CN216806968U - 一种大尺寸mask转运台车及系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种大尺寸MASK转运台车，包括车体、支撑框架、MASK安装平台、定位靠垫、升降机构、摆动机构、夹紧机构。本实用新型所提出的一种大尺寸MASK转运系统及系统，减轻了工人操作的劳动强度，提升了大尺寸MASK在各工序中的转运效率，降低了大尺寸MASK运输过程中的意外碰撞损伤的风险。

Description

一种大尺寸MASK转运台车及系统

技术领域

本实用新型涉及一种大尺寸MASK转运台车及系统，用于MASK生产过程中的的取放和转运。

背景技术

MASK(掩膜版)的生产工序，包括曝光、显影、蚀刻、清洗、CD测量、AOI、修补、贴膜等，各个工序之间，MASK需要转运，并暂存至专用的包装箱。目前在行业内，大尺寸MASK的取放和转运，一般采用人工抬版或半自动机械手辅助取放及转运的方式。

因大尺寸MASK的尺寸和重量都比较大，人工抬版太吃力，且抬版过程中有碰撞损伤MASK的隐患，而现在行业上常用的半自动机械手都是从国外进口，一套机械手的价格要上百万，操作过程复杂、维护维修困难。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种大尺寸MASK转运台车及系统，可实现MASK 上下版及转运功能，可完成夹取及松开MASK，移动位置并重新放置的动作，实现进口半自动机械手的取放MASK功能，操作更简单，但造价只有半自动机械手的二十分之一。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种大尺寸MASK转运台车，包括车体、支撑框架、MASK安装平台、定位靠垫、升降机构、摆动机构、夹紧机构，车体包括可移动底架、第一纵架、第二纵架，第一纵架、第二纵架为纵向支架，分别固定设置在可移动底架上，支撑框架包括纵梁和横梁，纵梁与横梁之间固定连接，MASK安装平台包括平台、平台支架，平台固定设置在平台支架外侧，平台支架内侧的两端分别与横梁的两端铰接，定位靠垫设置平台支架上、位于平台下方，升降机构包括升降手轮、第一丝杆、第二丝杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮，第一锥齿轮固定设置在第一丝杆上，第二锥齿轮固定设置在第二丝杆上，第一丝杆的一端与设置在第二纵架上的轴承相连接，第一丝杆的另一端穿过设置在第一纵架上的轴承、与升降手轮相连接，第二丝杆上设置有第一丝杆螺母，第二丝杆的两端分别与设置在第二纵架上的轴承相连接，第一锥齿轮、第二锥齿轮之间相啮合，第一丝杆螺母与纵梁固定连接；摆动机构包括摆动手轮、摆动丝杆，摆动丝杆的一端与设置在平台支架内侧的铰支座相连接，摆动丝杆的另一端穿过设置在纵梁上的铰支座、与摆动手轮相连接；夹紧机构包括夹紧手轮、第三丝杆、第四丝杆、第三锥齿轮、第四锥齿轮、夹爪座、夹爪，第三丝杆的两端分别穿过设置在平台内侧的支座、分别与第三锥齿轮、夹紧手轮相连接，第四丝杆的一端与设置在平台内侧的轴承相连接，第四丝杆的另一端穿过设置在平台内侧的另一轴承后与第四锥齿轮相连接，第四丝杆上设置有第二丝杆螺母，第三锥齿轮、第四锥齿轮之间相啮合，夹爪固定设置在夹爪座上，夹爪座与第二丝杆螺母固定连接。

