CN217349309U - 一种用于光罩的手持式夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及夹持设备领域，公开了一种用于光罩的手持式夹具，包括安装架、夹持组件、传动组件、驱动组件和卡死组件，安装架的一端固定有手持部；夹持组件包括左夹具和右夹具，左夹具和右夹具对称设置，且均滑动安装在安装架的底侧；传动组件包括第一齿条、第二齿条和齿轮，第一齿条的一端固定在左夹具上，第二齿条的一端固定在右夹具上，齿轮转动安装在安装架内，齿轮位于第一齿条和第二齿条之间，且与第一齿条和第二齿条相互啮合；驱动组件用于驱动右夹具往靠近左夹具的一侧移动；卡死组件包括卡壳和卡板。本实用新型便于夹持和转移光罩，十分省力，操作也十分便捷。

Description

一种用于光罩的手持式夹具

技术领域

本实用新型涉及夹持设备技术领域，尤其涉及一种用于光罩的手持式夹具。

背景技术

光罩是在光刻工艺中不可缺少的一部分，光罩质量的优劣直接影响着工厂半导体制造能力强弱，那么除了在光罩制造时提升工艺水平，如何在制造完成后防止光罩受损也是一个重要的问题，尤其是一些复杂的光罩，通常也不具有备份，因此，对光罩在平时加以保护就显得尤为重要。

在光罩的加工过程中，需要对光罩进行转移，例如从一个光罩盒移到另一个之中，或者在光罩盒与晶盒之间转移，为了保证光罩不被污染、不被损坏，通常是采用专用的夹具对光罩进行转移。

但是普通的夹具通常只能够对光罩进行夹持，在夹持光罩时，需要用力握住夹具的传动组件，才能保持夹具夹持光罩的稳定，既不方便，也十分费力。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种用于光罩的手持式夹具，解决了背景技术中指出的现有的夹具在夹持光罩时，既不方便，也十分费力的问题。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：

一种用于光罩的手持式夹具，包括安装架、夹持组件、传动组件、驱动组件和卡死组件，所述安装架的一端固定有手持部；所述夹持组件包括左夹具和右夹具，所述左夹具和右夹具对称设置，且均滑动安装在安装架的底侧；所述传动组件包括第一齿条、第二齿条和齿轮，所述第一齿条的一端固定在左夹具上，所述第二齿条的一端固定在右夹具上，所述齿轮转动安装在安装架内，所述齿轮位于第一齿条和第二齿条之间，且与第一齿条和第二齿条相互啮合；所述驱动组件用于驱动右夹具往靠近左夹具的一侧移动；所述卡死组件包括卡壳和卡板，所述卡壳滑动安装在安装架上并与左夹具固定，所述卡板滑板安装在安装架内，且所述卡板与安装架之间设有第一弹簧，所述卡板上设有楔形块，所述卡壳上具有与楔形块相适配的卡孔。

进一步，所述左夹具包括滑动块、连接臂和支撑块，所述连接臂的一端固定在滑动块上，所述连接臂的另一端与支撑块固定，所述右夹具与左夹具结构相同且为对称设置，所述安装架的底侧设有第一滑槽，所述左夹具与右夹具的滑动块均滑动安装于第一滑槽内，所述安装架于第一滑槽内固定有第一限位杆，所述第一限位杆贯穿左夹具和右夹具的滑动块。

进一步，所述第一齿条固定在左夹具的滑动块上，所述第二齿条固定在右夹具的滑动块上，所述安装架于第一滑槽内固定有第一固定轴，所述齿轮转动安装在第一固定轴上。

进一步，所述安装架靠近手持部的底侧设有安装槽，所述驱动组件安装于安装槽内，所述驱动组件包括推杆和凸轮，所述安装架内设有连通安装槽和第一滑槽的滑孔，所述推杆滑动安装于滑孔内，所述推杆的一端延伸至第一滑槽内并与右夹具的滑动块固定，所述推杆的另一端延伸至安装槽内并固定有推板，所述推杆位于安装槽内的部位套设有第二弹簧，所述第二弹簧的一端抵靠在推板上，所述第二弹簧的另一端抵靠在安装槽的内侧壁上；所述安装架于安装槽内固定有第二固定轴，所述凸轮转动安装在第二固定轴上，且所述凸轮与第二固定轴之间安装有扭簧，所述凸轮抵靠在推板远离推杆的一侧，所述凸轮的底侧固定有扳机，所述扳机位于安装槽外。

