CN217077780U - 一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，尤其为一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器，包括反应器外壳、调节柱和固定支架，所述反应器外壳下端固定连接有固定支架，所述固定支架底端固定连接有驱动电机，所述驱动电机主轴顶端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆左端外侧和固定板下端的位置螺旋连接在一起，所述固定板上端内侧固定连接有调节柱，本实用新型中，通过设置的调节柱、固定板和反应器外壳，使得装置可以对腔内体积进行调节的同时可以在每次使用后将气相沉积反应器完全打开进行清理，以解决原有装置腔内体积固定不能根据实际需要进行调节的问题和每次装置使用后不便于将气相沉积反应器完全打开进行清理的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体为一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器。
背景技术
化学气相沉积是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料，从理论上来说，它是很简单的：两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上，沉积氮化硅膜就是一个很好的例子，它是由硅烷和氮反应形成的，对一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器的应用愈加广泛，因此，对一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器的需求日益增长。
市面上现有的气相沉积反应器在使用的过程中不具有对腔内体积进行调节的设置，而且每次使用后不便于将气相沉积反应器完全打开进行清理，因此，针对上述问题提出一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器，使它可以对气相沉积反应器腔内体积进行调节的同时在每次使用后可以将气相沉积反应器完全打开进行清理。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器，包括反应器外壳、调节柱和固定支架，所述反应器外壳下端固定连接有固定支架，所述固定支架底端固定连接有驱动电机，所述驱动电机主轴顶端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆左端外侧和固定板下端的位置螺旋连接在一起，所述固定板上端内侧固定连接有调节柱，所述调节柱右端开设的限位槽内侧设有空心密封圈，所述空心密封圈内侧通过气管和气泵连接在一起，所述气泵固定连接有压力表。
优选的，所述固定板下端右侧固定连接右导向杆，所述导向杆和固定支架之间滑动连接在一起，所述导向杆和螺纹杆之间呈平行的设置，所述导向杆的个数共有两个。
优选的，所述反应器外壳内侧固定连接有环形限位板，所述环形限位板的外壁和反应器外壳内壁之间固定连接在一起。
优选的，所述调节柱的横截面呈“U”型的设置，所述调节柱为空心且右端密封的设置，所述调节柱的中心点和反应器外壳的中心点设置在同一水平面上。
优选的，所述气泵通过气泵固定板固定连接在调节柱内侧的位置，所述气泵进气口通过气管和空心密封圈之间通过空心密封圈进气口连接在一起，所述气泵下端通过气管和空心密封圈之间通过空心密封圈出气口连接在一起，所述空心密封圈出气口上连接的气管内部固定连接有排气阀。
优选的，所述空心密封圈内侧固定连接有弹性拉绳，所述弹性拉绳的个数共有六个。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型中，通过设置的调节柱、固定板和反应器外壳，使得装置可以对腔内体积进行调节的同时可以在每次使用后将气相沉积反应器完全打开进行清理，以解决原有装置腔内体积固定不能根据实际需要进行调节的问题和每次装置使用后不便于将气相沉积反应器完全打开进行清理的问题；
2、本实用新型中，通过设置的空心密封圈、气泵和气管，使得装置可以将反应器外壳和调节柱连接的位置进行密封的同时可以在反应器外壳和调节柱分离和安装的过程中将空心密封圈内部的空气排空，以解决原有装置在分离和安装的过程中较为麻烦的问题。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型气泵安装位置结构示意图；
图3为本实用新型空心密封圈内部结构示意图；
图4为本实用新型环形限位板结构示意图。
图中：1-反应器外壳、2-调节柱、3-固定支架、4-环形限位板、5-驱动电机、6-导向杆、7-螺纹杆、8-固定板、9-空心密封圈、10-限位槽、11-气管、12-气泵、13-压力表、14-气泵固定板、15-空心密封圈进气口、16-空心密封圈出气口、17-弹性拉绳。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：
