CN217035659U - Hjt制绒槽反应装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了HJT制绒槽反应装置，涉及制绒反应槽技术领域，包括槽体，所述槽体的底部设置有第一层分配器区和第二层分配器区，所述槽体包括相互连通的内槽和外槽，所述第一层分配器区包括管路分配器与匀流分配器，所述槽体包括反应区和V型回流区，所述槽体内设置有管道式加热器，所述第二层分配器区包括气体鼓泡搅拌辅助装置，还包括磁力泵，通过所述磁力泵作为所述内槽和所述外槽之间液体循环流动的循环驱动部件，所述槽体材质采用SUS316或304不锈钢。本实用新型保证了温度场均匀性与及时性，提高硅片的片内与硅片片间微观结构稳定性与一致性，提高设备整体工艺制程的效果，提高最终成品HJT电池片的转换效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及制绒反应槽技术领域，具体为HJT制绒槽反应装置。
背景技术
在HJT制绒清洗设备生产线的领域中，设备使用方都希望在一定程度上提高设备生产程中的工艺的稳定性。
在提高生产批次间的间歇式反应过程中，化学反应需求的工艺条件的稳定性尤为重要，制绒反应槽是整个设备系统中，微观结构化腐蚀的关键工艺步骤，有效保证反应区温度场、流场、离子交换场的均匀性与及时性，这个是该设备工艺制程中最为关键指标之一。
因此有必要对该槽体系统整理概念上进行系统化的优化设计，以避免批量反应过程中硅片片内与硅片片间微观结构难以一致性的现象。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供HJT制绒槽反应装置，保证了温度场均匀性与及时性，提高硅片的片内与硅片片间微观结构稳定性与一致性，提高设备整体工艺制程的效果，提高最终成品HJT电池片的转换效率，解决了批量反应过程中硅片片内与硅片片间微观结构难以一致性的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：HJT制绒槽反应装置，包括槽体，所述槽体的底部设置有第一层分配器区和第二层分配器区，所述槽体包括相互连通的内槽和外槽。
所述第一层分配器区包括管路分配器与匀流分配器。
所述槽体包括反应区和V型回流区。
所述槽体内设置有管道式加热器。
可选的，所述第二层分配器区包括气体鼓泡搅拌辅助装置。
可选的，所述气体鼓泡搅拌辅助装置包括数个四分之三寸管径的高分子塑料管，气孔孔径为1mm，间距30mm。
可选的，还包括磁力泵，通过所述磁力泵作为所述内槽和所述外槽之间液体循环流动的循环驱动部件。
可选的，所述反应区包括层流区、平推区和化学沉积区。
可选的，所述槽体材质采用SUS316或304不锈钢。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
一、本实用新型通过管道式加热器保证温度场均匀性与及时性，通过两层分配器区域的设计+V型回流区的设计+内外槽的循环设计组合，保证了流场均匀性及整个反应槽无死角效应。
二、本实用新型以反应系统形式安装于制绒清洗机设备主体上，能够解决硅片表面微观结构化的均匀性与一致性的问题，从而提高硅片的片内与硅片片间微观结构稳定性与一致性，提高设备整体工艺制程的效果，提高最终成品HJT电池片的转换效率。
附图说明
图1为本实用新型结构的主视图；
图2为本实用新型气体鼓泡搅拌辅助装置处结构的俯视图；
图3为本实用新型匀流分配器处结构的俯视图。
图中：1-槽体、2-管路分配器、3-匀流分配器、4-反应区、5-V型回流区、6-气体鼓泡搅拌辅助装置。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1至图3，本实用新型提供一种技术方案：HJT制绒槽反应装置，包括槽体1，所述槽体1的底部设置有第一层分配器区和第二层分配器区，结构设计上采用遵循化工设计原理分为底部分配器区(解决液体均匀分布)，所述槽体1包括相互连通的内槽和外槽。
所述第一层分配器区包括管路分配器2与匀流分配器3，这样可以保证化学沉积区流场保持层流状态，可以保证离子补偿交换的及时性，保证了反应化学反应均匀性与一致性。
所述槽体1包括反应区4和V型回流区5，通过四周V型回流，保证回流均匀性，是保证液体自焕率一致性的保证，并且保证了循环回流的及时性，以及采用V型导流回流口的设计，保证四面回流速度一致性，进行而保证了反应区层流场装态的稳定，反应区任何化学反应点位液体流速一致性。
所述槽体1内设置有管道式加热器(反应区温度均匀性保证)，可以有效保证制绒槽化学液体的温度均匀性，控制在极差一度以内，并且此设计从流场设计模拟，做到了温度均匀性、药液浓度均匀性、药液自换率等一些参数得到了很好的保证；该设计应用在HJT电池制绒过程中，可以保证了绒面结构大小的均匀性，反应速率的一致性。
进一步的，所述第二层分配器区包括气体鼓泡搅拌辅助装置6，保证了清洗机硅片在搬离开槽子后，过程补加药液的产生温度场、药液混合均匀性及时达到反应需求的条件。
