CN217334026U - 一种便于维护的硅片清洗干燥装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座，操作螺纹杆，第一减速器，第一电机，移动基座，升降立柱架结构，固定板，第二电机，支撑钢管，喷嘴，活动控制架结构，连接头，连接管，输送泵，拆卸座和离子吹风机，所述的移动定位座内部上方的左侧插接有移动基座，并且在移动基座内螺纹连接操作螺纹杆；所述的操作螺纹杆轴接在移动定位座内部的左上侧，同时操作螺纹杆的后端与第一减速器轴接。本实用新型活动控制架结构的设置,在支撑钢管内活动时，控制喷嘴的使用数量，进而调节清洗的范围。

Description

一种便于维护的硅片清洗干燥装置

技术领域

本实用新型属于硅片加工技术领域，尤其涉及一种便于维护的硅片清洗干燥装置。

背景技术

硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，现有的硅片在进行清洗的过程中，是用液体喷射片子表面，喷嘴的压力高达几百个大气压，而高压清洗靠喷射作用，片子不易产生划痕和损伤等优点，所以硅片清洗干燥装置能够更好的完成硅片的清洗使用。

但是，现有的硅片清洗干燥装置还存在着不便于控制该装置喷淋的范围和不便于进行活动拆装使用的问题。

因此，发明一种便于维护的硅片清洗干燥装置显得非常必要。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种便于维护的硅片清洗干燥装置，以解决现有的硅片清洗干燥装置不便于控制该装置喷淋的范围和不便于进行活动拆装使用的问题。一种便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座，操作螺纹杆，第一减速器，第一电机，移动基座，升降立柱架结构，固定板，第二电机，支撑钢管，喷嘴，活动控制架结构，连接头，连接管，输送泵，拆卸座和离子吹风机，所述的移动定位座内部上方的左侧插接有移动基座，并且在移动基座内螺纹连接操作螺纹杆；所述的操作螺纹杆轴接在移动定位座内部的左上侧，同时操作螺纹杆的后端与第一减速器轴接；所述的第一减速器螺栓安装在移动定位座的后端，并且在第一减速器的右端上部螺栓安装第一电机；所述的移动基座上端支撑有升降立柱架结构；所述的固定板上端左侧螺栓安装有第二电机；所述的支撑钢管右端焊接有喷嘴，并且在喷嘴和输送泵之间镶嵌有连接管；所述的活动控制架结构支撑在支撑钢管的上端；所述的拆卸座均焊接在移动定位座的左右两端下部；所述的离子吹风机内部的下侧嵌入有支撑钢管；所述的活动控制架结构包括工作电缸，第一支座，第二支座，活塞杆，传动板和活动密封杆架结构，所述的工作电缸左右两端均螺栓安装有第二支座和第一支座；所述的活塞杆插入在工作电缸的内部，并且在活塞杆的左端螺栓安装有传动板；所述的活动密封杆架结构支撑在传动板的右下侧。

优选的，所述的活动密封杆架结构包括阻挡座，活动孔，保护套，钢杆，安装头和密封活塞，所述的阻挡座内部开设有活动孔，并且在活动孔的内壁上胶接有保护套；所述的钢杆一端与安装头焊接，另一端穿过保护套；所述的密封活塞镶嵌在安装头的外侧。

优选的，所述的升降立柱架结构包括限制柱，螺纹竖柱，带动座，侧支边板，双向螺纹杆，夹紧保护板和操作手柄，所述的带动座内部的右侧插接有限制柱和内部的左侧螺纹连接有螺纹竖柱；所述的侧支边板均焊接在带动座前表面的上下两部；所述的双向螺纹杆上下两端均通过轴承支撑有侧支边板；所述的夹紧保护板均螺纹连接在双向螺纹杆外壁的上下两部；所述的操作手柄螺栓安装在双向螺纹杆的上端。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1.本实用新型中，所述的工作电缸和活塞杆的设置，带动该钢杆左右活动使用。