一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器，包括反应器外壳1、调节柱2和固定支架3，反应器外壳1下端固定连接有固定支架3，固定支架3底端固定连接有驱动电机5，驱动电机5主轴顶端固定连接有螺纹杆7，螺纹杆7左端外侧和固定板8下端的位置螺旋连接在一起，固定板8上端内侧固定连接有调节柱2，调节柱2右端开设的限位槽10内侧设有空心密封圈9，空心密封圈9内侧通过气管11和气泵12连接在一起，气泵12固定连接有压力表13。
固定板8下端右侧固定连接右导向杆6，导向杆6和固定支架3之间滑动连接在一起，导向杆6和螺纹杆7之间呈平行的设置，导向杆6的个数共有两个，在实际的使用过程中可以有效地调节柱2移动过程中的稳定性；反应器外壳1内侧固定连接有环形限位板4，环形限位板4的外壁和反应器外壳1内壁之间固定连接在一起，可以对调节柱2进行限位；调节柱2的横截面呈“U”型的设置，调节柱2为空心且右端密封的设置，调节柱2的中心点和反应器外壳1的中心点设置在同一水平面上，可以对反应器外壳1的腔内体积进行调节；气泵12通过气泵固定板14固定连接在调节柱2内侧的位置，气泵12进气口通过气管11和空心密封圈9之间通过空心密封圈进气口15连接在一起，气泵12下端通过气管11和空心密封圈9之间通过空心密封圈出气口16连接在一起，空心密封圈出气口16上连接的气管11内部固定连接有排气阀，可以在实际的使用过程中控制空心密封圈9内部进气和排气；空心密封圈9内侧固定连接有弹性拉绳17，弹性拉绳17的个数共有六个，可以在空心密封圈9排气后将空心密封圈9收纳在限位槽10内侧。
工作流程：在需要对一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器进行使用的过程中，工作人员可以通过控制驱动电机5带动螺纹杆7转动控制调节柱2进行移动，调节柱2在反应器外壳1中移动可以对反应器外壳1腔内体积进行调节，具有良好的实用价值，同时在使用的过程中，工作人员首先需要根据实际的需要将调节柱2左端的位置移动到反应器外壳1内部合适的位置，然后，工作人员需要控制气泵12给空心密封圈9内部打气，同时在打气的过程中需要通过压力表13对空心密封圈9内部的压力进行实时的了解，这样的设置在实际的使用过程中可以对调节柱2和反应器外壳1之间进行稳定的密封，和保证反应器外壳1内部的密封性，具有良好的便捷性，在使用完成后，工作人员可以通过空心密封圈出气口16连接的气管11内部设置的排气阀进行排气，这样便于将调节柱2和反应器外壳1进行分离，这样的设置在实际的使用过程中可以将调节柱2和反应器外壳1完全分离并对内部进行清洁，具有良好的便捷性，值得进行广泛的推广和使用。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器，包括反应器外壳（1）、调节柱（2）和固定支架（3），其特征在于：所述反应器外壳（1）下端固定连接有固定支架（3），所述固定支架（3）底端固定连接有驱动电机（5），所述驱动电机（5）主轴顶端固定连接有螺纹杆（7），所述螺纹杆（7）左端外侧和固定板（8）下端的位置螺旋连接在一起，所述固定板（8）上端内侧固定连接有调节柱（2），所述调节柱（2）右端开设的限位槽（10）内侧设有空心密封圈（9），所述空心密封圈（9）内侧通过气管（11）和气泵（12）连接在一起，所述气泵（12）固定连接有压力表（13）。
2.根据权利要求1所述的一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于：所述固定板（8）下端右侧固定连接右导向杆（6），所述导向杆（6）和固定支架（3）之间滑动连接在一起，所述导向杆（6）和螺纹杆（7）之间呈平行的设置，所述导向杆（6）的个数共有两个。
3.根据权利要求1所述的一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于：所述反应器外壳（1）内侧固定连接有环形限位板（4），所述环形限位板（4）的外壁和反应器外壳（1）内壁之间固定连接在一起。
4.根据权利要求1所述的一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于：所述调节柱（2）的横截面呈“U”型的设置，所述调节柱（2）为空心且右端密封的设置，所述调节柱（2）的中心点和反应器外壳（1）的中心点设置在同一水平面上。
5.根据权利要求1所述的一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于：所述气泵（12）通过气泵固定板（14）固定连接在调节柱（2）内侧的位置，所述气泵（12）进气口通过气管（11）和空心密封圈（9）之间通过空心密封圈进气口（15）连接在一起，所述气泵（12）下端通过气管（11）和空心密封圈（9）之间通过空心密封圈出气口（16）连接在一起，所述空心密封圈出气口（16）上连接的气管（11）内部固定连接有排气阀。
6.根据权利要求1所述的一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器，其特征在于：所述空心密封圈（9）内侧固定连接有弹性拉绳（17），所述弹性拉绳（17）的个数共有六个。
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