CN216814818U - 一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱，其包括一个一体式结构且前后开口的主箱体，该主箱体内设有内隔板形成左右布置的第一空间和第二空间，主箱体的后端部嵌入式安装在一立式安装板，立式安装板上分别安装有第一后门组件和第二后门组件；于第一空间、第二空间内分别设有烘烤架组件，并分别连接有真空泵组件。本实用新型双箱一体式多层高真空烤箱在同一立式安装板、同一主箱体上设置两个独立的空间和两个独立的真空烤箱装置，使得真个晶振元件加工过程中，两个烤箱装置可以交替运行，从而提供整个产线效率，避免机械手空闲，提高利用率，同时在同等效率的情况下，可以减少设备成本和占用空间，提升设备性价比。

Description

一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱

技术领域：

本实用新型涉及烘干设备技术领域，特指一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱。

背景技术：

贴片式石英谐振器等类似贴片式结构的产品在生产过程，需要使用真空烤箱进行烘干作业，以使封装更均匀全面。真空烤箱是一种采用二面加热的热辐射方式的烤箱，一般采用加热管进行发热，通过真空压力以及高温加热装置的配合下，对内部进行高温烘干脱水。传统的真空烤箱内部的加热管设置在真空烤箱箱体上，从箱体内部四周对放置在其中的产品进行加热烘干脱水，但是加热管仅设置在箱体内壁上，当箱体内部放置较多产品时，无法做到快速彻底烘干脱水，影响产品后续加工使用。也有如中国专利号CN201821727123.5所公开的《真空烤箱》，其为了提高烘干效率，采用间隔层叠的方式在每个托架之间均设置了加热管，显然这种结构方式虽然提高了烘干效率，但是结构过于复杂，组装不便而且成本很高，也不便于料盘的取放。

为此，本发明人对现有烤箱作出了改进，优化了烤箱内部烘烤架及相关结构，并申请了中国实用新型专利，具体请见专利申请号202122998292.0所揭示的《一种用于晶振烘烤的多层高真空烤箱》。而在现实生产过程中，通过机械手从完成烘烤的烤箱内取出料盘后再放入料盘，烘烤过程中机械手处于停滞状态，等待的烘烤时间较长，致使整体产线的效率较低，若是单纯增加一台烤箱交替作业，则成本较高且占用空间大。

实用新型内容：

本实用新型的目的是克服现有技术的上述不足之处，提供一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱。

本实用新型采用的技术方案是：一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱，其包括一个一体式结构且前后开口的主箱体，该主箱体内设有内隔板形成左右布置的第一空间和第二空间，所述第一空间和第二空间的前箱口分别设有第一前门、第二前门；所述主箱体的后端部嵌入式安装在一立式安装板上使第一空间、第二空间的后箱口穿出于立式安装板；于所述立式安装板上分别安装有与第一空间的后箱口和第二空间的后箱口相对应的第一后门组件和第二后门组件；于所述第一空间、第二空间内分别设有烘烤架组件，且第一空间、第二空间的外侧壁分别开设有抽气孔并分别连接有第一真空泵组件、第二真空泵组件。

第一空间和第二空间的后箱口与立式安装板背面平齐；于所述立式安装板的背面安装有三条平行布置的立式导轨，三条立式导轨间隔布置在第一空间、第二空间的后箱口的中间和两侧，第一后门组件、第二后门组件分别安装在两个相邻的立式导轨上并沿立式导轨升降；第一后门组件、第二后门组件分别包括后箱口盖板、与后箱口盖板连接的压板、可滑动安装在相邻两条立式导轨之间的承载板、与承载板连接的连接板、设置在立式安装板上并驱动连接板的升降气缸，所述压板上还连接有导向杆，承载板上设有与导向杆对应的导向轴承，承载板上还安装有与压板连接的压板气缸。

所述第一前门、第二前门分别安装在第一空间、第二空间前箱口的上边缘，且第一前门、第二前门与主箱体之间还分别连接有气弹簧。

本实用新型双箱一体式多层高真空烤箱在同一立式安装板、同一主箱体上设置两个独立的空间和两个独立的真空烤箱装置，使得真个晶振元件加工过程中，两个烤箱装置可以交替运行，即当一个烤箱装置A内的晶振元件烘烤完成时，机械手对该烤箱进行出料和上料作业，另一个烤箱装置B内此时在持续烘烤作业；当烤箱装置A出料上料完成后关门烘烤，烤箱装置B内烘烤完成，机械手转而对烤箱装置B进行出料上料作业，如此交替进行，从而提供整个产线效率，避免机械手空闲，提高利用率，同时在同等效率的情况下，可以减少设备成本和占用空间，提升设备性价比。