采用上述技术方案，MASK转运台车从包装盒上取下MASK，并放入LOADER 的过程：取下放在定位支架上的包装盒上盖，降低台车的升降机构，使定位靠垫与MASK底边与接触，人工翻转MASK至平台上，夹紧MASK后，升高升降机构的高度，然后将放有MASK的MASK转运台车移动至LOADER旁，降低台车的升降机构，使MASK转运台车上的MASK与LOADER的底部靠垫接触，人工翻转MASK 至LOADER安装台上，然后降低升降机构的高度，松开固定的定位销，推动台车沿导轨后退，直到退出导轨。夹紧过程：定位靠垫与MASK底边与接触，人工翻转MASK至平台上，通过转动夹紧手轮，第三锥齿轮在第三丝杆的带动下转动，从而带动第四丝杆转动，第二丝杆螺母在第四丝杆上滑动，夹爪下移，从而完成夹紧动作，松开动作的完成使夹紧手轮的旋转方向相反即可；升降过程：转动升降手轮，第一丝杆通过第一锥齿轮带动第二丝杆转动，第一丝杆螺母带动纵梁上下运动，从而带动支撑框架、MASK安装平台完成升降动作；摆动过程：由于横梁与平台支架铰接，摆动丝杆的一端平台支架铰接，摆动丝杆与纵梁铰接，这就使得摆动手轮、摆动丝杆、横梁、纵梁、平台支架之间构成四连杆结构，通过操作摆动手轮带动摆动丝杆前后移动，从而带动MASK安装平台倾斜摆动。MASK转运台车从LOADER上取下MASK，并放入包装盒中的过程与上面的过程相反。

本实用新型进一步改进，所述的第一丝杆、第二丝杆、第三丝杆、第四丝杆均为梯形丝杆，梯形丝杆有自锁功能，防止移动时MASK下坠，防止MASK转运台车移动及平台摆动时MASK掉下来。

本实用新型进一步改进，平台的顶部设置有多组辅助靠垫，可兼容不同高度的MASK，平台上设置有水平及垂直标尺，可调整对齐MASK的位置。

本实用新型进一步改进，还包括靠垫左右调整机构，靠垫左右调整机构包括滑轨、靠垫调整滑块，滑轨固定设置在平台支架上，靠垫调整滑块设置在滑轨上，定位靠垫与靠垫调整滑块固定连接，可兼容不同宽度的MASK及LOADER。

本实用新型进一步改进，第一纵架上设置有升降导轨，升降导轨上设置有升降滑块，升降导轨的两端设置有限位块，纵梁与升降滑块相连接，以对平台及MASK的升降运动导向、限位，提高升降运动稳定性。

本实用新型进一步改进，平台支架上设置有夹紧导轨，夹紧导轨的两端设置有限位块，夹紧导轨上设置有夹紧滑块，夹爪座与夹紧滑块相连接，以对夹爪上下运动导向、定位，提高夹紧机构稳定性。

本实用新型进一步改进，所述的夹爪座为轴对称结构，第二丝杆螺母设置在夹爪座的对称轴上，设置在夹爪座上的夹爪为偶数个，设置在夹爪座上的夹爪以第二丝杆螺母为中心轴对称排布；这样就使得多个夹爪随夹爪座同步运动，提高夹紧稳定性。

本实用新型进一步改进，还包括报警装置，报警装置包括状态指示灯及蜂鸣器，状态指示灯及蜂鸣器设置在第一纵架上，在MASK转运台车移动时提供报警功能。

一种大尺寸MASK转运系统，包括台车导向定位机构和MASK转运台车，台车导向定位机构包括整体式导轨、定位销组，定位销组包括定位销、定位销安装块，整体式导轨固定设置在MASK包装盒定位支架或LOADER旁的基础上，定位销安装块设置在整体式导轨的内侧，定位销设置在可移动底架的底部，可移动底架的四角分别设置有减震脚轮，减震脚轮可在整体式导轨内移动。

本实用新型进一步改进，在整体式导轨的入口端和出口端分别设置有导向凹槽，以方便MASK转运台车进入和脱离整体式导轨。

MASK转运台车移动时，将减震脚轮推入导轨凹槽实现导向，到达与LOADER 的交接位置后，将移动底架底部的定位销插入地板上的定位销安装块，实现台车与包装盒定位支架跟LOADER的水平XY方向的定位。

与现有技术相比，本实用新型所提出的一种大尺寸MASK转运台车，实现了如下功能：

1、实现了MASK的位置调整与固定功能：包括上下升降、前后摆动，垂直夹紧；

2、MASK安装平台可兼容安装各种不同规格的大尺寸MASK：安装平台以底部定位靠垫定位，上侧夹爪夹紧，通过调整底侧定位靠垫的左右位置，及上侧夹爪的夹紧行程，可兼容安装8-11代各种不同规格的大尺寸MASK；

