CN217257393U

CN217257393U - 一种单晶硅棒截断机工作台调整装置

Info

Publication number: CN217257393U
Application number: CN202123418678.6U
Authority: CN
Inventors: 李炜; 王看看
Original assignee: Xuzhou Weiju Electronic Materials Co ltd
Current assignee: Xuzhou Weiju Electronic Materials Co ltd
Priority date: 2021-12-31
Filing date: 2021-12-31
Publication date: 2022-08-23
Anticipated expiration: 2031-12-31

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅棒截断机工作台调整装置，包括固定座、传动组件、安装板、支撑板、升降组件、升降板、角度调节组件和切断机工作台，所述安装板固定设于固定座顶部，所述传动组件与安装板固定相连，所述升降组件一端与传动组件固定相连，所述支撑板固定设于安装板底部，所述升降组件另一端可滑动贯穿支撑板与升降板固定相连，所述角度调节组件固定设于升降板顶部，所述切断机工作台固定设于角度调节组件顶部。本实用新型属于单晶硅棒加工技术领域，具体是指一种便于进行工作台高度和角度调节的单晶硅棒截断机工作台调整装置。

Description

一种单晶硅棒截断机工作台调整装置

技术领域

本实用新型属于单晶硅棒加工技术领域，具体是指一种单晶硅棒截断机工作台调整装置。

背景技术

生产单晶硅的方法通常是用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅，单晶硅的截面为圆形。为了方便满足生产过程中硅片的外形、尺寸，需要截断单晶硅棒，单晶硅棒截断是生产半导体器件前期工序中不可缺少的一个步骤，目前，截断单晶硅的是切割单晶硅棒的专用设备——单晶截断机。

现有的单晶截断机一般包括底座、传动轴部件、刀具以及单晶硅棒夹具，其中，底座上设有用于放置单晶硅棒的工作台面，夹具设置在工作台面上。由于单晶棒粗细不均匀，目前所使用的工作台高度与角度不可调整，导致单晶棒在截断过程中与锯带不垂直，端面斜度超标。

实用新型内容

为了解决上述难题，本实用新型提供了一种便于进行工作台高度和角度调节的单晶硅棒截断机工作台调整装置。

为了实现上述功能，本实用新型采取的技术方案如下：一种单晶硅棒截断机工作台调整装置，包括固定座、传动组件、安装板、支撑板、升降组件、升降板、角度调节组件和切断机工作台，所述安装板固定设于固定座顶部，所述传动组件与安装板固定相连，所述升降组件一端与传动组件固定相连，所述支撑板固定设于安装板底部，所述升降组件另一端可滑动贯穿支撑板与升降板固定相连，所述角度调节组件固定设于升降板顶部，所述切断机工作台固定设于角度调节组件顶部，传动组件带动升降组件运动，对切断机工作台的高度进行调节，角度调节组件对切断机工作台的角度进行调节，从而使单晶棒在截断过程中与锯带垂直，端面斜度符合要求。

进一步地，所述传动组件包括摇柄、旋转轴一、L型固定架、齿轮一和齿轮二，所述L型固定架固与安装板固定相连，所述旋转轴一可旋转贯穿L型固定架与摇柄固定相连，所述齿轮一固定套接设于旋转轴一外侧，所述升降组件可旋转贯穿L型固定架与齿轮二固定相连，所述齿轮一和齿轮二相啮合，旋转摇柄，摇柄带动旋转轴一旋转，通过旋转轴一的传动作用带动齿轮一旋转，通过齿轮一齿轮二的啮合作用带动升降组件运动。

进一步地，所述升降组件包括旋转套筒和螺纹杆，所述旋转套筒底部可旋转贯穿L型固定架与齿轮二固定相连，所述旋转套筒顶可旋转贯穿支撑板与升降板固定相连，所述螺纹杆底部可滑动设于旋转套筒内，所述旋转套筒内侧壁设有与螺纹杆相匹配的内螺纹，齿轮二带动旋转套筒旋转，旋转套筒旋转带动螺纹杆升降，从而带动升降板升降。

