CN217278769U - 一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，属于高精度玻璃晶圆检测技术领域，包括底座以及固定在底座顶端呈倒U型结构的龙门安装架，底座的顶端面两侧均安装有高精度玻璃晶圆输送带，龙门安装架的侧壁固定有移动轴，移动轴的两端均套接有移动安装架，移动安装架上固定有遮光筒，遮光筒中内嵌固定有位于高精度玻璃晶圆输送带上方的光学检测设备主体，底座的顶端面两侧均开设有安装槽，上述安装槽的侧壁固定有用于驱动高精度玻璃晶圆输送带的电机，底座的顶端面两侧分别设置有出料设备主体和上料箱，该高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，便于自动对高精度玻璃晶圆主体进行检测，提升了光学检测的效率和精度。
Description
技术领域
本实用新型属于高精度玻璃晶圆检测技术领域，具体涉及一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅；高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅；硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆；晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，硅晶圆和硅太阳能电池分别是半导体材料和半导体器件的典型代表。半导体特性参数衡量和表征材料及其器件的性能。由于载流子是半导体材料及器件的功能载体，载流子移动形成电流及电场，同时载流子具有发光、热辐射等特性，因此载流子参数是表征半导体材料及器件载流子输运特性的基础，即载流子参数是硅晶圆和硅太阳能电池特性参数的重要组成部分。
目前，高精度晶圆检测主要依赖人工显微镜进行检测，高精度晶圆检测的效率低，检测精度差，从而影响高精度晶圆检测的产品品质，且目前招工难，用工难的背景下，使高精度晶圆厂家难以提升货品品质，出货量不能得到保证，同时需要应对人力成本越来越高的难题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，包括：
底座，上述底座的顶端面两侧均安装有高精度玻璃晶圆输送带；
龙门安装架，上述龙门安装架呈倒U型结构固定在底座的顶端；
上述龙门安装架的侧壁固定有移动轴，上述移动轴的两端均套接有移动安装架，上述移动安装架上固定有遮光筒，上述遮光筒中内嵌固定有位于高精度玻璃晶圆输送带上方的光学检测设备主体。
进一步的，上述底座的顶端面两侧均开设有安装槽，上述安装槽的侧壁固定有用于驱动高精度玻璃晶圆输送带的电机。
进一步的，上述底座的顶端面两侧分别设置有出料设备主体和上料箱，上述高精度玻璃晶圆输送带均设置在高精度玻璃晶圆输送带上方。
进一步的，上述上料箱的顶端内嵌安装有密封盖，且上料箱中内嵌设置有多个高精度玻璃晶圆主体。
进一步的，上述龙门安装架的顶端面两侧均安装有坦克链，并通过坦克链带动两个移动安装架移动。
进一步的，上述光学检测设备主体包括内嵌固定在遮光筒底端光学检测相机以及电性连接在光学检测相机顶端的显示屏和信号输送设备。
进一步的，上述出料设备主体的底端固定有移动架，且出料设备主体呈环形结构套设在高精度玻璃晶圆主体的两端，上述移动架滑动卡接在高精度玻璃晶圆输送带两端的底座上。
该高精度玻璃晶圆自动光学检测设备的技术效果和优点：通过底座的顶端固定有龙门安装架，且底座的顶端面两侧均装置有高精度玻璃晶圆输送带，龙门安装架上通过移动轴对称设置有移动安装架，通过移动安装架带动遮光筒以及光学检测设备主体移动至高精度玻璃晶圆输送带上方，高精度玻璃晶圆输送带对高精度玻璃晶圆主体输送的过程中移动至光学检测设备主体下方进行检测，便于自动对高精度玻璃晶圆主体进行检测，提升了光学检测的效率和精度。
附图说明
图1为本实用新型实施例的俯视示意图；
图2为本实用新型实施例的结构示意图；
图3为本实用新型实施例的底座结构示意图。
图中：1、底座；2、龙门安装架；3、高精度玻璃晶圆输送带；4、出料设备主体；5、移动安装架；6、上料箱；7、坦克链；8、移动轴；9、高精度玻璃晶圆主体；10、安装槽；11、遮光筒；12、光学检测设备主体；13、密封盖；14、移动架。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
请参阅如图1-图3所示的一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，包括底座1以及固定在底座1顶端呈倒U型结构的龙门安装架2，底座1的顶端面两侧均安装有高精度玻璃晶圆输送带3。
参照图1和图2，通过底座1的顶端固定有龙门安装架2，且底座1的顶端面两侧均装置有高精度玻璃晶圆输送带3，龙门安装架2上通过移动轴8对称设置有移动安装架5，通过移动安装架5带动遮光筒11以及光学检测设备主体12移动至高精度玻璃晶圆输送带3上方，高精度玻璃晶圆输送带3对高精度玻璃晶圆主体9输送的过程中移动至光学检测设备主体12下方进行检测，便于自动对高精度玻璃晶圆主体9进行检测，提升了光学检测的效率和精度，龙门安装架2的侧壁固定有移动轴8，移动轴8的两端均套接有移动安装架5，移动安装架5上固定有遮光筒11，遮光筒11中内嵌固定有位于高精度玻璃晶圆输送带3上方的光学检测设备主体12，底座1的顶端面两侧均开设有安装槽10，安装槽10的侧壁固定有用于驱动高精度玻璃晶圆输送带3的电机，底座1的顶端面两侧分别设置有出料设备主体4和上料箱6，高精度玻璃晶圆输送带3均设置在高精度玻璃晶圆输送带3上方，上料箱6的顶端内嵌安装有密封盖13，且上料箱6中内嵌设置有多个高精度玻璃晶圆主体9。
