CN216926989U - 测试设备及其测试装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种测试设备及其测试装置。该测试装置包括：多组测试机构，多组测试机构呈排设置，每组测试机构均包括测试板和调节载台，测试板设有测试接口，测试接口用于与待测试的工件对接，调节载台用于承载工件并调节工件的位置；视觉检测机构，包括第一相机和第二相机，第一相机用于对调节载台上的工件进行图像采集，第二相机用于对相应的测试接口进行图像采集；控制器，用于根据第一相机获取的图像信息和第一相机获取的图像信息，控制调节载台调整工件与测试接口对准。通过上述方式，本申请能够提高工件与测试接口的对接效率。

Description

测试设备及其测试装置

技术领域

本申请涉及半导体检测技术领域，特别是涉及一种测试设备及其测试装置。

背景技术

现有对晶粒(die)进行检测的测试设备中，测试设备常因与待检测工件的对接效率不高，致使测试设备的检测效率也不理想。

实用新型内容

本申请主要提供一种测试设备及其测试装置，以解决测试设备与待检测工件的对接效率不高的问题。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种测试装置。所述测试装置包括：多组测试机构，所述多组测试机构呈排设置，每组所述测试机构均包括测试板和调节载台，所述测试板设有测试接口，所述测试接口用于与待测试的工件对接，所述调节载台用于承载所述工件并调节所述工件的位置；视觉检测机构，包括第一相机和第二相机，所述第一相机用于对所述调节载台上的工件进行图像采集，所述第二相机用于对相应的所述测试接口进行图像采集；控制器，用于根据所述第一相机获取的图像信息和所述第一相机获取的图像信息，控制所述调节载台调整所述工件与所述测试接口对准。

在一些实施例中，所述视觉检测机构包括多组所述第一相机和至少一组所述第二相机，所述第一相机与所述调节载台一一对应设置，所述第二相机用于对至少两组所述测试板的所述测试接口进行图像采集。

在一些实施例中，所述视觉检测机构包括：

多组第一采集驱动组件，与所述多组第一相机一一对应连接，并用于沿第一方向驱动所述第一相机运动至所述调节载台的上方；

第二采集驱动组件，与所述第二相机连接，并用于沿与所述第一方向相垂直的第二方向驱动所述第二相机依次运动至与各所述测试机构的测试板相对应，并进一步沿所述第一方向驱动所述第二相机运动至所述测试板的下方。

在一些实施例中，所述第一采集驱动组件包括：

运动子组件，用于沿所述第一方向驱动所述第一相机运动；

调整组件，连接于所述运动子组件和所述第一相机之间，用于在所述第二方向上微调所述第一相机。

在一些实施例中，所述第二采集驱动组件包括：

第一驱动子组件，与所述第二相机连接，用于沿所述第一方向驱动所述第二相机运动；

第二驱动子组件，与所述运动子组件连接，用于沿所述第二方向驱动所述第一驱动子组件运动。

在一些实施例中，所述调节载台包括：

第一调节组件，用于沿第一方向调节所述工件的位置；

第二调节组件，层叠设置于所述第一调节组件上，用于沿与所述第一方向垂直的第二方向调节所述工件的位置；

旋转调节组件，层叠设置于所述第二调节组件上，用于沿绕与所述第一方向和所述第二方向均垂直的第三方向旋转调节所述工件的位置。

在一些实施例中，所述调节载台还包括第三调节组件，所述第三调节组件用于沿所述第三方向调节所述工件与所述测试接口对接。

在一些实施例中，所述调节载台还包括承载台，所述承载台设置于所述旋转调节组件上，用于吸附固定所述工件。

在一些实施例中，所述测试装置还包括独立的承载板，所述多组测试机构和所述视觉检测机构均设置于所述承载板上。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种测试设备。所述测试设备包括如上述的测试装置。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请公开了一种测试设备及其测试装置。通过采用第一相机获取调节载台上的工件的图像信息和采用第二相机获取相应的测试接口的图像信息，并控制调节载台调整工件与测试接口对准，可使得调节载台上的工件与测试接口自动校准，进而可有效地提高工件与测试接口的对接效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本申请提供的测试设备一实施例的结构示意图；

图2是图1所示测试设备中上料装置和卸料装置的结构示意图；

图3是图2所示测试设备中上料装置的结构示意图；

图4是图3所示上料装置的分解结构示意图；

图5是图4所示上料装置中收放机构的剖视结构示意图；

图6是图2所示测试设备中卸料装置的结构示意图；

图7是图6所示卸料装置中自锁机构的分解结构示意图；

图8是图1所示测试设备中承载装置和拾取装置的结构示意图；

图9是图8所示承载装置的结构示意图；

图10是图1所示测试设备中搬运装置的结构示意图；

图11是图10所示搬运装置中校正座和承接机构的结构示意图；

图12是图1所示测试设备中测试装置的结构示意图；

图13是图12所示测试装置中视觉检测机构的结构示意图；

图14是图12所示测试装置中测试机构的结构示意图；

图15是本申请提供的物料取放方法一实施例的流程示意图；

图16是本申请提供的计算机设备一实施例的结构示意图；

图17是本申请提供的存储装置一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请实施例中的术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其他实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其他实施例相结合。

