CN216902835U - 一种晶圆清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种晶圆清洗装置，包括清洗箱、排水管、放置板和喷淋组件，移动清洗组件包括电机、机架、转轴、第一转动杆和第二转动杆，通过电机转动，带动转轴转动，转轴带动第一转动杆转动，第一转动杆带动第二转动杆转动的同时进行摆动，第二转动杆在固定圆轴上滑动，固定圆轴同时在机架上转动，此时第二转动杆带动放置板往下移动，从而使晶圆在清洗液中进行浸泡，并且由此往复运动，使得清洗液能够对晶圆表面进行冲洗，以上结构设置，能够使晶圆的清洗更加的彻底。

Description

一种晶圆清洗装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗装置。

背景技术

晶圆在前道研磨工序时，会给晶圆表面带来研磨后物质，这些磨料颗粒在机械性的压力之下嵌入晶圆表面，降低器件的可靠性以及对器件引入缺陷。

因此晶圆后续的清洗工艺十分的重要，目前使用的清洗装置，大多数是利用喷头喷出清洗的方式对晶圆表面进行清洗。

利用喷头喷出的方式清洗，使得清洗液在晶圆表面停留的时间较短，降低了清洗的效果，从而也延长了清洗的时间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆清洗装置，解决了利用喷头喷出的方式清洗，使得清洗液在晶圆表面停留的时间较短，降低了清洗的效果，延长了清洗的时间的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种晶圆清洗装置，包括清洗箱、排水管、放置板和喷淋组件，所述清洗箱的内部为空腔结构，所述排水管与所述清洗箱连通，并位于所述清洗箱的一侧，所述清洗箱相对的内侧壁上开设有滑槽，所述喷淋组件设置在所述放置板的上方，

还包括移动清洗组件；

所述移动清洗组件包括电机、机架、转轴、第一转动杆和第二转动杆，所述电机与所述清洗箱固定连接，并位于所述清洗箱的一侧，所述机架与所述清洗箱固定连接，并位于所述清洗箱的内侧壁，所述转轴的一端与所述电机的输出端固定连接，所述转轴的另一端插入至所述清洗箱的内部，并穿过所述机架与所述第一转动杆转动连接，所述第二转动杆的一端与所述第一转动杆的另一端转动连接，所述第二转动杆的另一端与所述放置板转动连接。

其中，所述移动清洗组件还包括稳定单元，所述稳定单元与所述放置板固定连接，并位于所述放置板上。

其中，所述移动清洗组件还包括过滤单元，所述过滤单元与所述清洗箱固定连接，并位于所述清洗箱的内部。

其中，所述稳定单元包括防护框、稳定板和固定圆轴，所述防护框与所述放置板固定连接，并位于所述放置板的上方，所述稳定板的数量为两个，两个所述稳定板分别与所述防护框固定连接，并分别位于所述防护框相对的两侧，且与对应的所述滑槽滑动连接，所述固定圆轴转动连接在所述机架的内部，并与所述第二转动杆滑动连接。

其中，所述过滤单元包括过滤板和过滤网，所述过滤板与所述清洗箱拆卸连接，并位于所述清洗箱的内部，且位于所述移动清洗组件的下方，所述过滤网与所述喷淋组件拆卸连接，并位于所述喷淋组件的内部。

其中，所述晶圆清洗装置还包括固定组件，所述固定组件的数量为多组，多组所述固定组件分别均匀设置在所述放置板的上方。

其中，每组所述固定组件包括支撑板、浮动压板、垫块和压紧螺柱，所述支撑板与所述放置板固定连接，并位于所述放置板的上方，所述浮动压板的数量为两个，两个所述浮动压板通过销轴转动连接在所述支撑板的一侧，两个所述浮动压板相对设置，所述垫块与其中一个所述浮动压板固定连接，并位于所述浮动压板的一侧，所述压紧螺柱穿过另外一个所述浮动压板，并与所述垫块相互抵持。

其中，每组所述固定组件还包括半球块和旋钮，所述半球块与所述压紧螺柱固定连接，并位于所述压紧螺柱靠近所述垫块的一侧，所述旋钮与所述压紧螺柱固定连接，并位于所述压紧螺柱的另一端。

