CN216770384U - 平板探测器窄边测量治具 - Google Patents
平板探测器窄边测量治具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216770384U CN216770384U CN202123082559.8U CN202123082559U CN216770384U CN 216770384 U CN216770384 U CN 216770384U CN 202123082559 U CN202123082559 U CN 202123082559U CN 216770384 U CN216770384 U CN 216770384U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- flat panel
- panel detector
- measuring
- edge
- narrow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种平板探测器窄边测量治具,包括用于放置待测试的平板探测器的固定装置、测量装置和精度对位装置,固定装置包括水平部和与水平部的边缘垂直相连接的垂直部,测量装置和精度对位装置上设置有相互对应的刻度条,刻度条自所述测量装置和精度对位装置的边缘沿垂直各自边缘线的方向向内延伸,刻度条由多个间隔设置的非透光区域构成,测量装置和精度对位装置除非透光区域外的其他区域为透光区域。本实用新型提供的平板探测器窄边测量治具具有结构简单,可在不使用任何工具的情况下,徒手拆装;内部结构设计简单,成本低,容易维护;稳定性高,不容易损坏;测量方法简单,准确度和精度高;操作简单;测量结果可识别性强等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及平板探测器技术领域,特别是涉及一种平板探测器窄边测量治具。
背景技术
目前市场上存在的探测器,有部分应用到排爆现场,对探测器的窄边(备注:窄边是指探测器结构件外框到探测器有源区边缘的最大距离)要求越来越高。但随着探测器窄边的应用推广,在生产过程中也会面临一个问题,就是在安装探测器的TFT(Thin FilmTransistor,薄膜晶体管)模组后,无法准确地测量出窄边是否满足设计要求。目前产线对于有窄边需求的探测器,在安装TFT模组时,基本上采用的都是利用划线的方式去安装,即直接通过结构件上的刻度线进行TFT模组的窄边对位,安装完毕后,探测器内部被外壳所覆盖,无法看清内部窄边情况,因而后续一般不做窄边大小的测试,存在制程不可控的难题,可能导致部分机器窄边距离不达标的风险。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本实用新型的目的在于提供一种平板探测器窄边测量治具,用于解决现有技术中的窄边测试方式直接通过结构件上的刻度线进行TFT模组的窄边对位,安装好后,后续一般不做窄边大小的测试,存在着窄边不达标,后续生产中无法很好管控等问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本实用新型提供一种平板探测器窄边测量治具,包括用于放置待测试的平板探测器的固定装置、测量装置和精度对位装置,所述固定装置包括水平部和与水平部的边缘垂直相连接的垂直部,所述测量装置和精度对位装置上设置有相互对应的刻度条,所述刻度条自所述测量装置和精度对位装置的边缘沿垂直各自边缘线的方向向内延伸,所述刻度条由多个间隔设置的非透光区域构成。
可选地,所述刻度条为多个,多个刻度条平行间隔分布,各刻度条的各非透光区域均匀间隔分布。
可选地,所述非透光区域的形状包括线型、矩形和圆形中的若干种。
可选地,所述刻度条由第一线型非透光区域和第二线型非透光区域交替间隔设置而成,所述第一线型非透光区域和第二线型非透光区域具有不同的长度。
可选地,各刻度条的非透光区域包括钨粉填充区和铅粉填充区的一种。
可选地,所述测量装置和精度对位装置均为透明亚克力板。
可选地,所述测量装置和精度对位装置上各自设置有对应的定位标记。
可选地,所述测量装置和精度对位装置的高度均为10mm-40mm,且两者的高度之和小于等于50mm。
可选地,所述精度对位装置上设置有突出于所述测量装置表面的凸块。
