CN211907404U - 一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置 - Google Patents
一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN211907404U CN211907404U CN202021016845.7U CN202021016845U CN211907404U CN 211907404 U CN211907404 U CN 211907404U CN 202021016845 U CN202021016845 U CN 202021016845U CN 211907404 U CN211907404 U CN 211907404U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixed
- clamping
- fixedly arranged
- monocrystalline silicon
- dead lever
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，包括底架，所述底架顶端四角处均固定设置有固定杆，所述底架顶端中部固定设置有显光扫描装置，所述底架顶端前侧右侧的固定杆外部一侧固定设置有控制面板。本实用新型在进行输送作业时在把硅片放置到固定夹板之间的夹持口内部后，在通过控制面板同时启动电机和显光扫描装置，且电机在启动时带动转杆转动，则就会同时带动安装在前侧固定杆相对一侧上端的转动轮转动，且同时带动输送带转动进行输送作业，当把硅片移动到显光扫描装置的上端时通过显光扫描装置对硅片外部进行扫描，检测有没有出现裂缝的问题，如果发现裂缝则就会把数据传输到控制面板上即可。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅片技术领域，具体为一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置。
背景技术
单晶硅片，硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成；
传统的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置存在以下不足；
目前，在对单晶硅片进行生产时需要使用到很多的步骤，而现有在对硅片进行检查时都是人工进行操作不够便捷。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，包括底架，所述底架顶端四角处均固定设置有固定杆，所述底架顶端中部固定设置有显光扫描装置，所述底架顶端前侧右侧的固定杆外部一侧固定设置有控制面板，两侧所述固定杆顶端相对一侧均活动设置有转动轮，所述转动轮之间均固定设置有输送带，所述输送带外部均固定设置有若干固定块，所述底架顶端前侧右端的固定杆右侧上端固定设置有安装框，所述安装框内部一侧通过安装座固定设置有电机，所述电机的输出端固定设置有转杆，所述转杆在远离电机的一端依次穿过安装框、固定杆和前侧的转动轮之间，所述控制面板通过导线分别与显光扫描装置和电机电性连接。
优选的，所述固定块相对一侧在靠近输送带的一端均固定设置有固定夹杆，所述固定夹杆在远离固定块的一端均固定设置有固定夹板，所述固定块相对一侧在位于固定夹杆的一端均固定设置有活动夹杆，所述活动夹杆在远离固定块的一端均固定设置有活动夹板，所述固定夹杆中部在靠近活动夹杆的相对位置均固定设置有限位夹套。
优选的，所述固定夹板与活动夹板在远离固定块的一端相对一侧均开设有夹持口。
优选的，所述夹持口内部均固定设置有橡胶垫。
优选的，所述安装框内部和固定杆在位于转杆的相对位置开设有转孔。
优选的，所述安装框内部在位于转杆的相对位置固定设置有轴承。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型在进行输送作业时在把硅片放置到固定夹板之间的夹持口内部后，在通过控制面板同时启动电机和显光扫描装置，且电机在启动时带动转杆转动，则就会同时带动安装在前侧固定杆相对一侧上端的转动轮转动，且同时带动输送带转动进行输送作业，当把硅片移动到显光扫描装置的上端时通过显光扫描装置对硅片外部进行扫描，检测有没有出现裂缝的问题，如果发现裂缝则就会把数据传输到控制面板上提示工作人员进行处理即可；
2、本实用新型同时在进行放置运输时通过放置机构依次把硅片放置到固定夹板上端的夹持口内部之间，再按动安装在固定块一侧的活动夹杆往固定夹板一侧移动，则就会带动安装在两侧活动夹杆相对一端的活动夹板往固定夹板一侧移动，并使活动夹板与固定夹板上端接触并对硅片进行固定，且活动夹杆在移动时与安装在固定夹杆一端的限位夹套套合连接进行固定即可，这样既结构简单且在进行操作安装时更加的便捷。
附图说明
图1为本实用新型一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置整体结构示意图；
图2为本实用新型一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置中的图1中A处放大的结构图；
