CN114993183A - 测试方法、存储装置、计算机设备及测试设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了测试方法、存储装置、计算机设备及测试设备。该测试方法包括：获取标识点的第一位置数据；利用第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据；获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据，其中第二位置数据是基于目标原点数据为基准所得到的；确定第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据，预设位置数据为测试接口的位置数据；根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置；响应于调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据，驱动调节载台，以使待测试工件与测试接口相对接。通过上述方式，改善图像采集装置因温度漂移对测试造成的影响。

Description

测试方法、存储装置、计算机设备及测试设备

技术领域

本申请涉及半导体测试技术领域，特别是涉及测试方法、存储装置、计算机设备及测试设备。

背景技术

现有对晶粒（die）进行检测的测试装置中，会使用图像采集装置对晶粒进行定位，但是由于图像采集装置会因为温度变化发生温度偏移，导致晶粒测试过程出现异常。

发明内容

本申请主要提供测试方法、存储装置、计算机设备及测试设备，改善图像采集装置因温度漂移对测试造成的影响。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种测试方法，该测试方法包括：获取标识点的第一位置数据；利用第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据；获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据，其中第二位置数据是基于目标原点数据为基准所得到的；确定第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据，预设位置数据为测试接口的位置数据；根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置；响应于调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据，驱动调节载台，以使待测试工件与测试接口相对接。

其中，利用第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据，包括：获取第一图像采集装置的初始原点数据；在第一位置数据偏移出初始原点数据的范围时，将第一位置数据作为目标原点数据。

其中，利用第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据之前，包括：获取第一图像采集装置的当前工作时间；在当前工作时间大于预设工作时间时，确定第一图像采集装置发生温度漂移现象。

其中，确定第一图像采集装置发生温度漂移现象之后，包括：启动处于待机状态下的另一第一图像采集装置，以替换当前工作时间大于预设工作时间的第一图像采集装置。

其中，偏差数据包括偏差位移量和偏转角度，确定第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据，包括：根据第二位置数据中的第一标记点和预设位置数据的第一靶点确定偏差位移量；将第一标记点偏移与第一靶点重合，并根据偏移后的第二位置数据中的第二标记点与预设位置数的第二靶点确定偏转角度。

其中，调节载台包括三个调节子机构，其中两个调节子机构沿第一方向设置且沿与第一方向垂直的第二方向间隔设置，另一调节子机构沿第二方向设置；根据偏差数据调控调节载台，包括：根据偏差位移量和偏转角度确定与三个调节子机构相对应的执行位移量；驱动三个调节子机构执行执行位移量。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种测试方法，该测试方法包括：获取标识点的第一位置数据；基于第一位置数据修正预设位置数据，预设位置数据为测试接口的位置数据；获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据；确定第二位置数据与修正后的预设位置数据之间的偏差数据，预设位置数据为测试接口的位置数据；根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置；响应于调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据，驱动调节载台，以使待测试工件与测试接口相对接。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种具有存储功能的存储装置，该存储装置存储有计算机程序，计算机程序能够被处理器执行以实现如上述技术方案提供的测试方法。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种计算机设备，该计算机设备包括处理器和存储器，处理器耦接存储器，存储器用于存储计算机程序，处理器用于执行计算机程序以实现如上述技术方案提供的测试方法。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种测试设备，测试设备包括调节载台和如上述技术方案提供的计算机设备，计算机设备与调节载台通信连接。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请公开了的测试方法，通过利用标识点的第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据的方式，能够在每一次获取待测试工件的第二位置数据前，重新确定第一图像采集装置的原点数据，进而可以利用最新的原点数据得到更加准确的待测试工件第二位置数据，以改善图像采集装置因温度漂移对测试造成的影响，进而能够在后续调整待测试工件的位置时，提高待测试工件的位置数据与测试接口的预设位置数据的对准精度，提升测试效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本申请提供的测试设备一实施例的结构示意图；

图2是如图1所示测试设备除测试机构和拾取机构之外的结构示意图；

图3是如图2所示测试设备的分解结构示意图；

图4是如图3所示测试设备中供料机构的结构示意图；

图5是如图1所示测试设备除拾取机构之外的俯视结构示意图；

图6是如图5所示测试设备中分盘机构的俯视结构示意图；

图7是如图6所示分盘机构中承载组件的俯视结构示意图；

图8是如图4所示供料机构的局部分解结构示意图；

图9是如图8所示供料机构中料框架的结构示意图；

图10是如图9所示料框架中自锁件的剖视结构示意图；

图11是如图1所示测试设备中测试机构的结构示意图；

图12是本申请提供的测试方法一实施例的流程示意图；

图13是本申请提供的S13一实施例的流程示意图；

图14是本申请提供的S15一实施例的流程示意图；

图15是本申请提供的测试方法另一实施例的流程示意图；

图16是本申请提供的未产生温度漂移时的场景示意图；

图17是本申请提供的产生温度漂移时的场景示意图；

图18是本申请提供的测试方法另一实施例的流程示意图；

图19是本申请提供的测试方法另一实施例的流程示意图；

图20是本申请提供的具有存储功能的存储装置一实施例的结构示意图；

图21是本申请提供的计算机设备一实施例的结构示意图；

图22是本申请提供的测试设备一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请实施例中的术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其他实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其他实施例相结合。

