CN112991296A - 定位方法、检测系统及计算机可读存储介质 - Google Patents

定位方法、检测系统及计算机可读存储介质 Download PDF

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CN112991296A CN202110272156.5A CN202110272156A CN112991296A CN 112991296 A CN112991296 A CN 112991296A CN 202110272156 A CN202110272156 A CN 202110272156A CN 112991296 A CN112991296 A CN 112991296A
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祖建成
张嵩
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Shenzhen Zhongke Feice Technology Co Ltd
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Abstract

本申请提供一种定位方法、检测系统和存储介质。定位方法包括：获取承载在机台上的工件的待处理图像，工件具有第一坐标系并包括至少三个工件标记点，机台具有第二坐标系并包括与工件标记点对应的机台坐标点；根据待处理图像中的至少三个工件标记点在第一坐标系下的第一坐标值与对应的机台坐标点在第二坐标系下的第二坐标值计算工件标记点相较于对应的机台坐标点的至少三个坐标偏差；及根据至少三个坐标偏差获取工件与机台之间的位置偏差。本申请的定位方法中，通过计算待处理图像中的至少三个工件标记点与对应的机台坐标点之间的坐标偏差，得出整个工件与机台之间的位置偏差，根据位置偏差实现对工件的待检测的兴趣点的快速定位。

Description

定位方法、检测系统及计算机可读存储介质
技术领域
本申请涉及半导体检测技术领域，更具体而言，涉及一种工件的定位方法、检测系统、及非易失性计算机可读存储介质。
背景技术
目前，受终端半导体市场的影响，工件的制造产能也随之提升，工件的种类越来越丰富。半导体检测设备往往需要检测种类不同的工件，在搬运工件至半导体检测设备进行检测时，会出现定位不准确的问题，从而导致半导体检测设备不能准确地测得工件的数据信息。
发明内容
本申请实施方式提供一种工件的定位方法、检测系统、及非易失性计算机可读存储介质。
本申请实施方式的工件的定位方法包括：获取承载在机台上的工件的待处理图像，所述工件具有第一坐标系并包括至少三个工件标记点，所述机台具有第二坐标系并包括与工件标记点对应的机台坐标点；根据所述待处理图像中的至少三个所述工件标记点在所述第一坐标系下的第一坐标值与对应的所述机台坐标点在所述第二坐标系下的第二坐标值计算所述工件标记点相较于对应的所述机台坐标点的至少三个坐标偏差；及根据至少三个所述坐标偏差获取所述工件与所述机台之间的位置偏差。
本申请实施方式的一种检测系统包括机台及一个或多个处理器。一个或多个处理器用于：控制图像采集装置获取承载在所述机台上的工件的待处理图像，所述工件具有第一坐标系并包括至少三个工件标记点，所述机台具有第二坐标系并包括与工件标记点对应的机台坐标点；根据所述待处理图像中的至少三个所述工件标记点在所述第一坐标系下的第一坐标值与对应的所述机台坐标点在所述第二坐标系下的第二坐标值计算所述工件标记点相较于对应的所述机台坐标点的至少三个坐标偏差；及根据至少三个所述坐标偏差获取所述工件与所述机台之间的位置偏差。
本申请实施方式的一种非易失性计算机可读存储介质存储有计算机程序，当计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得处理器能够实现如下定位方法：控制图像采集装置获取承载在机台上的工件的待处理图像，所述工件具有第一坐标系并包括至少三个工件标记点，所述机台具有第二坐标系并包括与工件标记点对应的机台坐标点；根据所述待处理图像中的至少三个所述工件标记点在所述第一坐标系下的第一坐标值与对应的所述机台坐标点在所述第二坐标系下的第二坐标值计算所述工件标记点相较于对应的所述机台坐标点的至少三个坐标偏差；及根据至少三个所述坐标偏差获取所述工件与所述机台之间的位置偏差。
