CN217304990U - 一种自动测试硅棒电阻率装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种自动测试硅棒电阻率装置,其特征在于,包括:固定旋转件,一端可旋转的设置在电阻率模块承载台上,可沿所述电阻率模块承载台进行旋转;电阻率测试件,设置在所述固定旋转件的一端,可对硅棒的端面进行电阻率检测。本实用新型的有益效果是使用太阳能单晶硅棒测试电阻率多点一次测试方法,根据单晶硅棒直径的变化测试点数不同,可以根据实际情况进行设定增减,这样准确测试径向范围内多点电阻率值,对分析数据及产品控制更加准确更有代表性,同时减少了换点测试时间,提高了工作效率。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能单晶硅硅棒生产检验技术领域,尤其是涉及一种自动测试硅棒电阻率装置。
背景技术
目前,太阳能单晶硅硅棒目前自动测试电阻率为测试每颗硅棒两端面的中心点和边缘点值;测试方法为:切断后单晶硅棒通过自动传送设备传送至电阻率模块,通过测试模块校正系统校正单晶硅棒,由自动测试电阻率模组进行中心点测试,测试完中心点值由驱动装置将电阻率测试模组移动到单晶硅棒边缘,再次进行测试,完成测试数据,测试模组移开,单晶硅棒继续通过自动传送设备进行后续传送。
但是随着硅棒直径逐渐增大,中心点和边缘点的差距逐渐增大,代表径向电阻率偏差较大,现测试方式存在测试点数量少,误差偏差大,导致对分析数据存在很大偏差,内部控制偏差很大,而且测试完一点测试另一点,工作效率偏低的问题。
实用新型内容
本实用新型要解决的问题是提供一种自动测试硅棒电阻率装置,有效的解决现测试方式存在测试点数量少,误差偏差大,导致对分析数据存在很大偏差,内部控制偏差很大,而且测试完一点测试另一点,工作效率偏低的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:一种自动测试硅棒电阻率装置,其特征在于,包括:
固定旋转件,一端可旋转的设置在电阻率模块承载台上,可沿所述电阻率模块承载台进行旋转;
电阻率测试件,设置在所述固定旋转件的一端,可对硅棒的端面进行电阻率检测。
优选地,所述固定旋转件包括支撑部以及设置在所述支撑部上的连接部,所述支撑部的一端可旋转的设置在所述电阻率模块承载台上,可带动所述所述连接部一起转动。
优选地,所述连接部为可伸缩连接部,当所述硅棒长度较短时,伸长所述连接部的长度,使所述电阻率测试件接触所述硅棒的端面;当所述硅棒长度较长时,缩短所述连接部的长度,使所述电阻率测试件接触所述硅棒的端面,对其进行电阻率检测。
优选地,所述固定旋转件还包括连接在所述连接部一端的固定部,所述固定部另一端连接所述电阻率测试件,当所述连接部转动时,带动所述固定部旋转,进而带动所述电阻率测试件一起转动。
优选地,所述固定部为可拆卸固定部,可拆卸的设置在所述连接部的一端。
优选地,所述电阻率测试件包括至少一组测试模组,一端连接所述固定旋转件的一侧,用于对所述硅棒端面进行电阻率检测。
优选地,所述测试模组包括四探针,所述四探针的一端连接所述固定旋转件的一侧,另一端向垂直于所述硅棒端面的方向延伸;当所述四探针靠近所述硅棒端面的一端接触所述硅棒端面时,对所述硅棒端面的电阻率进行检测。
采用上述技术方案,支撑部的可旋转能够使连接部、固定部以及测试模组随之一起旋转,当不需要进行检测时,可以旋转至远离硅棒的位置处,便于工作人员拿取硅棒,防止出现工作人员在硅棒拿放或移动的过程中磕碰或者撞击到测试模组上等情况,且在需要测试时,可以根据不同硅棒的端面位置进行角度的旋转调整。
采用上述技术方案,使用太阳能单晶硅棒测试电阻率多点一次测试方法,根据单晶硅棒直径的变化测试点数不同,可以根据实际情况进行设定增减,这样准确测试径向范围内多点电阻率值,对分析数据及产品控制更加准确更有代表性,同时减少了换点测试时间,提高了工作效率。
附图说明
图1是本实用新型实施例一种自动测试硅棒电阻率装置结构示意图
图中:
1、支撑部 2、连接部 3、固定部
4、硅棒 5、四探针 6、电阻率模块承载台
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明:
在本实用新型实施例的描述中,需要理解的是,术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
如图1一种自动测试硅棒电阻率装置结构示意图所示,一种自动测试硅棒电阻率装置,包括:
固定旋转件,一端可旋转的设置在电阻率模块承载台6上,可沿电阻率模块承载台6进行旋转;固定旋转件的个数至少为一个,优选为2个,分别设置在电阻率模块承载台6的两侧,可以分别或者同时检测硅棒4两个端面的电阻率,可以在相同的时间内快速的进行电阻率检测,提高相应的工作效率。
电阻率测试件,设置在固定旋转件的一端,可对硅棒4的端面进行电阻率检测。