进一步的，所述气体鼓泡搅拌辅助装置6包括数个四分之三寸管径的高分子塑料管，气孔孔径为1mm，间距30mm。
进一步的，还包括磁力泵，通过所述磁力泵作为所述内槽和所述外槽之间液体循环流动的循环驱动部件，本发明有效整合设计，加热系统采用管道式加热器+磁力泵(ECTFE泵头)无金属接触动力循环动力(化学药液自换率保证)+进入槽体1的分配器区设计+出槽体1的V型回流区5设计系统组成保证了反应区2化学反应工艺条件的有效保证(热场、流场、化学药液离子浓度场)。
进一步的，所述反应区4包括层流区、平推区和化学沉积区。
进一步的，所述槽体1材质采用SUS316或304不锈钢，该SUS316或304不锈钢在加工过程中采用先酸洗钝化，再电解抛光特殊处理防止碱液腐蚀污染，并且因为采用的是不锈钢式槽体1，高温的强度以及导热性能良好，对反应区温度场(热场)的均匀性比较良好的保证。
工作原理：该HJT制绒槽反应装置结构设计上采用遵循化工设计原理分为底部分配器区，其中通过管路分配器2与匀流分配器3，可以保证化学沉积区流场保持层流状态，可以保证离子补偿交换的及时性，保证了反应化学反应均匀性与一致性。
并且采用V型导流回流口的设计，保证四面回流速度一致性，进行而保证了反应区层流场装态的稳定，反应区任何化学反应点位液体流速一致性，再者通过管道式加热器，保证制绒槽化学液体的温度均匀性，控制在极差一度以内，并且此设计从流场设计模拟，做到了温度均匀性、药液浓度均匀性、药液自换率等一些参数得到了很好的保证。该设计应用在HJT电池制绒过程中，可以保证了绒面结构大小的均匀性，反应速率的一致性。
为了保证清洗机硅片在搬离开槽子后，过程补加药液的产生温度场、药液混合均匀性及时达到反应需求的条件，增加了气体鼓泡搅拌辅助装置6。
综上所述，本发明有效整合设计，加热系统采用管道式加热器+磁力泵(ECTFE泵头)无金属接触动力循环动力(化学药液自换率保证)+进入槽体1的分配器区设计+出槽体1的V型回流区5设计系统组成保证了反应区2化学反应工艺条件的有效保证(热场、流场、化学药液离子浓度场)。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.HJT制绒槽反应装置，包括槽体(1)，其特征在于：所述槽体(1)的底部设置有第一层分配器区和第二层分配器区，所述槽体(1)包括相互连通的内槽和外槽；
所述第一层分配器区包括管路分配器(2)与匀流分配器(3)；
所述槽体(1)包括反应区(4)和V型回流区(5)；
所述槽体(1)内设置有管道式加热器。
2.根据权利要求1所述的HJT制绒槽反应装置，其特征在于：所述第二层分配器区包括气体鼓泡搅拌辅助装置(6)。
3.根据权利要求2所述的HJT制绒槽反应装置，其特征在于：所述气体鼓泡搅拌辅助装置(6)包括数个四分之三寸管径的高分子塑料管，气孔孔径为1mm，间距30mm。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的HJT制绒槽反应装置，其特征在于：还包括磁力泵，通过所述磁力泵作为所述内槽和所述外槽之间液体循环流动的循环驱动部件。
5.根据权利要求1所述的HJT制绒槽反应装置，其特征在于：所述反应区(4)包括层流区、平推区和化学沉积区。
6.根据权利要求1所述的HJT制绒槽反应装置，其特征在于：所述槽体(1)材质采用SUS316或304不锈钢。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122831475.3U CN217035659U (zh) | 2021-11-15 | 2021-11-15 | Hjt制绒槽反应装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122831475.3U CN217035659U (zh) | 2021-11-15 | 2021-11-15 | Hjt制绒槽反应装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217035659U true CN217035659U (zh) | 2022-07-22 |
Family
ID=82439251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122831475.3U Active CN217035659U (zh) | 2021-11-15 | 2021-11-15 | Hjt制绒槽反应装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217035659U (zh) |
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2021
- 2021-11-15 CN CN202122831475.3U patent/CN217035659U/zh active Active
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