2.本实用新型中，所述的第一支座和第二支座的设置，稳定的对工作电缸支撑使用。

3.本实用新型中，所述的阻挡座、活动孔和保护套的设置，对活动的钢杆密封保护。

4.本实用新型中，所述的钢杆和传动板的设置，配合密封活塞活动使用。

5.本实用新型中，所述的安装头和密封活塞的设置，在支撑钢管内活动时，控制喷嘴的使用数量，进而调节清洗的范围。

6.本实用新型中，所述的限制柱和螺纹竖柱的设置，带动该支撑钢管升降调节。

7.本实用新型中，所述的带动座和侧支边板的设置，稳定的配合其它结构活动支撑。

8.本实用新型中，所述的双向螺纹杆、夹紧保护板和操作手柄的设置，手动操作从而方便的配合支撑钢管拆卸维护。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的活动控制架结构的结构示意图。

图3是本实用新型的活动密封杆架结构的结构示意图。

图4是本实用新型的升降立柱架结构的结构示意图。

图中：

1、移动定位座；2、操作螺纹杆；3、第一减速器；4、第一电机；5、移动基座；6、升降立柱架结构；61、限制柱；62、螺纹竖柱；63、带动座；64、侧支边板；65、双向螺纹杆；66、夹紧保护板；67、操作手柄；7、固定板；8、第二电机；9、支撑钢管；10、喷嘴；11、活动控制架结构；111、工作电缸；112、第一支座；113、第二支座；114、活塞杆；115、传动板；116、活动密封杆架结构；1161、阻挡座；1162、活动孔；1163、保护套；1164、钢杆；1165、安装头；1166、密封活塞；12、连接头；13、连接管；14、输送泵；15、拆卸座；16、离子吹风机。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步描述：

实施例：

如附图1所示，一种便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座1，操作螺纹杆2，第一减速器3，第一电机4，移动基座5，升降立柱架结构6，固定板7，第二电机8，支撑钢管9，喷嘴10，活动控制架结构11，连接头12，连接管13，输送泵14，拆卸座15和离子吹风机16，所述的移动定位座1内部上方的左侧插接有移动基座5，并且在移动基座5内螺纹连接操作螺纹杆2；所述的操作螺纹杆2轴接在移动定位座1内部的左上侧，同时操作螺纹杆2的后端与第一减速器3轴接；所述的第一减速器3螺栓安装在移动定位座1的后端，并且在第一减速器3的右端上部螺栓安装第一电机4；所述的移动基座5上端支撑有升降立柱架结构6；所述的固定板7上端左侧螺栓安装有第二电机8；所述的支撑钢管9右端焊接有喷嘴10，并且在喷嘴10和输送泵14之间镶嵌有连接管13；所述的活动控制架结构11支撑在支撑钢管9的上端；所述的拆卸座15均焊接在移动定位座1的左右两端下部；所述的离子吹风机16内部的下侧嵌入有支撑钢管9。

如附图2所示，上述实施例中，具体的，所述的活动控制架结构11包括工作电缸111，第一支座112，第二支座113，活塞杆114，传动板115和活动密封杆架结构116，所述的工作电缸111左右两端均螺栓安装有第二支座113和第一支座112；驱动工作电缸111配合活塞杆114带动传动板115下侧的钢杆1164活动；所述的活塞杆114插入在工作电缸111的内部，并且在活塞杆114的左端螺栓安装有传动板115；所述的活动密封杆架结构116支撑在传动板115的右下侧。

如附图3所示，上述实施例中，具体的，所述的活动密封杆架结构116包括阻挡座1161，活动孔1162，保护套1163，钢杆1164，安装头1165和密封活塞1166，所述的阻挡座1161内部开设有活动孔1162，并且在活动孔1162的内壁上胶接有保护套1163；所活动的钢杆1164配合安装头1165和密封活塞1166在支撑钢管9内活动；所述的钢杆1164一端与安装头1165焊接，另一端穿过保护套1163；所述的密封活塞1166镶嵌在安装头1165的外侧。