图3为本实用新型一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置中的固定夹板和固定夹杆俯视的结构图。
图中：1、电机；2、安装框；3、显光扫描装置；4、转杆；5、转动轮；6、输送带；7、底架；8、固定杆；9、控制面板；10、夹持口；11、活动夹板；12、限位夹套；13、活动夹杆；14、固定夹杆；15、固定夹板；16、固定块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，包括底架7，底架7顶端四角处均固定安装有固定杆8，底架7顶端中部固定安装有显光扫描装置3，底架7顶端前侧右侧的固定杆8外部一侧固定安装有控制面板9，两侧固定杆8顶端相对一侧均通过转销安装有转动轮5，转动轮5之间均固定安装有输送带6，输送带6外部均固定安装有若干固定块16，底架7顶端前侧右端的固定杆8右侧上端固定安装有安装框2，安装框2内部一侧通过安装座固定安装有电机1，电机1的输出端固定安装有转杆4，转杆4在远离电机1的一端依次穿过安装框2、固定杆8和前侧的转动轮5之间，控制面板9通过导线分别与显光扫描装置3和电机1电性连接。
固定块16相对一侧在靠近输送带6的一端均固定安装有固定夹杆14，固定夹杆14在远离固定块16的一端均固定安装有固定夹板15，固定块16相对一侧在位于固定夹杆14的一端均通过铰链安装有活动夹杆13，活动夹杆13在远离固定块16的一端均安装有活动夹板11，固定夹杆14中部在靠近活动夹杆13的相对位置均固定安装有限位夹套12且限位夹套12均呈橡胶结构，这样在进行放置运输时通过放置机构依次把硅片放置到固定夹板15上端的夹持口10内部之间，再按动安装在固定块16一侧的活动夹杆13往固定夹板15一侧移动，则就会带动安装在两侧活动夹杆13相对一端的活动夹板11往固定夹板15一侧移动，并使活动夹板11与固定夹板15上端接触并对硅片进行固定，且活动夹杆13在移动时与安装在固定夹杆14一端的限位夹套12套合连接进行固定即可；固定夹板15与活动夹板11在远离固定块16的一端相对一侧均开设有夹持口10且夹持口10俯视在靠近固定块16的一侧均呈半弧结构，这样便于增加在夹持时的稳固性；夹持口10内部均固定安装有橡胶垫，这样便于通过橡胶垫增加夹持口10在夹持时的摩擦力；安装框2内部和固定杆8在位于转杆4的相对位置开设有转孔，这样便于通过转孔使转杆4穿过安装框2与固定杆8和前侧的转动轮5之间固定连接；安装框2内部在位于转杆4的相对位置固定安装有轴承，这样便于通过轴承增加转杆4在转动时的稳固性。
工作原理：本实用新型在进行输送作业时在把硅片放置到固定夹板15之间的夹持口10内部后，在通过控制面板9同时启动电机1和显光扫描装置3，且电机1在启动时带动转杆4转动，则就会同时带动安装在前侧固定杆8相对一侧上端的转动轮5转动，且同时带动输送带6转动进行输送作业，当把硅片移动到显光扫描装置3的上端时通过显光扫描装置3对硅片外部进行扫描，检测有没有出现裂缝的问题，如果发现裂缝则就会把数据传输到控制面板9上提示工作人员进行处理即可，同时在进行放置运输时通过放置机构依次把硅片放置到固定夹板15上端的夹持口10内部之间，再按动安装在固定块16一侧的活动夹杆13往固定夹板15一侧移动，则就会带动安装在两侧活动夹杆13相对一端的活动夹板11往固定夹板15一侧移动，并使活动夹板11与固定夹板15上端接触并对硅片进行固定，且活动夹杆13在移动时与安装在固定夹杆14一端的限位夹套12套合连接进行固定即可，这样既结构简单且在进行操作安装时更加的便捷。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，包括底架（7），其特征在于：所述底架（7）顶端四角处均固定设置有固定杆（8），所述底架（7）顶端中部固定设置有显光扫描装置（3），所述底架（7）顶端前侧右侧的固定杆（8）外部一侧固定设置有控制面板（9），两侧所述固定杆（8）顶端相对一侧均活动设置有转动轮（5），所述转动轮（5）之间均固定设置有输送带（6），所述输送带（6）外部均固定设置有若干固定块（16），所述底架（7）顶端前侧右端的固定杆（8）右侧上端固定设置有安装框（2），所述安装框（2）内部一侧通过安装座固定设置有电机（1），所述电机（1）的输出端固定设置有转杆（4），所述转杆（4）在远离电机（1）的一端依次穿过安装框（2）、固定杆（8）和前侧的转动轮（5）之间，所述控制面板（9）通过导线分别与显光扫描装置（3）和电机（1）电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，其特征在于：所述固定块（16）相对一侧在靠近输送带（6）的一端均固定设置有固定夹杆（14），所述固定夹杆（14）在远离固定块（16）的一端均固定设置有固定夹板（15），所述固定块（16）相对一侧在位于固定夹杆（14）的一端均固定设置有活动夹杆（13），所述活动夹杆（13）在远离固定块（16）的一端均固定设置有活动夹板（11），所述固定夹杆（14）中部在靠近活动夹杆（13）的相对位置均固定设置有限位夹套（12）。
