CN217061135U - 一种方卡上歪及松动的报警装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型揭示了一种方卡上歪及松动的报警装置，包括第一固定支架与第二固定支架，所述第一固定支架与第二固定支架用于安装检测方卡，所述第一固定支架的内侧安装有报警器，所述第二固定支架的内侧安装有电源。本实用新型，检测方卡安装完成后，将晶圆放置在检测平台上，检测平台带动晶圆上下左右移动，使检测方卡的探针插入晶圆，之后检测方卡与检测机连接，对晶圆质量进行检测，当检测方卡在使用时发生松动时，检测方卡带动第二导线晃动，并使第二导线与导电件相接触，使电源与报警器形成回路，报警器发出警报，提醒工作人员检测方卡发生松动，避免因测试异常导致对晶圆产生误测。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体检测领域，特别是涉及一种方卡上歪及松动的报警装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在晶圆生产过程中，需要使用检测装置，通过探针卡对晶圆的质量进行检测。
现有的晶圆在检测时，通过方形的探针卡对晶圆质量进行检测，探针卡通过螺栓压紧进行安装，但检测机在工作时产生震动，容易使螺栓反转导致探针卡发生晃动，但工作人员无法及时发现探针卡松动，会对晶圆的检测造成误判，不便使用，因此我们提出了一种方卡上歪及松动的报警装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于，提供一种方卡上歪及松动的报警装置，以实现对方卡上歪及松动的自动报警，提醒工作人员方卡发生松动，避免对晶圆的检测造成误判。
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种方卡上歪及松动的报警装置，包括第一固定支架与第二固定支架；
所述第一固定支架与第二固定支架用于安装检测方卡，所述第一固定支架的内侧安装有报警器，所述第二固定支架的内侧安装有电源，所述电源与报警器通过被动接触机构形成开路。
进一步的，所述被动接触机构包括第一导线，所述电源与报警器之间通过第一导线构成电性连接，所述电源与报警器上均安装有导电件，所述检测方卡对应导电件的外侧安装有第二导线。
进一步的，所述导电件为环形，所述第二导线两端贯穿环状导电件的内部。
进一步的，所述方卡支架位于第一固定支架与第二固定支架的下方，所述方卡支架用于对检测方卡进行支撑。
进一步的，所述方卡支架的顶部开设有定位槽，所述检测方卡对应定位槽的一侧固定有定位块，所述定位块位于定位槽内。
进一步的，所述机架上开设有检测槽，所述方卡支架、第一固定支架与第二固定支架均设置于检测槽内。
进一步的，所述第一固定支架与第二固定支架的内部螺纹连接有压紧螺栓。
进一步的，所述压紧螺栓通过橡胶垫与检测方卡接触。
相比于现有技术，本实用新型至少具有以下有益效果：
1、本实用新型，检测方卡安装完成后，将晶圆放置在检测平台上，检测平台带动晶圆上下左右移动，使检测方卡的探针插入晶圆，之后检测方卡与检测机连接，对晶圆质量进行检测，当检测方卡在使用时发生松动时，检测方卡带动第二导线晃动，并使第二导线与导电件相接触，使电源与报警器形成回路，报警器发出警报，提醒工作人员检测方卡发生松动，避免因测试异常导致对晶圆产生误测。
2、本实用新型，安装检测方卡时，使检测方卡带动定位块进入定位槽的内部，之后转动压紧螺栓，通过压紧螺栓压紧检测方卡，对检测方卡完成安装，通过定位槽与定位块构成的定位结构，对检测方卡的安装进行定位，避免检测方卡安装位置异常导致晶圆与其对齐失败。
附图说明
图1为本实用新型一个实施例的剖视结构示意图；
图2为本实用新型一个实施例图1中A处局部放大结构示意图；
图3为本实用新型一个实施例图1中B处局部放大的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本实用新型的方卡上歪及松动的报警装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
如图1至图3所示，本实用新型实施例提出了一种方卡上歪及松动的报警装置，包括第一固定支架4与第二固定支架5；
所述第一固定支架4与第二固定支架5用于安装检测方卡6，所述第一固定支架4的内侧安装有报警器11，所述第二固定支架5的内侧安装有电源12，所述电源12与报警器11通过被动接触机构形成开路。
以下列举所述方卡上歪及松动的报警装置的较优实施例，以清楚的说明本实用新型的内容，应当明确的是，本实用新型的内容并不限制于以下实施例，其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本实用新型的思想范围之内。