进一步地，所述角度调节组件包括电机放置箱一、旋转轴二、驱动齿轮、旋转套管、电机放置箱二、驱动电机一、驱动电机二、旋转杆一、安装块、从动齿轮和旋转杆二，所述电机放置箱一和电机放置箱二分别与升降板固定相连，所述驱动电机一固定设于电机放置箱一内，所述驱动电机一的输出端可旋转贯穿电机放置箱一与旋转轴二固定相连，所述驱动电机二固定设于电机放置箱二内，所述驱动电机二的输出端可旋转贯穿电机放置箱二与旋转套管固定相连，所述旋转套管可旋转套接设于旋转轴二外侧，所述旋转杆一两端分别与旋转轴二和安装块固定相连，所述旋转杆二一端可旋转套接设于旋转套管外侧，所述旋转杆二另一端与安装块固定相连，所述驱动齿轮固定套接设于旋转套管外侧，所述从动齿轮二可旋转贯穿安装块与切断机工作台固定相连，所述驱动齿轮与从动齿轮相啮合，驱动电机一带动旋转杆一旋转，从而带动切断机工作台以旋转轴二为中心旋转，驱动电机二带动旋转套管旋转，驱动齿轮通过啮合作用带动从动齿轮旋转，从而使切断机工作台以从动齿轮为中心旋转，实现切断机工作台的角度调节。

作为优选地，所述升降组件沿支撑板平行设有两组。

其中，所述驱动电机一和驱动电机二为伺服电机。

本实用新型采取上述结构取得有益效果如下：本实用新型提供的单晶硅棒截断机工作台调整装置，操作简单，结构紧凑，设计合理，传动组件带动升降组件运动，对切断机工作台的高度进行调节，角度调节组件对切断机工作台的角度进行调节，从而使单晶棒在截断过程中与锯带垂直，端面斜度符合要求，解决了现有使用的工作台高度与角度不可调整的技术缺陷。

附图说明

图1为本实用新型提供的单晶硅棒截断机工作台调整装置的主视图；

图2为本实用新型提供的单晶硅棒截断机工作台调整装置的角度调节组件的主视图；

图3为本实用新型提供的单晶硅棒截断机工作台调整装置的传动组件的升降组件的主视图；

图4为本实用新型提供的单晶硅棒截断机工作台调整装置的主视图。

其中，1、固定座，2、安装板，3、支撑板，4、升降组件，5、升降板，6、角度调节组件，7、切断机工作台，8、摇柄，9、旋转轴一，10、L型固定架，11、齿轮一，12、齿轮二，13、旋转套筒，14、螺纹杆，15、电机放置箱一，16、旋转轴二，17、驱动齿轮，18、旋转套管，19、电机放置箱二，20、驱动电机一，21、驱动电机二，22、旋转杆一，23、安装块，24、从动齿轮，25、旋转杆二，26、传动组件。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。以下结合附图，对本实用新型做进一步详细说明。

如图1所示，本实用新型提供的单晶硅棒截断机工作台调整装置，包括固定座1、安装板2、支撑板3、升降组件4、升降板5、传动组件26、角度调节组件6和切断机工作台7，安装板2固定设于固定座1顶部，传动组件26与安装板2固定相连，升降组件4一端与传动组件26固定相连，支撑板3固定设于安装板2底部，升降组件4另一端可滑动贯穿支撑板3与升降板5固定相连，角度调节组件6固定设于升降板5顶部，切断机工作台7固定设于角度调节组件6顶部。

如图2所示，角度调节组件6包括电机放置箱一15、旋转轴二16、驱动齿轮17、旋转套筒13、电机放置箱二19、驱动电机一20、驱动电机二21、旋转杆一22、安装块23、从动齿轮24和旋转杆二25，电机放置箱一15和电机放置箱二19分别与升降板5固定相连，驱动电机一20固定设于电机放置箱一15内，驱动电机一20的输出端可旋转贯穿电机放置箱一15与旋转轴二16固定相连，驱动电机二21固定设于电机放置箱二19内，驱动电机二21的输出端可旋转贯穿电机放置箱二19与旋转套筒13固定相连，旋转套筒13可旋转套接设于旋转轴二16外侧，旋转杆一22两端分别与旋转轴二16和安装块23固定相连，旋转杆二25一端可旋转套接设于旋转套筒1813外侧，旋转杆二25另一端与安装块23固定相连，驱动齿轮17固定套接设于旋转套筒13外侧，从动齿轮24二12可旋转贯穿安装块23与切断机工作台7固定相连，驱动齿轮17与从动齿轮24相啮合。