其中，所述喷淋组件包括回收管、喷头和水泵，所述回收管的一端与所述清洗箱底部连通，所述回收管的另一端与所述清洗箱的上部连通，并位于所述放置板的上方，所述水泵与所述回收管固定连接，并位于所述回收管的外部。

本实用新型的一种晶圆清洗装置，在使用本装置对晶圆进行清洗时，将所述清洗箱的底部装上清洗液，然后启动所述电机，所述电机转动，带动所述转轴转动，所述转轴带动所述第一转动杆转动，所述第一转动杆带动所述第二转动杆转动的同时进行摆动，所述第二转动杆在所述固定圆轴上滑动，所述固定圆轴同时在所述机架上转动，此时所述第二转动杆带动所述放置板往下移动，此时所述电机停止，使得所述放置板上的晶圆在清洗液中浸泡，浸泡后再次启动所述电机，所述电机再次转动，带动所述放置板向上移动，由此往复运动，使得晶圆能够充分的浸泡并在在所述放置板上下移动时，清洗液的冲刷了使清洗更加的彻底，通过以上设置，能够使晶圆的清洗更加的彻底。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是本实用新型第一实施例的整体结构示意图。

图2是本实用新型第一实施例的内部结构示意图。

图3是本实用新型第二实施例的内部结构示意图。

图4是本实用新型第二实施例的局部结构放大图。

101-清洗箱、102-放置板、103-回收管、104-喷头、105-水泵、106-电机、107-机架、108-转轴、109-第一转动杆、110-第二转动杆、111-滑槽、112-防护框、113-稳定板、114-过滤板、115-过滤网、116-排水管、117-固定圆轴、201-支撑板、202-浮动压板、203-垫块、204-压紧螺柱、205-半球块、206-旋钮。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

本申请第一实施例为：

请参阅图1和图2，所述晶圆清洗装置，包括清洗箱101、排水管116、放置板102和喷淋组件，所述清洗箱101的内部为空腔结构，所述排水管116与所述清洗箱101连通，并位于所述清洗箱101的一侧，所述清洗箱101相对的内侧壁上开设有滑槽111，所述喷淋组件设置在所述放置板102的上方，还包括移动清洗组件；所述移动清洗组件包括电机106、机架107、转轴108、第一转动杆109和第二转动杆110，所述电机106与所述清洗箱101固定连接，并位于所述清洗箱101的一侧，所述机架107与所述清洗箱101固定连接，并位于所述清洗箱101的内侧壁，所述转轴108的一端与所述电机106的输出端固定连接，所述转轴108的另一端插入至所述清洗箱101的内部，并穿过所述机架107与所述第一转动杆109转动连接，所述第二转动杆110的一端与所述第一转动杆109的另一端转动连接，所述第二转动杆110的另一端与所述放置板102转动连接；所述移动清洗组件还包括稳定单元，所述稳定单元与所述放置板102固定连接，并位于所述放置板102上；所述移动清洗组件还包括过滤单元，所述过滤单元与所述清洗箱101固定连接，并位于所述清洗箱101的内部；所述稳定单元包括防护框112、稳定板113和固定圆轴117，所述防护框112与所述放置板102固定连接，并位于所述放置板102的上方，所述稳定板113的数量为两个，两个所述稳定板113分别与所述防护框112固定连接，并分别位于所述防护框112相对的两侧，且与对应的所述滑槽111滑动连接，所述固定圆轴117转动连接在所述机架107的内部，并与所述第二转动杆110滑动连接；所述过滤单元包括过滤板114和过滤网115，所述过滤板114与所述清洗箱101拆卸连接，并位于所述清洗箱101的内部，且位于所述移动清洗组件的下方，所述过滤网115与所述喷淋组件拆卸连接，并位于所述喷淋组件的内部；所述喷淋组件包括回收管103、喷头104和水泵105，所述回收管103的一端与所述清洗箱101底部连通，所述回收管103的另一端与所述清洗箱101的上部连通，并位于所述放置板102的上方，所述水泵105与所述回收管103固定连接，并位于所述回收管103的外部。

