CN217086541U - 一种定位机构及石英舟倒片机 - Google Patents
一种定位机构及石英舟倒片机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN217086541U CN217086541U CN202220243452.2U CN202220243452U CN217086541U CN 217086541 U CN217086541 U CN 217086541U CN 202220243452 U CN202220243452 U CN 202220243452U CN 217086541 U CN217086541 U CN 217086541U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- quartz boat
- positioning mechanism
- push plate
- positioning
- push pedal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本申请实施例提供一种定位机构及石英舟倒片机,涉及太阳能电池制造领域。定位机构用于定位石英舟,其包括分别设置于石英舟两端的推板和固定座,且推板能向固定座的方向伸缩移动,推板上沿伸缩移动的方向贯穿设置有至少一根定位杆,每根定位杆能沿推杆的伸缩移动的方向相对推板移动,每根定位杆靠近固定座的一端为能抵接石英舟的抵接端,每根定位杆的外部套设有弹性件,弹性件位于抵接端和推板之间。装载有该定位机构的石英舟倒片机能对不同尺寸的石英舟进行定位,不需要重新设置推板的移动距离,既极大地减少了卡片事故的发生,又能提高工作效率。
Description
技术领域
本申请涉及太阳能电池制造领域,具体而言,涉及一种定位机构及石英舟倒片机。
背景技术
在制备太阳能电池时,需要将硅片插入到石英舟的石英槽中,方便将硅片运输至下一车间进行后续工序。由于硅片很薄,石英槽的宽度小,达到了毫米级别,因此在将硅片插入到石英槽中时,需要使用石英舟倒片机中的定位机构对石英舟的位置进行微调,以便于硅片能准确地插入到石英槽中。
目前,石英舟倒片机中的定位机构一端是气缸控制的推板,另一端是抵接石英舟的固定座,石英舟设置在气缸和固定座之间,气缸能推动石英舟,固定座防止石英舟移动距离过长,通过推板和固定座能对石英舟的位置进行调整和定位。但由于气缸和推板的移动距离是固定的,当石英舟的尺寸过长时,石英舟可能会被推板从推板和固定座之间顶出去,硅片不能准确插入到石英槽中,会发生卡片事故。若想要准确定位不同尺寸的石英舟,则需要重新设置推板的移动距离,这会极大地影响工作效率。
实用新型内容
本申请实施例提供一种定位机构及石英舟倒片机,该定位机构能对不同尺寸的石英舟进行定位,不需要重新设置推板的移动距离,既极大地减少了卡片事故的发生,又能提高工作效率。
第一方面,本申请实施例提供了一种定位机构,用于定位石英舟,定位机构包括分别设置于石英舟两端的推板和固定座,且推板能向固定座的方向伸缩移动,推板上沿伸缩移动的方向贯穿设置有至少一根定位杆,每根定位杆能沿伸缩方向相对推板移动,每根定位杆靠近固定座的一端为能抵接石英舟的抵接端,每根定位杆的外部套设有弹性件,弹性件位于抵接端和推板之间。
在上述实现过程中,石英舟的两端设置有推板和固定座,在定位机构工作时,推板能带动定位杆一起向固定座的方向移动特定的距离,当定位杆的抵接端接触到石英舟时,能推动石英舟向固定座方向移动,固定座能防止石英舟运动的距离过长,通过推板和固定座能对石英舟的位置进行微调,方便硅片插入;当石英舟的尺寸过大时,抵接端与推板之间的弹性件能够起到缓冲的作用,仍然可以保证尺寸过大的石英舟能刚好与固定座接触,而且不需要重新调控推板的移动距离,既能减少卡片事故的发生,又可以提升工作效率。
在一种可能的实现方式中,推板相对于伸缩方向垂直设置,所有的定位杆相对于伸缩方向平行设置。
在上述实现过程中,推板相对于伸缩方向垂直设置,方便设置定位杆;定位杆相对于伸缩方向平行设置,能使得石英舟向固定座方向移动。
在一种可能的实现方式中,定位杆的数量为两个,两个定位杆对称设置在推板的相对两端。
在上述实现过程中,定位机构在对石英舟进行定位时,对称设置在推板的相对两端的定位杆可以正好与石英舟的舟脚两侧接触,保证石英舟受力平衡,这样可以更好地对石英舟进行定位。
在一种可能的实现方式中,定位杆远离固定座的一端为阻挡端,阻挡端上设有能防止定位杆从推板脱落的阻挡件。
在上述实现过程中,定位机构将石英舟定位后,推板往回移动时,定位杆可能来不及随着推板一起往回移动,将定位杆远离抵接端的一端设为阻挡端,并在阻挡端上设置阻挡件,一方面能防止定位杆从推板上脱落,另一方面也可以带动定位杆往回移动。