3、MASK转运台车底部有4个减震脚万向脚轮，整体可移动，方便在车间移动转运MASK；脚轮可选择为万向与定向模式模式，移动时选择万向模式，MASK 上下版交接时，可锁定插销为定向模式，便于定位；

4、MASK转运台车底部有1组定位销，与整体式导轨配套使用，整体式导轨凹槽与减震脚轮宽度配套；MASK上下版交接时，减震脚轮锁定方向为定向模式后，沿导轨凹槽移动，通过定位销可在导轨上定位并固定；

5、MASK转运台车升降机构采用锥齿轮+梯形丝杆+导轨结构，通过操作手轮调整高度，梯形丝杆可自锁，防止交接过程中MASK下坠；

6、MASK转运台车倾斜摆动机构采用梯形丝杆+四连杆铰链结构，通过操作手轮调整倾斜角度，梯形丝杆可自锁，防止交接过程中MASK下坠；

7、MASK转运台车的MASK安装平台上有水平及垂直标尺，放置各种不同规格的MASK时均可定位对齐；

8、MASK安装平台采用非金属材料，如安装平台的固定靠垫、夹紧垫及脚轮，均为防静电材质，防止产生静电对MASK有影响；

9、MASK转运台车上安装有状态指示灯及蜂鸣器，在MASK上下版及转运时，提醒周围人员避让，防止碰撞。

本实用新型所提出的一种大尺寸MASK转运系统及系统，减轻了工人操作的劳动强度，提升了大尺寸MASK在各工序中的转运效率，降低了大尺寸MASK运输过程中的意外碰撞损伤的风险。

附图说明

图1为本实用新型所提出的一种大尺寸MASK转运台车的立体结构示意图。

图2为图1在另一视角下的结构示意图。

图3为MASK放置于MASK转运台车的结构示意图。

图4为图3在另一视角下的结构示意图。

图5为图4的分解结构示意图。

图6为车体的结构示意图。

图7为支撑框架、MASK安装平台的结构示意图。

图8为MASK安装平台的结构示意图。

图9-11为MASK转运台车从包装箱中取出MASK的状态示意图。

图12-14为MASK转运台车将MASK放至LOADER工位状态示意图。

图15为MASK转运台车升降状态对比示意图。

图16为MASK转运台车摆动状态对比示意图。

图17为MASK转运台车夹紧、松脱状态对比示意图。

图中：1、MASK；2、包装盒；3、LOADER；4、定位靠垫；5、辅助靠垫；6、标尺；7、指示灯及蜂鸣器；100、可移动底架；101、减震脚轮；110、第一纵架；111、升降导轨；112、升降滑块；113、限位块；120、第二纵架；200、纵梁；210、横梁；300、平台；310、平台支架；311、夹紧导轨；312、夹紧滑块； 500、升降手轮；510、第一丝杆；520、第二丝杆；521、第一丝杆螺母；530、第一锥齿轮；540、第二锥齿轮；600、摆动手轮；610、摆动丝杆；620、铰支座；700、夹紧手轮；710、第三丝杆；720、第四丝杆；730、第三锥齿轮；740、第四锥齿轮；750、夹爪座；760、夹爪；800、滑轨；810、靠垫调整滑块；900、整体式导轨；910、定位销；920、定位销安装快；930、导向凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参见图1-17，一种大尺寸MASK转运台车，包括车体、支撑框架、MASK安装平台、定位靠垫4、升降机构、摆动机构、夹紧机构，车体包括可移动底架 100、第一纵架110、第二纵架120，第一纵架110、第二纵架120为纵向支架，分别固定设置在可移动底架100上，支撑框架包括纵梁200和横梁210，纵梁 200与横梁210之间固定连接，MASK安装平台包括平台300、平台支架310，平台300固定设置在平台支架310外侧，平台支架310内侧的两端分别与横梁210的两端铰接，定位靠垫4设置平台支架310上、位于平台300下方，升降机构包括升降手轮500、第一丝杆510、第二丝杆520、第一锥齿轮530、第二锥齿轮540，第一锥齿轮530固定设置在第一丝杆510上，第二锥齿轮540固定设置在第二丝杆520上，第一丝杆510的一端与设置在第二纵架120上的轴承相连接，第一丝杆510的另一端穿过设置在第一纵架110上的轴承、与升降手轮 500相连接，第二丝杆520上设置有第一丝杆螺母521，第二丝杆520的两端分别与设置在第二纵架120上的轴承相连接，第一锥齿轮530、第二锥齿轮540 之间相啮合，第一丝杆螺母521与纵梁200固定连接；摆动机构包括摆动手轮 600、摆动丝杆610，摆动丝杆610的一端与设置在平台支架310内侧的铰支座 620相连接，摆动丝杆610的另一端穿过设置在纵梁200上的铰支座620、与摆动手轮600相连接；夹紧机构包括夹紧手轮700、第三丝杆710、第四丝杆720、第三锥齿轮730、第四锥齿轮740、夹爪座750、夹爪760，第三丝杆710的两端分别穿过设置在平台300内侧的支座、分别与第三锥齿轮730、夹紧手轮700 相连接，第四丝杆720的一端与设置在平台300内侧的轴承相连接，第四丝杆 720的另一端穿过设置在平台300内侧的另一轴承后与第四锥齿轮740相连接，第四丝杆720上设置有第二丝杆螺母(图中未示出)，第三锥齿轮730、第四锥齿轮740之间相啮合，夹爪760固定设置在夹爪座750上，夹爪座750与第二丝杆螺母(图中未示出)固定连接。