本申请提供一种测试设备100，参阅图1至图3，图1是本申请提供的测试设备一实施例的结构示意图，图2是如图1所示测试设备除测试机构和拾取机构之外的结构示意图，图3是如图2所示测试设备的分解结构示意图。

该测试设备100包括基台10、分盘机构20、供料机构30、换盘机构40、测试机构50和拾取机构60，分盘机构20和换盘机构40均连接于基台10上，供料机构30连接于基台10之下，即分盘机构20和供料机构30分别连接于基台10相背的两侧，测试机构50和拾取机构60可以连接基台10或独立设置于基台10之外。

可选地，测试机构50与基台10相间隔且独立设置，进而可避免其余装置所产生的震动等扰动传递给测试机构50；或者，其余装置运行时其所造成的震动可控制在较小水平时，也可将测试机构50连接于基台10上，以使得该测试设备100的整体布局更紧凑，所占用的面积较小。

其中，供料机构30用于提供空载盘和载有待测试工件的载盘，以及承接收集完成测试的工件的载盘，分盘机构20用于暂存载有待测试工件和完成测试的工件的载盘以及空载盘，换盘机构40用于将空载盘分发至分盘机构20的各位置，拾取机构60用于在分盘机构20与测试机构50之间搬运工件，测试机构50用于对工件进行测试，以评估工件的性能或品质等。

本实施例中，基台10为一完整的板体，分盘机构20、换盘机构40、测试机构50和拾取机构60连接于基台10的上表面，换盘机构40设置于分盘机构20的至少一侧，测试机构50与分盘机构20并排设置，拾取机构60连接基台10且横跨分盘机构20，供料机构30连接于基台10的下表面且对应于分盘机构20设置。

基台10上也设置有一组、二组或三组等多组分盘机构20，相应地供料机构30也设置有一组、二组或三组等多组。

本实施例中，如图2和图3所示，基台10上也设置有二组呈并排设置的分盘机构20，相应地供料机构30也设置有二组且呈并排分布。

具体地，基台10设有多个装卸口12，装卸口12用于上下载盘，多个装卸口12可呈阵列分布于基台10上，装卸口12也可按其他排布方式设置于基台10上。

参阅图1至图5，其中图4是如图3所示测试设备中供料机构的结构示意图，图5是如图1所示测试设备除拾取机构之外的俯视结构示意图。

分盘机构20连接基台10，分盘机构20包括多个承载组件22，承载组件22与装卸口12一一对应设置，承载组件22用于定位载盘，多个承载组件22被划分为第一上料工位221、第二上料工位222和卸料工位223，第一上料工位221用于暂存有待测试工件的载盘，第二上料工位222用于暂存空载盘，卸料工位223用于存在装载完成测试的工件的载盘，换盘机构40用于将第一上料工位221或第二上料工位222上的空载盘分发至各卸料工位223，拾取机构60用于从第一上料工位221上拾取待测试的工件并搬运至测试机构50，和从测试机构50拾取完成测试的工件，并根据测试分类结果放置于不同的卸料工位223。

其中，供料机构30同时具有提供待测试工件的载盘、空载盘和承接收集完成测试的工件的载盘的作用；分盘机构20和供料机构30分别位于基台10的上下两侧，且两者的位置相对应设置，即分盘机构20和供料机构30之间的位置相邻，彼此之间输送物料的距离较短，可有效地提升物料的输送效率。

参阅图3和图4，供料机构30包括抽屉架31、抽拉架32、多个托盘料盒33和多个顶升件34，抽屉架31连接于基台10背离分盘机构20的一侧，抽拉架32滑动连接抽屉架31，抽拉架32设有多个避让口320，多个托盘料盒33可拆卸连接抽拉架32，且托盘料盒33与避让口320一一对应设置，多个顶升件34连接于抽屉架31，用以通过避让口320伸入至对应的托盘料盒33，并输送托盘料盒33收容的多个载盘经装卸口12至承载组件22，或承接自装卸口12卸下的载盘并将载盘收容至托盘料盒33。

具体地，与第一上料工位221对应的托盘料盒33用于向第一上料工位221供应满载待测试工件的载盘，与第二上料工位222对应的托盘料盒33用于向第二上料工位222供应空载盘，与卸料工位223对应的托盘料盒33用于承接来自卸料工位223卸下的满载测试后的载盘。

本实施例中，每组分盘机构20包括有八组承载组件22，相对应地，每组供料机构30包括有八组托盘料盒33，其中第一上料工位221、第二上料工位222和卸料工位223可根据需求划分或指定。

承载组件22和托盘料盒33的数量还可以是四组、六组或十组等，本申请对此不作具体限制。

具体地，如图3所示，基台10设有十六个装卸口12，对应设有两组分盘机构20和两组供料机构30，每组分盘机构20包括有八组承载组件22，其中十六组承载组件22中设有两个第一上料工位221、两个第二上料工位222和十二个卸料工位223，每组供料机构30包括有八组托盘料盒33，十六组托盘料盒33中两组载有待测试工件的载盘，两组载有空载盘，其余十二组空置并用于承接收集载有完成测试的工件的载盘。

可以理解的，十六组承载组件22的具体工位划分和数量利用可根据用户需求进行调整，例如设有八个卸料工位223、四个第一上料工位221和两个第二上料工位222，剩余两个承载组件22空置。