进一步，所述卡壳为U形壳体，所述卡壳的两端均固定有限位滑板，所述安装架的两侧设有限位滑槽，所述限位滑板滑动安装于与其同侧的限位滑槽内。

进一步，所述卡壳为U形壳体，所述卡壳的两端均固定有限位滑板，所述安装架的两侧设有限位滑槽，所述限位滑板滑动安装于与其同侧的限位滑槽内。

进一步，安装架靠近手持部的顶侧设有按压槽，所述卡板滑动安装于按压槽内，所述第一弹簧也安装于按压槽内，所述第一弹簧的一端固定在卡板的底部，所述第一弹簧的另一端固定在按压槽内的底侧壁上，所述卡板上远离楔形块的一端设有按压块，所述按压块的一端延伸至按压槽外。

进一步，所述左夹具和右夹具的滑动块的底侧均开设有矩形孔，所述滑动块于矩形孔内滑动安装有抵紧杆，所述抵紧杆的下端延伸至矩形孔外，且所述抵紧杆的下端始终位于支撑块上侧，所述抵紧杆位于矩形孔内的一端穿设有第二限位杆，所述滑动块的侧壁上设有与矩形孔连通的竖向滑槽，所述安装架的侧壁上设有与第一滑槽连通的斜向滑槽，所述第二限位杆的一端滑动安装竖向滑槽和斜向滑槽内。

进一步，所述抵紧杆的下侧、连接臂的侧壁和支撑块的上侧上均设有缓冲垫。

本实用新型的有益效果：通过设置安装架、夹持组件、传动组件、驱动组件、卡死组件等结构，当需要转移光罩时，只需扣动扳机，便能够使左夹具和左夹具相互靠拢，将光罩夹持；并且在左夹具和右夹具相互靠拢时，也能够使抵紧杆往下侧移动，通过抵紧杆和支撑块的相互配合，能够在竖直方向上对光罩进行固定，进一步提高该夹具的固定效果；并且在左夹具往右侧移动时，楔形块能够卡进卡壳的卡孔内，对卡壳、左夹具和右夹具进行限位，使左夹具和右夹具保持夹持光罩的状态，使工作人员无需持续用力，也能够夹紧光罩，便于工作人员转移光罩，十分省力，并且操作也十分便捷。

附图说明

图1是本实用新型一种用于光罩的手持式夹具的结构示意图；

图2是本实用新型一种用于光罩的手持式夹具的剖视图；

图3是本实用新型一种用于光罩的手持式夹具的部分结构爆炸示意图；

其中，1、安装架；11、第一滑槽；12、第一限位杆；13、第一固定轴；14、安装槽；15、第二固定轴；16、限位滑槽；17、第二滑槽；18、按压槽；19、斜向滑槽；2、夹持组件；21、左夹具；211、滑动块；212、连接臂；213、支撑块；214、竖向滑槽；22、右夹具；23、抵紧杆；231、第二限位杆；232、缓冲垫；3、传动组件；31、第一齿条；32、第二齿条；33、齿轮；4、驱动组件；41、推杆；411、推板；412、第二弹簧；42、凸轮；421、扳机；5、卡死组件；51、卡壳；511、限位滑板；512、连接块；513、卡孔；52、卡板；521、第一弹簧；522、楔形块；523、按压块；6、手持部。

具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容了解本实用新型的优点和功效。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本实用新型的限制，为了更好地说明本实用新型的实施例，图中某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本实用新型实施例的图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件，在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本实用新型的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述用于的具体含义。

如图1和图2所示，本实用新型的一种用于光罩的手持式夹具，包括安装架1、夹持组件2、传动组件3、驱动组件4和卡死组件5，安装架1的主体为条形结构，安装架1的一端一体成型有手持部6，以供人们手持使用，夹持组件2包括左夹具21和右夹具22，左夹具21和右夹具22结构相同且为对称设置，左夹具21包括滑动块211、连接臂212和支撑块213，连接臂212的上端固定在滑动块211的下端，连接臂212的下端与支撑块213一体成型设置，连接臂212和支撑块213形成L形结构，安装架1的底侧设有第一滑槽11，左夹具21与右夹具22的滑动块211均滑动安装于第一滑槽11内，安装架1于第一滑槽11内固定有第一限位杆12，第一限位杆12贯穿左夹具21和右夹具22的滑动块211，通过第一限位杆12，能够将两个滑动块211限制在第一滑槽11内滑动。

如图2所示，传动组件3包括第一齿条31、第二齿条32和齿轮33，第一齿条31的左端固定在左夹具21的滑动块211的右侧壁上，第二齿条32的右端固定在右夹具22的滑动块211的左侧壁上，安装架1于第一滑槽11内固定有第一固定轴13，齿轮33转动安装在第一固定轴13上，齿轮33也位于第一齿条31和第二齿条32之间，并且与第一齿条31和第二齿条32相互啮合。