在一个实施方式中，所述被动接触机构包括第一导线13，所述电源12与报警器11之间通过第一导线13构成电性连接，所述电源12与报警器11上均安装有导电件14，所述检测方卡6对应导电件14的外侧安装有第二导线15，在检测方卡6安装完成后，将晶圆放置在检测平台上，检测平台带动晶圆上下左右移动，使检测方卡6的探针插入晶圆，之后检测方卡6与检测机连接，对晶圆质量进行检测，当检测方卡6在使用时发生松动时，检测方卡6带动第二导线15晃动，并使第二导线15与导电件14相接触，使电源12与报警器11形成回路，报警器11发出警报，提醒工作人员检测方卡6发生松动，避免因测试异常导致对晶圆产生误测。
在一个实施方式中，所述导电件14为环形，所述第二导线15两端贯穿环状导电件14的内部。
在一个实施方式中，所述方卡支架3位于第一固定支架4与第二固定支架5的下方，所述方卡支架3用于对检测方卡6进行支撑。
在一个实施方式中，所述方卡支架3的顶部开设有定位槽7，所述检测方卡6对应定位槽7的一侧固定有定位块8，所述定位块8位于定位槽7内，在安装检测方卡6时，使检测方卡6带动定位块8进入定位槽7的内部，之后转动压紧螺栓9，通过压紧螺栓9压紧检测方卡6，对检测方卡6完成安装，通过定位槽7与定位块8构成的定位结构，对检测方卡6的安装进行定位，避免检测方卡6安装位置异常导致晶圆与其对齐失败。
在一个实施方式中，所述机架1上开设有检测槽2，所述方卡支架3、第一固定支架4与第二固定支架5均设置于检测槽2内。
在一个实施方式中，所述第一固定支架4与第二固定支架5的内部螺纹连接有压紧螺栓9。
在一个实施方式中，所述压紧螺栓9通过橡胶垫10与检测方卡6接触，当通过压紧螺栓9对检测方卡6进行压紧固定时，通过橡胶垫10对检测方卡6进行防护，避免压紧螺栓9对检测方卡6造成压痕。
综上所述，安装检测方卡6时，使检测方卡6带动定位块8进入定位槽7的内部，之后转动压紧螺栓9，通过压紧螺栓9压紧检测方卡6，对检测方卡6完成安装，通过定位槽7与定位块8构成的定位结构，对检测方卡6的安装进行定位，避免检测方卡6安装位置异常导致晶圆与其对齐失败，检测方卡6安装完成后，将晶圆放置在检测平台上，检测平台带动晶圆上下左右移动，使检测方卡6的探针插入晶圆，之后检测方卡6与检测机连接，对晶圆质量进行检测，当检测方卡6在使用时发生松动时，检测方卡6带动第二导线15晃动，并使第二导线15与导电件14相接触，使电源12与报警器11形成回路，报警器11发出警报，提醒工作人员检测方卡6发生松动，避免因测试异常导致对晶圆产生误测。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (8)
1.一种方卡上歪及松动的报警装置，其特征在于：包括第一固定支架与第二固定支架；
所述第一固定支架与第二固定支架用于安装检测方卡，所述第一固定支架的内侧安装有报警器，所述第二固定支架的内侧安装有电源，所述电源与报警器通过被动接触机构形成开路。
2.根据权利要求1所述的方卡上歪及松动的报警装置，其特征在于：所述被动接触机构包括第一导线，所述电源与报警器之间通过第一导线构成电性连接，所述电源与报警器上均安装有导电件，所述检测方卡对应导电件的外侧安装有第二导线。
3.根据权利要求2所述的方卡上歪及松动的报警装置，其特征在于：所述导电件为环形，所述第二导线两端贯穿环状导电件的内部。
4.根据权利要求1所述的方卡上歪及松动的报警装置，其特征在于：还包括方卡支架，所述方卡支架位于第一固定支架与第二固定支架的下方，所述方卡支架用于对检测方卡进行支撑。
5.根据权利要求4所述的方卡上歪及松动的报警装置，其特征在于：所述方卡支架的顶部开设有定位槽，所述检测方卡对应定位槽的一侧固定有定位块，所述定位块位于定位槽内。
6.根据权利要求4所述的方卡上歪及松动的报警装置，其特征在于：还包括机架，所述机架上开设有检测槽，所述方卡支架、第一固定支架与第二固定支架均设置于检测槽内。
7.根据权利要求1所述的方卡上歪及松动的报警装置，其特征在于：所述第一固定支架与第二固定支架的内部螺纹连接有压紧螺栓。
8.根据权利要求7所述的方卡上歪及松动的报警装置，其特征在于：所述压紧螺栓通过橡胶垫与检测方卡接触。
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| CN202220398198.3U CN217061135U (zh) | 2022-02-25 | 2022-02-25 | 一种方卡上歪及松动的报警装置 |
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2022
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