参阅图6和图7，图6是如图5所示测试设备中分盘机构的俯视结构示意图，图7是如图6所示分盘机构中承载组件的俯视结构示意图。

分盘机构20包括多个承载组件22，承载组件22包括承载台23、拖料件24和推料件25，承载台23设有贯穿承载台23的贯穿口230；拖料件24连接承载台23，用于支撑位于贯穿口230的载盘；推料件25连接承载台23，用于推动承托于拖料件24上的载盘，使得载盘与承载台23相定位；其中，承载台23的至少两对侧连接有拖料件24，承载台23的至少相邻两侧连接有推料件25。

具体地，拖料件24用以伸入至贯穿口230，使得载盘可搁置于拖料件24，以形成对载盘的支撑；推料件25用于校正载盘的位置，使得其位于承载台23的位置是确定的，以便于换盘机构40更准确地拾取载盘，以及便于拾取机构60更准确地拾取待测试的工件和放置完成测试的工件。

承载台23呈矩形体，以便于多个承载台23拼接组成分盘机构20的；载盘及贯穿口230也呈矩形设置，当然若载盘为圆形或正多边形，则贯穿口230也适应性地设置圆形或正多边形。

拖料件24包括拖料驱动件241和承台242，且两组拖料件24设置于承载台23两对侧，拖料驱动件241可伸缩驱动承台242位于贯穿口230或离开贯穿口230；承台242位于贯穿口230，以用于支撑载盘；承台242离开贯穿口230，以便于载盘穿过贯穿口230装载于承载组件22上或进入托盘料盒33。

推料件25可以是气缸等，两组推料件25设置于承载台23的相邻两侧；其中承载台23的一角设有定位结构，用于定位载盘的位置。

例如，该定位结构为定位缺口，以便于载盘的一棱角伸入配合定位。

承载组件22还包括设置于承载台23上的检测器件26，该检测器件26可以是光耦或压力传感器等，用以检测承载台23是否有载盘。

结合参阅图3、图4和图8，其中图8是如图4所示供料机构的局部分解结构示意图。

本实施例中，抽屉架31为框架结构，其固定连接于基台10背离分盘机构20的一侧，而抽拉架32滑动连接抽屉架31上，以通过相对抽屉架31的滑动而携带多个托盘料盒33自抽屉架31露出，从而可便于更换托盘料盒33，以进行上下料。

具体地，如图4所示，抽拉架32包括第一底板321和连接第一底板321的第一锁定件322，第一底板321设有多个避让口320，多个托盘料盒33可拆卸连接第一底板321，以整体更换托盘料盒33来进行上下料，使得上料和下料的效率均较高，提升测试设备100的作业效率。

抽屉架31包括第二底板311和连接第二底板311的第二锁定件312，多个顶升件34连接第二底板311，第一底板321相对第二底板311滑动设置，例如采用滑轨等实现滑动方式。

其中，第一锁定件322和第二锁定件312相锁定时，使得装卸口12、避让口320和顶升件34对位设置；第一锁定件322和第二锁定件312解锁时，使得抽拉架32可相对抽屉架31滑动，以更换托盘料盒33。

具体地，抽屉架31还包括两个侧板313，两个侧板313连接于第二底板311和基台10之间，第一底板321可滑动连接第二底板311或滑动连接两个侧板313。

抽拉架32还包括门体323，门体323连接于第一底板321的一侧，用于封盖由两个侧板313和第二底板311构成的抽屉口，其中门体323上设有功能按钮、指示灯和供用户推拉的把手，其中功能按钮用于锁定或解锁抽拉架32和抽屉架31，指示灯用于指示托盘料盒33是否满载，其在托盘料盒33由满载变为空载或由空载变为满载时变亮，以提醒用户及时更换托盘料盒33。

进一步地，第二底板311还设有到位检测器314，到位检测器314用于在检测到第一底板321达到预设位置时触发第一锁定件322和第二锁定件312相锁定，可使得抽屉架31和抽拉架32可自动锁定，并可通过功能按钮解锁。

如图8所示，托盘料盒33与第一底板321可拆卸连接。例如，第一底板321设有定位槽，托盘料盒33设置于定位槽内。

本实施例中，托盘料盒33与第一底板321磁吸连接。

具体地，抽拉架32还包括多个电磁件325，对应于每一避让口320设有至少一个电磁件325，托盘料盒33设有至少一个铁磁件335；其中，电磁件325在通电时与铁磁件335相磁吸，电磁件325在断电时解除对铁磁件335的磁吸，从而可使得托盘料盒33与抽拉架32之间的拆卸十分地便捷且连接也相当可靠。

例如，对应于每一避让口320设有两个或三个电磁件325，托盘料盒33设有两个或三个铁磁件335，铁磁件335与电磁件325一一对应设置，或者托盘料盒33设有一个铁磁件335，该一个铁磁件335可同时磁吸连接多个电磁件325。

本实施例中，托盘料盒33还设有第一定位部331，第一底板321设有与第一定位部331定位配合的第二定位部326，使得托盘料盒33对应于避让口320设置且铁磁件335与电磁件325对位设置。

第一定位部331和第二定位部326可以分别是定位孔和定位柱中的一者，或者第一定位部331和第二定位部326可以分别是定位槽和定位凸起中的一者，进而托盘料盒33和第一底板321可先高效地完成对位而后通过磁吸固定托盘料盒33，使得托盘料盒33的装卸效率高。