本申请提供一种测试设备，参阅图1，图1是本申请提供的测试设备一实施例的结构示意图。

测试设备100包括上料装置10、卸料装置20、搬运装置30、承载装置40、拾取装置50、测试装置60和机架70，上料装置10、卸料装置20、承载装置40和拾取装置50均设置于机架70，搬运装置30可独立设置或设置于机架70，测试装置60与机架70相间隔且独立设置，进而可避免其余装置所产生的震动等扰动传递给测试装置60。

其中上料装置10用于供给空载盘和承载有未测试的工件的载盘，卸料装置20用于承载完成测试后的工件的载盘，承载装置40用于存放待测试和完成测试的工件，搬运装置30用于在上料装置10与承载装置40之间和卸料装置20与承载装置40之间搬运载盘，拾取装置50用于在承载装置40与测试装置60之间搬运工件，测试装置60用于对工件进行测试，以评估工件的性能或品质等。

结合参阅图12，图12是图1所示测试设备中测试装置的结构示意图。承载装置40包括承载台42和定位机构44，承载台42设有进料口420，定位机构44设置于承载台42上，用于定位经进料口420进入的载盘。

结合参阅图1和图2，其中图2是图1所示测试设备中上料装置和卸料装置的结构示意图。承载台42固定于机架70上，且承载台42上还设有第一避让口421和第二避让口422。其中，上料装置10设置于承载台42上，且对应于第一避让口421设置，用于收容层叠设置的多个载盘；卸料装置20对应于第二避让口422设置于承载台42上，用于收容层叠设置的多个载盘。

上料装置10向搬运装置30供给载盘，搬运装置30将满载有完成测试的工件的载盘输送至卸料装置20上。

承载台42可以为一完整的板体，其也可以是分体式的多块板体，进而上料装置10、卸料装置20和定位机构44可设置于不同的板体上。

本实施例中，承载台42包括两块承载板体，该两块承载板体相邻且并排设置，定位机构44和拾取装置50设置于其中一块承载板体上，上料装置10和卸料装置20设置于另一块板体上。

其中承载台42上设有两个第一避让口421、十二个第二避让口422和十六个进料口420。换言之，两组上料装置10分别对应于两个第一避让口421设置于承载台42上，十二组卸料装置20分别对应于十二个第二避让口422设置于承载台42上，十六组定位机构44对应于该十六个进料口420设置于承载台42上。

两组上料装置10中的一组所承载的载盘内承载有多个未经测试的工件，即该上料装置10用于补充待测试的工件，两组上料装置10中的另一组所承载的载盘为空载盘，即该上料装置10用于补充承载完成测试后的工件的空载盘。

十六个进料口420所对应的工位被划分成两个上料工位、两个中转工位和十二个卸料工位，其中卸料工位的数量和卸料装置20相对应。十二个卸料工位中的一个工位为残次品工位，其用于被验证为残次品的工件，其余十一个卸料工位用于承载经测试后不同类型的工件，例如将工件依品质划分为十二种等级，其中包括残次品和其余十一种等级，并将被验证为同一等级的工件放置于同一卸料工位上，对应卸料工位上的载盘满载后还被输送到对应的卸料装置20。

设置两个上料工位和两个中转工位，以提高测试设备100的运行流畅度，避免拾取装置50在运行过程中暂停而影响测试设备100的测试效率。

可选地，测试设备100还可以包括其他数量的上料装置10、卸料装置20和定位机构44，本申请对此不作具体限制。

结合参阅图2至图5，其中图3是图2所示测试设备中上料装置的结构示意图，图4是图3所示上料装置的分解结构示意图，图5是图4所示上料装置中收放机构的剖视结构示意图。

上料装置10包括上料架12、锁紧机构14和收放机构16，上料架12用于收容层叠设置的多个载盘，锁紧机构14用于锁定多个载盘中的部分载盘，收放机构16设置于上料架12的下料口120处，用于在锁紧机构14锁定多个载盘中的部分载盘时，允许未被锁定的载盘通过下料口120，以及在锁紧机构14未锁定多个载盘时，阻挡多个载盘通过下料口120，从而可实现层叠装料并可依次下料。

其中载盘层叠设置可提高上料装置10的装载量，且下料口120位于上料架12的下方并与第一避让口421相对应，则利用从承载台42的上方向上料装置10装载载盘，使得补充载盘更便捷。

本实施例中，上料架12包括第一下料框121、第二下料框122和设置于第一下料框121和第二下料框122之间的多个支撑杆124，第一下料框121具有下料口120，多个支撑杆124用于对多个载盘定型。