参照图3，龙门安装架2的顶端面两侧均安装有坦克链7，并通过坦克链7带动两个移动安装架5移动，光学检测设备主体12包括内嵌固定在遮光筒11底端光学检测相机以及电性连接在光学检测相机顶端的显示屏和信号输送设备(通过光学检测相机对高精度玻璃晶圆输送带3进行拍照检测后，将图片信号传输至电脑等终端)，出料设备主体4的底端固定有移动架14，且出料设备主体4呈环形结构套设在高精度玻璃晶圆主体9的两端，移动架14滑动卡接在高精度玻璃晶圆输送带3两端的底座1上。
该高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，高精度玻璃晶圆主体9从上料箱6上移动至高精度玻璃晶圆输送带3顶端，高精度玻璃晶圆输送带3带动高精度玻璃晶圆主体9移动至光学检测设备主体12的下方进行光学检测后，移动至出料设备主体4的一侧，并通过出料设备主体4从高精度玻璃晶圆输送带3上移出。
以上所述，仅为实用新型较佳的具体实施方式，但发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在发明揭露的技术范围内，根据发明的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，包括：
底座(1)，所述底座(1)的顶端面两侧均安装有高精度玻璃晶圆输送带(3)；
龙门安装架(2)，所述龙门安装架(2)呈倒U型结构固定在底座(1)的顶端；
其特征在于：所述龙门安装架(2)的侧壁固定有移动轴(8)，所述移动轴(8)的两端均套接有移动安装架(5)，所述移动安装架(5)上固定有遮光筒(11)，所述遮光筒(11)中内嵌固定有位于高精度玻璃晶圆输送带(3)上方的光学检测设备主体(12)。
2.根据权利要求1所述的一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，其特征在于：所述底座(1)的顶端面两侧均开设有安装槽(10)，所述安装槽(10)的侧壁固定有用于驱动高精度玻璃晶圆输送带(3)的电机。
3.根据权利要求1所述的一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，其特征在于：所述底座(1)的顶端面两侧分别设置有出料设备主体(4)和上料箱(6)，所述高精度玻璃晶圆输送带(3)均设置在高精度玻璃晶圆输送带(3)上方。
4.根据权利要求3所述的一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，其特征在于：所述上料箱(6)的顶端内嵌安装有密封盖(13)，且上料箱(6)中内嵌设置有多个高精度玻璃晶圆主体(9)。
5.根据权利要求1所述的一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，其特征在于：所述龙门安装架(2)的顶端面两侧均安装有坦克链(7)，并通过坦克链(7)带动两个移动安装架(5)移动。
6.根据权利要求1所述的一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，其特征在于：所述光学检测设备主体(12)包括内嵌固定在遮光筒(11)底端光学检测相机以及电性连接在光学检测相机顶端的显示屏和信号输送设备。
7.根据权利要求3所述的一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备，其特征在于：所述出料设备主体(4)的底端固定有移动架(14)，且出料设备主体(4)呈环形结构套设在高精度玻璃晶圆主体(9)的两端，所述移动架(14)滑动卡接在高精度玻璃晶圆输送带(3)两端的底座(1)上。
Priority Applications (1)
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| CN202220037353.9U CN217278769U (zh) | 2022-01-07 | 2022-01-07 | 一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备 |
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Family Applications (1)
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| CN202220037353.9U Active CN217278769U (zh) | 2022-01-07 | 2022-01-07 | 一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备 |
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2022
- 2022-01-07 CN CN202220037353.9U patent/CN217278769U/zh active Active
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