粒物控制和跟踪监测的一体化装置，其特征在于：所述连接法兰(3)外侧设置有凹槽(5)。

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