参阅图9和图10，图9是如图8所示供料机构中料框架的结构示意图，图10是如图9所示料框架中自锁件的剖视结构示意图。

本实施例中，托盘料盒33包括料框架332和自锁件334，料框架332用于收容层叠设置的多个载盘，铁磁件335连接于料框架332的一侧；自锁件334设置于料框架332的第一料口333，用于支撑层叠设置于料框架332内的载盘；其中，顶升件34通过第一料口333进入料框架332内。

其中，料框架332包括第一料框336、第二料框337和多个支撑杆338，多个支撑杆338连接于第一料框336和第二料框337之间，第一料框336设有第一料口333，第二料框337设有对接装卸口12的第二料口339，铁磁件335连接于第一料框336的一侧，多个支撑杆338用于对多个载盘定型，以保持层叠的多个载盘彼此相对齐。

两组自锁件334连接于第一料框336的两对侧，两组自锁件334相互配合对载盘进行支撑。

如图10所示，自锁件334包括档杆301、滑杆302、承载座303和弹性件304，档杆301的一端与滑杆302的一端铰接，滑杆302滑动穿设于承载座303上，弹性件304弹性支撑于滑杆302和承载座303之间；其中，弹性件304驱使滑杆302带动档杆301的一端滑入承载座303，使得档杆301在承载座303的导向下相对滑杆302转动而伸展至第一料口333，以支撑载盘。

继续参阅图8，顶升件34包括顶升驱动件341、推盘342和导向件343，顶升驱动件341连接第二底板311，顶升驱动件341的驱动端连接推盘342，导向件343连接推盘342且与第二底板311导向配合，推盘342用于承接和抵推托盘料盒33内的载盘。

其中，顶升驱动件341用于驱动推盘342通过避让口320，且推动位于托盘料盒33内的载盘经过装卸口12至承载组件22，或承接自装卸口12下的载盘并将载盘收容至托盘料盒33。

具体地，测试设备100作业时，顶升驱动件341驱动推盘342上升，以推动载有待测试工件的载盘穿过装卸口12至承载组件22的贯穿口230，推料件25抵推最上层的载盘，以初步固定载盘，在顶升驱动件341驱动推盘342下降后，使得最上层的载盘与下层载盘相分离，而后拖料件24伸入至贯穿口230且位于载盘下方，以支撑载盘；对空载盘的上料同装载有待测试工件的载盘上料过程，不再赘述；而在卸料工位223上的空载盘满载时，顶升驱动件341驱动推盘342或推盘342上的载盘上升至贯穿口230，推料件25抵推该载盘，以便于拖料件24离开贯穿口230，之后推盘342移动至该载盘下方，推料件25松开该载盘，以便在载盘层叠置于推盘342或推盘342上的载盘上，以完成卸料。

如图5所示，本实施例中，换盘机构40包括吸盘41和驱动组件42，驱动组件42连接基台10，驱动组件42的驱动端连接吸盘41，用于驱动吸盘41搬运空载盘至空置的卸料工位223。

其中，驱动组件42具有沿X轴方向和Z轴方向运动的能力，吸盘41设有开口410和设置于开口410周侧的吸头，其中开口410用以避让载盘上承载工件的区域，吸头用以吸附载盘的棱边，从而可拾取载盘。

参阅图1和图11，图11是如图1所示测试设备中测试机构的结构示意图。

测试机构50包括多组测试组件51、多组第一图像采集装置52、第二图像采集装置53和控制器（未图示）。

多组测试组件51呈排设置，每组测试组件51均包括测试板510和调节载台512，测试板510设有测试接口511，测试接口511用于与待测试的工件对接，调节载台512用于承载工件并调节工件的位置。

多组第一图像采集装置52与多组测试组件51一一对应设置，用于获取调节载台512上工件的位置信息。

第一图像采集装置52包括第一相机和第一采集驱动组件，第一采集驱动组件用于驱动第一相机往复运动，以在从调节载台512的上方采集信息后撤离调节载台512的上方。具体地，第一采集驱动组件用于驱动第一相机沿Y轴方向往复运动。

第二图像采集装置53设置于多组测试组件51背离分盘机构20的一侧，用于获取测试接口511的位置信息。

第二图像采集装置53包括第二相机和第二采集驱动组件，第二采集驱动组件与第二相机连接，并用于沿X轴方向驱动第二相机依次运动至与各测试组件51的测试板510相对应，并进一步沿Y轴方向驱动第二相机运动至测试板510的下方，以对测试接口511进行图像采集。

控制器用于根据工件的位置信息和测试接口511的位置信息，控制调节载台512调整工件与测试接口511对准，可使得调节载台512上的工件与测试接口511自动校准，进而可有效地提高工件与测试接口511的对接效率。

本实施例中，测试组件51和第一图像采集装置52的数量均为四组，第二图像采集装置53的数量为一组。

区别于现有技术的情况，本申请公开了一种测试设备。通过限定分盘机构和供料机构分别位于基台的上下两侧，且两者的位置相对应设置，即分盘机构和供料机构之间的位置相邻且相层叠，因而彼此之间输送物料的距离较短，可有效地提升物料的输送效率，且供料机构可同时对分盘机构输送载有待测试工件的载盘和空载盘，以及承接收集完成测试的工件的载盘，有效地缩短测试设备上下物料的时长。