本申请的工件的定位方法、检测系统、及非易失性计算机可读存储介质中，通过计算待处理图像中的至少三个工件标记点与对应的机台坐标点之间的坐标偏差，得出整个工件与机台之间的位置偏差，根据位置偏差实现对工件的待检测的兴趣点的快速定位，提高检测效率和精度。
本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。
附图说明
本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是本申请某些实施方式的工件的定位方法的流程图；
图2是本申请某些实施方式的工件承载在机台上的示意图；
图3是本申请某些实施方式的待处理图像的示意图；
图4是本申请某些实施方式的检测系统的结构示意图；
图5至图10是本申请某些实施方式的工件的定位方法的流程图；
图11是本申请某些实施方式的非易失性计算机可读存储介质与处理器的连接示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。
另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
请参阅图1至图3，本申请实施方式的工件200的定位方法包括：
01：获取承载在机台10上的工件200的待处理图像P，工件200具有第一坐标系xoy并包括至少三个工件标记点M，机台10具有第二坐标系x`oy`并包括与工件标记点M对应的机台坐标点M`；
02：根据待处理图像P中的至少三个工件标记点M在第一坐标系xoy下的第一坐标值与对应的机台坐标点M`在第二坐标系x`o`y`下的第二坐标值计算工件标记点M相较于对应的机台坐标点M`的至少三个坐标偏差；及
03：根据至少三个坐标偏差获取工件200与机台10之间的位置偏差。
请结合图4，本申请还提供一种检测系统100，检测系统100包括机台10、一个或多个处理器30及图像采集装置50。一个或多个处理器30用于执行01、02及03中的方法。即，一个或多个处理器30用于：控制图像采集装置50获取承载在机台10上的工件200的待处理图像P，工件200具有第一坐标系xoy并包括至少三个工件标记点M，机台10具有第二坐标系x`o`y`并包括与工件标记点M对应的机台坐标点M`；根据待处理图像P中的至少三个工件标记点M在第一坐标系xoy下的第一坐标值与对应的机台坐标点M`在第二坐标系 x`o`y`下的第二坐标值计算工件标记点M相较于对应的机台坐标点M`的至少三个坐标偏差；及根据至少三个坐标偏差获取工件200与机台10之间的位置偏差。
目前，受终端半导体市场的影响，工件的制造产能也随之提升，工件的种类越来越丰富，其中，工件可以是晶圆(有图案晶圆、无图案晶圆)、镜片、显示屏面板板、手机前盖、手机后盖、智能手表盖板、玻璃、透镜等精密工件。目前，半导体检测设备，往往需要检测种类不同的工件，工件在制作过程中会在工件表面建立坐标系，承载工件的机台也会建立一个坐标系，在检测过程中，承载在机台上的工件的点的坐标需要与机台上的坐标一一对应，以便于半导体检测设备能准确地测量工件表面的信息。但是在搬运工件至半导体检测设备进行检测时，会出现定位不准确的问题，从而导致半导体检测设备不能准确地测得工件的数据信息。
请参阅图2，本申请的定位方法中，工件200的表面为多个兴趣点A，兴趣点A的面积大小由制作工序决定，在同一工序下，不同种类的工件200的兴趣点A的面积大小可以一致，也可以不一致，每个兴趣点A均具有对应的色差值、色阶值、形貌、状态等属性信息，这些属性信息预先保存在检测系统100中。在一个例子中，可利用兴趣点A的中心位置对应的坐标值进行定位。对工件200进行定位时，一个或多个处理器30控制图像采集装置50，如CCD、红外、声波等采集设备进行同步或异步采集工件200的图像，其中，工件200具有第一坐标系xoy，并包括至少三个工件标记点M，保证一个或多个处理器30获取的待处理图像P包括至少三个工件标记点M；机台10具有第二坐标系x`o`y`并包括与工件标记点M对应的机台坐标点M`。一个或多个处理器30根据待处理图像P中的至少三个工件标记点 M在第一坐标系xoy下的坐标值与对应的机台坐标点M`在第二坐标系x`o`y`下的第二坐标值计算工件标记点M相较于对应的机台坐标点M`的至少三个坐标偏差。例如，工件标记点 M的数量为三个，分别为M1、M2、M3，M1、M2、M3在第一坐标系xoy下的第一坐标值分别为(0，3)、(5，7.8)、(10，4.6)，对应的机台对标点M`的数量为三个，分别为M1`、 M2`、M3`，M1`、M2`、M3`在第二坐标系x`o`y`下的第二坐标值分别为(-0.8，3.2)、(4.2， 7)、(10.9，5.4)，则工件标记点M1相较于对应的机台坐标点M1`的坐标偏差为(0.8，0.2)，工件标记点M2相较于对应的机台坐标点M2`的坐标偏差为(0.8，0.8)、工件标记点M3相较于对应的机台坐标点M3`的坐标偏差为(0.9，0.8)。一个或多个处理器30得到至少三个这样的坐标偏差后，对这些坐标偏差进行求平均计算以获取工件200与机台10之间的位置偏差(0.83，0.6)，利用该位置偏差实现对工件200待检测的兴趣点A的快速定位，提高检测效率和精度。