第一下料框121和第二下料框122呈空心框体状并呈间隔设置，多个支撑杆124设置于第一下料框121和第二下料框122之间，以保持层叠的多个载盘彼此相对齐。

其中第二下料框122包括两个相间隔的定型框123，支撑杆124设置于对应的定型框123和第一下料框121之间，两个定型框123分别从载盘的两对侧对载盘进行限位，并在两个定型框123之间形成有供取放载盘的空间，以利于对载盘的上料。

本实施例中，收放机构16包括两组收放子机构160，两组收放子机构160分别设置于第一下料框121的两对侧上，两组收放子机构160相互配合以允许或阻挡载盘通过下料口120。

收放子机构160包括档杆161和驱动组件162，驱动组件162与档杆161连接，用于驱动档杆161伸展以阻挡载盘通过下料口120，或用于驱动档杆161收缩以允许载盘通过下料口120。

其中，档杆161因伸展而至少部分位于下料口120所在的区域，从而两侧的档杆161可对载盘提供支撑，即阻挡载盘通过下料口120；档杆161收缩而退出下料口120，从而可允许载盘通过下料口120。

驱动组件162可以驱动档杆161沿同一方向伸缩，或者驱动组件162可驱动档杆161转动伸展或转动收缩，以实现阻挡或允许载盘通过下料口120。

本实施例中，驱动组件162包括承载座163和滑杆164，滑杆164滑动穿设于承载座163上，档杆161的一端与滑杆164的一端铰接；其中滑杆164带动档杆161的一端滑入承载座163，使得档杆161在承载座163的导向下相对滑杆164转动而由收缩状态转变为伸展状态，并被承载座163所限定而保持伸展状态，从而阻挡载盘通过下料口120；滑杆164带动档杆161的一端自承载座163滑出，档杆161因解除约束而相对滑杆164反向转动，由伸展状态转变为收缩状态，从而可允许载盘通过下料口120。

第一下料框121设有避让槽125，避让槽125与下料口120连通，避让槽125用于收容处于收缩状态的档杆161，以空出下料口120。

承载座163内设有共轴线的第一轴孔和第二轴孔，第一轴孔与滑杆164滑动配合，滑杆164上还设有挡圈，挡圈位于第二轴孔；其中驱动组件162还包括弹性件165，弹性件165套设于滑杆164上且弹性压缩于第二轴孔与第一轴孔之间的台阶面和挡圈之间，进而在没有外力作用下弹性件165可驱使档杆161保持伸展。

弹性件165可以是压簧或弹性套等。

驱动组件162还可以包括电机或气缸等动力件166，该动力件166与滑杆164的另一端连接，用于驱动滑杆164沿第一轴孔滑动。

可选地，收放机构16还可以是设置于下料口120处的托盘机构，该托盘可位于下料口120以支撑载盘，或者携带未被锁定的载盘离开下料口120。

锁紧机构14包括驱动件140和两个夹爪142，驱动件140和两个夹爪142连接，并用于驱动两个夹爪142从上料架12的相对两侧夹持锁定多个载盘中的部分载盘。

驱动件140可以是夹指气缸，两个夹爪142与夹指气缸连接，夹指气缸驱动两个夹爪142合拢以夹持锁定多个载盘中的部分载盘，夹指气缸驱动两个夹爪142分离，以松开被锁定的载盘。

驱动件140还可以是电机，电机的数量为两个，每一电机与对应的夹爪142连接，从而可驱动两个夹爪142合拢或分离。

本实施例中，驱动件140为夹指气缸，夹爪142包括弯折连接的连接部143和夹持部144，连接部143设置于驱动件140上，夹持部144用于从上料架12的一侧向多个载盘施加夹持力；

锁紧机构14还包括滑动件145和导向件146，滑动件145设置于夹持部144，且与导向件146滑动配合，导向件146设置于承载台42上，从而可支撑夹爪142，提升夹持精度。

结合参阅图6和图7，图6是图2所示测试设备中卸料装置的结构示意图，图7是图6所示卸料装置中自锁机构的分解结构示意图。

卸料装置20包括卸料架22和自锁机构24，卸料架22用于收容层叠设置的多个载盘，自锁机构24设置于卸料架22的卸料口220，用于在载盘通过卸料口220进入卸料架22后对载盘进行支撑。

其中，自锁机构24只允许载盘通过卸料口220进入卸料架22，而不允许载盘通过卸料口220离开卸料架22。

本实施例中，卸料架22包括第一卸料框221、第二卸料框222和设置于第一卸料框221和第二卸料框222之间的多个支撑杆224，第一卸料框221设有卸料口220，多个支撑杆224用于对多个载盘定型。

