CN217017259U - 一种旋涂工艺涂胶夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种旋涂工艺涂胶夹具，包括夹具座，夹具座上向内凹陷设置有基板安置槽，基板安置槽的形状尺寸与待加工基板形状尺寸配合，夹具座上基板安置槽内设置有与吸附平台配合的一圈定位标记线，夹具座上定位标记线外沿定位标记线均匀设置有多个与定位标记线相切的定位孔，定位孔固定连接有向下凸出设置的定位柱，夹具座上定位标记线内对应吸附平台的真空口设置有多个真空吸附通道。通过该旋涂工艺涂胶夹具的设置，针对不同形状尺寸的基板进行旋涂工艺时只需要更换对应夹具座，更换方便快捷，更换成本低，节约成本。且夹具座和吸附平台卡合安装方便，效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体旋涂工艺领域，尤其涉及一种旋涂工艺涂胶夹具。
背景技术
现有旋涂工艺涂胶是通过将需要加工的基板放置到真空吸附平台中心对位吸附后加工，由于底座和吸附平台的限定，无法针对不同形状尺寸的基板进行吸附夹紧加工，需要打造对应的底座和吸附平台，打造繁琐，成本高。因此需要设计改进了一个简单经济的替代方法，可以放入原底座和吸附平台无法放入吸附的基板。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型设计了一种旋涂工艺涂胶夹具。
本实用新型采用如下技术方案：
一种旋涂工艺涂胶夹具，包括夹具座，夹具座上向内凹陷设置有基板安置槽，基板安置槽的形状尺寸与待加工基板形状尺寸配合，夹具座上基板安置槽内设置有与吸附平台配合的一圈定位标记线，夹具座上定位标记线外沿定位标记线均匀设置有多个与定位标记线相切的定位孔，定位孔固定连接有向下凸出设置的定位柱，夹具座上定位标记线内对应吸附平台的真空口设置有多个真空吸附通道。
作为优选，所述定位柱为圆柱形。
作为优选，所述基板安置槽的截面为正方形。
作为优选，所述夹具座上基板安置槽两侧设置有取片口。取片口的设置方便基板放入和取出。
作为优选，所述夹具座上基板安置槽的四边角位置分别设置有圆弧口。防止放置基板时，基板与夹具座直接接触，避免出现划痕和尘埃颗粒，对基板产生影响。
本实用新型的有益效果是：通过该旋涂工艺涂胶夹具的设置，针对不同形状尺寸的基板进行旋涂工艺时只需要更换对应夹具座，更换方便快捷，更换成本低，节约成本。且夹具座和吸附平台卡合安装方便，效率高。
附图说明
图1是本实用新型正面的一种结构示意图；
图2是本实用新型背面的一种结构示意图；
图中：1、夹具座，2、基板安置槽，3、定位标记线，4、定位孔，5、真空吸附通道，6、取片口，7、圆弧口，8、定位柱。
具体实施方式
下面通过具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的具体描述：
实施例：如附图1和附图2所示，一种旋涂工艺涂胶夹具，包括夹具座1，夹具座上向内凹陷设置有基板安置槽2，基板安置槽的形状尺寸与待加工基板形状尺寸配合，夹具座上基板安置槽内设置有与吸附平台配合的一圈定位标记线3，夹具座上定位标记线外沿定位标记线均匀设置有多个与定位标记线相切的定位孔4，定位孔固定连接有向下凸出设置的定位柱8，夹具座上定位标记线内对应吸附平台的真空口设置有多个真空吸附通道5。
定位柱为圆柱形。基板安置槽的截面为正方形。夹具座上基板安置槽两侧设置有取片口6。夹具座上基板安置槽的四边角位置分别设置有圆弧口7。
该旋涂工艺涂胶夹具使用时，通过定位标记线对应将定位柱扣入吸附平台外沿定位，真空吸附通道对应吸附平台的真空口，将与待加工基板放入上基板安置槽内，完成基板的装夹。通过该旋涂工艺涂胶夹具的设置，针对不同形状尺寸的基板进行旋涂工艺时只需要更换对应夹具座，更换方便快捷，更换成本低，节约成本。且夹具座和吸附平台卡合安装方便，效率高。
以上所述的实施例只是本实用新型的一种较佳的方案，并非对本实用新型作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。
Claims (5)
1.一种旋涂工艺涂胶夹具，包括夹具座，其特征是，所述夹具座上向内凹陷设置有基板安置槽，基板安置槽的形状尺寸与待加工基板形状尺寸配合，夹具座上基板安置槽内设置有与吸附平台配合的一圈定位标记线，夹具座上定位标记线外沿定位标记线均匀设置有多个与定位标记线相切的定位孔，定位孔固定连接有向下凸出设置的定位柱，夹具座上定位标记线内对应吸附平台的真空口设置有多个真空吸附通道。
2.根据权利要求1所述的一种旋涂工艺涂胶夹具，其特征是，所述定位柱为圆柱形。
3.根据权利要求1所述的一种旋涂工艺涂胶夹具，其特征是，所述基板安置槽的截面为正方形。
4.根据权利要求1所述的一种旋涂工艺涂胶夹具，其特征是，所述夹具座上基板安置槽两侧设置有取片口。
5.根据权利要求1所述的一种旋涂工艺涂胶夹具，其特征是，所述夹具座上基板安置槽的四边角位置分别设置有圆弧口。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220828898.1U CN217017259U (zh) | 2022-04-12 | 2022-04-12 | 一种旋涂工艺涂胶夹具 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN217017259U true CN217017259U (zh) | 2022-07-22 |
Family
ID=82416129
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202220828898.1U Active CN217017259U (zh) | 2022-04-12 | 2022-04-12 | 一种旋涂工艺涂胶夹具 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN217017259U (zh) |
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2022
- 2022-04-12 CN CN202220828898.1U patent/CN217017259U/zh active Active
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