如图3所示，传动组件26包括摇柄8、旋转轴一9、L型固定架10、齿轮一11和齿轮二12，L型固定架10固与安装板2固定相连，旋转轴一9可旋转贯穿L型固定架10与摇柄8固定相连，齿轮一11固定套接设于旋转轴一9外侧，升降组件4可旋转贯穿L型固定架10与齿轮二12固定相连，齿轮一11和齿轮二12相啮合。

如图4所示，升降组件4包括旋转套管18和螺纹杆14，旋转套管18底部可旋转贯穿L型固定架10与齿轮二12固定相连，旋转套管18顶可旋转贯穿支撑板3与升降板5固定相连，螺纹杆14底部可滑动设于旋转套管18内，旋转套管18内侧壁设有与螺纹杆14相匹配的内螺纹。

具体使用时，旋转摇柄8，摇柄8带动旋转轴一9旋转，通过旋转轴一9的传动作用带动齿轮一11旋转，通过齿轮一11齿轮二12的啮合作用带动旋转套筒13旋转，旋转套筒13旋转带动螺纹杆14升降，从而带动升降板5升降，实现对切断机工作台7的高度进行调节，驱动电机一20带动旋转杆一22旋转，从而带动切断机工作台7以旋转轴二16为中心旋转，驱动电机二21带动旋转套管18旋转，驱动齿轮17通过啮合作用带动从动齿轮24旋转，从而使切断机工作台7以从动齿轮24为中心旋转，实现切断机工作台7的角度调节，从而使单晶棒在截断过程中与锯带垂直，端面斜度符合要求。

以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种单晶硅棒截断机工作台调整装置，其特征在于：包括固定座、安装板、支撑板、升降组件、升降板、传动组件、角度调节组件和切断机工作台，所述安装板固定设于固定座顶部，所述传动组件与安装板固定相连，所述升降组件一端与传动组件固定相连，所述支撑板固定设于安装板底部，所述升降组件另一端可滑动贯穿支撑板与升降板固定相连，所述角度调节组件固定设于升降板顶部，所述切断机工作台固定设于角度调节组件顶部。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒截断机工作台调整装置，其特征在于：所述传动组件包括摇柄、旋转轴一、L型固定架、齿轮一和齿轮二，所述L型固定架固与安装板固定相连，所述旋转轴一可旋转贯穿L型固定架与摇柄固定相连，所述齿轮一固定套接设于旋转轴一外侧，所述升降组件可旋转贯穿L型固定架与齿轮二固定相连，所述齿轮一和齿轮二相啮合。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒截断机工作台调整装置，其特征在于：所述升降组件包括旋转套筒和螺纹杆，所述旋转套筒底部可旋转贯穿L型固定架与齿轮二固定相连，所述旋转套筒顶可旋转贯穿支撑板与升降板固定相连，所述螺纹杆底部可滑动设于旋转套筒内，所述旋转套筒内侧壁设有与螺纹杆相匹配的内螺纹。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒截断机工作台调整装置，其特征在于：所述角度调节组件包括电机放置箱一、旋转轴二、驱动齿轮、旋转套管、电机放置箱二、驱动电机一、驱动电机二、旋转杆一、安装块、从动齿轮和旋转杆二，所述电机放置箱一和电机放置箱二分别与升降板固定相连，所述驱动电机一固定设于电机放置箱一内，所述驱动电机一的输出端可旋转贯穿电机放置箱一与旋转轴二固定相连，所述驱动电机二固定设于电机放置箱二内，所述驱动电机二的输出端可旋转贯穿电机放置箱二与旋转套管固定相连，所述旋转套管可旋转套接设于旋转轴二外侧，所述旋转杆一两端分别与旋转轴二和安装块固定相连，所述旋转杆二一端可旋转套接设于旋转套管外侧，所述旋转杆二另一端与安装块固定相连，所述驱动齿轮固定套接设于旋转套管外侧，所述从动齿轮二可旋转贯穿安装块与切断机工作台固定相连，所述驱动齿轮与从动齿轮相啮合。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅棒截断机工作台调整装置，其特征在于：所述升降组件沿支撑板平行设有两组。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒截断机工作台调整装置，其特征在于：所述驱动电机一和驱动电机二为伺服电机。