第一卸料框221和第二卸料框222呈空心框体状并呈间隔设置，多个支撑杆224设置于第一卸料框221和第二卸料框222之间，以保持层叠的多个载盘彼此相对齐。

第二卸料框222包括两个相间隔的定型框223，支撑杆224设置于对应的定型框223和第一卸料框221之间，两个定型框223分别从载盘的两对侧对载盘进行限位，并在两个定型框223之间形成有供取放载盘的空间，以利于对载盘的卸料。

进一步地，卸料架22还包括防呆件225，防呆件225设置于第一卸料框221和第二卸料框222，用于限定载盘以预设的姿态进入卸料架22。

本实施例中，防呆件225为三角棱柱，载盘呈矩形状，且其上的一角为斜切角，其余三角为直角或圆角，仅有该斜切角与防呆件225相契合时，载盘才能通过卸料口220进入卸料架22，否则需要调整载盘的方位以使得斜切角与防呆件225相对准。

自锁机构24包括两组自锁子机构240，两组自锁子机构240分别设置于第一卸料框221的两对侧上，两组自锁子机构240相互配合以允许载盘从外部经卸料口220进入卸料架22并对载盘进行支撑。

自锁子机构240包括支撑座241和转动设置于支撑座241上的自锁件242；其中载盘从外部经卸料口220推动自锁件242转动，以进入卸料架22内，并在载盘越过自锁件242后，自锁件242复位至原位置以从载盘底部对载盘进行支撑。

具体地，支撑座241包括间隔设置的两个支撑腿243和设置于两个支撑腿243之间的支撑顶壁244，自锁件242转动设置于两个支撑腿243之间，支撑顶壁244设有避让槽245，自锁件242向避让槽245转动以允许载盘通过卸料口220，自锁件242复位后延伸至卸料口220，避让槽245的侧壁还用于止挡自锁件242以保持自锁件242处于复位位置，从而实现从载盘底部对载盘进行支撑。

自锁件242通过转轴设置于两个支撑腿243之间，自锁件242的重心位于转轴朝向卸料口220的一侧，进而自锁件242利用重力自动复位。

进一步地，自锁件242还可以通过扭簧进行复位。

自锁件242具有相邻的支撑面246和导向面247，支撑面246和导向面247之间呈锐角设置，支撑面246用以支撑载盘，载盘沿导向面247推动自锁件242朝向避让槽245转动。

结合参阅图8和图9，图8是图1所示测试设备中承载装置和拾取装置的结构示意图，图9是图8所示承载装置的结构示意图。

承载装置40包括承载台42和设置于承载台42上的定位机构44，承载台42设有进料口420，定位机构44对应于进料口420设置，并用于定位经进料口420进入的载盘。

即承载台42设有进料口420，载盘从承载台42背离定位机构44的一侧进入进料口420并被定位机构44所定位。

本实施例中，承载台42上设有均匀分布的多个进料口420，每一进料口420处均设置有定位机构44，多个定位机构44所定位的多个载盘被划分为上料工位、中转工位和卸料工位。

具体地，承载台42上设有均匀分布的十六个进料口420，十六个定位机构44所定位的多个载盘被划分为两个上料工位、两个中转工位和十二个卸料工位。

定位机构44可以从载盘的两侧、三侧或四侧夹持定位载盘，或者定位机构44也可以吸附固定载盘等。

本实施例中，定位机构44包括设置于进料口420两侧的第一夹持子机构441和第二夹持子机构442，第一夹持子机构441和第二夹持子机构442配合夹持经进料口420进入的载盘。

第一夹持子机构441包括第一动力件4411和第一定位件4412，第一定位件4412上设有第一定位角4413，第一动力件4411用于驱动第一定位件4412；第二夹持子机构442包括第二动力件4421和第二定位件4422，第二定位件4422上设有第二定位角4423，第二动力件4423用于驱动第二定位件4422；其中，第一定位角4413和第二定位角4423从载盘的两对角夹持载盘。

第一夹持子机构441和第二夹持子机构442从载盘的两对角夹持载盘，进而相对呈倾斜设置，使得承载装置40的整体结构更紧凑，有利于降低成本。

第一定位角4413和第二定位角4423与载盘的两对角相适配，第一定位角4413和第二定位角4423的底壁能够承载载盘，第一定位角4413和第二定位角4423的侧壁能够夹持限位使得载盘位于设定位置，以便于从载盘中拾取工件，或者向载盘放置工件。

进一步地，定位机构44还包括弹性组件443，弹性组件443设置于第一定位角4413和第二定位角4423中的至少一者上，弹性组件443用于对载盘进行弹性限位，以防止损伤载盘。

弹性组件443可以是设置于第一定位角4413或第二定位角4423的侧壁上的弹性棉或弹片等。

本实施例中，弹性组件443包括第一弹性件4431和第二弹性件4432，第一弹性件4431连接于第一定位角4413的第一侧壁上，用于弹性抵接载盘的一侧壁；第二弹性件4432连接于第一定位角4413的第二侧壁上，用于弹性抵接载盘的另一侧壁。