可选地,所述平板探测器窄边测量治具还包括用于调节所述测量装置和所述固定装置的高度差的高度调节板,所述高度调节板与所述测量装置的边缘可拆卸连接。
如上所述,本实用新型的平板探测器窄边测量治具,具有以下有益效果:本实用新型提供的平板探测器窄边测量治具用于测量平板探测器窄边时,具有结构简单,可在不使用任何工具的情况下,徒手拆装;内部结构设计简单,成本低,容易维护;稳定性高,不容易损坏;测量方法简单,准确度和精度高;操作简单;测量结果可识别性强等优点。
附图说明
图1显示为本实用新型提供的平板探测器窄边测量治具的例示性结构示意图。
图2显示为本实用新型提供的平板探测器窄边测量治具的测量装置、精度对位装置及高度调节板的结构示意图。
图3显示为图2在测量平板探测器窄边时的示意图。
图4显示为图2的俯视结构示意图。
图5显示为本实用新型提供的平板探测器窄边测量治具在测量平板探测器窄边时拍摄到的例示性影像图。
元件标号说明
11 固定装置
111 水平部
112 垂直部
12 测量装置
13 精度对位装置
131 凸块
14 刻度条
141 非透光区域
15 高度调节板
16 平板探测器
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用,本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用,在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。如在详述本实用新型实施例时,为便于说明,表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大,而且所述示意图只是示例,其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外,在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
为了方便描述,此处可能使用诸如“之下”、“下方”、“低于”、“下面”、“上方”、“上”等的空间关系词语来描述附图中所示的一个元件或特征与其他元件或特征的关系。将理解到,这些空间关系词语意图包含使用中或操作中的器件的、除了附图中描绘的方向之外的其他方向。此外,当一层被称为在两层“之间”时,它可以是所述两层之间仅有的层,或者也可以存在一个或多个介于其间的层。
在本申请的上下文中,所描述的第一特征在第二特征“之上”的结构可以包括第一和第二特征形成为直接接触的实施例,也可以包括另外的特征形成在第一和第二特征之间的实施例,这样第一和第二特征可能不是直接接触。
需要说明的是,本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想,遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制,其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变,且其组件布局型态也可能更为复杂。为使图示尽量简洁,各附图中并未对所有的结构全部标示。
请参阅图1至图5。
如图1-4所示,本实用新型提供一种平板探测器窄边测量治具,所述平板探测器窄边测量治具包括用于放置待测试的平板探测器16的固定装置11、测量装置12和精度对位装置13,所述测量装置12用于测量所述平板探测器窄边测量治具的窄边尺寸(即平板探测器16的有源区距离边框的实际距离),所述精度对位装置13与所述测量装置12配合使用,使用过程中精度对位装置13通常放置于测量装置12上方,通过精度对位装置13和测量装置12的相互配合,使得入射光线能够垂直入射到平板探测器16上;所述固定装置11包括水平部111和与水平部111的边缘垂直相连接的垂直部112,且垂直部112和水平部111较佳地为一体结构,使得所述固定装置11呈现为L型;所述测量装置12和精度对位装置13上设置有相互对应的刻度条14,即测量装置12和精度对位装置13上的刻度条14的设置,包括形状、间隔等完全一致;所述刻度条14自所述测量装置12和精度对位装置13的边缘沿垂直各自边缘线的方向向内(即远离边缘的方向)延伸,所述刻度条14由多个间隔设置的非透光区域141构成,而所述测量装置12和精度对位装置13除所述非透光区域141外的其他区域通常为透光区域,所述非透光区域141例如为非X射线透射区,即X射线不能通过该非透光区域141入射到平板探测器16表面,但是X射线可以透过透光区域入射到平板探测器16上,若对应非透光区域141的下方正对应平板探测器16的有源区,则将在有源区对应形成非透光区域141的图像,如果对应非透光区域141的下方为非有源区,则无法成像,基于这个原理,可以通过刻度条14的图像测量窄边距离。