本申请还提供一种测试方法，参阅图12，图12是本申请提供的测试方法一实施例的流程示意图。本实施例中，该测试方法包括：

S11：获取标识点的第一位置数据。

其中，标识点是一个用于定位的马克点。可以通过图像采集的方式，获取包含标识点的图像，然后通过图像确定出标识点的第一位置数据。如，利用图像采集装置的参数，如原点等参数，通过坐标系转换，得到标识点基于图像采集装置的坐标系的第一位置数据。

在一些实施例中，可以通过坐标系转换，得到标识点基于世界坐标系的第一位置数据。

在一些实施例中，标识点可以设置于调节载台上。如调节载台呈的底部呈方形，则标识点可以设置在方形的四个角中的任意角处。

当进行图像采集时，先驱动图像采集装置移动到标识点的上方，采集包含标识点的图像，然后通过图像确定出标识点的第一位置数据。

在一些实施例中，测试机构50上设置有支架（图未视），将标识点设置于支架上。图像采集装置通过识别标识点，以进行自我校正，以便下次校正调节载台的待测试工件的位置。

其中，测试机构因为物理位置移动时，支架与测试机构一体因而也跟随移动，图像采集装置校正时可消除误差。

S12：利用第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据。

在一些实施例中，获取图像采集装置的初始原点数据。初始原点数据可以是在图像采集装置出厂时设置得到。

然后根据第一位置数据和初始原点数据之间的距离来确定第一图像采集装置的目标原点数据。如，第一位置数据和初始原点数据之间的距离小于预设距离时，可以将初始原点数据继续作为目标原点数据。

在一些实施例中，第一位置数据和初始原点数据之间重合时，可以将初始原点数据或第一位置数据任一个作为目标原点数据。

在一些实施例中，第一位置数据和初始原点数据之间的距离大于预设距离时，需要对图像采集装置的初始原点数据进行校正，得到目标原点数据。如，预先计算出第一位置数据和初始原点数据之间的线性关系，利用线性关系对图像采集装置的初始原点数据进行校正，得到目标原点数据。

S13：获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据，其中第二位置数据是基于目标原点数据为基准所得到的。

通过图像采集的方式获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据。

本实施例中，通过第一图像采集装置对工件拍照以采集图像，并基于目标原点数据，对该图像进行处理而得到工件的第二位置数据。

可以理解，标识点的第一位置数据以及工件的第二位置数据均是在同一坐标系下的位置数据。如，同属于世界坐标系，或者同属于第一图像采集装置的坐标系。

其中，待测试的工件放置于调节载台上，需对其进行图像采集以获取第二位置数据，且在工件经调节载台校正位置后，还需再对其进行图像采集，以获取调整后的调整位置数据，以便于后续判断工件是否调整到位。

S14：确定第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据，预设位置数据为测试接口的位置数据。

第二位置数据以及预设位置数据均是在同一坐标系下的位置数据。如，同属于世界坐标系，或者同属于第一图像采集装置的坐标系。

预设位置数据可以是由第一图像采集装置或第二图像采集装置在正常状态下对测试接口拍照得到。具体地，通过第一图像采集装置或第二图像采集装置在正常状态下对测试接口进行拍照，然后进行图像识别，确定出测试接口的预设位置数据。

在一些实施例中，预设位置数据可以由人工输入。

控制装置内预存有工件预存位置数据的模板，通过处理第二位置数据和预设位置数据，以确定第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据。

在确认偏差数据之前，还将先一步确认第二位置数据是否存在于预设位置数据的误差范围内，若第二位置数据超出于预设位置数据的误差范围，则计算确认第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据；若第二位置数据在预设位置数据的误差范围内，则确认待测试的工件的位置已调整到位，无需再调整，可驱动调节载台上升，以使得工件与测试接口对接。

偏差数据具体包括工件与模板之间的偏差位移量和偏转角度。

具体的，参阅图13，S14可以是以下流程：

S141：根据第二位置数据中的第一标记点和预设位置数据的第一靶点确定偏差位移量。

该第一标记点可以为工件上的中心点，第一靶点为模板上的中心点，工件和模板的外部尺寸数据相同，则计算第一标记点和第一靶点支架内的偏移量即可得到该偏差位移量。

S142：将第一标记点偏移与第一靶点重合，并根据偏移后的第二位置数据中的第二标记点与预设位置数的第二靶点确定偏转角度。

将第一标记点偏移与第一靶点虚拟重合后，再旋转工件的图像使得第二标记点与第二靶点重合，即可确定该偏转角度。

S15：根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置。

根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置。

在一些实施例中，调节载台包括三个调节子机构（图未示），其中两个调节子机构沿第一方向设置且沿与第一方向垂直的第二方向间隔设置，另一调节子机构沿第二方向设置。

在一些实施例中，参阅图14，根据偏差数据调控调节台的步骤，可采用下述方式实现：

S151：根据偏差位移量和偏转角度确定与三个调节子机构相对应的执行位移量。

根据上述获取的偏差位移量和偏转角度，换算成与三个调节子机构相对应的执行位移量，以利用该三个调节子机构执行偏差位移量和偏转角度。

具体地，沿第一方向设置的两个调节子机构均可沿第一方向的正方向或负方向运动，沿第二方向设置的调节子机构可沿第二方向的正方向或负方向运动，该三个调节子机构配合可执行完偏差位移量和偏转角度。