在一种可能的实现方式中,定位杆的抵接端设有用于缓冲的抵接件。
在上述实现过程中,抵接件先与石英舟接触,能起到缓冲作用,可减少对石英舟造成的损伤。
在一种可能的实现方式中,推板上设置有对应于定位杆的卡套,卡套沿伸缩方向贯通推板,定位杆贯穿对应的卡套。
在上述实现过程中,卡套能为定位杆提供安装位置,定位杆能在卡套内相对于推板滑动。
在一种可能的实现方式中,推板远离固定座的一侧连接有气缸,气缸被配置为能控制推板沿固定座方向伸缩移动。
在上述实现过程中,气缸是定位机构的动力来源,能使得推板伸缩移动。
在一种可能的实现方式中,推板和固定座之间还设有用于承载石英舟的承载轨道,石英舟能在承载轨道上相对固定座滑动。
在上述实现过程中,承载轨道能承载石英舟,而且石英舟能在承载轨道上滑动,方便对石英舟进行定位。
在一种可能的实现方式中,固定座上还设有用于检测是否存在石英舟的检测器。
在上述实现过程中,检测器能够检测石英舟是否存在,若检测到石英舟存在,就可以启动定位机构,对石英舟进行定位。
第二方面,本申请实施例提供了一种石英舟倒片机,其包括用于搬运石英舟的搬运组件和上述的定位机构。
在上述实现过程中,石英舟倒片机中设有上述的定位机构,能够很好地对不同长度的石英舟进行定位,既减少卡片事故的发生,又提升了工作效率;在定位完成后,搬运组件可以搬运满载或空载的石英舟进入下一个车间,完成下一道工序。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本申请实施例提供的推板的结构示意图;
图2为本申请实施例提供的定位机构的结构示意图。
图标:001-定位机构;100-推板;110-定位杆;111-缓冲件;112-阻挡件;120-卡套;200-固定座;300-承载轨道;400-弹性件;500-气缸;510-连接座。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行描述。
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本申请实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本申请的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
在本申请的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
第一实施例
请参看图1~图2,本实施例提供的一种定位机构001,用于定位石英舟(石英舟图中未画出),定位机构001包括设置于石英舟两端的推板100和固定座200,固定座200和推板100成对设置,推板100能向固定座200的方向伸缩移动,而且推板100相对于其伸缩方向垂直,这样方便后续在推板100上安装定位杆110从而对石英舟进行定位。而且推板100固定座200和推板100之间设置有承载轨道300,可以用于放置石英舟,而且石英舟还能在承载轨道300上移动,以使得石英舟的位置适合插入硅片。
推板100上设有两根定位杆110,每根定位杆110均沿着推板100伸缩移动的方向贯穿推板100且相对推板100的伸缩方向平行设置。为了保证定位杆110能够贯穿推板100,同时也为了对定位杆110进行限位,本实施例中,推板100上对应两根定位杆110的位置设置卡套120,卡套120沿着推板100伸缩移动的方向贯穿推板100,定位杆110可以穿过卡套120实现贯穿推板100的效果。本实施例中,为了使得卡套120使用时间更长,可以使用黄铜卡套承载并对定位杆110限位。
由于定位杆110是沿着推板100的伸缩移动的方向贯穿推板100的,因此定位杆110的两端是分设在推板100的两侧,而且其中有一端更靠近固定座200。由于石英舟是位于固定座200和推板100之间,因此当推板100沿着伸缩方向伸出固定的距离的时候,定位杆110上靠近固定座200的一端定位杆110总会最先接触并抵接到石英舟,能推动石英舟,对石英舟的位置进行微调和定位,方便硅片插入,该端就是抵接端;定位杆110远离固定座200的一端是不会接触到石英舟的,该端即是阻挡端。