具体地,本实用新型提供的平板探测器窄边测量治具在用于测量平板探测器的窄边时的例示性过程如下:
1.首先将该测量治具的固定装置11放置于一平面上,例如放置于铅箱的支撑平台上,保证其水平放置,然后将需要测量窄边的平板探测器16的底部平面放置在该固定装置11上,平板探测器16的窄边边缘紧靠固定装置11的垂直部112,保证平板探测器16窄边和固定装置11的平面部相互垂直;
2.将测量治具的测量装置12轻轻放置在平板探测器16上,将测量装置12的侧边和固定装置11的垂直部112的侧边对齐,保证两者的侧边完全重合;
3.放置好测量装置12后,再将精度对位装置13安装到测量装置12上,对两者进行对位;此过程中需要注意的是,测量装置12的刻度条14需要紧贴平板探测器16的表面,精度对位装置13的刻度条14需要朝上;
4.打开X射线发生装置,X射线发生装置发出的X射线入射到测量治具上,由于治具上的刻度条14上存在非透光区域141,这些非透光区域141对X射线进行了遮挡,会在平板探测器16上形成图像(若非透光区域141对应的下方不是平板探测器16的有源区,则无法在平板探测器16上成像),得到类似图5所示的图像;成像时可以通过观察图像中的刻度条14是否完全重合来判断测量装置12和精度对位装置13对位是否准确,另外通过图像中看到的刻度条14的非透光区域141的多少来判断窄边距离大小。因为非透光区域141的尺寸和相邻非透光区域141的间距是已知的,例如均为0.5mm,因而通过图像上显示的非透光区域141数量与实际的刻度条14的非透光区域141的数量的差异就可以得到平板探测器16窄边的间距。如果使用的非透光区域141为圆形区域,则可以通过小圆圈的多少来进行判断,例如一个小圆圈直径大小为2mm,观察图像中还剩多少个圆圈,然后通过单个刻度条14上的总圆圈数减去剩余圆圈数,由此得到窄边的大小。
本实用新型提供的平板探测器窄边测量治具可以有效解决现有技术中存在的平板探测器窄边测量困难,测量不准确,以及无法确保平板探测器的TFT模组装配位置等问题。相较于现有技术,本实用新型提供的平板探测器窄边测量治具具有如下优点:结构简单,可在不使用任何工具的情况下,徒手拆装;内部结构设计简单,成本低,容易维护;稳定性高,不容易损坏;测量方法简单,准确度和精度高;操作简单;测量结果可识别性强。
作为示例,所述刻度条14可以为单个,但在较佳的示例中,所述刻度条14为两个以上,多个刻度条14平行间隔分布;单个刻度条14的非透光区域141的形状可以不同,但较佳地为相同,例如都为线型,或都为圆形,或都为矩形;不同的刻度条14的非透光区域141的形状可以相同或不同,例如如图4所所示,相邻设置的3个刻度条14中,各自的非透光区域141的形状分别为圆形、线型和矩形,当然还可以采用其他图形组合,对此不做严格限制。通过设置多个刻度条14,可以对平板探测器16的不同位置进行测量,测量结果可以相互验证,可以提高测量准确度。
通常,只要事先知晓同一刻度条14上的非透光区域141的尺寸和相邻非透光区域141的间距可以实现窄边测量,而不管各非透光区域141的尺寸和相邻非透光区域141的间距是否一致。但在较佳的示例中,各刻度条14的各非透光区域141均匀间隔分布,因而可以更快速地得到测量结果。
当单一刻度条14的多个非透光区域141均为线型状时,各非透光区域141的长度可以相同或不同。比如本实施例中,所述刻度条14由第一线型非透光区域141和第二线型非透光区域141交替间隔设置而成,所述第一线型非透光区域141和第二线型非透光区域141具有不同的长度,这有助于进一步提高测量速度。同理,当同一刻度条14的非透光区域141均为圆形或矩形时,各圆形和矩形的尺寸可以相同或不同(但较佳地为一致),本实施例中对此不做严格限制。
所述非透光区域141的结构根据测量时使用的光线类型而定。本实施例中,由于测量采用的是X射线,故而各刻度条14的非透光区域141均需要能够阻挡X射线的通过,因而需采用重金属材料作为阻挡层。在一示例中,所述非透光区域141包括但不限于钨粉填充区和铅粉填充区的一种,例如对应非透光区域141形成有沟槽,沟槽内部采用钨粉和/或铅粉填充,然后利用UV胶水进行固化,方便在平板探测器16上进行显影。