其中第一弹性件4431和第二弹性件4432均为弹片。

进一步地，第一夹持子机构441还包括缓冲组件445，缓冲组件445设置于承载台42，且与第一定位件4412连接；其中第一动力件4411用于抵推第一定位件4412的一端，第一动力件4411撤除对第一定位件4412的抵推后，第一定位件4412在缓冲组件445的作用下后撤以解除对载盘的定位。

缓冲组件445包括第一固定件4451、第二固定件4452和缓冲导向件4453，第一固定件4451设置于承载台42，第二固定件4452设置于第一定位件4412上，缓冲导向件4453连接于第一固定件4451和第二固定件4452之间。

缓冲导向件4453可以是液压缓冲器或弹性阻尼缓冲器等。

本实施例中，第二动力件4421与第二定位件4422连接，并用于驱动第二定位件4422至设定位置，第一动力件4411用于抵推第一定位件4412的一端，通过抵推驱动第一定位件4412运动，并采用弹性组件443抵接载盘，进而可无损伤地将载盘定位于预设位置。

进一步地，承载装置40还设有检测器件45，检测器件45对应于进料口420而设置于承载台42上，检测器件45用于检测进料口420处是否存在载盘。

检测器件45可以是红外传感器或光耦等器件，并在检测到进料口420处存在载盘后发出信号，可根据该信号调控定位机构44夹持定位该载盘。

结合参阅图10和图11，图10是图1所示测试设备中搬运装置的结构示意图，图11是图10所示搬运装置中校正座和承接机构的结构示意图。

搬运装置30设置于承载台42的下方，用于在上料装置10和承载装置40之间搬运载盘，以及在承载装置40和卸料装置20之间搬运载盘。

该搬运装置30包括承接机构31、X轴输送机构32、Y轴输送机构33、校正座34和校正组件35，X轴输送机构32用于沿X轴方向输送承接机构31，Y轴输送机构33用于沿Y轴方向输送承接机构31，承接机构31用于承接载盘，校正座34和校正组件35相配合以对所承接的载盘进行定位。

其中，X轴方向、Y轴方向和承接机构31的升降方向呈相互垂直设置，进而搬运装置30能够在立体空间内搬运载盘，在该立体空间内，搬运装置可将载盘输送至任意位置。

本实施例中，Y轴输送机构33设置于X轴输送机构32上，承接机构31、校正座34和校正组件35均设置于Y轴输送机构33上。

X轴输送机构32和Y轴输送机构33均包括动力件320、丝杆组件322和导向组件324，动力件320通过丝杆组件320驱动设置于其上的平台325在导向组件324的支撑下运动。

校正座34设置于平台325上。具体地，平台325上设有两个相间隔的支撑壁，校正座34连接于该支撑壁上，并与平台325之间形成有容置空间。

承接机构31，包括承接台310和驱动组件312，承接台310设置于校正座34背离平台325的一侧，驱动组件312的部分设置于校正座34与平台325之间形成的容置空间，且驱动组件312还穿过该校正座34与承接台310连接，用于驱动承接台310相对校正座34进行升降运动。

校正组件35设置于校正座34上，用于对承接台310所承接的载盘进行位置校正，以调整所承接的载盘的姿态，从而便于将该载盘以设定的姿态与进料口420或第二避让口422对准，并使得载盘通过进料口420向卸料装置20输送，或使得载盘通过第二避让口422向承载装置40输送。

校正座34呈矩形块状，且校正座34上设有承接槽340，承接台310可收容于承接槽340，以加强对载盘的防护，并可收集载盘所遗落的工件。

校正组件35包括两组校正机构350，两组校正机构350设置于承接槽340的两对角上，用于沿对角线对承接台310所承接的载盘进行位置校正。

其中，校正机构350包括驱动件351和对角定位件352，驱动件351与对角定位件352连接，对角定位件352设有与载盘的对角相适配的定位槽353，两个对角定位件352通过该定位槽353沿对角线对载盘的两个对角进行夹持，从而校正载盘的位置。

具体地，承接槽340的侧壁设有安装槽342，驱动件351设置于安装槽342，且安装槽342的侧壁还对对角定位件352进行导向。

进一步地，校正座34上还设有检测器件343，检测器件343用于检测两组校正机构350之间是否存在载盘，并在检测到存在载盘后发出信号，使得两组校正机构350被触发而开始位置校正。

驱动组件312包括电机313、丝杆314、丝杆螺母(未图示)和导杆316，丝杆螺母设置于校正座34上，丝杆314与丝杆螺母螺纹装配，且丝杆314的一端与电机313连接，丝杆314的另一端与承接台310转动连接，导杆316滑动穿设于校正座34并连接于电机313和承接台310之间。