采用上述技术方案，MASK转运台车从包装盒2上取下MASK1，并放入 LOADER3的过程：取下放在定位支架上的包装盒2上盖，降低台车的升降机构，使定位靠垫4与MASK1底边与接触，人工翻转MASK1至平台300上，夹紧MASK1 后，升高升降机构的高度，然后将放有MASK1的MASK转运台车移动至LOADER3 旁，降低台车的升降机构，使MASK转运台车上的MASK1与LOADER3的底部靠垫接触，人工翻转MASK1至LOADER3安装台上，然后降低升降机构的高度，推动台车后退。夹紧过程：定位靠垫4与MASK1底边与接触，人工翻转MASK1 至平台300上，通过转动夹紧手轮700，第三锥齿轮730在第三丝杆710的带动下转动，从而带动第四丝杆720转动，第二丝杆螺母(图中未示出)在第四丝杆720上滑动，夹爪760下移，从而完成夹紧动作，松开动作的完成使夹紧手轮700的旋转方向相反即可；升降过程：转动升降手轮500，第一丝杆510通过第一锥齿轮530带动第二丝杆520转动，第一丝杆螺母521带动纵梁200上下运动，从而带动支撑框架、MASK安装平台完成升降动作；摆动过程：由于横梁 210与平台支架310铰接，摆动丝杆610的一端平台支架310铰接，摆动丝杆 610与纵梁200铰接，这就使得摆动手轮600、摆动丝杆610、横梁210、纵梁 200、平台支架310之间构成四连杆结构，通过操作摆动手轮600带动摆动丝杆 610前后移动，从而带动MASK安装平台倾斜摆动。MASK转运台车从LOADER3 上取下MASK1，并放入包装盒2中的过程与上面的过程相反。

本实用新型进一步改进，所述的第一丝杆510、第二丝杆520、第三丝杆710、第四丝杆720均为梯形丝杆，梯形丝杆有自锁功能，防止移动时MASK1下坠，防止MASK转运台车移动及平台300摆动时MASK1掉下来。

本实用新型进一步改进，平台300的顶部设置有多组辅助靠垫5，可兼容不同高度的MASK1，平台300上设置有水平及垂直标尺6，可调整对齐MASK1的位置。

本实用新型进一步改进，还包括靠垫左右调整机构，靠垫左右调整机构包括滑轨800、靠垫调整滑块810，滑轨800固定设置在平台支架310上，靠垫调整滑块810设置在滑轨800上，定位靠垫4与靠垫调整滑块810固定连接，可兼容不同宽度的MASK1及LOADER3。

本实用新型进一步改进，第一纵架110上设置有升降导轨111，升降导轨 111上设置有升降滑块112，升降导轨111的两端设置有限位块113，纵梁200 与升降滑块112相连接，以对平台300及MASK1的升降运动导向、限位，提高升降运动稳定性。