在一较佳示例中,所述测量装置12和精度对位装置13均为但不仅限于透明亚克力板,而前述的非透光区域141嵌设于透明亚克力板内。使用透明亚克力板方便对刻度条14进行观察和精准对位。
为提高对位精度,作为示例,所述测量装置12和精度对位装置13上各自设置有对应的定位标记,例如其中一个上设置有对位孔,相应地另一个设置有对位柱,测量过程中,对位柱位于对位孔内,对位孔内留有供对位柱微调的裕度。
所述测量装置12和精度对位装置13的高度,或者说厚度需精心设置,太小或太大均难以起到较好的测量作用。在较佳的示例中,所述测量装置12和精度对位装置13的高度均为10mm-40mm,且两者的高度之和小于等于50mm。
在一示例中,如图4所示,所述精度对位装置13上设置有突出于所述测量装置12表面的凸块131,所述凸块131可以为两个,位于与刻度条14所在表面相邻的两个表面上。设置所述凸块,有助于在对位过程中更方便地移动所述精度对位装置13。
在一示例中,所述平板探测器窄边测量治具还包括用于调节所述测量装置12和所述固定装置11的高度差的高度调节板15,所述高度调节板15与所述测量装置12的边缘可拆卸连接,例如所述测量装置12设置有多个位于不同高度上的螺丝孔,通过改变螺丝固定位置,从而调节测量装置12底部距离固定装置11的距离,由此可以实现对不同厚度的平板探测器16的窄边测量。
综上所述,本实用新型提供一种平板探测器窄边测量治具,包括用于放置待测试的平板探测器的固定装置、测量装置和精度对位装置,所述固定装置包括水平部和与水平部的边缘垂直相连接的垂直部,所述测量装置和精度对位装置上设置有相互对应的刻度条,所述刻度条自所述测量装置和精度对位装置的边缘沿垂直各自边缘线的方向向内延伸,所述刻度条由多个间隔设置的非透光区域构成,所述测量装置和精度对位装置除所述非透光区域外的其他区域为透光区域。本实用新型提供的平板探测器窄边测量治具具有结构简单,可在不使用任何工具的情况下,徒手拆装;内部结构设计简单,成本低,容易维护;稳定性高,不容易损坏;测量方法简单,准确度和精度高;操作简单;测量结果可识别性强等优点。所以,本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效,而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
Claims (10)
1.一种平板探测器窄边测量治具,其特征在于,包括用于放置待测试的平板探测器的固定装置、测量装置和精度对位装置,所述固定装置包括水平部和与水平部的边缘垂直相连接的垂直部,所述测量装置和精度对位装置上设置有相互对应的刻度条,所述刻度条自所述测量装置和精度对位装置的边缘沿垂直各自边缘线的方向向内延伸,所述刻度条由多个间隔设置的非透光区域构成。
2.根据权利要求1所述的平板探测器窄边测量治具,其特征在于,所述刻度条为多个,多个刻度条平行间隔分布,各刻度条的各非透光区域均匀间隔分布。
3.根据权利要求1所述的平板探测器窄边测量治具,其特征在于,所述非透光区域的形状包括线型、矩形和圆形中的若干种。
4.根据权利要求3所述的平板探测器窄边测量治具,其特征在于,所述刻度条由第一线型非透光区域和第二线型非透光区域交替间隔设置而成,所述第一线型非透光区域和第二线型非透光区域具有不同的长度。
5.根据权利要求1所述的平板探测器窄边测量治具,其特征在于,各刻度条的非透光区域包括钨粉填充区和铅粉填充区的一种。
6.根据权利要求1所述的平板探测器窄边测量治具,其特征在于,所述测量装置和精度对位装置均为透明亚克力板。
7.根据权利要求1所述的平板探测器窄边测量治具,其特征在于,所述测量装置和精度对位装置上各自设置有对应的定位标记。
8.根据权利要求1所述的平板探测器窄边测量治具,其特征在于,所述测量装置和精度对位装置的高度均为10mm-40mm,且两者的高度之和小于等于50mm。
9.根据权利要求1所述的平板探测器窄边测量治具,其特征在于,所述精度对位装置上设置有突出于所述测量装置表面的凸块。