导杆316固定连接于电机313和承接台310之间，电机313驱动丝杆转动，可使得承接台310和电机313相对校正座34沿导杆316的轴线方向进行升降运动。

其中，承接台310升起，以承接上料装置10经第一避让口421输送的载盘，或承接承载装置40经进料口420输送的载盘，并在接受载盘后，承接台310下降而收容于承接槽340内，且校正组件35对载盘进行位置校正；或，承接台310升起，以将所承载的载盘经第二避让口422输送至卸料装置20上，或将所承载的载盘进料口420输送至定位机构44上。

可选地，驱动组件312可以是气缸，该气缸驱动的驱动端与承接台310连接，并用于驱动承接台310升降。

校正座34上还设有两个极限限位器345。具体地两个极限限位器345设置于与校正座34连接的支撑壁上，电机313上设有挡片317，两个极限限位器345与挡片317相配合，以限定承接台310的升降行程，防止承接台310与其他物体发生碰撞。

结合参阅图12至图14，图12是图1所示测试设备中测试装置的结构示意图，图13是图12所示测试装置中视觉检测机构的结构示意图，图14是图12所示测试装置中测试机构的结构示意图。

该测试装置60包括多组测试机构62、视觉检测机构64和控制器(未图示)。

多组测试机构62呈排设置，每组测试机构62均包括测试板620和调节载台622，测试板620设有测试接口621，测试接口621用于与待测试的工件对接，调节载台622用于承载工件并调节工件的位置。

视觉检测机构64包括第一相机641和第二相机642，第一相机641用于对调节载台622上的工件进行图像采集，第二相机642用于对相应的测试接口621进行图像采集。

控制器用于根据第一相机641获取的图像信息和第二相机642获取的图像信息，控制调节载台622调整工件与测试接口621对准，可使得调节载台622上的工件与测试接口621自动校准，进而可有效地提高工件与测试接口621的对接效率。

测试装置60还包括独立的承载板66，多组测试机构62和视觉检测机构64均设置于承载板66上，承载板66与承载台42相间隔，以隔离来自承载台42的扰动。

视觉检测机构64包括多组第一相机641和至少一组第二相机642，第一相机641与调节载台622一一对应设置，第二相机642用于对至少两组测试板620的测试接口621进行图像采集。

本实施例中，测试机构62的数量为四组，第一相机641的数量为四组，第二相机642的数量为一组，其中第一相机641与调节载台622一一对应设置，第二相机642用于依次四个测试接口621进行图像采集。

可选地，测试机构62数量还可以是两组或六组等，第一相机641的数量也可以是两组或六组等，第二相机642的数量为一组、两组或三组等，本申请对此不作具体限制。

本实施例中，视觉检测机构64包括多组第一采集驱动组件643和第二采集驱动组件644。

多组第一采集驱动组件643与多组第一相机641一一对应连接，并用于沿第一方向驱动第一相机641运动至调节载台622的上方。

第二采集驱动组件644与第二相机642连接，并用于沿与第一方向相垂直的第二方向驱动第二相机642依次运动至与各测试机构62的测试板620相对应，并进一步沿第一方向驱动第二相机642运动至测试板620的下方，以对测试接口621进行图像采集。

具体地，第一采集驱动组件643包括运动子组件6431和调整组件6432，运动子组件6431用于沿第一方向驱动第一相机641运动；调整组件6432连接于运动子组件6431和第一相机641之间，用于在第二方向上微调第一相机641。

运动子组件6431可以包括电机和丝杆机构，电机与丝杆机构连接并通过丝杆机构驱动调整组件6432沿第一方向运动，调整组件6432携带第一相机641运动，以获取承载于调节载台622上工件的图像信息。

运动子组件6431还可以是气缸，气缸与调整组件6432连接，并驱动调整组件6432沿第一方向运动。

调整组件6432可以螺纹调整机构，通过旋转螺纹以驱动第一相机644沿第二方向微调，以使得第一相机641能够获取工件的图像。

调整组件6432还可以是滑动调节机构，通过滑动调节第一相机641的位置，并在第一相机641能够获取工件的图像后，再将第一相机641固定于该位置。

第二采集驱动组件644包括第一驱动子组件6441和第二驱动子组件6442，第一驱动子组件6441与第二相机642连接，用于沿第一方向驱动第二相机642运动，以运动至测试接口621的下方，获取该测试接口621的图像信息；第二驱动子组件6442与第一驱动子组件6441连接，用于沿第二方向驱动第一驱动子组件6441运动，进而可携带第二相机642运动至与各测试机构62的测试板620相对应。

其中，第一驱动子组件6441可以是皮带机构或丝杆机构，第二驱动子组件6442也可以是皮带机构或丝杆机构。

调节载台622包括第一调节组件6221、第二调节组件6222和旋转调节组件6223，第一调节组件6221用于沿第一方向调节工件的位置；第二调节组件6222层叠设置于第一调节组件6221上，用于沿与第一方向垂直的第二方向调节工件的位置；旋转调节组件6223层叠设置于第二调节组件6222上，用于沿绕与第一方向和第二方向均垂直的第三方向旋转调节工件的位置；因而第一调节组件6221、第二调节组件6222和旋转调节组件6223相配合可使得位于调节载台622上的工件与测试接口621相对准。