请参阅图2、图3及图5，在某些实施方式中，待处理图像P为一帧，方法01：获取承载在机台10上的工件200的待处理图像P，可包括：
011：对准机台坐标点M`拍摄以获取一帧第一图像，第一图像中包括多个兴趣点A；
012：在第一图像的多个兴趣点A中寻找与机台坐标点M`对应的工件标记点M；
013：若多个兴趣点A中存在至少三个工件标记点M，则将第一图像作为待处理图像P。
请结合图4，一个或多个处理器30还用于执行011、012及013中的方法，即，一个或多个处理器30还用于：控制图像采集装置50对准机台坐标点M`拍摄以获取一帧第一图像，第一图像中包括多个兴趣点A；在第一图像的多个兴趣点中寻找与机台坐标点M`对应的工件标记点M；若多个兴趣点A中存在至少三个工件标记点M，则将第一图像作为待处理图像P。
在一个实施例中，图像采集装置50获取的待处理图像P为一帧，这一帧待处理图像P 中包括至少三个工件标记点M，从而获取得到三个坐标偏差，由于三点能确定一个平面，根据三个坐标偏差可将工件200正确定位在机台10上。具体的，由于工件200承载在机台10上时，机台10上具有第二坐标系x`o`y`，一个或多个处理器30可直接获取工件200上的兴趣点A在第二坐标系x`o`y`下的第二坐标值，且检测系统100中预先存储有工件200的兴趣点A在第一坐标系xoy下的第一坐标值。因此，一个或多个处理器30控制图像采集装置50 (如CCD)对准机台坐标点M`拍摄以获取一帧第一图像，由于工件200的表面均为兴趣点 A，采集得到的第一图像中也包括多个兴趣点A。在第一图像的多个兴趣点A中寻找与机体坐标点M`对应的工件标记点M，若第一图像中的多个兴趣点A中存在至少三个工件标记点 M，则将第一图像作为待处理图像P。待处理图像P为一帧时，一个或多个处理器30只需在这一帧待处理图像P中寻找与机台坐标点M`对应的工件标记点M，节省查找时间。
请参阅图2、图3及图6，在某些实施方式中，待处理图像P为多帧，方法01：获取承载在机台10上的工件200的待处理图像P，还可包括：
014：依次对准一个机台坐标点M`拍摄以获取多帧第一图像；及
015：在每次拍摄得到一帧第一图像时，便在第一图像的多个兴趣点A中寻找与机台坐标点M`对应的工件标记点M，并将存在工件标记点M的第一图像作为待处理图像P后对准下一个机台坐标点M`拍摄，直至寻找出三个工件标记点M。
请结合图4，一个或多个处理器30还用于执行014及015中的方法，即，一个或多个处理器30还用于：控制图像采集装置50依次对准一个机台坐标点M`拍摄以获取多帧第一图像；在每次拍摄得到一帧第一图像时，便在第一图像的多个兴趣点A中寻找与机台坐标点M`对应的工件标记点M，并将存在工件标记点M的第一图像作为待处理图像P后控制图像采集装置50对准下一个机台坐标点M`拍摄，直至寻找出三个工件标记点M。
请结合图3，在另一个实施例中，待处理图像P为多帧，由于图像采集装置50(如CCD) 的取景视野有限，而图像采集装置50(如CCD)采集得到的一帧图像中至少包括一个兴趣点A，从而使得图像采集装置50采集得到的一帧待处理图像P中可能存在一个工件标记点M、或者两个工件标记点M，为了得到三个坐标偏差，同样的，由于工件200承载在机台 10上，机台10上具有第二坐标系x`o`y`，一个或多个处理器30可直接获取工件200上的兴趣点A在第二坐标系x`o`y`下的第二坐标值，且检测系统100中预先存储有工件200的兴趣点A在第一坐标系xoy下的第一坐标值，因此一个或多个处理器30需要控制图像采集装置 50对准机台坐标点M`拍摄多帧第一图像，以得到至少两帧待处理图像P。在每次拍摄得到的一帧第一图像时，一个或多个处理器30便在该帧第一图像中的多个兴趣点A中寻找与机台坐标点M`对应的工件标记点M，当该帧第一图像中存在与该机台坐标点M`对应的工件标记点M时，将该帧第一图像作为待处理图像P，然后再控制图像采集装置50对准下一个机台坐标点M`拍摄，循环执行上述操作，直至寻找出三个工件标记点M。其中，待处理图像 P的帧数与工件标记点M在工件200上的排布位置及图像采集装置50的取景视野相关，如，某些精密工件需要进行精准定位，则需要三个以上的坐标偏差来减小根据坐标偏差获取的位置偏差的误差，同时，由于工件标记点M之间的位置间隔较大、图像采集装置50的取景视野较小，获取误差较小的位置偏差则需要获取多帧待处理图像P以得到三个以上的坐标偏差。
