CN215404642U - 一种改善大尺寸n型晶棒成晶的水冷热屏结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构，包括水冷热屏本体，其特征在于：水冷热屏本体由水冷热屏内筒和水冷热屏外筒组成，水冷热屏内筒设置于水冷热屏外筒内，水冷热屏内筒和水冷热屏外筒分别为中空结构形成水道并通过冷却水，水冷热屏内筒与水冷热屏外筒之间间隔形成夹层用以通入氩气；该水冷热屏结构简单，外层循环水有效降低晶棒温度，内层流动氩气提高成晶液面的稳定性，便于成晶。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种水冷热屏，具体涉及一种改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构，属于光伏制造行业。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。现有单晶炉内的水冷热屏，内层流动循环纯水，靠循环水系统降低晶棒温度，实现高拉速，高单产，氩气系统在单独炉体内设置，用于提供保护气体氩气，保证炉压恒定，大尺寸N型单晶拉制需要大尺寸热场，成晶液面温度波动大，容易导致断线。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构，该水冷热屏结构简单，外层循环水有效降低晶棒温度，内层流动氩气提高成晶液面的稳定性，便于成晶。
为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构，包括水冷热屏本体，水冷热屏本体由水冷热屏内筒和水冷热屏外筒组成，水冷热屏内筒设置于水冷热屏外筒内，水冷热屏内筒和水冷热屏外筒分别为中空结构形成水道并通过冷却水，水冷热屏内筒与水冷热屏外筒之间间隔形成夹层用以通入氩气。
本实用新型进一步限定的技术方案是：
进一步的，前述改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构中，水冷热屏内筒和水冷热屏外筒均为同轴设置的倒锥形结构。
前述改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构中，水道的进水口、出水口分别通过设置在水冷热屏内筒及水冷热屏外筒上端的连接体与进水管路、出水管路相连接用以循环冷却水。
前述改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构中，夹层的上端通过连接体通入氩气，夹层的下端为开口结构用以出氩气。
前述改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构中，水冷热屏内筒与水冷热屏外筒通过连接体焊接连接。
前述改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构中，水冷热屏内筒和水冷热屏外筒采用不锈钢材质制作，优选不锈钢304制作。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型结构不同于传统的水冷热屏结构，它结合氩气系统接入氩气，成为一种特殊的水冷热屏结构，直接在水冷热屏内筒和水冷热屏外筒内中控结构通入冷却水进行冷却，并在他们之间构成氩气的夹层通入氩气，没有外增氩气设备、冷却设备等增加整个装置的重量，制作成本低廉，使用方便。
本实用新型针对N型单晶特点，以及大热场的大投料量，大尺寸，设计了水冷热屏结构，通体结构大致分为内外层结构；外层结构循环流动冷却水，降低晶棒温度，内层流动氩气保护气体，下方开孔，氩气直接吹拂熔硅表面，为成晶液面稳定化提供帮助，便于成晶。
本实用新型可兼容氩气及循环水的水冷热屏结构，大大增加了工艺灵活性。
本实用新型该水冷热屏因其设计的独特性，氩气能更快更明显的影响到熔硅成晶曲面的对流力场，可实现“小投入大回报”，有提产降本效果。
附图说明
图1为本实用新型实施例中改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构的结构示意图；
图2为图1中A部分的局部剖面放大图；
图中：1-水冷热屏本体，2-水冷热屏内筒， 3-水冷热屏外筒，4-夹层。
具体实施方式
实施例1
本实施例提供的一种改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构，结构如图1-2所示，包括水冷热屏本体1，水冷热屏本体1由水冷热屏内筒2和水冷热屏外筒3组成，水冷热屏内筒2设置于水冷热屏外筒3内，水冷热屏内筒2和水冷热屏外筒3分别为中空结构形成水道并通过冷却水，水冷热屏内筒2与水冷热屏外筒3之间间隔形成夹层4用以通入氩气。
在本实施例中，水冷热屏内筒2和水冷热屏外筒3均为同轴设置的倒锥形结构。
在本实施例中，水水道的进水口、出水口分别通过设置在水冷热屏内筒2及水冷热屏外筒3上端的连接体与进水管路、出水管路相连接用以循环冷却水。
在本实施例中，水夹层4的上端通过连接体通入氩气，夹层4的下端为开口结构用以出氩气。
在本实施例中，水冷热屏内筒2与水冷热屏外筒3通过连接体焊接连接，使得水冷热屏外筒3同轴设置在水冷热屏内筒2外。
在本实施例中，水水冷热屏内筒2和水冷热屏外筒3采用不锈钢304材质制作。
除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。
Claims (6)
1.一种改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构，包括水冷热屏本体（1），其特征在于：所述水冷热屏本体（1）由水冷热屏内筒（2）和水冷热屏外筒（3）组成，所述水冷热屏内筒（2）设置于所述水冷热屏外筒（3）内，所述水冷热屏内筒（2）和水冷热屏外筒（3）分别为中空结构形成水道并通过冷却水，所述水冷热屏内筒（2）与水冷热屏外筒（3）之间间隔形成夹层（4）用以通入氩气。
2.根据权利要求1所述的改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构，其特征在于：所述的水冷热屏内筒（2）和水冷热屏外筒（3）均为同轴设置的倒锥形结构。
3.根据权利要求1所述的改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构，其特征在于：所述水道的进水口、出水口分别通过设置在水冷热屏内筒（2）及水冷热屏外筒（3）上端的连接体与进水管路、出水管路相连接用以循环冷却水。
4.根据权利要求3所述的改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构，其特征在于：所述夹层（4）的上端通过所述连接体通入氩气，夹层（4）的下端为开口结构用以出氩气。
5.根据权利要求3所述的改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构，其特征在于：所述水冷热屏内筒（2）与水冷热屏外筒（3）通过所述连接体焊接连接。
6.根据权利要求1所述的改善大尺寸N型晶棒成晶的水冷热屏结构，其特征在于：所述水冷热屏内筒（2）和水冷热屏外筒（3）采用不锈钢材质制作。
Priority Applications (1)
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| CN202121632352.0U CN215404642U (zh) | 2021-07-19 | 2021-07-19 | 一种改善大尺寸n型晶棒成晶的水冷热屏结构 |
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Publications (1)
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| CN215404642U true CN215404642U (zh) | 2022-01-04 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2021
- 2021-07-19 CN CN202121632352.0U patent/CN215404642U/zh active Active
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