第一调节组件6221和第二调节组件6222均可以是滑块机构等，以沿安装的第一方向或第二方向调整工件的方位。

旋转调节组件6223可以是转盘机构等，通过旋转调节工件与测试接口621之间的偏转角度。

进一步地，调节载台622还包括第三调节组件6224，第三调节组件6224用于沿第三方向调节工件与测试接口621对接。

第三调节组件6224可以是气缸或丝杆机构。

进一步地，调节载台622还包括承载台6225，承载台6225设置于旋转调节组件6223上，用于吸附固定工件。

再次参阅图8，拾取装置50包括拾取机构52和移动机构54，拾取机构52用于拾取工件，移动机构54和拾取机构52连接，用于输送拾取移动52。

其中拾取机构52包括多组第一取放组件521和多组第二取放组件522，第一取放组件521用于取放待测试的工件，第二取放组件522用于取放测试后的工件。

第一取放组件521从处于上料工位的载盘内拾取工件，移动机构54将拾取机构52输送至测试装置60，第二取放组件522从测试装置60拾取测试后的工件，第一取放组件521再将拾取的工件放置于测试装置60，移动机构54再将拾取机构52输送至承载装置40，第二取放组件522将测试后的工件根据测试结果放置于处于卸料工位的对应等级的载盘内。

本实施例中，拾取机构52包括两组第一取放组件521和两组第二取放组件522，第一取放组件521和第二取放组件522结构相同，且均通过吸附的方式拾取工件。

移动机构54包括第一移动子机构541和第二移动子机构542，第一移动子机构541与拾取机构52连接并用于驱动拾取机构52沿水平上的第一方向运动；第二移动子机构542与第一移动子机构541连接，并用于驱动第一移动子机构541沿水平上与第一方向相垂直的第二方向运动，进而携带拾取机构52沿第二方向运动。

本申请还提供一种物料取放方法，参阅图15，图15是本申请提供的物料取放方法一实施例的流程示意图。本实施例中，该物料取放方法包括：

S10：提供一承载台，承载台设有中转工位和多种类型的卸料工位。

承载台42设有多个进料口420，每一进料口420处设置有定位机构44，载盘经进料口420被定位机构44所定位，各载盘所处的位置被划分为进料工位、中转工位和卸料工位。

其中上料工位用于盛放承载有未测试工件的载盘，中转工位的载盘为空载盘，卸料工位的载盘用于承载测试完成后的工件。

其中，进料工位的数量可以是两个或三个等，即承载台42设有至少两个上料工位，可使得拾取装置50能够保持持续性地取料而无需等待更换上料的载盘；中转工位的数量与能够被同时拾取的工件的数量相同，即使卸料工位上一些载盘满载，拾取装置50也能够通过将测试完成的工件放置于中转工位的载盘内，以保持无间断地运作。

进一步地，该物料取放方法还包括：

拾取装置50从上料工位的载盘上拾取工件，并运输至测试装置60，以对工件进行检测。

物料取放方法进一步还包括：

拾取装置50先从测试装置60上拾取测试完成的工件，再将从上料工位的载盘上所拾取的工件放置于测试装置60。

S20：根据工件的测试结果将工件放置于对应类型的卸料工位的载盘内。

工件经测试装置60检测完成后，会根据测试结果被划分等级，以进行分类，同一等级的工件防止于相应等级的卸料工位的载盘内，卸料工位的等级包括残次品、一级、二级或三级等。

本实施例中，具有十二个卸料工位，其包括残次品和其余十一个等级的良品。

例如，根据测试结果显示该工位为七级良品，则拾取装置50将该工件放置于与七级良品相对应的卸料工位的载盘内。

S30：响应于其中一种类型的卸料工位满载，将工件放置于中转工位的载盘内，并将中转工位作为新的对应类型的卸料工位。

载盘的容量有限，当载盘满载后，就需要更换新的载盘。当某一类型的卸料工位满载后，并在更换载盘或需要更换载盘的期间，拾取装置50将测试完成的工件放置于中转工位的载盘内，且将该中转工位指定为新的该类型的卸料工位。