例如，图像采集装置50(如CCD)仅需采集两帧第一图像(待处理图像P为两帧)便可找到三个机台坐标点M`对应的工件标记点M，从而得到三个坐标偏差，并根据三个坐标偏差确定工件200与机台10之间的位置偏差，以实现对工件200的待检测的兴趣点A的快速定位，提高检测效率和精度。在图像采集装置50拍摄得到的第一帧第一图像(该帧第一图像中存在一个工件标记点M)时，一个或多个处理器30便在该帧第一图像中的多个兴趣点A中寻找与机台坐标点M`对应的工件标记点M，当该帧第一图像中存在与该机台坐标点 M`对应的工件标记点M时，将该帧第一图像作为待处理图像P，然后再控制图像采集装置 50对准其余两个机台坐标点M`中的一个拍摄，得到的第二帧第一图像中存在分别与其余两个机台坐标点M`对应的两个工件标记点M，将该帧第二图像也作为待处理图像P。一个或多个处理器30计算这两帧待处理图像P中三个机台坐标点M`与对应的工件标记点M之间的三个坐标偏差，对三个坐标偏差进行求平均计算得到工件200与机台10之间的位置偏差。最后利用该位置偏差可实现对工件200上待检测的兴趣点A的快速定位，提高检测效率及精度。
还例如，采集设备(如CCD)需要采集三帧第一图像(待处理图像P为三帧)便可找到三个机台坐标点M`对应的工件标记点M，从而得到三个坐标偏差，并对三个坐标偏差进行求平均计算从而得到工件200与机台10之间的位置偏差，利用该位置偏差可实现对工件 200的待检测的兴趣点A的快速定位，提高检测效率和精度。
请参阅图2及图7，在某些实施方式中，方法01：获取承载在机台10上的工件200的待处理图像P，还可包括：
011：对准机台坐标点M`拍摄以获取一帧第一图像，第一图像中包括多个兴趣点A；
012：在第一图像的多个兴趣点A中寻找与机台坐标点M`对应的工件标记点M；
016：若第一图像的多个兴趣点A中不存在工件标记点M，则拍摄机台坐标点M`周围预定区域的至少一帧第二图像；
017：合并第一图像和第二图像以获取合并图像P3；及
018：将存在工件标记点M的合并图像P3作为待处理图像P。
请结合图4，一个或多个处理器30还用于执行011、012、016、017及018中的方法，即，一个或多个处理器30还用于：控制图像采集装置50对准机台坐标点M`拍摄以获取一帧第一图像，第一图像中包括多个兴趣点A；在第一图像的多个兴趣点A中寻找与机台坐标点M`对应的工件标记点M；若第一图像的多个兴趣点A中不存在工件标记点M，则控制图像采集装置50拍摄机台坐标点M`周围预定区域的至少一帧第二图像；合并第一图像和第二图像以获取合并图像P3；及将存在工件标记点M的合并图像P3作为待处理图像P。
在一个实施例中，当一个或多个处理器30控制图像采集装置50(如CCD)对准机台坐标点M`拍摄第一图像时，第一图像即使包括多个兴趣点A，但由于传片偏差较大且图像采集装置50的取景视野范围有限，采集得到的第一图像中没有与机台坐标点M`对应的工件标记点M，当一个或多个处理器30确定第一图像中不存在工件标记点M时，控制图像采集装置50在该机台坐标点M`周围预定范围拍摄至少一帧第二图像，其中，预定范围可以是图像采集装置50的视野范围的1-1.5倍范围大小。若在该预定范围内拍摄得到第一帧第二图像中存在与机台坐标点M`对应的工件标记点M，则对第一图像和第二图像进行合并处理以获取合并图像，并将存在工件标记点M的合并图像作为待处理图像P。若在该预定范围内拍摄得到的第一帧第二图像中不存在与机台坐标点M`对应的工件标记点M，一个或多个处理器 30则控制图像采集装置50在该范围内拍摄第二帧第二图像，并判断该第二图像是否存在与机台坐标点M`对应的工件标记点M，若存在则合并第一图像和第二图像作为合并图像，并将该合并图像作为待处理图像P。综上所述，第二图像的拍摄帧数可以是一帧、两帧、三帧或者三帧以上，具体与拍摄得到的第二图像中是否存在与机台坐标点M`对应的工件标记点 M有关。
请参阅图2及图8，在某些实施方式中，方法012及方法015：在第一图像的多个兴趣点A中寻找与机台坐标点M`对应的工件坐标点M，还可包括：
