CN217317921U - 一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，所述花岗岩底座的两侧设有一组相对应的第一气浮移动机构，两侧所述第一气浮移动机构之间设有第二气浮移动机构，所述第二气浮移动机构上设有工作台；本实用新型的工作台能够进行360度的旋转，在保证工件前后左右移动的同时，还能够对其进行多角度多方位的调节。

Description

一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台

技术领域

本实用新型涉及舵片喷涂技术领域，具体为一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台。

背景技术

气浮运动平台是精密机械中的关键部件之一，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台；其主要是通过将气浮轴承套接于滑行块上进行移动的，同时在滑行块两端设置限位块，用于气浮轴承移动时的限位，但是这样的的结构设计，容易造成气浮轴承与限位块之间发生碰撞，容易磨损和损伤气浮轴承和限位库，因此有必要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，所述花岗岩底座的两侧设有一组相对应的第一气浮移动机构，两侧所述第一气浮移动机构之间设有第二气浮移动机构，所述第二气浮移动机构上设有工作台；

每侧所述第一气浮移动机构均包括两个支撑块，两个支撑块相对设置在花岗岩底座的一侧，两个所述支撑块之间设有第一滑行块，所述第一滑行块的两端均设有一圈第一磁环，所述第一滑行块上套有第一气浮轴承，所述第一气浮轴承的两端均设有第二磁环，每一端所述第一磁环与第二磁环相对设置，且第一磁环与第二磁环为同极磁环；

所述第二气浮移动机构包括两个第二滑行块，每个所述第二滑行块的两端均设有一圈第三磁环，每个所述第二滑行块上均套有第二气浮轴承，所述第二气浮轴承的两端均设有第四磁环，每一端所述的第三磁环和第四磁环相对设置，且第三磁环与第四磁环为同极磁环。

优选的，所述第一气浮轴承两侧分别设有第一连接板和固定板，所述第一连接板的下方连接第一直线电机，所述第一直线电机连接着第一拖链，所述第一拖链设置在花岗岩底座上。

优选的，两个所述第二滑行块的两边分别固定在相对应的固定板上，两个所述第二气浮轴承之间固定有述工作台底座，其中一个所述第二气浮轴承的侧边设有第二连接板，所述第二连接板的下方连第二直线电机，所述第二直线电机连接第二拖链，所述第二拖链设置在花岗岩底座上。

优选的，所述第一气浮轴承和第二气浮轴承结构一致，包括通孔，所述通孔的每侧内壁上均设有两个气槽，每个所述气槽的两侧均设有气孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，特设的第一磁环与第二磁环为同极磁环，第三磁环与第四磁环为同极磁环，当气浮轴承在滑行块上移动时，磁环与磁环相靠近时，利用同极性相斥的原理，不仅能够对滑行的气浮轴承进行限位，同时还能防止相互碰撞，继而有效的保护了气浮轴承，大大提高了其使用寿命；

本实用新型特设的气浮轴承与滑行块之间采用闭式套接结构，通过在气浮轴承中间设置通孔，并将滑行块穿过通孔，使气浮轴承套于滑行块上，采用这样的结构，能够增加滑行时的稳定性；而且本实用新型的气浮轴承的通孔内壁上还设有气槽和走气孔，能够减少气浮轴承与滑行块之间的摩擦，增加移动时的顺滑度；本实用新型的工作台能够进行360度的旋转，在保证工件前后左右移动的同时，还能够对其进行多角度多方位的调节。

附图说明

图1为本实用新型整体结构侧视示意图；

图2为本实用新型整体结构俯视示意图；

图3为本实用新型工作台剖面结构示意图；

图4为本实用新型气浮轴承结构示意图；

图5为本实用新型气浮轴承剖面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座1，所述花岗岩底座1的两侧设有一组相对应的第一气浮移动机构2，其能够进行前后移动，两侧所述第一气浮移动机构2之间设有第二气浮移动机构3，其能够进行左右移动，所述第二气浮移动机构上设有工作台4，通过第一气浮移动机构和第二气浮移动机构，能够带动工作台进行前后左右的多方位移动；

每侧所述第一气浮移动机构2均包括两个支撑块21，两个支撑块21相对设置在花岗岩底座1的一侧，两个所述支撑块21之间设有第一滑行块22，所述第一滑行块22的两端均设有一圈第一磁环221，所述第一滑行块22上套有第一气浮轴承23，第一气浮轴承可以在第一滑行块上进行前后移动，所述第一气浮轴承23的两端均设有第二磁环231，每一端所述第一磁环221与第二磁环231相对设置，且第一磁环221与第二磁环231为同极磁环，在第一气浮轴承移动过程中，当第一磁环与第二磁环靠近时，就会同级相斥，不仅能够对移动的第一气浮轴承进行限位，还能够防止其发生碰撞；

所述第二气浮移动机构3包括两个第二滑行块31，每个所述第二滑行块31的两端均设有一圈第三磁环311，每个所述第二滑行块31上均套有第二气浮轴承32，第二气浮轴承可以在第二滑行块上进行左右移动，所述第二气浮轴承32的两端均设有第四磁环321，每一端所述的第三磁环311和第四磁环321相对设置，且第三磁环311与第四磁环321为同极磁环，在第二气浮轴承移动过程中，当第三磁环与第四磁环靠近时，同样也会同级相斥，不仅能够对移动的第二气浮轴承进行限位，还能够防止其发生碰撞。