例如，类型为残次品的卸料工位的载盘满载，则将其中一中转工位作为新的残次品卸料工位，并用于放置残次品。

本实施例中，通过视觉识别的方式确认卸料工位是否满载。

S40：采用空载的载盘替换满载的卸料工位的载盘，并将空载的载盘作为新的中转工位。

将满载的卸料工位的载盘换下后，输送来空载盘放置于原卸料工位出，并将该原卸料工位指定为新的中转工位，从而可维持测试设备100不间断地实现对工件的检测。

本实施例中，从承载台42的下方通过进料口420转移满载的卸料工位的载盘，并将空载的载盘自承载台42的下方通过进料口420输送至承载台42。

换言之，从承载台42的下方更换载盘，而从承载台42的上方拾取工件进行检测和分类，以将更换载盘和拾取工件这两步安置于不同的空间，避免彼此干扰，从而有利于提高测试设备100的运行效率。

基于此，本申请还提供一种计算机设备200，请参阅图16，图16是本申请计算机设备一实施例的结构示意图，该实施方式中，计算机设备200包括处理器210和存储器220，处理器210耦接存储器220，存储器220用于存储程序，处理器210用于执行程序以实现上述任一实施例的物料取放方法。

其中，该计算机设备200可以是上述测试设备100中的控制装置或控制器等，其与拾取装置50通信连接，以实现上述定位方法。

计算机设备200可以是编解码器。处理器210还可以称为CPU(Central ProcessingUnit，中央处理单元)。处理器210可以是一种集成电路芯片，具有信号的处理能力。处理器210还可以是通用处理器、数字信号处理器(DSP)、专用集成电路(ASIC)、现场可编程门阵列(FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件。通用处理器210可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。

基于此，本申请还提供一种存储装置300，请参阅图17，图17是本申请提供的存储装置一实施例的结构示意图，该实施方式中，存储装置300存储有程序数据310，该程序数据310能够被处理器执行以实现上述任一实施例的物料取放方法。

其中，该程序数据310可以以软件产品的形式存储在上述存储装置300中，包括若干指令用以使得一个设备或处理器执行本申请各个实施方式方法的全部或部分步骤。

存储装置300是计算机存储器中用于存储某种不连续物理量的媒体。而前述的存储装置300包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序数据310代码的介质。

区别于现有技术的情况，本申请公开了一种测试设备及其测试装置。通过采用第一相机获取调节载台上的工件的图像信息和采用第二相机获取相应的测试接口的图像信息，并控制调节载台调整工件与测试接口对准，可使得调节载台上的工件与测试接口自动校准，进而可有效地提高工件与测试接口的对接效率。

以上所述仅为本申请的实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种测试装置，其特征在于，所述测试装置包括：

多组测试机构，所述多组测试机构呈排设置，每组所述测试机构均包括测试板和调节载台，所述测试板设有测试接口，所述测试接口用于与待测试的工件对接，所述调节载台用于承载所述工件并调节所述工件的位置；

视觉检测机构，包括第一相机和第二相机，所述第一相机用于对所述调节载台上的工件进行图像采集，所述第二相机用于对相应的所述测试接口进行图像采集；

控制器，用于根据所述第一相机获取的图像信息和所述第一相机获取的图像信息，控制所述调节载台调整所述工件与所述测试接口对准。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述视觉检测机构包括多组所述第一相机和至少一组所述第二相机，所述第一相机与所述调节载台一一对应设置，所述第二相机用于对至少两组所述测试板的所述测试接口进行图像采集。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述视觉检测机构包括：

多组第一采集驱动组件，与所述多组第一相机一一对应连接，并用于沿第一方向驱动所述第一相机运动至所述调节载台的上方；

第二采集驱动组件，与所述第二相机连接，并用于沿与所述第一方向相垂直的第二方向驱动所述第二相机依次运动至与各所述测试机构的测试板相对应，并进一步沿所述第一方向驱动所述第二相机运动至所述测试板的下方。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述第一采集驱动组件包括：

运动子组件，用于沿所述第一方向驱动所述第一相机运动；

调整组件，连接于所述运动子组件和所述第一相机之间，用于在所述第二方向上微调所述第一相机。

5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述第二采集驱动组件包括：

第一驱动子组件，与所述第二相机连接，用于沿所述第一方向驱动所述第二相机运动；

第二驱动子组件，与所述运动子组件连接，用于沿所述第二方向驱动所述第一驱动子组件运动。

6.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述调节载台包括：

第一调节组件，用于沿第一方向调节所述工件的位置；

第二调节组件，层叠设置于所述第一调节组件上，用于沿与所述第一方向垂直的第二方向调节所述工件的位置；

旋转调节组件，层叠设置于所述第二调节组件上，用于沿绕与所述第一方向和所述第二方向均垂直的第三方向旋转调节所述工件的位置。

7.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述调节载台还包括第三调节组件，所述第三调节组件用于沿所述第三方向调节所述工件与所述测试接口对接。

8.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述调节载台还包括承载台，所述承载台设置于所述旋转调节组件上，用于吸附固定所述工件。

9.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试装置还包括独立的承载板，所述多组测试机构和所述视觉检测机构均设置于所述承载板上。

10.一种测试设备，其特征在于，所述测试设备包括如权利要求1至9任一项所述的测试装置。

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