0121(0151)：比较第一图像的兴趣点A的第一参数信息与预存的工件标记点M的第二参数信息；及
0122(0152)：将第二参数信息与第一参数信息之间的偏差在预设范围内的兴趣点A作为工件标记点M。
请结合图4，一个或多个处理器30还用于执行0121(0151)及0122(0152)中的方法，即，一个或多个处理器30还用于：比较第一图像的兴趣点A的第一参数信息与预存的工件标记点M的第二参数信息；及将第二参数信息与第一参数信息之间的偏差在预设范围内的兴趣点A作为工件标记点M。
具体的，第一参数信息为第一图像(或第二图像)的兴趣点A对应的色差值、色阶值、形貌、状态等属性信息，第二参数信息为预存的工件标记点M对应的色差值、色阶值、形貌、状态等属性信息，每个兴趣点A的参数信息由于制作工艺会存在微小的差异，一个或多个处理器30依次比较第一图像中各兴趣点A的第一参数信息与预存的第二参数信息，并判断第一参数信息与第二参数信息之间的偏差是否在预设范围内，当该某一兴趣点A的第一参数信息与预存的第二参数信息之间的偏差在预设范围内时，则将第一参数信息对应的兴趣点A作为工件标记点M，即，在第一图像中找到与机台坐标点M`对应的工件标记点M。其中，第一参数信息与第二参数信息之间的偏差的预设范围可为[0.01，0.1]，例如，某一兴趣点A的第二参数信息的属性值与第一参数信息的属性值的相似度为90％以上，则将该兴趣点A作为工件标记点M。
请参阅图2及图8，在某些实施方式中，定位方法还可包括：
04：根据位置偏差调整机台10和/或工件200，并使至少三个工件标记点M与对应的机台坐标点M`对准。
请结合图4，一个或多个处理器30还用于执行04中的方法，即，一个或多个处理器30 还用于根据位置偏差调整机台10和/或工件200，并使至少三个工件标记点M与对应的机台坐标点M`对准。
在一个实施例中，当一个或多个处理器30获取得到三个或三个以上的坐标偏差时，并将多个坐标偏差的平均值作为机台10与工件200之间的位置偏差，并根据该位置偏差调整机台10和/或工件200，以使至少三个工件标记点M与对应的机台坐标点M`对准。例如，一个或多个处理器30根据位置偏差控制调整机台10的位置，以使至少三个工件标记点M 与对应的机台坐标点M`对准；或者一个或多个处理器30根据位置偏差控制调整工件200的位置，以使至少三个工件标记点M与对应的机台坐标点M`对准；或者一个或多个处理器30 根据位置偏差同时控制调整机台10和工件200的位置，以使至少三个工件标记点M与对应的机台坐标点M`对准。
请参阅图2、图4及图9，在某些实施方式中，定位方法还可包括：
05：获取待检测的兴趣点A的第一坐标系xoy下的第一坐标值；
06：获取机台200上与第一坐标值对应的机台坐标点A`的第二坐标值；及
07：根据第二坐标值及位置偏差调整检测仪70，以使检测仪70与工件200上的待检测的兴趣点A对准。
请结合图4，检测系统100还可包括检测仪70，检测仪70用于对工件200的表面进行检测。其中，图像采集装置50可集成在检测仪70中。一个或多个处理器30还用于执行05、 06及07中的方法，即，一个或多个处理器30还用于：获取待检测的兴趣点A的第一坐标系xoy下的第一坐标值；获取机台200上与第一坐标值对应的机台坐标点A`的第二坐标值；根据第二坐标值及位置偏差调整检测仪70，以使检测仪70与工件200上的待检测的兴趣点A对准。
在一个实施例中，一个或多个处理器30获取得到某一工件200与机台10之间的位置偏差后，利用该位置偏差可实现对该工件200上任意一个兴趣点A的快速定位与检测。具体的，一个或多个处理器30获取待检测的兴趣点A在第一坐标系xoy下的第一坐标值和机台10上与第一坐标值对应的机台坐标点A`的第二坐标值，并根据第二坐标值和该工件200与机台10之间的位置偏差来调整检测仪70，使得检测仪70准确对焦在工件200上的待检测的兴趣点A，从而保证检测仪70得到的检测数据更加准确。实际调整时可在检测系统100 内通过算法实现，检测系统100根据位置偏差值和第二坐标值进行补偿实现检测仪70与待检测的兴趣点A的对准。
请参阅图11，本申请实施方式还提供一种包含计算机程序301的非易失性计算机可读存储介质300。当计算机程序301被一个或多个处理器30执行时，使得一个或多个处理器30执行上述任一实施方式的定位方法。
请参阅图9和图10，例如，计算机程序301被一个或多个处理器30执行时，使得处理器30执行以下定位方法：
01：获取承载在机台10上的工件200的待处理图像P，工件200具有第一坐标系xoy并包括至少三个工件标记点M，机台10具有第二坐标系x`oy`并包括与工件标记点M对应的机台坐标点M`；