S152：驱动三个调节子机构执行该执行位移量。

驱动三个调节子机构执行该执行位移量，因实际中，偏差位移量和偏转角度均比较小，考虑到系统误差和调整精度等因素，对调节载台的一次调节，未必能够将工件调整至预设位置，因而在调整完成后，将再次获取承载于调节载台的待测试工件的调整位置数据，以确认工件的位置是否调整到位。

S16：响应于调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据，驱动调节载台，以使待测试工件与测试接口相对接。

在一些实施例中，测试接口设置于调节载台上方，在调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据时，可以驱动调节载台上升，即朝向测试接口移动，以使待测试工件与测试接口相对接。在待测试工件与测试接口相对接后，对待测试工件进行测试。

在本实施例中，通过利用标识点的第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据的方式，能够在每一次获取待测试工件的第二位置数据前，重新确定第一图像采集装置的原点数据，进而可以利用最新的原点数据得到更加准确的待测试工件第二位置数据，以改善图像采集装置因温度漂移对测试造成的影响，进而能够在后续调整待测试工件的位置时，提高待测试工件的位置数据与测试接口的预设位置数据的对准精度，提升测试效率。

即在上述实施例中，利用标识点的第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据，再利用最新的原点数据得到更加准确的待测试工件第二位置数据的方式，将图像采集装置因温度造成的拍摄目标的位置偏移进行补偿，改善图像采集装置因温度漂移对测试造成的影响，进而能够在后续调整待测试工件的位置时，提高待测试工件的位置数据与测试接口的预设位置数据的对准精度，提升测试效率。

参阅图15，图15是本申请提供的测试方法另一实施例的流程示意图。本实施例中，该测试方法包括：

S21：获取标识点的第一位置数据。

S22：获取第一图像采集装置的初始原点数据。

第一图像采集装置的初始原点数据可以是第一图像采集装置未发生温度漂移现象之前的原点数据。

S23：在第一位置数据偏移出初始原点数据的范围时，将第一位置数据作为目标原点数据。

在一些实施例中，在第一位置数据和初始原点数据之间的距离大于预设距离时，需要对图像采集装置的初始原点数据进行校正，得到目标原点数据。

在一些实施例中，第一图像采集装置在未发生温度漂移现象之前，第一位置数据在初始原点数据的范围内。如预设范围可以是以初始原点数据为中心，预设距离为半径的圆形区域。在第一位置数据偏移出初始原点数据的范围时，说明第一图像采集装置发生温度漂移现象，因此将第一位置数据作为目标原点数据，以对初始原点数据进行补偿。

在一应用场景中，结合图16和图17进行说明：

如图16所示，在第一图像采集装置正常工作时，标识点的第一位置数据与第一图像采集装置的初始原点数据重合。

在第一图像采集装置产生温度漂移时，标识点的第一位置数据发生改变，如图17所示，标识点的第一位置数据偏离与原点O。

因标识点的第一位置数据偏离与原点O，所以在后续拍摄到的待测试工件的第二位置数据也是会偏离原点O的。因此，需要对第一图像采集装置进行原点修正，以此补偿偏离误差。

因标识点的第一位置数据偏离与原点O，待测试工件的第二位置数据也是会偏离原点O，因此可以将标识点的第一位置数据作为目标原点数据，以此补偿偏离误差。

S24：获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据，其中第二位置数据是基于目标原点数据为基准所得到的。

当第一位置数据作为目标原点数据时，可以抵消第一图像采集装置因温度漂移造成的待测试工件的第二位置数据与原点O的偏差，使得第二位置数据能够不受温度漂移的影响，以便后续的待测试工件与测试接口相对接。

S25：确定第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据，预设位置数据为测试接口的位置数据。

S26：根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置。

S27：响应于调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据，驱动调节载台，以使待测试工件与测试接口相对接。

S24至S27与上述实施例具有相同或相似的技术方案，这里不做赘述。

在本实施例中，通过在第一位置数据偏移出初始原点数据的范围时，将第一位置数据作为目标原点数据的方式，能够在每一次获取待测试工件的第二位置数据前，重新确定第一图像采集装置的原点数据，进而得到更加准确的待测试工件第二位置数据，以改善图像采集装置因温度漂移对测试造成的影响，进而能够在后续调整待测试工件的位置时，提高待测试工件的位置数据与测试接口的预设位置数据的对准精度，提升测试效率。

参阅图18，图18是本申请提供的测试方法另一实施例的流程示意图。本实施例中，该测试方法包括：

S31：获取标识点的第一位置数据。

S32：获取第一图像采集装置的当前工作时间。

在测试过程中，需要测试大量的元件，因此图像采集装置会在测试过程中反复的获取标识点的第一位置数据以及获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据。因图像采集装置过程时间过长会存在发热现象，硬件上会出现变化。如，图像采集装置中镜头的材料会因为温度导致结构上的变化，产生温度漂移现象。或者图像采集装置中其余硬件也会因温度变化导致相应的变化。

温度漂移一般是指，环境温度变化时会引起晶体管参数的变化，这样会造成静态工作点的不稳定，使电路动态参数不稳定，甚至使电路无法正常工作。一般来说，温度升高，晶体管的电流放大倍数增大，Q点升高；反之减小。这部分额外增加的电流是温度变化引起的，理解为温度漂移。