具体的,固定旋转件包括支撑部1以及设置在支撑部1上的连接部2,支撑部1的一端可旋转的设置在电阻率模块承载台6上,可带动连接部2一起转动。支撑部1的形状可为矩形、圆柱形等其他形状,一端可旋转的连接电阻率模块承载台6的一侧,可沿电阻率模块承载台6进行旋转,旋转角度根据支撑部1安装在电阻率模块承载台6的位置确定,若安装在电阻率模块承载台6的侧表面,则可进行360°旋转;若安装在电阻率模块承载台6的上表面,则可进行180°旋转。
连接部2的形状可为矩形、圆柱形等其他形状,一端连接在支撑部1上,优选为连接在支撑部1的中间位置处;当支撑部1旋转时,连接部2随之一起进行旋转。
一些可行的实施例中,连接部2为可伸缩连接部,可以通过远离支撑部1的端控制连接部2的长短,当硅棒4长度较短时,伸长连接部2的长度,使电阻率测试件接触硅棒4的端面;当硅棒4长度较长时,缩短连接部2的长度,使电阻率测试件接触硅棒4的端面,对其进行电阻率检测。
固定旋转件还包括连接在连接部2一端的固定部3,固定部3另一端连接电阻率测试件,固定部3的形状可以为矩形、圆柱形等其他形状,在固定部2安装测试模组的一侧设置有若干组插孔,一组内有四个插孔,用于固定四探针5,优选地设置有5组插孔,能够同时检测装置硅棒4端面径向的电阻率,无需检测完中心位置再检测边缘处的电阻率,节省工作时间,进而加快工作效率。且当连接部2转动时,能够带动固定部3旋转,进而带动电阻率测试件,即四探针5一起转动。
一些可行的实施例中,固定部3为可拆卸固定部,可拆卸的设置在连接部2的一端。可以生产不同规格的固定部3,根据不同的需求或者不同硅棒4的尺寸来进行固定部3的更换,更好的匹配硅棒4端面尺寸或电阻率检测需求。
电阻率测试件包括至少一组测试模组,一端连接固定部3靠近硅棒4的一侧,用于对硅棒4端面进行电阻率检测。测试模组的个数不限,至少为一组,优选为与硅棒4端面径向尺寸相匹配的个数,可以一次性检测硅棒4整个端面的径向电阻率,节省检测时间,提高相应的工作效率。
测试模组包括四探针5,四探针5的一端连接固定部3靠近硅棒4的一侧,另一端向垂直于硅棒4端面的方向延伸;当固定旋转件设置在电阻率模块承载台6的两侧时,两侧的四探针5可以同时对两个硅棒4端面进行电阻率检测,减少更多的检测时间;当四探针5靠近硅棒4端面的一端接触硅棒4端面时,对硅棒4端面的电阻率进行检测。
工作过程:硅棒4移动至电阻率模块承载台6上,将支撑部1旋转至竖直方向,并调整连接部2的长度,调整至四探针5能够恰好检测硅棒4端面的径向电阻率,位置调整完毕后,四探针5硅棒4的端面进行电阻率检测,检测完成后需要挪动硅棒4至下一工序位置,此时旋转支撑部1,带动连接部2、固定部3以及四探针5一起转动至不影响硅棒4移动的位置处。
本实用新型中的自动测试硅棒点电阻率装置采用多点一次测试方法,根据单晶硅棒4直径的变化测试点数不同,可以根据实际情况进行设定增减,这样能够准确测试径向范围内多点电阻率值,对分析数据及产品控制更加准确且更有代表性,同时减少了换点测试时间,提高了工作效率。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例,不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (7)
1.一种自动测试硅棒电阻率装置,其特征在于,包括:
固定旋转件,一端可旋转的设置在电阻率模块承载台上,可沿所述电阻率模块承载台进行旋转;
电阻率测试件,设置在所述固定旋转件的一端,可对硅棒的端面进行电阻率检测。
2.根据权利要求1所述的一种自动测试硅棒电阻率装置,其特征在于:所述固定旋转件包括支撑部以及设置在所述支撑部上的连接部,所述支撑部的一端可旋转的设置在所述电阻率模块承载台上,可带动所述连接部一起转动。
3.根据权利要求2所述的一种自动测试硅棒电阻率装置,其特征在于:所述连接部为可伸缩连接部,当所述硅棒长度较短时,伸长所述连接部的长度,使所述电阻率测试件接触所述硅棒的端面;当所述硅棒长度较长时,缩短所述连接部的长度,使所述电阻率测试件接触所述硅棒的端面,对其进行电阻率检测。
4.根据权利要求2或3所述的一种自动测试硅棒电阻率装置,其特征在于:所述固定旋转件还包括连接在所述连接部一端的固定部,所述固定部另一端连接所述电阻率测试件,当所述连接部转动时,带动所述固定部旋转,进而带动所述电阻率测试件一起转动。
5.根据权利要求4所述的一种自动测试硅棒电阻率装置,其特征在于:所述固定部为可拆卸固定部,可拆卸的设置在所述连接部的一端。
6.根据权利要求1所述的一种自动测试硅棒电阻率装置,其特征在于:所述电阻率测试件包括至少一组测试模组,一端连接所述固定旋转件的一侧,用于对所述硅棒端面进行电阻率检测。
7.根据权利要求6所述的一种自动测试硅棒电阻率装置,其特征在于:所述测试模组包括四探针,所述四探针的一端连接所述固定旋转件的一侧,另一端向垂直于所述硅棒端面的方向延伸;当所述四探针靠近所述硅棒端面的一端接触所述硅棒端面时,对所述硅棒端面的电阻率进行检测。
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