02：根据待处理图像P中的至少三个工件标记点M在第一坐标系xoy下的第一坐标值与对应的机台坐标点M`在第二坐标系x`o`y`下的第二坐标值计算工件标记点M相较于对应的机台坐标点M`的至少三个坐标偏差；及
03：根据至少三个坐标偏差获取工件200与机台10之间的位置偏差。
04：根据位置偏差调整机台10和/或工件200，并使至少三个工件标记点M与对应的机台坐标点M`对准。
05：获取待检测的兴趣点A的第一坐标系xoy下的第一坐标值；
06：获取机台10上与第一坐标值对应的机台坐标点A`的第二坐标值；及
07：根据第二坐标值及位置偏差调整检测仪70，以使检测仪70与工件200上的待检测的兴趣点A对准。
请参阅图1、图7及图8又例如，计算机程序301被一个或多个处理器30执行时，使得处理器30执行以下定位方法：
011：对准机台坐标点M`拍摄以获取一帧第一图像，第一图像中包括多个兴趣点A；
0121：比较第一图像的兴趣点A的第一参数信息与预存的工件标记点M的第二参数信息；
0122：将第二参数信息与第一参数信息之间的偏差在预设范围内的兴趣点A作为工件标记点M；
013：若多个兴趣点A中存在至少三个工件标记点M，则将第一图像作为待处理图像P；
02：根据待处理图像P中的至少三个工件标记点M在第一坐标系xoy下的第一坐标值与对应的机台坐标点M`在第二坐标系x`o`y`下的第二坐标值计算工件标记点M相较于对应的机台坐标点M`的至少三个坐标偏差；及
03：根据至少三个坐标偏差获取工件200与机台10之间的位置偏差。
请参阅图6、图9和图10，再例如，计算机程序301被一个或多个处理器30执行时，使得处理器30执行以下定位方法：
014：依次对准一个机台坐标点M`拍摄以获取多帧第一图像；
015：在每次拍摄得到一帧第一图像时，便在第一图像的多个兴趣点A中寻找与机台坐标点M`对应的工件标记点M，并将存在工件标记点M的第一图像作为待处理图像P后对准下一个机台坐标点M`拍摄，直至寻找出三个工件标记点M；
02：根据待处理图像P中的至少三个工件标记点M在第一坐标系xoy下的第一坐标值与对应的机台坐标点M`在第二坐标系x`o`y`下的第二坐标值计算工件标记点M相较于对应的机台坐标点M`的至少三个坐标偏差；
03：根据至少三个坐标偏差获取工件200与机台10之间的位置偏差；
04：根据位置偏差调整机台10和/或工件200，并使至少三个工件标记点M与对应的机台坐标点M`对准；
05：获取待检测的兴趣点A的第一坐标系xoy下的第一坐标值；
06：获取机台10上与第一坐标值对应的机台坐标点A`的第二坐标值；及
07：根据第二坐标值及位置偏差调整检测仪70，以使检测仪70与工件200上的待检测的兴趣点A对准。
请参阅图5至图10，还例如，计算机程序301被一个或多个处理器30执行时，使得处理器30执行以下定位方法：
011：对准机台坐标点M`拍摄以获取一帧第一图像，第一图像中包括多个兴趣点A；
0121：比较第一图像的兴趣点A的第一参数信息与预存的工件标记点M的第二参数信息；
0122：将第二参数信息与第一参数信息之间的偏差在预设范围内的兴趣点A作为工件标记点M；
016：若第一图像的多个兴趣点A中不存在工件标记点M，则拍摄机台坐标点M`周围预定区域的至少一帧第二图像；
017：合并第一图像和第二图像以获取合并图像P3；
018：将存在工件标记点M的合并图像P3作为待处理图像P；
02：根据待处理图像P中的至少三个工件标记点M在第一坐标系xoy下的第一坐标值与对应的机台坐标点M`在第二坐标系x`o`y`下的第二坐标值计算工件标记点M相较于对应的机台坐标点M`的至少三个坐标偏差；
03：根据至少三个坐标偏差获取工件200与机台10之间的位置偏差；
04：根据位置偏差调整机台10和/或工件200，并使至少三个工件标记点M与对应的机台坐标点M`对准；
05：获取待检测的兴趣点A的第一坐标系xoy下的第一坐标值；
06：获取机台10上与第一坐标值对应的机台坐标点A`的第二坐标值；及
07：根据第二坐标值及位置偏差调整检测仪70，以使检测仪70与工件200上的待检测的兴趣点A对准。
在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。
尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本申请的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (13)