如附图4所示，上述实施例中，具体的，所述的升降立柱架结构6包括限制柱61，螺纹竖柱62，带动座63，侧支边板64，双向螺纹杆65，夹紧保护板66和操作手柄67，所述的带动座63内部的右侧插接有限制柱61和内部的左侧螺纹连接有螺纹竖柱62；驱动第二电机8带动螺纹竖柱62转动并配合带动座63带动支撑钢管9在限制柱61上活动；所述的侧支边板64均焊接在带动座63前表面的上下两部；所述的双向螺纹杆65上下两端均通过轴承支撑有侧支边板64；所述的夹紧保护板66均螺纹连接在双向螺纹杆65外壁的上下两部；转动操作手柄67配合双向螺纹杆65旋转从而使夹紧保护板66活动并与支撑钢管9分离即可进行拆卸维护；所述的操作手柄67螺栓安装在双向螺纹杆65的上端。

上述实施例中，具体的，所述的工作电缸111通过第一支座112和第二支座113支撑，同时第一支座112以及第二支座113均焊接在支撑钢管9上端的右侧以及左侧。

上述实施例中，具体的，所述的活塞杆114对传动板115吊装，同时传动板115的右侧下部与钢杆1164螺栓连接。

上述实施例中，具体的，所述的阻挡座1161焊接在支撑钢管9的左端，同时阻挡座1161内部的活动孔1162与钢杆1164相适配。

上述实施例中，具体的，所述的钢杆1164右端的安装头1165以及密封活塞1166插入在支撑钢管9的内部。

上述实施例中，具体的，所述的限制柱61焊接在移动基座5上端的右侧以及固定板7下端的右侧，所述的螺纹竖柱62通过轴承固定在移动基座5和固定板7内部的左侧，并且螺纹竖柱62上端镶嵌有第二电机8的输出轴。

上述实施例中，具体的，所述的夹紧保护板66内侧开设有弧形凹槽，并且夹紧保护板66对支撑钢管9进行夹紧固定。

上述实施例中，具体的，所述的第一电机4采用型号为Y160M-4型电机。

上述实施例中，具体的，所述的第二电机8采用型号为Y160M-4型电机。

上述实施例中，具体的，所述的输送泵14采用型号为RZB型输送泵。

上述实施例中，具体的，所述的工作电缸111采用型号为SEC-50型电缸。

工作原理

本实用新型中，使输送泵14连接储存清洗剂容器的管道之后随之工作，从而使清洗剂进过连接管13和支撑钢管9的输送并从喷嘴10喷出对硅片进行清洗的工作，清洗的同时第一电机4工作配合第一减速器3带动操作螺纹杆2转动以及移动基座5带动限制柱61、带动座63和支撑钢管9前后活动实现清洗的工作，在工作的过程中驱动工作电缸111配合活塞杆114带动传动板115下侧的钢杆1164活动，所活动的钢杆1164配合安装头1165和密封活塞1166在支撑钢管9内活动，从而使合适数量的喷嘴10喷洒使用，在使用过程中需要升降调节时，驱动第二电机8带动螺纹竖柱62转动并配合带动座63带动支撑钢管9在限制柱61上活动，在需要拆卸维护时，转动操作手柄67配合双向螺纹杆65旋转从而使夹紧保护板66活动并与支撑钢管9分离即可进行拆卸维护。