抵接端与推板100之间设置有弹性件400,弹性件400套设在定位杆110的外部,当推板100通过抵接端推动石英舟在承载轨道300上移动以对石英舟的位置进行微调定位时,弹性件400会起到调节缓冲的作用,使得石英舟的定位更加准确。例如,若石英舟的长度较长,则其只要移动较短的距离就会被固定座200挡住,不能进一步移动;由于推板100的伸缩距离是固定的,若没有弹性件400的存在,推板100就容易将石英舟从固定座200和推板100之间顶出来,会导致石英舟定位不准确,发生卡片事故,而且还有可能损坏石英舟。在抵持端和推板100之间设置弹性件400的话,就能够起到调节缓冲的作用,保证推板100和固定座200之间的石英舟不会被过度挤压,石英舟既不容易被顶出来导致卡片事故的繁盛,也不容易发生损坏。作为示例性地,本实施例中使用弹簧作为弹性件400。抵接端210上还设置有缓冲件111,以减小定位时对石英舟造成的损伤。作为示例性地,本实施例中缓冲件111的材质为PEEK(poly ether ether ketone,聚醚醚酮)材料,采用该材料制得的缓冲件111还具有耐腐蚀、抗老化的效果,能延长定位机构001的使用寿命。此外,本实施例中的定位杆110是垂直推板100的,保证定位杆110的抵接端210可以最早接触到石英舟。
阻挡端上设置有阻挡件112,阻挡件112的尺寸要大于卡套120的尺寸,这样能够防止定位杆110从卡套120中脱落;而且若定位杆110在随着推板100伸出一段距离后,没有随着推板100一起收缩,阻挡件112也能与推板100碰撞,产生作用力使得定位杆110收缩。
为了保证给推板100提供伸缩的动力,使得推板100可以沿着固定座200的方向伸缩运动,作为示例性地,本实施例中,在推板100远离固定座200的一侧连接有用于推动推板100向固定座200方向伸缩运动的气缸500。在其他实施例中,也可以将气缸500设置在靠近推板100靠近固定座200的一侧,本申请在此并不做限定,只要保证有装置能为推板100提供向固定座200移动的动力即可。另外,为了保证气缸500不会移动,本申请还设置了用于固定气缸的连接座510。
本实施例中,为了检测承载轨道300上是否存在石英舟,还可以在固定座200上设置用于检测石英舟是否存在的检测器(图中未画出)。
需要注意的是,本申请实施例中,“两根”并不是对定位杆110的数量的限定,定位杆110也可以为一个或两个以上。例如,当定位杆110为一个时,应该保证定位杆110的抵接端210与石英舟的中轴线处于同一直线上,以保证石英舟受力均匀;当定位杆110的数量为3个或者更多时,所有定位杆110并列平行贯穿推板100,以保证石英舟受力均匀,防止石英舟发生倾斜,不利于硅片的插入;本实施例中,两根定位杆110可以分别与石英舟的舟脚抵接,也能够使得石英舟受力均匀,防止石英舟发生倾斜,而且设置不少于两根定位杆110也可以减少单个定位杆110对石英舟的压力,降低石英舟损坏的概率,延长石英舟的使用寿命。而且在定位杆110的数量和位置变化时,推板100上的卡套120的数量和位置也会相应变化,以保证定位杆110能贯通推板100。
需要注意的是,本申请实施例中,推板100并一定要完全垂直于伸缩方向,推板100也可以相应的倾斜,推板100垂直伸缩方向设置只是有利于安装定位杆110;定位杆110也并不是要完全平行于推板100的伸缩方向,可以有一定的夹角。
第二实施例
本申请实施例提供了一种石英舟倒片机(图中未画出),包括第一实施例中的定位机构001,以及用于搬运石英舟的搬运组件。
装载有第一实施例中的定位机构001的石英舟倒片机可以更好地对石英舟进行定位,减少卡片事故的发生;同时石英舟倒片机上还设置有搬运组件,能搬运满载或空载的石英舟移动至其它车间,完成下一道工序。
以上所述仅为本申请的实施例而已,并不用于限制本申请的保护范围,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种定位机构,用于定位石英舟,其特征在于,其包括分别设置于所述石英舟两端的推板和固定座,且所述推板能向所述固定座的方向伸缩移动,所述推板上沿伸缩方向贯穿设置有至少一根定位杆,每根所述定位杆能沿所述伸缩方向相对所述推板移动,每根所述定位杆靠近所述固定座的一端为能抵接石英舟的抵接端,每根所述定位杆的外部套设有弹性件,所述弹性件位于所述抵接端和所述推板之间。
2.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述推板相对于所述伸缩方向垂直设置,所有的所述定位杆相对于所述伸缩方向平行设置。
3.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述定位杆的数量为两个,两个所述定位杆对称设置在所述推板的相对两端。
4.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述定位杆远离所述固定座的一端为阻挡端,所述阻挡端上设有能防止所述定位杆从所述推板脱落的阻挡件。
5.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述定位杆的抵接端设有缓冲件。
6.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述推板上设置有对应于所述定位杆的卡套,所述卡套沿所述伸缩方向贯通所述推板,所述定位杆贯穿对应的所述卡套。