S33：在当前工作时间大于预设工作时间时，确定第一图像采集装置发生温度漂移现象。

如，预设工作时间可以是1小时、2小时或者3小时。具体的预设工作时间可以根据图像采集装置的硬件参数确定。

在其他实施例中，可以获取第一图像采集装置的当前采集图像的数量，在当前采集图像的数量大于预设数量时，确定第一图像采集装置发生温度漂移现象。如，当前采集图像的数量为5000张，预设数量为4500张，则确定第一图像采集装置发生温度漂移现象。

为了解决第一图像采集装置发生温度漂移现象，本实施例采用两个图像采集装置轮流工作的方式。

S34：启动处于待机状态下的另一第一图像采集装置，以替换当前工作时间大于预设工作时间的第一图像采集装置。

因工作中的第一图像采集装置发生温度漂移现象，此时关闭工作中的第一图像采集装置，启动处于待机状态下的另一第一图像采集装置，以替换当前工作时间大于预设工作时间的第一图像采集装置。

此时启动的处于待机状态下的另一第一图像采集装置因未工作，所以没有发生温度漂移现象。

S35：利用替换后的第一图像采集装置获取标识点的第三位置数据。

因此，在后续过程中，利用替换后的第一图像采集装置获取标识点的第三位置数据。

S36：利用第三位置数据确定替换后的第一图像采集装置的目标原点数据。

S37：获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据，其中第二位置数据是基于目标原点数据为基准所得到的。

S38：确定第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据，预设位置数据为测试接口的位置数据。

S39：根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置。

S40：响应于调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据，驱动调节载台，以使待测试工件与测试接口相对接。

在上述实施例中，两个第一图像采集装置可以在测试过程中轮流开启，以减少参与测试的图像采集装置发生温度漂移现象。

在本实施例中，通过在确定图像采集装置发生温度漂移时开启另一图像采集装置，利用未发生温度漂移的另一图像采集装置进行图像采集，进而确定出更加准确的待测试工件第二位置数据，以改善图像采集装置因温度漂移对测试造成的影响，进而能够在后续调整待测试工件的位置时，提高待测试工件的位置数据与测试接口的预设位置数据的对准精度，提升测试效率。

参阅图19，图19是本申请提供的测试方法另一实施例的流程示意图，该测试方法包括：

S51：获取标识点的第一位置数据。

S52：基于第一位置数据修正预设位置数据，预设位置数据为测试接口的位置数据。

在一些实施例中，在第一图像采集装置未发生温度漂移时，利用第一图像采集装置对标识点进行拍摄，得到第一位置数据，以及利用第一图像采集装置对测试接口进行拍摄，得到预设位置数据。进而在第一图像采集装置未发生温度漂移时，对标识点和测试接口进行位置关系绑定，得到绑定的预设位置关系。如，预设关系可以是标识点和测试接口之间的距离。因测试接口与标识点均是固定的，因此标识点和测试接口之间的距离也是固定的。

因此，不管第一图像采集装置是否发生温度漂移，标识点和测试接口之间的距离也是固定的。不同的是第一图像采集装置发生温度漂移后，标识点的第一位置数据发生了变化，此时标识点的第一位置数据与测试接口的预设位置数据之间距离发生了改变。因此，基于第一位置数据修正预设位置数据，以使标识点和测试接口之间的距离满足预设位置关系。

如，在第一图像采集装置发生温度漂移后，标识点的第一位置数据发生了变化，那么让测试接口的预设位置数据发生与标识点的第一位置数据同样的变化，也即修正了标识点和测试接口之间的距离。

S53：获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据。

待测试工件的第二位置数据同样是基于第一图像采集装置采集的图像得到，因此，待测试工件的第二位置数据与标识点的第一位置数据一样发生了变化。

S54：确定第二位置数据与修正后的预设位置数据之间的偏差数据，预设位置数据为测试接口的位置数据。

此时，修正后的预设位置数据则可以与第二位置数据进行比较，来确定偏差数据。

S55：根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置。

S56：响应于调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据，驱动调节载台，以使待测试工件与测试接口相对接。

S55-S56与上述任一实施例具有相同或相似的技术方案，这里不做赘述。

在本实施例中，可以合理的结合上述任一实施例中的流程，形成新的实施例方式。

在本实施例中，通过利用标识点的第一位置数据对测试接口的预设位置数据进行修正，以使预设位置数据和第一位置数据相对应，进而使修正后的预设位置数据与待测试工件的第二位置数据相对应，以此改善图像采集装置因温度漂移对测试造成的影响，进而能够在后续调整待测试工件的位置时，提高待测试工件的位置数据与测试接口的预设位置数据的对准精度，提升测试效率。

即在上述实施例中，利用标识点的第一位置数据对测试接口的预设位置数据进行修正，以使预设位置数据和第一位置数据相对应，进而使修正后的预设位置数据与待测试工件的第二位置数据相对应的方式，让第一位置数据、预设位置数据、第二位置数据同时受到图像采集装置发生温度漂移的影响，以此预设位置数据、第二位置数据之间受到的影响同步，在影响同步的前提，相当于预设位置数据、第二位置数据之间抵消了影响，进而能够在后续调整待测试工件的位置时，提高待测试工件的位置数据与预设位置数据的对准精度，提升测试效率。