所述清洗箱101的内部为空腔结构，所述清洗箱101为晶圆的清洗提供了容纳的作用，所述排水管116设置在所述清洗箱101的一侧，所述排水管116可以将所述清洗箱101内的废水排出，晶圆放置在所述放置板102上，对晶圆起到了承载的作用，所述回收管103能够将所述清洗箱101底部的清洗液进行回收利用，所述喷头104可以将所述回收管103回收后的清洗液喷出，能够对晶圆进行喷淋清洗，使清洗的效果更好，所述水泵105设置在所述税收管的上方，能够通过所述水泵105将清洗液抽取至所述回收管103的上部，起到了提供抽力的作用。

所述清洗移动组件能够使放置在所述放置板102的晶圆在所述清洗箱101的内部进行上下移动，使得晶圆能够在所述清洗箱101底部的清洗液中进行浸泡，在浸泡一段时间后，在向上移动，清洗液的冲力可以加速晶圆表面杂质的掉落，如此循环运动，从而使清洗更加的彻底。

所述电机106对所述放置板102的移动提供了动力，所述转轴108将所述电机106的转动力传递给所述第一转动杆109和所述第二转动杆110，所述机架107起到了固定的作用，通过所述第一转动杆109的转动，带动所述第二转动杆110摆动，从而使设置在所述第二摆动杆底部的所述放置板102能够进行上下移动，所述过滤板114起到了对清洗液过滤的作用，所述过滤网115能够将杂质进行再次过滤，避免了对所述回收管103和所述喷头104造成堵塞，所述防护框112设置在所述放置板102的上方，能够避免所述放置板102上的晶圆从所述放置板102上掉落，所述稳定板113设置在所述防护框112相对的两侧，使得所述放置板102在上下移动时更加的稳定。

在使用本装置对晶圆进行清洗时，将所述清洗箱101的底部装上清洗液，然后启动所述电机106，所述电机106转动，带动所述转轴108转动，所述转轴108带动所述第一转动杆109转动，所述第一转动杆109带动所述第二转动杆110转动的同时进行摆动，所述第二转动杆110在所述固定圆轴117上滑动，所述固定圆轴117同时在所述机架107上转动，此时所述第二转动杆110带动所述放置板102往下移动，此时所述电机106停止，使得所述放置板102上的晶圆在清洗液中浸泡，浸泡后再次启动所述电机106，所述电机106再次转动，带动所述放置板102向上移动，由此往复运动，使得晶圆能够充分的浸泡并在在所述放置板102上下移动时，清洗液的冲刷了使清洗更加的彻底，通过以上设置，能够使晶圆的清洗更加的彻底。

本申请第二实施例为：

请参阅图3和图4，在第一实施例的基础上，本实施例的所述晶圆清洗装置还包括固定组件，所述固定组件的数量为多组，多组所述固定组件分别均匀设置在所述放置板102的上方；每组所述固定组件包括支撑板201、浮动压板202、垫块203和压紧螺柱204，所述支撑板201与所述放置板102固定连接，并位于所述放置板102的上方，所述浮动压板202的数量为两个，两个所述浮动压板202通过销轴转动连接在所述支撑板201的一侧，两个所述浮动压板202相对设置，所述垫块203与其中一个所述浮动压板202固定连接，并位于所述浮动压板202的一侧，所述压紧螺柱204穿过另外一个所述浮动压板202，并与所述垫块203相互抵持；每组所述固定组件还包括半球块205和旋钮206，所述半球块205与所述压紧螺柱204固定连接，并位于所述压紧螺柱204靠近所述垫块203的一侧，所述旋钮206与所述压紧螺柱204固定连接，并位于所述压紧螺柱204的另一端。