本实施例中，所述工作台4包括工作台底座41和工作台面42，所述工作台底座41内设有旋转电机43，所述旋转电机43连接着工作台面42，旋转电机可以带动工作台面进行旋转，所述旋转电机43两侧设有辅助轴承431，用于辅助旋转电机旋转，提高旋转稳定性，一侧所述旋转电机43的辅助轴承431下端设有走气孔432，所述走气孔432与工作台底座41外壁相通，通过设计该走气孔，气体进入后，能有效减少辅助轴承与旋转电机之间的摩擦，增加旋转时的顺滑度，所述工作台面42与旋转电机43交接处设有光栅44，光栅用于工件的定位，所述工作台面42上端设有多个安装孔421，安装孔用于固定工件。

本实施例中，所述第一气浮轴承23两侧分别设有第一连接板24和固定板25，所述第一连接板24的下方连接第一直线电机241，所述第一直线电机241连接着第一拖链242，所述第一拖链242设置在花岗岩底座1上；通过启动第一直线电机驱动第一拖链传动，当第一拖链进行运行时，会拖动第一直线电机随之一起移动，从而通过第一连接板带动第一气浮轴承一起向前或者向后移动。

本实施例中，两个所述第二滑行块31的两边分别固定在相对应的固定板25上，两个所述第二气浮轴承32之间固定有述工作台底座41，当第二气浮轴承移动时带动工作台一起移动，其中一个所述第二气浮轴承32的侧边设有第二连接板33，所述第二连接板33的下方连第二直线电机331，所述第二直线电机331连接第二拖链332，所述第二拖链332设置在花岗岩底座1上；通过启动第二直线电机驱动第二拖链传动，当第二拖链进行运行时，会拖动第二直线电机随之一起移动，从而通过第二连接板带动第二气浮轴承一起向左或者向右移动。

本实施例中，所述第一气浮轴承23和第二气浮轴承32结构一致，包括通孔232，所述通孔232的每侧内壁上均设有两个气槽233，每个所述气槽233的两侧均设有气孔234，通过在上述气浮轴承中间设置通孔，并将滑行块穿过通孔，使气浮轴承套于滑行块上，采用这样的结构，能够增加滑行时的稳定性；而且气浮轴承的通孔内壁上还设有气槽和气孔，能够减少气浮轴承与滑行块之间的摩擦，增加移动时的顺滑度。

工作原理：首先将需本平台安装在加工设备上，然后将要进行加工的工件安装在工作台面上，然后启动第一直线电机和第二直线电机，带动第一气浮机构和第二气浮机构进行前后左右移动，然后再启动旋转电机带动工作台面进行转动，以调整好工作台的精确位置后，即可进行工件加工；气浮轴承在移动过程中，第一磁环与第二磁环为同极磁环，第三磁环与第四磁环为同极磁环，磁环与磁环相靠近时，利用同极性相斥的原理，不仅能够对滑行的气浮轴承进行限位，同时还能防止相互碰撞，继而有效的保护了气浮轴承，大大提高了其使用寿命。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座（1），其特征在于：所述花岗岩底座（1）的两侧设有一组相对应的第一气浮移动机构（2），两侧所述第一气浮移动机构（2）之间设有第二气浮移动机构（3），所述第二气浮移动机构上设有工作台（4）；

每侧所述第一气浮移动机构（2）均包括两个支撑块（21），两个支撑块（21）相对设置在花岗岩底座（1）的一侧，两个所述支撑块（21）之间设有第一滑行块（22），所述第一滑行块（22）的两端均设有一圈第一磁环（221），所述第一滑行块（22）上套有第一气浮轴承（23），所述第一气浮轴承（23）的两端均设有第二磁环（231），每一端所述第一磁环（221）与第二磁环（231）相对设置，且第一磁环（221）与第二磁环（231）为同极磁环；

所述第二气浮移动机构（3）包括两个第二滑行块（31），每个所述第二滑行块（31）的两端均设有一圈第三磁环（311），每个所述第二滑行块（31）上均套有第二气浮轴承（32），所述第二气浮轴承（32）的两端均设有第四磁环（321），每一端所述的第三磁环（311）和第四磁环（321）相对设置，且第三磁环（311）与第四磁环（321）为同极磁环。

2.根据权利要求1所述的一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述工作台（4）包括工作台底座（41）和工作台面（42），所述工作台底座（41）内设有旋转电机（43），所述旋转电机（43）连接着工作台面（42），所述旋转电机（43）两侧设有辅助轴承（431），一侧所述旋转电机（43）的辅助轴承（431）下端设有走气孔（432），所述走气孔（432）与工作台底座（41）外壁相通，所述工作台面（42）与旋转电机（43）交接处设有光栅（44），所述工作台面（42）上端设有多个安装孔（421）。

3.根据权利要求1所述的一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述第一气浮轴承（23）两侧分别设有第一连接板（24）和固定板（25），所述第一连接板（24）的下方连接第一直线电机（241），所述第一直线电机（241）连接着第一拖链（242），所述第一拖链（242）设置在花岗岩底座（1）上。

4.根据权利要求1所述的一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：两个所述第二滑行块（31）的两边分别固定在相对应的固定板（25）上，两个所述第二气浮轴承（32）之间固定有述工作台底座（41），其中一个所述第二气浮轴承（32）的侧边设有第二连接板（33），所述第二连接板（33）的下方连第二直线电机（331），所述第二直线电机（331）连接第二拖链（332），所述第二拖链（332）设置在花岗岩底座（1）上。

5.根据权利要求1所述的一种防碰撞的超精密气浮移动旋转平台，其特征在于：所述第一气浮轴承（23）和第二气浮轴承（32）结构一致，包括通孔（232），所述通孔（232）的每侧内壁上均设有两个气槽（233），每个所述气槽（233）的两侧均设有气孔（234）。

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