1.一种工件的定位方法，其特征在于，包括：
获取承载在机台上的工件的待处理图像，所述工件具有第一坐标系并包括至少三个工件标记点，所述机台具有第二坐标系并包括与工件标记点对应的机台坐标点；
根据所述待处理图像中的至少三个所述工件标记点在所述第一坐标系下的第一坐标值与对应的所述机台坐标点在所述第二坐标系下的第二坐标值计算所述工件标记点相较于对应的所述机台坐标点的至少三个坐标偏差；及
根据至少三个所述坐标偏差获取所述工件与所述机台之间的位置偏差。
2.根据权利要求1所述的定位方法，其特征在于，所述待处理图像为一帧，所述获取承载在机台上的工件的待处理图像，包括：
对准所述机台坐标点拍摄以获取一帧第一图像，所述第一图像中包括多个兴趣点；
在所述第一图像的多个所述兴趣点中寻找与所述机台坐标点对应的所述工件标记点；及
若多个所述兴趣点中存在至少三个所述工件标记点，则将所述第一图像作为待处理图像。
3.根据权利要求1所述的定位方法，其特征在于，所述待处理图像为多帧，所述获取承载在机台上的工件的待处理图像，包括：
依次对准一个所述机台坐标点拍摄以获取多帧第一图像；及
在每次拍摄得到一帧所述第一图像时，便在所述第一图像的多个所述兴趣点中寻找与所述机台坐标点对应的所述工件标记点，并将存在所述工件标记点的所述第一图像作为待处理图像后对准下一个所述机台坐标点拍摄，直至寻找出三个所述工件标记点。
4.根据权利要求1所述的定位方法，其特征在于，所述获取承载在机台上的工件的待处理图像，包括：
对准所述机台坐标点拍摄以获取一帧第一图像，所述第一图像中包括多个兴趣点；
在所述第一图像的多个所述兴趣点中寻找与所述机台坐标点对应的所述工件标记点；
若所述第一图像的多个所述兴趣点中不存在所述工件标记点，则拍摄所述机台坐标点周围预定区域的至少一帧第二图像；
合并所述第一图像和第二图像以获取合并图像；及
将存在所述工件标记点的所述合并图像作为待处理图像。
5.根据权利要求1-4所述的定位方法，其特征在于，所述在所述第一图像的多个所述兴趣点中寻找与所述机台坐标点对应的所述工件标记点，包括：
比较所述第一图像的兴趣点的第一参数信息与预存的所述工件标记点的第二参数信息；及
将所述第二参数信息与所述第一参数信息之间的偏差在预设范围内的兴趣点作为所述工件标记点。
6.根据权利要求5所述的定位方法，其特征在于，所述定位方法还包括：
根据所述位置偏差调整所述机台和/或所述工件，并使至少三个所述工件标记点与对应的所述机台坐标点对准。
7.一种检测系统，其特征在于，包括机台及一个或多个处理器，一个或多个所述处理器用于：
控制图像采集装置获取承载在所述机台上的工件的待处理图像，所述工件具有第一坐标系并包括至少三个工件标记点，所述机台具有第二坐标系并包括与工件标记点对应的机台坐标点；
根据所述待处理图像中的至少三个所述工件标记点在所述第一坐标系下的第一坐标值与对应的所述机台坐标点在所述第二坐标系下的第二坐标值计算所述工件标记点相较于对应的所述机台坐标点的至少三个坐标偏差；及
根据至少三个所述坐标偏差获取所述工件与所述机台之间的位置偏差。
8.根据权利要求7所述的检测系统，其特征在于，所述待处理图像为一帧，一个或多个所述处理器还用于：
控制所述图像采集装置与对准所述机台坐标点拍摄以获取一帧第一图像，所述第一图像中包括多个兴趣点；
在所述第一图像的多个所述兴趣点中寻找与所述机台坐标点对应的所述工件标记点；及
若多个所述兴趣点中存在至少三个所述工件标记点，则将所述第一图像作为待处理图像。
9.根据权利要求7所述的检测系统，其特征在于，所述待处理图像为多帧，一个或多个所述处理器还用于：
控制所述图像采集装置依次对准一个所述机台坐标点拍摄以获取多帧第一图像；及
在每次拍摄得到一帧所述第一图像时，便在所述第一图像的多个所述兴趣点中寻找与所述机台坐标点对应的所述工件标记点，并将存在所述工件标记点的所述第一图像作为待处理图像后控制所述图像采集装置对准下一个所述机台坐标点拍摄，直至寻找出三个所述工件标记点。
10.根据权利要求7所述的检测系统，其特征在于，一个或多个所述处理器还用于：
控制所述图像采集装置对准所述机台坐标点拍摄以获取一帧第一图像，所述第一图像中包括多个兴趣点；
在所述第一图像的多个所述兴趣点中寻找与所述机台坐标点对应的所述工件标记点；
若所述第一图像的多个所述兴趣点中不存在所述工件标记点，则控制所述图像采集装置拍摄所述机台坐标点周围预定区域的至少一帧第二图像；
合并所述第一图像和第二图像以获取合并图像；及