如图2所示，安装架1靠近手持部6的底侧设有安装槽14，驱动组件4安装于安装槽14内，驱动组件4用于驱动右夹具22往靠近左夹具21的一侧移动，驱动组件4包括推杆41和凸轮42，安装架1内设有连通安装槽14和第一滑槽11的滑孔，推杆41滑动安装于滑孔内，推杆41的左端延伸至第一滑槽11内并与右夹具22的滑动块211固定，推杆41的右端延伸至安装槽14内，并固定有推板411，推杆41位于安装槽14内的部位套设有第二弹簧412，第二弹簧412的一端抵靠在推板411上，第二弹簧412的另一端抵靠在安装槽14的内侧壁上；安装架1于安装槽14内固定有第二固定轴15，第二固定轴15位于推板411右侧，凸轮42转动安装在第二固定轴15上，并且凸轮42与第二固定轴15之间安装有扭簧，凸轮42偏低远离的一侧抵靠在推板411的右侧上，凸轮42的底侧固定有扳机421，扳机421位于安装槽14外。

如图1、图2和图3所示，卡死组件5包括卡壳51和卡板52，卡壳51为U形壳体，其形状与安装架1的上侧形状相适配，卡壳51滑动安装在安装架1上，具体为，卡壳51的两端均一体成型有限位滑板511，安装架1的两侧设有限位滑槽16，限位滑板511滑动安装于与其同侧的限位滑槽16内；卡壳51靠近左端的底侧固定有连接块512，安装架1的上侧设有与第一滑槽11连通的第二滑槽17，连接块512滑动安装于第二滑槽17内，并且连接块512的下端延伸至第一滑槽11内与左夹具21的滑动块211固定连接；安装架1靠近手持部6的顶侧设有按压槽18，卡板52滑动安装于按压槽18内，卡板52与安装架1之间设有第一弹簧521，第一弹簧521也位于按压槽18内，第一弹簧521的上端固定在卡板52的底部，第一弹簧521的下端固定在按压槽18内的底侧壁上，卡板52上一体成型有楔形块522，在第一弹簧521未受外力的状态下，楔形块522位于按压槽18外，卡壳51上具有与楔形块522相适配的卡孔513，楔形块522位于卡孔513的运动轨迹上，卡板52上远离楔形块522的一端一体成型有按压块523，按压块523的上端延伸至按压槽18外。

如图1、图2和图3所示，当工作人员使用该夹具转移光罩时，首先握住手持部6，将该夹具拿起，并使光罩位于左夹具21和右夹具22之间，然后扣动扳机421，带动凸轮42转动，凸轮42推动推板411往左侧移动，然后通过推动杆推动右夹具22往左侧移动，当右夹具22往左侧移动时，通过传动组件3的配合作用，同时也能够带动左夹具21往右侧移动，从而使得左夹具21和右夹具22往中间靠拢，对光罩实现夹持；与此同时，当左夹具21往右侧移动时，因左夹具21与卡壳51固定，也能够带动卡壳51往右侧移动，直到卡壳51的卡孔513移动到楔形块522位置，使楔形块522卡进卡孔513内时，左夹具21和右夹具22也完全将光罩夹紧，此时，可以松开扳机421，凸轮42受到扭簧的弹力，会带动扳机421复位，而左夹具21和右夹具22会保持夹持光罩的状态，使工作人员无需持续用力，也能够夹紧光罩，便于工作人员转移光罩；当需要放置光罩时，可以按动按压块523，使楔形块522与卡孔513分离，从而脱离卡死状态，然后在第二弹簧412的弹力作用下，左夹具21、右夹具22、卡壳51都会复位，将光罩松开，便能够放置光罩，操作便捷。

如图1、图2和图3所示，左夹具21和右夹具22的滑动块211的底侧均开设有矩形孔，滑动块211于矩形孔内滑动安装有矩形结构的抵紧杆23，抵紧杆23的下端延伸至矩形孔外，并且抵紧杆23的下端始终位于支撑块213上侧，抵紧杆23位于矩形孔内的一端穿设有第二限位杆231，滑动块211的侧壁上设有与矩形孔连通的竖向滑槽214，安装架1的侧壁上设有与第一滑槽11连通的斜向滑槽19，第二限位杆231的一端延伸至竖向滑槽214和斜向滑槽19内，并滑动安装在竖向滑槽214和斜向滑槽19内。当工作人员扣动扳机421，使左夹具21和右夹具22相互靠拢，做夹紧光罩的动作时，由于第二限位杆231滑动安装在竖向滑槽214和斜向滑槽19内，所以在左夹具21和右夹具22相互靠拢时，能够使抵紧杆23往下侧移动，通过抵紧杆23和支撑块213的相互配合，能够在竖直方向上对光罩进行固定，进一步提高该夹具的固定效果。