附图说明：

图1、图2是本实用新型不同角度的整体结构示意图。

具体实施方式：

如图1-图2所示，本实用新型所述的是一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱，其包括一个一体式结构且前后开口的主箱体1，该主箱体1内设有内隔板11形成左右布置的第一空间101和第二空间102，所述第一空间101和第二空间102的前箱口分别设有第一前门21、第二前门22；所述主箱体1的后端部嵌入式安装在一立式安装板3上使第一空间101、第二空间102的后箱口穿出于立式安装板3；于所述立式安装板3上分别安装有与第一空间101的后箱口和第二空间102的后箱口相对应的第一后门组件41和第二后门组件42；于所述第一空间101、第二空间102内分别设有烘烤架组件5，且第一空间101、第二空间102的外侧壁分别开设有抽气孔并分别连接有第一真空泵组件51、第二真空泵组件52。

第一空间101和第二空间102的后箱口与立式安装板3背面平齐；于所述立式安装板3的背面安装有三条平行布置的立式导轨31，三条立式导轨31间隔布置在第一空间101、第二空间102的后箱口的中间和两侧，第一后门组件41、第二后门组件42分别安装在两个相邻的立式导轨31上并沿立式导轨31升降；第一后门组件41、第二后门组件42分别包括后箱口盖板401、与后箱口盖板401连接的压板402、可滑动安装在相邻两条立式导轨31之间的承载板403、与承载板403连接的连接板404、设置在立式安装板3上并驱动连接板404的升降气缸405，所述压板402上还连接有导向杆406，承载板403上设有与导向杆406对应的导向轴承407，承载板403上还安装有与压板402连接的压板气缸408；

本实施例中，每组后门组件的压板402上垂直设置四个导向杆406，对应承载板403上安装四个导向轴承407，承载板403上安装两个压板气缸408对压板402施压，从而使后箱口盖板401与后箱口密封连接；当要打开后门组件时，先使压板气缸408驱动压板402和后箱口盖板401脱离后箱口，再通过升降气缸405驱动连接板404、承载板403、压板402、后箱口盖板401整体向上移动，离开后箱口位置，使后箱口完全打开，以便机械手将第一空间101或第二空间102内的料盘转移走；

所述第一前门21、第二前门22分别安装在第一空间101、第二空间102前箱口的上边缘，且第一前门21、第二前门22与主箱体1之间还分别连接有气弹簧23，采用上开式结构配合气弹簧23支撑，起到省力且保持打开状态，同时不占用两侧空间，更便于进行上料作业。

本实用新型中，主箱体1的第一空间101、第二空间102内的烘烤架组件5以及相关加热机构、线路布置、真空泵组件等结构在此前专利申请号202122998292.0《一种用于晶振烘烤的多层高真空烤箱》中已有详细描述，或属于常规技术，因此不再赘述。

本实用新型双箱一体式多层高真空烤箱在同一立式安装板3、同一主箱体1上设置两个独立的空间和两个独立的真空烤箱装置，使得真个晶振元件加工过程中，两个烤箱装置可以交替运行，即当一个烤箱装置A内的晶振元件烘烤完成时，机械手对该烤箱进行出料和上料作业，另一个烤箱装置B内此时在持续烘烤作业；当烤箱装置A出料上料完成后关门烘烤，烤箱装置B内烘烤完成，机械手转而对烤箱装置B进行出料上料作业，如此交替进行，从而提供整个产线效率，避免机械手空闲，提高利用率，同时在同等效率的情况下，可以减少设备成本和占用空间，提升设备性价比。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (3)

1.一种用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱，其特征在于：其包括一个一体式结构且前后开口的主箱体，该主箱体内设有内隔板形成左右布置的第一空间和第二空间，所述第一空间和第二空间的前箱口分别设有第一前门、第二前门；所述主箱体的后端部嵌入式安装在一立式安装板上使第一空间、第二空间的后箱口穿出于立式安装板；于所述立式安装板上分别安装有与第一空间的后箱口和第二空间的后箱口相对应的第一后门组件和第二后门组件；于所述第一空间、第二空间内分别设有烘烤架组件，且第一空间、第二空间的外侧壁分别开设有抽气孔并分别连接有第一真空泵组件、第二真空泵组件。

2.根据权利要求1所述的用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱，其特征在于：第一空间和第二空间的后箱口与立式安装板背面平齐；于所述立式安装板的背面安装有三条平行布置的立式导轨，三条立式导轨间隔布置在第一空间、第二空间的后箱口的中间和两侧，第一后门组件、第二后门组件分别安装在两个相邻的立式导轨上并沿立式导轨升降；第一后门组件、第二后门组件分别包括后箱口盖板、与后箱口盖板连接的压板、可滑动安装在相邻两条立式导轨之间的承载板、与承载板连接的连接板、设置在立式安装板上并驱动连接板的升降气缸，所述压板上还连接有导向杆，承载板上设有与导向杆对应的导向轴承，承载板上还安装有与压板连接的压板气缸。

3.根据权利要求1所述的用于晶振烘烤的双箱一体式多层高真空烤箱，其特征在于：所述第一前门、第二前门分别安装在第一空间、第二空间前箱口的上边缘，且第一前门、第二前门与主箱体之间还分别连接有气弹簧。

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