3.根据权利要求2所述的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，其特征在于：所述固定夹板（15）与活动夹板（11）在远离固定块（16）的一端相对一侧均开设有夹持口（10）。
4.根据权利要求3所述的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，其特征在于：所述夹持口（10）内部均固定设置有橡胶垫。
5.根据权利要求1所述的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，其特征在于：所述安装框（2）内部和固定杆（8）在位于转杆（4）的相对位置开设有转孔。
6.根据权利要求1所述的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，其特征在于：所述安装框（2）内部在位于转杆（4）的相对位置固定设置有轴承。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021016845.7U CN211907404U (zh) | 2020-06-05 | 2020-06-05 | 一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021016845.7U CN211907404U (zh) | 2020-06-05 | 2020-06-05 | 一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN211907404U true CN211907404U (zh) | 2020-11-10 |
Family
ID=73266031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021016845.7U Expired - Fee Related CN211907404U (zh) | 2020-06-05 | 2020-06-05 | 一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211907404U (zh) |
-
2020
- 2020-06-05 CN CN202021016845.7U patent/CN211907404U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN217847902U (zh) | 一种单晶硅片脱胶设备的分片输出装置 | |
| CN211907404U (zh) | 一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置 | |
| CN110053966A (zh) | 一种产品检测收料装置及方法 | |
| CN212150624U (zh) | 翻箱机 | |
| CN112024425A (zh) | 一种适用于钣金件自动化次品分离的检测装置 | |
| JP2003298081A (ja) | 太陽電池セルの検査方法およびその装置 | |
| CN216081392U (zh) | 齿轮组内径和高度自动检测机构 | |
| CN109772744A (zh) | 一种手套瑕疵破损检测剔除设备 | |
| KR101000904B1 (ko) | 웨이퍼 검사용 컨베이어 장치 | |
| CN213817697U (zh) | 一种电池片电致发光缺陷检测装置 | |
| CN114384088A (zh) | 多晶圆检测装置 | |
| CN217278769U (zh) | 一种高精度玻璃晶圆自动光学检测设备 | |
| CN217251396U (zh) | 一种单晶硅片脱胶设备的料座自动输出装置 | |
| CN208568588U (zh) | 一种用于硅锭检测的自动化探伤仪 | |
| CN114334699B (zh) | 一种适用于切边晶圆的预对准系统 | |
| CN111505476A (zh) | 传感器晶圆级测试方法的测试设备 | |
| CN105417166A (zh) | 一种液晶玻璃基板去残输送装置 | |
| CN212722576U (zh) | 一种全自动晶圆裂片检验机 | |
| KR101522538B1 (ko) | 솔라 웨이퍼의 카세트 이송용 로봇 | |
| CN216188384U (zh) | 一种蓝宝石晶片微观自动检查平台 | |
| CN218098821U (zh) | 一种光学检测装置 | |
| CN220886101U (zh) | 一种硅片上料装置 | |
| CN219554926U (zh) | 一种pl检测装置与光伏pvd设备 | |
| CN216792186U (zh) | 一种咸鸭蛋加工用自动光检装置 | |
| CN215067075U (zh) | 一种用于半导体的检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20201110 |