将存在所述工件标记点的所述合并图像作为待处理图像。
11.根据权利要求7-10所述的检测系统，其特征在于，一个或多个所述处理器还用于：
比较所述第一图像的兴趣点的第一参数信息与预存的所述工件标记点的第二参数信息；及
将所述第二参数信息与所述第一参数信息之间的偏差在预设范围内的兴趣点作为所述工件标记点。
12.根据权利要求11所述的检测系统，其特征在于，一个或多个所述处理器还用于：根据所述位置偏差调整所述机台和/或所述工件，并使至少三个所述工件标记点与对应的所述机台坐标点对准。
13.一种存储有计算机程序的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，实现权利要求1至6任意一项所述的定位方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114993183A (zh) * 2022-07-14 2022-09-02 前海晶方云(深圳)测试设备有限公司 测试方法、存储装置、计算机设备及测试设备

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003163163A (ja) * 2002-12-12 2003-06-06 Nikon Corp 位置合わせ方法、露光方法、及びデバイス製造方法
US20110032385A1 (en) * 2009-08-10 2011-02-10 Altek Corporation Image positioning method, poi tagging method and the apparatus
JP2011238097A (ja) * 2010-05-12 2011-11-24 I-Deal Co Ltd 位置決め装置のキャリブレーション方法、位置決め装置、およびこれらのためのコンピュータプログラム
JP2013125915A (ja) * 2011-12-15 2013-06-24 Hitachi Via Mechanics Ltd アライメントマークの検出方法およびレーザ加工装置
CN109773332A (zh) * 2018-12-29 2019-05-21 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种多振镜系统的校正方法及多振镜校正系统
CN110956660A (zh) * 2018-09-26 2020-04-03 深圳市优必选科技有限公司 定位方法、机器人以及计算机存储介质

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003163163A (ja) * 2002-12-12 2003-06-06 Nikon Corp 位置合わせ方法、露光方法、及びデバイス製造方法
US20110032385A1 (en) * 2009-08-10 2011-02-10 Altek Corporation Image positioning method, poi tagging method and the apparatus
JP2011238097A (ja) * 2010-05-12 2011-11-24 I-Deal Co Ltd 位置決め装置のキャリブレーション方法、位置決め装置、およびこれらのためのコンピュータプログラム
JP2013125915A (ja) * 2011-12-15 2013-06-24 Hitachi Via Mechanics Ltd アライメントマークの検出方法およびレーザ加工装置
CN110956660A (zh) * 2018-09-26 2020-04-03 深圳市优必选科技有限公司 定位方法、机器人以及计算机存储介质
CN109773332A (zh) * 2018-12-29 2019-05-21 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种多振镜系统的校正方法及多振镜校正系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114993183A (zh) * 2022-07-14 2022-09-02 前海晶方云(深圳)测试设备有限公司 测试方法、存储装置、计算机设备及测试设备

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