所述支撑板201起到固定的作用，所述浮动压板202通过销轴连接在所述支撑板201的一侧，所述垫块203能够对所述压紧螺柱204进行位置的固定，所述压紧螺柱204设置在所述其中一个所述浮动压板202上，当使用者转动所述压紧螺柱204时，所述浮动压板202的底部往远离另外一个所述浮动压板202的方向移动，当所述压紧螺柱204持续移动时，所述压紧螺柱204的头部抵持所述垫块203，使得另外一个所述浮动压板202的底部收到抵持力移动，此时两个所述浮动压板202的头部便靠近，从而将放置在两个所述浮动压板202上的晶圆被夹紧固定，所述半球块205的设置，可以使所述压紧螺柱204在抵持所述垫块203时，不会产生偏斜，所述旋钮206的设置，使得操作者在转动所述压紧螺柱204时更加的方便。

以上所揭露的仅为本申请一种或多种较佳实施例而已，不能以此来限定本申请之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本申请权利要求所作的等同变化，仍属于本申请所涵盖的范围。

Claims (9)

1.一种晶圆清洗装置，包括清洗箱、排水管、放置板和喷淋组件，所述清洗箱的内部为空腔结构，所述排水管与所述清洗箱连通，并位于所述清洗箱的一侧，所述清洗箱相对的内侧壁上开设有滑槽，所述喷淋组件设置在所述放置板的上方，其特征在于，

还包括移动清洗组件；

所述移动清洗组件包括电机、机架、转轴、第一转动杆和第二转动杆，所述电机与所述清洗箱固定连接，并位于所述清洗箱的一侧，所述机架与所述清洗箱固定连接，并位于所述清洗箱的内侧壁，所述转轴的一端与所述电机的输出端固定连接，所述转轴的另一端插入至所述清洗箱的内部，并穿过所述机架与所述第一转动杆转动连接，所述第二转动杆的一端与所述第一转动杆的另一端转动连接，所述第二转动杆的另一端与所述放置板转动连接。

2.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，

所述移动清洗组件还包括稳定单元，所述稳定单元与所述放置板固定连接，并位于所述放置板上。

3.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，

所述移动清洗组件还包括过滤单元，所述过滤单元与所述清洗箱固定连接，并位于所述清洗箱的内部。

4.如权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，

所述稳定单元包括防护框、稳定板和固定圆轴，所述防护框与所述放置板固定连接，并位于所述放置板的上方，所述稳定板的数量为两个，两个所述稳定板分别与所述防护框固定连接，并分别位于所述防护框相对的两侧，且与对应的所述滑槽滑动连接，所述固定圆轴转动连接在所述机架的内部，并与所述第二转动杆滑动连接。

5.如权利要求3所述的晶圆清洗装置，其特征在于，

所述过滤单元包括过滤板和过滤网，所述过滤板与所述清洗箱拆卸连接，并位于所述清洗箱的内部，且位于所述移动清洗组件的下方，所述过滤网与所述喷淋组件拆卸连接，并位于所述喷淋组件的内部。

6.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，

所述晶圆清洗装置还包括固定组件，所述固定组件的数量为多组，多组所述固定组件分别均匀设置在所述放置板的上方。

7.如权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，

每组所述固定组件包括支撑板、浮动压板、垫块和压紧螺柱，所述支撑板与所述放置板固定连接，并位于所述放置板的上方，所述浮动压板的数量为两个，两个所述浮动压板通过销轴转动连接在所述支撑板的一侧，两个所述浮动压板相对设置，所述垫块与其中一个所述浮动压板固定连接，并位于所述浮动压板的一侧，所述压紧螺柱穿过另外一个所述浮动压板，并与所述垫块相互抵持。

8.如权利要求7所述的晶圆清洗装置，其特征在于，

每组所述固定组件还包括半球块和旋钮，所述半球块与所述压紧螺柱固定连接，并位于所述压紧螺柱靠近所述垫块的一侧，所述旋钮与所述压紧螺柱固定连接，并位于所述压紧螺柱的另一端。

9.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，

所述喷淋组件包括回收管、喷头和水泵，所述回收管的一端与所述清洗箱底部连通，所述回收管的另一端与所述清洗箱的上部连通，并位于所述放置板的上方，所述水泵与所述回收管固定连接，并位于所述回收管的外部。

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