本实用新型进一步改进，平台支架310上设置有夹紧导轨311，夹紧导轨 311的两端设置有限位块，夹紧导轨311上设置有夹紧滑块312，夹爪座750与夹紧滑块312相连接，以对夹爪760上下运动导向、定位，提高夹紧机构稳定性。

本实用新型进一步改进，所述的夹爪座750为轴对称结构，第二丝杆螺母 (图中未示出)设置在夹爪座750的对称轴上，设置在夹爪座750上的夹爪760 为偶数个，设置在夹爪座750上的夹爪760以第二丝杆螺母(图中未示出)为中心轴对称排布；这样就使得多个夹爪760随夹爪座750同步运动，提高夹紧稳定性。

本实用新型进一步改进，还包括报警装置，报警装置包括状态指示灯及蜂鸣器7，状态指示灯及蜂鸣器7设置在第一纵架110上，在MASK转运台车移动时提供报警功能。

一种大尺寸MASK1转运系统，包括台车导向定位机构和MASK转运台车，台车导向定位机构包括整体式导轨900、定位销组，定位销组包括定位销910、定位销安装块920，整体式导轨900固定设置在MASK1包装盒2定位支架或 LOADER3旁的基础上，定位销安装块920设置在整体式导轨900的内侧，定位销910设置在可移动底架100的底部，可移动底架100的四角分别设置有减震脚轮101，减震脚轮101可在整体式导轨900内移动。

本实用新型进一步改进，在整体式导轨900的入口端和出口端分别设置有导向凹槽930，以方便MASK转运台车进入和脱离整体式导轨900。

MASK转运台车移动时，将减震脚轮101推入导轨凹槽实现导向，到达与 LOADER3的交接位置后，将移动底架底部的定位销910插入地板上的定位销安装块920，实现台车与包装盒2定位支架跟LOADER3的水平XY方向的定位。

与现有技术相比，本实用新型所提出的一种大尺寸MASK转运台车，实现了如下功能：

1、实现了MASK1的位置调整与固定功能：包括上下升降、前后摆动，垂直夹紧；

2、MASK安装平台可兼容安装各种不同规格的大尺寸MASK1：安装平台300 以底部定位靠垫4定位，上侧夹爪760夹紧，通过调整底侧定位靠垫4的左右位置，及上侧夹爪760的夹紧行程，可兼容安装8-11代各种不同规格的大尺寸 MASK1；

3、MASK转运台车底部有4个减震脚万向脚轮，整体可移动，方便在车间移动转运MASK1；脚轮可选择为万向与定向模式模式，移动时选择万向模式， MASK1上下版交接时，可锁定插销为定向模式，便于定位；

4、MASK转运台车底部有1组定位销910，与整体式导轨900配套使用，整体式导轨900凹槽与减震脚轮101宽度配套；MASK1上下版交接时，减震脚轮101锁定方向为定向模式后，沿导轨凹槽移动，通过定位销910可在导轨上定位并固定；

5、MASK转运台车升降机构采用锥齿轮+梯形丝杆+导轨结构，通过操作手轮调整高度，梯形丝杆可自锁，防止交接过程中MASK1下坠；

6、MASK转运台车倾斜摆动机构采用梯形丝杆+四连杆铰链结构，通过操作手轮调整倾斜角度，梯形丝杆可自锁，防止交接过程中MASK1下坠；

7、MASK转运台车的MASK安装平台上有水平及垂直标尺6，放置各种不同规格的MASK1时均可定位对齐；

8、MASK安装平台采用非金属材料，如安装平台300的固定靠垫、夹紧垫及脚轮，均为防静电材质，防止产生静电对MASK1有影响；

9、MASK转运台车上安装有状态指示灯及蜂鸣器7，在MASK1上下版及转运时，提醒周围人员避让，防止碰撞。

本实用新型所提出的一种大尺寸MASK1转运系统及系统，减轻了工人操作的劳动强度，提升了大尺寸MASK1在各工序中的转运效率，降低了大尺寸MASK1 运输过程中的意外碰撞损伤的风险。