参阅图20，图20是本申请提供的具有存储功能的存储装置一实施例的结构示意图，该存储装置70存储有计算机程序71，计算机程序71能够被处理器执行以实现以下方法：

获取标识点的第一位置数据；利用第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据；获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据，其中第二位置数据是基于目标原点数据为基准所得到的；确定第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据，预设位置数据为测试接口的位置数据；根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置；响应于调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据，驱动调节载台，以使待测试工件与测试接口相对接；

或，获取标识点的第一位置数据；基于第一位置数据修正预设位置数据，预设位置数据为测试接口的位置数据；获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据；确定第二位置数据与修正后的预设位置数据之间的偏差数据，预设位置数据为测试接口的位置数据；根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置；响应于调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据，驱动调节载台，以使待测试工件与测试接口相对接。

可以理解，计算机程序71能够被处理器执行，以实现上述任一实施例的测试方法。

参阅图21，图21是本申请提供的计算机设备一实施例的结构示意图，该计算机设备80包括处理器81和存储器82，处理器81耦接存储器82，存储器82用于存储计算机程序，处理器81用于执行计算机程序以实现以下方法：

获取标识点的第一位置数据；利用第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据；获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据，其中第二位置数据是基于目标原点数据为基准所得到的；确定第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据，预设位置数据为测试接口的位置数据；根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置；响应于调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据，驱动调节载台，以使待测试工件与测试接口相对接；

或，获取标识点的第一位置数据；基于第一位置数据修正预设位置数据，预设位置数据为测试接口的位置数据；获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据；确定第二位置数据与修正后的预设位置数据之间的偏差数据，预设位置数据为测试接口的位置数据；根据偏差数据调控调节载台，以调整待测试工件的位置；响应于调整后的待测试工件的位置数据对准预设位置数据，驱动调节载台，以使待测试工件与测试接口相对接。

可以理解，处理器81用于执行计算机程序，以实现上述任一实施例的测试方法。

参阅图22，图22是本申请提供的测试设备一实施例的结构示意图，该测试设备100包括调节载台512和计算机设备80，计算机设备80与调节载台512通信连接。

以上仅为本申请的实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种测试方法，其特征在于，所述测试方法包括：

获取标识点的第一位置数据；

利用所述第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据；

获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据，其中所述第二位置数据是基于所述目标原点数据为基准所得到的；

确定所述第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据，所述预设位置数据为测试接口的位置数据；

根据所述偏差数据调控调节载台，以调整所述待测试工件的位置；

响应于调整后的所述待测试工件的位置数据对准所述预设位置数据，驱动所述调节载台，以使所述待测试工件与所述测试接口相对接。

2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述利用所述第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据，包括：

获取所述第一图像采集装置的初始原点数据；

在所述第一位置数据偏移出所述初始原点数据的范围时，将所述第一位置数据作为所述目标原点数据。

3.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述利用所述第一位置数据确定第一图像采集装置的目标原点数据之前，包括：

获取所述第一图像采集装置的当前工作时间；

在所述当前工作时间大于预设工作时间时，确定所述第一图像采集装置发生温度漂移现象。

4.根据权利要求3所述的测试方法，其特征在于，所述确定所述第一图像采集装置发生温度漂移现象之后，包括：

启动处于待机状态下的另一所述第一图像采集装置，以替换所述当前工作时间大于所述预设工作时间的所述第一图像采集装置。

5.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，所述偏差数据包括偏差位移量和偏转角度，所述确定所述第二位置数据与预设位置数据之间的偏差数据，包括：

根据所述第二位置数据中的第一标记点和所述预设位置数据的第一靶点确定所述偏差位移量；

将所述第一标记点偏移与所述第一靶点重合，并根据偏移后的所述第二位置数据中的第二标记点与所述预设位置数的第二靶点确定所述偏转角度。

6.根据权利要求5所述的测试方法，其特征在于，所述调节载台包括三个调节子机构，其中两个所述调节子机构沿第一方向设置且沿与所述第一方向垂直的第二方向间隔设置，另一所述调节子机构沿所述第二方向设置；

所述根据所述偏差数据调控调节载台，包括：

根据所述偏差位移量和所述偏转角度确定与三个所述调节子机构相对应的执行位移量；

驱动三个所述调节子机构执行所述执行位移量。

7.一种测试方法，其特征在于，所述测试方法包括：

获取标识点的第一位置数据；

基于所述第一位置数据修正预设位置数据，所述预设位置数据为测试接口的位置数据；

获取承载于调节载台的待测试工件的第二位置数据；

确定所述第二位置数据与修正后的所述预设位置数据之间的偏差数据，所述预设位置数据为测试接口的位置数据；

根据所述偏差数据调控调节载台，以调整所述待测试工件的位置；

响应于调整后的所述待测试工件的位置数据对准所述预设位置数据，驱动所述调节载台，以使所述待测试工件与所述测试接口相对接。

8.一种具有存储功能的存储装置，其特征在于，所述存储装置存储有计算机程序，所述计算机程序能够被处理器执行以实现如权利要求1-7任一项所述的测试方法。

9.一种计算机设备，其特征在于，所述计算机设备包括处理器和存储器，所述处理器耦接所述存储器，所述存储器用于存储计算机程序，所述处理器用于执行所述计算机程序以实现如权利要求1-7任一项所述的测试方法。

10.一种测试设备，其特征在于，所述测试设备包括调节载台和如权利要求9所述的计算机设备，所述计算机设备与所述调节载台通信连接。

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