7.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述推板远离所述固定座的一侧连接有气缸,所述气缸被配置为能控制所述推板沿所述固定座方向伸缩移动。
8.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述推板和所述固定座之间还设有用于承载所述石英舟的承载轨道,所述石英舟能在所述承载轨道上相对所述固定座滑动。
9.根据权利要求1所述的定位机构,其特征在于,所述固定座上还设有用于检测是否存在所述石英舟的检测器。
10.一种石英舟倒片机,其特征在于,其包括用于搬运石英舟的搬运组件和权利要求1~9任一项所述的定位机构。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202220243452.2U CN217086541U (zh) | 2022-01-28 | 2022-01-28 | 一种定位机构及石英舟倒片机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202220243452.2U CN217086541U (zh) | 2022-01-28 | 2022-01-28 | 一种定位机构及石英舟倒片机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN217086541U true CN217086541U (zh) | 2022-07-29 |
Family
ID=82545077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202220243452.2U Active CN217086541U (zh) | 2022-01-28 | 2022-01-28 | 一种定位机构及石英舟倒片机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN217086541U (zh) |
-
2022
- 2022-01-28 CN CN202220243452.2U patent/CN217086541U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20140051044A (ko) | 클램프 장치 및 워크 반송 로봇 | |
JP2787038B2 (ja) | 基板の位置決め把持装置 | |
KR20080038042A (ko) | 워크 유지기구 | |
CN217086541U (zh) | 一种定位机构及石英舟倒片机 | |
CN113263633A (zh) | 刻划头及刻划装置 | |
CN216161693U (zh) | 一种晶圆智能量测载台 | |
EP2584597A1 (en) | Pitch change device and pitch change method | |
CN215884997U (zh) | 晶片夹持工具 | |
CN212075099U (zh) | 误差吸收模块、搬运装置和检测设备 | |
CN211870695U (zh) | 夹具及传送装置 | |
KR101997903B1 (ko) | 전자 부품 소자 테스트를 위한 얼라이너 및 이를 구비한 핸들러 | |
CN212946117U (zh) | 激光加工晶圆转运精密定位机构 | |
US20190386446A1 (en) | Connector-connecting jig | |
CN218595412U (zh) | 晶圆翻转装置 | |
CN219778859U (zh) | 晶圆倒片装置及晶圆倒片组件 | |
JP4339615B2 (ja) | ワークピースの保持機構 | |
CN216597538U (zh) | 一种硅片花篮的定位装置及插片机 | |
CN216706734U (zh) | 一种机床工件固定装置 | |
CN220029916U (zh) | 一种切片夹持装置 | |
CN219892143U (zh) | 一种晶圆倒片装置 | |
CN213778852U (zh) | 一种长度测量机构 | |
CN212991062U (zh) | 一种晶圆片自动传片装置 | |
CN212848341U (zh) | 激光加工晶圆转运结构 | |
CN103471539B (zh) | 三坐标测量机叶片夹持单元和模块化测量夹具 | |
CN217521948U (zh) | 芯片挑拣设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |