CN216838269U - 一种单晶提拉速换热器 - Google Patents
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Abstract
一种单晶提拉速换热器，包括壳体，所述壳体内设有第一换热空间，所述壳体上端设有冷却介质输入管路以及冷却介质输出管路，所述壳体围合形成提拉通道，所述壳体的外侧壁上设有观察部，所述观察部的上端设有观察开口，所述观察开口与提拉通道相通，所述观察部内设有第二换热空间；本实用新型通过在单晶提拉速换热器的外壳上且位于提拉通道的另一侧设置观察部，并在其上端设置观察开口，使工作人员透过单晶炉观察视窗查看单晶硅的生长变化的同时，能通过观察开口查看到单晶提拉速换热器下的硅熔体液面以及单晶提拉速换热器内单晶硅晶棒的拉拔情况，从而做出相应的操作，保证单晶硅的品质和成晶率。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体是一种单晶提拉速换热器。
背景技术
直拉法生长单晶硅是目前生产单晶硅最广泛的应用技术，直拉法生长单晶硅时，单晶炉为核心生产设备之一。通常会在单晶炉上设置观察视窗以查看单晶硅的生长变化，及时作出调整，确保单晶硅稳定生长；在拉晶过程中需采用单晶提拉速换热器对单晶硅进行冷却散热，工作人员通过单晶炉观察视窗查看单晶硅的生长变化时，由于单晶提拉速换热器的阻挡而存在观察盲区，使工作人员无法看到在单晶提拉速换热器下的硅熔体液面，无法观察单晶硅的生长变化，给工作人员带来了很大的不便。
本实用新型即是针对现有技术的不足而研究提出。
实用新型内容
针对上述提到的现有技术中的工作人员通过单晶炉观察视窗查看单晶硅的生长变化时，由于单晶提拉速换热器的阻挡而存在观察盲区，使工作人员无法看到在单晶提拉速换热器下的硅熔体液面，无法观察单晶硅的生长变化，给工作人员带来了很大的不便的技术问题。
本实用新型解决其技术问题采用的技术方案是：
一种单晶提拉速换热器，包括壳体，所述壳体内设有第一换热空间，所述壳体上端设有与第一换热空间相通的冷却介质输入管路以及冷却介质输出管路，所述壳体围合形成提拉通道，所述壳体的外侧壁上设有观察部，所述观察部的上端设有用于观察位于单晶提拉速换热器下方的硅熔体液面的观察开口，所述观察开口与提拉通道相通，所述观察部内设有与第一换热空间相通的第二换热空间。
如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述壳体呈中空的圆柱状，所述壳体的一侧设有缺口，所述观察部连接在所述缺口上并自下而上沿径向向外倾斜。
如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察部截面呈上宽下窄的梯形状。
如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察部的侧壁与单晶提拉速换热器所在水平面形成的夹角为α，所述°95≤α≤120°。
如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察开口位置低于所述冷却介质输入管路输出端位置，所述冷却介质输入管路输出端位置平行于所述冷却介质输出管路输入端位置。
如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察部的末端靠近所述提拉通道的输入端。
如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察开口的截面呈U型状。
如上所述的一种单晶提拉速换热器，所述观察部与壳体一体成型。
本实用新型的有益效果是：1、本实用新型通过在单晶提拉速换热器的壳体的外侧壁上设置观察部，并在其上端设置观察开口，使工作人员透过单晶炉观察视窗查看单晶硅的生长变化的同时，能通过观察开口查看到单晶提拉速换热器下的硅熔体液面以及单晶提拉速换热器内单晶硅晶棒的拉拔情况，从而做出相应的操作，保证单晶硅的品质和成晶率，并且观察部内设有与第一换热空间相通的第二换热空间，使单晶提拉速换热器对单晶硅进行冷却散热时温度均匀，防止单晶硅在冷却散热时因温度的不均而发生断裂。
2、本实用新型的单晶提拉速换热器优选为只开设一个观察部，避免因开设多个观察部而减少单晶提拉速换热器对单晶硅棒的换热面积，降低单晶提拉速换热器的换热效率；采用这样的设计，壳体除了观察部所连接的缺口部分与单晶硅棒的换热距离较长外，其余部分都与单晶硅棒的距离较为贴近，使单晶提拉速换热器保证足够的换热面积对单晶硅棒进行冷却散热，提高换热均匀性，防止单晶硅在冷却散热时因温度的不均而发生断裂。
下面将结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的立体剖视图；
图3为本实用新型的剖视示意图之一；
图4为本实用新型的剖视示意图之二。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的实施方式作详细说明。
如图1至图4所示，本实施例的一种单晶提拉速换热器，包括壳体1，所述壳体1内设有第一换热空间2，所述壳体1上端设有与第一换热空间2相通的冷却介质输入管路3以及冷却介质输出管路4，所述壳体1围合形成提拉通道5，所述壳体1的外侧壁上设有观察部6，所述观察部6的上端设有用于观察位于单晶提拉速换热器下方的硅熔体液面的观察开口61，所述观察开口61与提拉通道5相通，所述观察部6内设有与第一换热空间2相通的第二换热空间62；本实用新型通过在单晶提拉速换热器的壳体的外侧壁上设置观察部，并在其上端设置观察开口，使工作人员透过单晶炉观察视窗查看单晶硅的生长变化的同时，能通过观察开口查看到单晶提拉速换热器下的硅熔体液面以及单晶提拉速换热器内单晶硅晶棒的拉拔情况，从而做出相应的操作，保证单晶硅的品质和成晶率，并且观察部内设有与第一换热空间相通的第二换热空间，使单晶提拉速换热器对单晶硅进行冷却散热时温度均匀，防止单晶硅在冷却散热时因温度的不均而发生断裂。
本实施例中，所述壳体1呈中空的圆柱状，所述壳体1的一侧设有缺口，所述观察部6连接在所述缺口上并自下而上沿径向向外倾斜；本实用新型的单晶提拉速换热器优选为只开设一个观察部，避免因开设多个观察部而减少单晶提拉速换热器对单晶硅棒的换热面积，降低单晶提拉速换热器的换热效率；采用这样的设计，壳体除了观察部所连接的缺口部分与单晶硅棒的换热距离较长外，其余部分都与单晶硅棒的距离较为贴近，使单晶提拉速换热器保证足够的换热面积对单晶硅棒进行冷却散热，提高换热均匀性，防止单晶硅在冷却散热时因温度的不均而发生断裂。
本实施例中，所述观察部6截面呈上宽下窄的梯形状；采用这样的设计，减少单晶提拉速换热器的耗材，降低生产成本。
本实施例中，所述观察部6的侧壁与单晶提拉速换热器所在水平面形成的夹角为α，所述95°≤α≤120°；所述α优选为101°，观察开口的可视范围达到最佳。
本实施例中，所述观察开口61位置低于所述冷却介质输入管路3输出端位置，所述冷却介质输入管路3输出端位置平行于所述冷却介质输出管路4输入端位置。
本实施例中，所述观察部6的末端靠近所述提拉通道5的输入端；进一步增加工作人员的可视范围，确保工作人员通过观察部上的观察开口能够清楚地查看单晶提拉速换热器下的硅熔体液面以及单晶硅的提拉过程以及生长情况。
本实施例中，为了进一步增加工作人员的可视范围，所述观察开口61的截面呈U型状；所述观察开口的截面还可以采用半圆弧状、矩形状或梯形状等形状，此处不再穷举。
本实施例中，所述观察部6与壳体1一体成型，采用这样的设计，使单晶提拉速换热器便于加工，减低生产成本。
上述仅以实施例来进一步说明本实用新型的技术内容，以便于读者更容易理解，但不代表本实用新型的实施方式仅限于此，任何依本实用新型所做的技术延伸或再创造，均受本实用新型的保护。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
Claims (8)
1.一种单晶提拉速换热器，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)内设有第一换热空间(2)，所述壳体(1)上端设有与第一换热空间(2)相通的冷却介质输入管路(3)以及冷却介质输出管路(4)，所述壳体(1)围合形成提拉通道(5)，所述壳体(1)的外侧壁上设有观察部(6)，所述观察部(6)的上端设有用于观察位于单晶提拉速换热器下方的硅熔体液面的观察开口(61)，所述观察开口(61)与提拉通道(5)相通，所述观察部(6)内设有与第一换热空间(2)相通的第二换热空间(62)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶提拉速换热器，其特征在于：所述壳体(1)呈中空的圆柱状，所述壳体(1)的一侧设有缺口，所述观察部(6)连接在所述缺口上并自下而上沿径向向外倾斜。
3.根据权利要求2所述的一种单晶提拉速换热器，其特征在于：所述观察部(6)截面呈上宽下窄的梯形状。
4.根据权利要求2所述的一种单晶提拉速换热器，其特征在于：所述观察部(6)的侧壁与单晶提拉速换热器所在水平面形成的夹角为α，所述95°≤α≤120°。
5.根据权利要求1所述的一种单晶提拉速换热器，其特征在于：所述观察开口(61)位置低于所述冷却介质输入管路(3)输出端位置，所述冷却介质输入管路(3)输出端位置平行于所述冷却介质输出管路(4)输入端位置。
6.根据权利要求1所述的一种单晶提拉速换热器，其特征在于：所述观察部(6)的末端靠近所述提拉通道(5)的输入端。
7.根据权利要求1所述的一种单晶提拉速换热器，其特征在于：所述观察开口(61)的截面呈U型状。
8.根据权利要求1所述的一种单晶提拉速换热器，其特征在于：所述观察部(6)与壳体(1)一体成型。
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| CN (1) | CN216838269U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024012417A1 (zh) * | 2022-07-12 | 2024-01-18 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种拉晶换热装置和拉晶设备 |
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- 2021-12-18 CN CN202123219772.9U patent/CN216838269U/zh active Active
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