以上所述仅是本实用新型的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种大尺寸MASK转运台车，包括车体、支撑框架、MASK安装平台、定位靠垫、升降机构、摆动机构、夹紧机构，其特征在于：车体包括可移动底架、第一纵架、第二纵架，第一纵架、第二纵架为纵向支架，分别固定设置在可移动底架上，支撑框架包括纵梁和横梁，纵梁与横梁之间固定连接，MASK安装平台包括平台、平台支架，平台固定设置在平台支架外侧，平台支架内侧的两端分别与横梁的两端铰接，定位靠垫设置平台支架上、位于平台下方，升降机构包括升降手轮、第一丝杆、第二丝杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮，第一锥齿轮固定设置在第一丝杆上，第二锥齿轮固定设置在第二丝杆上，第一丝杆的一端与设置在第二纵架上的轴承相连接，第一丝杆的另一端穿过设置在第一纵架上的轴承、与升降手轮相连接，第二丝杆上设置有第一丝杆螺母，第二丝杆的两端分别与设置在第二纵架上的轴承相连接，第一锥齿轮、第二锥齿轮之间相啮合，第一丝杆螺母与纵梁固定连接；摆动机构包括摆动手轮、摆动丝杆，摆动丝杆的一端与设置在平台支架内侧的铰支座相连接，摆动丝杆的另一端穿过设置在纵梁上的铰支座、与摆动手轮相连接；夹紧机构包括夹紧手轮、第三丝杆、第四丝杆、第三锥齿轮、第四锥齿轮、夹爪座、夹爪，第三丝杆的两端分别穿过设置在平台内侧的支座、分别与第三锥齿轮、夹紧手轮相连接，第四丝杆的一端与设置在平台内侧的轴承相连接，第四丝杆的另一端穿过设置在平台内侧的另一轴承后与第四锥齿轮相连接，第四丝杆上设置有第二丝杆螺母，第三锥齿轮、第四锥齿轮之间相啮合，夹爪固定设置在夹爪座上，夹爪座与第二丝杆螺母固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸MASK转运台车，其特征在于：所述的第一丝杆、第二丝杆、第三丝杆、第四丝杆均为梯形丝杆。

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸MASK转运台车，其特征在于：平台的顶部设置有多组辅助靠垫，平台上设置有水平及垂直标尺。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸MASK转运台车，其特征在于：还包括靠垫左右调整机构，靠垫左右调整机构包括滑轨、靠垫调整滑块，滑轨固定设置在平台支架上，靠垫调整滑块设置在滑轨上，定位靠垫与靠垫调整滑块固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种大尺寸MASK转运台车，其特征在于：第一纵架上设置有升降导轨，升降导轨上设置有升降滑块，升降导轨的两端设置有限位块，纵梁与升降滑块相连接。

6.根据权利要求1所述的一种大尺寸MASK转运台车，其特征在于：平台支架上设置有夹紧导轨，夹紧导轨的两端设置有限位块，夹紧导轨上设置有夹紧滑块，夹爪座与夹紧滑块相连接。

7.根据权利要求1所述的一种大尺寸MASK转运台车，其特征在于：所述的夹爪座为轴对称结构，第二丝杆螺母设置在夹爪座的对称轴上，设置在夹爪座上的夹爪为偶数个，设置在夹爪座上的夹爪以第二丝杆螺母为中心轴对称排布。

8.根据权利要求1所述的一种大尺寸MASK转运台车，其特征在于：还包括报警装置，报警装置包括状态指示灯及蜂鸣器，状态指示灯及蜂鸣器设置在第一纵架上。

9.一种大尺寸MASK转运系统，其特征在于：包括如权利要求1-8中任一项所述的MASK转运台车和台车导向定位机构，台车导向定位机构包括整体式导轨、定位销组，定位销组包括定位销、定位销安装块，整体式导轨固定设置在MASK包装盒定位支架或LOADER旁的基础上，定位销安装块设置在整体式导轨的内侧，定位销设置在可移动底架的底部，可移动底架的四角分别设置有减震脚轮，减震脚轮可在整体式导轨内移动。

10.根据权利要求9所述的一种大尺寸MASK转运系统，其特征在于：在整体式导轨的入口端和出口端分别设置有导向凹槽。

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