利用本实用新型所述的技术方案，或本领域的技术人员在本实用新型技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种便于维护的硅片清洗干燥装置，其特征在于，该便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座(1)，操作螺纹杆(2)，第一减速器(3)，第一电机(4)，移动基座(5)，升降立柱架结构(6)，固定板(7)，第二电机(8)，支撑钢管(9)，喷嘴(10)，活动控制架结构(11)，连接头(12)，连接管(13)，输送泵(14)，拆卸座(15)和离子吹风机(16)，所述的移动定位座(1)内部上方的左侧插接有移动基座(5)，并且在移动基座(5)内螺纹连接操作螺纹杆(2)；所述的操作螺纹杆(2)轴接在移动定位座(1)内部的左上侧，同时操作螺纹杆(2)的后端与第一减速器(3)轴接；所述的第一减速器(3)螺栓安装在移动定位座(1)的后端，并且在第一减速器(3)的右端上部螺栓安装第一电机(4)；所述的移动基座(5)上端支撑有升降立柱架结构(6)；所述的固定板(7)上端左侧螺栓安装有第二电机(8)；所述的支撑钢管(9)右端焊接有喷嘴(10)，并且在喷嘴(10)和输送泵(14)之间镶嵌有连接管(13)；所述的活动控制架结构(11)支撑在支撑钢管(9)的上端；所述的拆卸座(15)均焊接在移动定位座(1)的左右两端下部；所述的离子吹风机(16)内部的下侧嵌入有支撑钢管(9)；所述的活动控制架结构(11)包括工作电缸(111)，第一支座(112)，第二支座(113)，活塞杆(114)，传动板(115)和活动密封杆架结构(116)，所述的工作电缸(111)左右两端均螺栓安装有第二支座(113)和第一支座(112)；所述的活塞杆(114)插入在工作电缸(111)的内部，并且在活塞杆(114)的左端螺栓安装有传动板(115)；所述的活动密封杆架结构(116)支撑在传动板(115)的右下侧。

2.如权利要求1所述的便于维护的硅片清洗干燥装置，其特征在于，所述的活动密封杆架结构(116)包括阻挡座(1161)，活动孔(1162)，保护套(1163)，钢杆(1164)，安装头(1165)和密封活塞(1166)，所述的阻挡座(1161)内部开设有活动孔(1162)，并且在活动孔(1162)的内壁上胶接有保护套(1163)；所述的钢杆(1164)一端与安装头(1165)焊接，另一端穿过保护套(1163)；所述的密封活塞(1166)镶嵌在安装头(1165)的外侧。

3.如权利要求1所述的便于维护的硅片清洗干燥装置，其特征在于，所述的升降立柱架结构(6)包括限制柱(61)，螺纹竖柱(62)，带动座(63)，侧支边板(64)，双向螺纹杆(65)，夹紧保护板(66)和操作手柄(67)，所述的带动座(63)内部的右侧插接有限制柱(61)和内部的左侧螺纹连接有螺纹竖柱(62)；所述的侧支边板(64)均焊接在带动座(63)前表面的上下两部；所述的双向螺纹杆(65)上下两端均通过轴承支撑有侧支边板(64)；所述的夹紧保护板(66)均螺纹连接在双向螺纹杆(65)外壁的上下两部；所述的操作手柄(67)螺栓安装在双向螺纹杆(65)的上端。

4.如权利要求1所述的便于维护的硅片清洗干燥装置，其特征在于，所述的工作电缸(111)通过第一支座(112)和第二支座(113)支撑，同时第一支座(112)以及第二支座(113)均焊接在支撑钢管(9)上端的右侧以及左侧。

5.如权利要求2所述的便于维护的硅片清洗干燥装置，其特征在于，所述的阻挡座(1161)焊接在支撑钢管(9)的左端，同时阻挡座(1161)内部的活动孔(1162)与钢杆(1164)相适配。

6.如权利要求3所述的便于维护的硅片清洗干燥装置，其特征在于，所述的限制柱(61)焊接在移动基座(5)上端的右侧以及固定板(7)下端的右侧，所述的螺纹竖柱(62)通过轴承固定在移动基座(5)和固定板(7)内部的左侧，并且螺纹竖柱(62)上端镶嵌有第二电机(8)的输出轴。

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