如图2所示，抵紧杆23的下侧、连接臂212的侧壁和支撑块213的上侧上均设有缓冲垫232，这些侧面均为与光罩接触的部位，而设置缓冲垫232能够对光罩起到保护作用。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

Claims (9)

1.一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：包括安装架、夹持组件、传动组件、驱动组件和卡死组件，所述安装架的一端固定有手持部；所述夹持组件包括左夹具和右夹具，所述左夹具和右夹具对称设置，且均滑动安装在安装架的底侧；所述传动组件包括第一齿条、第二齿条和齿轮，所述第一齿条的一端固定在左夹具上，所述第二齿条的一端固定在右夹具上，所述齿轮转动安装在安装架内，所述齿轮位于第一齿条和第二齿条之间，且与第一齿条和第二齿条相互啮合；所述驱动组件用于驱动右夹具往靠近左夹具的一侧移动；所述卡死组件包括卡壳和卡板，所述卡壳滑动安装在安装架上并与左夹具固定，所述卡板滑板安装在安装架内，且所述卡板与安装架之间设有第一弹簧，所述卡板上设有楔形块，所述卡壳上具有与楔形块相适配的卡孔。

2.根据权利要求1所述的一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：所述左夹具包括滑动块、连接臂和支撑块，所述连接臂的一端固定在滑动块上，所述连接臂的另一端与支撑块固定，所述右夹具与左夹具结构相同且为对称设置，所述安装架的底侧设有第一滑槽，所述左夹具与右夹具的滑动块均滑动安装于第一滑槽内，所述安装架于第一滑槽内固定有第一限位杆，所述第一限位杆贯穿左夹具和右夹具的滑动块。

3.根据权利要求2所述的一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：所述第一齿条固定在左夹具的滑动块上，所述第二齿条固定在右夹具的滑动块上，所述安装架于第一滑槽内固定有第一固定轴，所述齿轮转动安装在第一固定轴上。

4.根据权利要求2所述的一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：所述安装架靠近手持部的底侧设有安装槽，所述驱动组件安装于安装槽内，所述驱动组件包括推杆和凸轮，所述安装架内设有连通安装槽和第一滑槽的滑孔，所述推杆滑动安装于滑孔内，所述推杆的一端延伸至第一滑槽内并与右夹具的滑动块固定，所述推杆的另一端延伸至安装槽内并固定有推板，所述推杆位于安装槽内的部位套设有第二弹簧，所述第二弹簧的一端抵靠在推板上，所述第二弹簧的另一端抵靠在安装槽的内侧壁上；所述安装架于安装槽内固定有第二固定轴，所述凸轮转动安装在第二固定轴上，且所述凸轮与第二固定轴之间安装有扭簧，所述凸轮抵靠在推板远离推杆的一侧，所述凸轮的底侧固定有扳机，所述扳机位于安装槽外。

5.根据权利要求4所述的一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：所述卡壳为U形壳体，所述卡壳的两端均固定有限位滑板，所述安装架的两侧设有限位滑槽，所述限位滑板滑动安装于与其同侧的限位滑槽内。

6.根据权利要求5所述的一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：所述卡壳内的底侧固定有连接块，所述安装架的上侧设有与第一滑槽连通的第二滑槽，所述连接块滑动安装于第二滑槽内，且所述连接块远离卡壳的一端延伸至第一滑槽内与左夹具的滑动块固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：安装架靠近手持部的顶侧设有按压槽，所述卡板滑动安装于按压槽内，所述第一弹簧也安装于按压槽内，所述第一弹簧的一端固定在卡板的底部，所述第一弹簧的另一端固定在按压槽内的底侧壁上，所述卡板上远离楔形块的一端设有按压块，所述按压块的一端延伸至按压槽外。

8.根据权利要求2-7任一权利要求所述的一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：所述左夹具和右夹具的滑动块的底侧均开设有矩形孔，所述滑动块于矩形孔内滑动安装有抵紧杆，所述抵紧杆的下端延伸至矩形孔外，且所述抵紧杆的下端始终位于支撑块上侧，所述抵紧杆位于矩形孔内的一端穿设有第二限位杆，所述滑动块的侧壁上设有与矩形孔连通的竖向滑槽，所述安装架的侧壁上设有与第一滑槽连通的斜向滑槽，所述第二限位杆的一端滑动安装竖向滑槽和斜向滑槽内。

9.根据权利要求8所述的一种用于光罩的手持式夹具，其特征在于：所述抵紧杆的下侧、连接臂的侧壁和支撑块的上侧上均设有缓冲垫。

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