10.根据权利要求1-9任一项所述的平板探测器窄边测量治具,其特征在于,所述平板探测器窄边测量治具还包括用于调节所述测量装置和所述固定装置的高度差的高度调节板,所述高度调节板与所述测量装置的边缘可拆卸连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202123082559.8U CN216770384U (zh) | 2021-12-09 | 2021-12-09 | 平板探测器窄边测量治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202123082559.8U CN216770384U (zh) | 2021-12-09 | 2021-12-09 | 平板探测器窄边测量治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN216770384U true CN216770384U (zh) | 2022-06-17 |
Family
ID=81965283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202123082559.8U Active CN216770384U (zh) | 2021-12-09 | 2021-12-09 | 平板探测器窄边测量治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN216770384U (zh) |
-
2021
- 2021-12-09 CN CN202123082559.8U patent/CN216770384U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103885002B (zh) | 磁传感器阵列测量中的平行度误差补偿方法和系统 | |
CN101334267A (zh) | 数字影像测头矢量坐标变换标定与误差修正方法及其装置 | |
KR102337802B1 (ko) | 평면도 측정 방법 및 핀 높이 조정 방법 | |
CN106773525B (zh) | 掩模板、对位方法、显示面板、显示装置及其对盒方法 | |
TW201403733A (zh) | 用於調整聯結於一晶圓處理機器人之一進給手臂之校直及位置之系統以及用於調整聯結於一晶圓處理機器人之一進給手臂之校直及位置之方法 | |
CN109916342A (zh) | 一种定位平台直线度测量系统及方法 | |
CN106154741A (zh) | 掩模板、散焦量的测试方法及其测试系统 | |
CN101514890B (zh) | 一种基于光学剪切的二维光学应变花测量方法 | |
CN108845480A (zh) | 一种内层对位精度测量方法 | |
CN101542231A (zh) | 测量玻璃板中畸变的量规 | |
CN107390254B (zh) | 一种距离可调式校准装置的高精度定位装置及方法 | |
CN216770384U (zh) | 平板探测器窄边测量治具 | |
TW201711076A (zh) | 試料保持具及試料保持具群 | |
CN105702662A (zh) | 套准标记及其形成方法 | |
CN101922910A (zh) | 一种利用云纹对扫描电镜的扫描线间距进行标定的方法 | |
KR101633139B1 (ko) | 전자 부품의 접촉 요소의 각각의 위치를 측정하는 방법 및 수단 | |
CN211404455U (zh) | 一种套刻精度测量装置 | |
JP6730857B2 (ja) | 段差高さゲージ、基準面測定方法、及び基準面測定装置 | |
CN103197504B (zh) | 气浮块等高测试装置 | |
CN208061260U (zh) | 一种用于立体视觉测量的线阵相机标定装置 | |
CN101542230A (zh) | 畸变测量成像的方法和装置 | |
CN109656105A (zh) | 一种大行程超精密二维运动平台位置精度补偿的方法 | |
WO2020110636A1 (ja) | ガラス板測定装置およびガラス板の製造方法 | |
CN2935081Y (zh) | 双镜头三角定位深度测量仪 | |
KR102584826B1 (ko) | 리니어 스케일의 검출값의 보정 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |