CN216762562U - 一种wafer专用托盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了半导体载具领域内的一种wafer专用托盘，包括水平设置的矩形底座板，底座板的四周均设置有侧挡板，四块侧挡板围成矩形运输区，侧挡板与底座板相垂直，左右相对的两块侧挡板之间设置有若干根可前后移动的横挡杆，横挡杆上设置有定位组件，前后相对的两块侧挡板之间设置有若干根可左右移动的纵挡杆，纵挡杆上也设置有定位组件，所述运输区经各横挡杆、纵挡杆分隔为若干可调单元区，所述底座板的下侧设置有若干支撑垫块。本实用新型起到防止wafer碰撞与滑落的作用，将wafer包装箱相互隔开互不影响，针对不同尺寸的wafer可以调节适应，通用性强，整体提升人员运输晶圆的效率。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体载具领域，特别涉及一种wafer专用托盘。
背景技术
现有技术中，有一种固定晶圆的托盘装置，其专利申请号：201520640020.5；申请日：2015-08-24；公开号：204809203U；公开日： 2015-11-25；其结构包括托盘、第一顶针、第二顶针和第三顶针，第一顶针的一端固定于托盘，另一端设置有弧形限位部，弧形限位部与晶圆的边缘面相适配，第二顶针的一端固定于托盘，第三顶针的一端固定于托盘，另一端设置有限位弹簧，第一顶针的弧形限位部、第二顶针的另一端和第三顶针的限位弹簧间隔分布在晶圆的边沿并且均抵靠晶圆，以固定晶圆，进而能够将晶圆固定牢固，使得量测时能够精确测量。该托盘可以用于量测时固定晶圆（wafer），wafer是一种产品，尺寸分8寸和12寸两种规格，但是不适用于运输wafer。
目前人员在运输转移仓库中储存的大量wafer时，采用的托盘四周无包边，内部无挡板无卡槽，其缺点在于：人员运送、拉动wafer时，容易造成产品之间的相互碰撞或产品滑落地面从而导致物品损坏，金钱的损失。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种wafer专用托盘，能够在运输wafer过程中起到防止wafer碰撞与滑落的作用，将wafer包装箱相互隔开互不影响，针对不同尺寸的wafer可以调节适应，通用性强，整体提升人员运输效率，降低破损导致的金额赔偿。
本实用新型的目的是这样实现的：一种wafer专用托盘，包括水平设置的矩形底座板，底座板的四周均设置有侧挡板，四块侧挡板围成矩形运输区，侧挡板与底座板相垂直，左右相对的两块侧挡板之间设置有若干根可前后移动的横挡杆，横挡杆上设置有定位组件，前后相对的两块侧挡板之间设置有若干根可左右移动的纵挡杆，纵挡杆上也设置有定位组件，所述运输区经各横挡杆、纵挡杆分隔为若干可调单元区，所述底座板的下侧设置有若干支撑垫块。
本实用新型的托盘为保障Wafer（一种产品，方形，尺寸分8寸和12寸两种规格，包装箱包装多片晶圆后的体积分别为25*25*25CM和38*38*38CM，用防静电铝箔袋真空包装，易碎品，价格昂贵）运输过程中起到防止碰撞与滑落的作用，托盘四周加上包边，防止wafer滑落；内部加上横挡杆、纵挡杆将晶圆包装箱隔开，防止wafer碰撞，有效避免产品的破损；挡杆可左右调节，改变放置区域的大小，针对8寸和12寸规格不同的晶圆产品均可摆放，整体提升人员运输作业效率，降低破损导致的金额赔偿。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：运输过程中防止wafer滑落；运输过程中防止wafer相互碰撞；可根据产品的体积大小自由调节放置区域；提升人员运输效率。
作为本实用新型的进一步改进，所述横挡杆和纵挡杆的截面均为矩形，横挡杆、纵挡杆的一端分别与相应侧挡板内侧的滑槽滑动连接，横挡杆、纵挡杆的另一端分别伸入相应侧挡板上的贯穿槽内并与贯穿槽相滑动连接。横挡杆可以前后移动调整位置，纵挡杆可以左右移动调整位置。
作为本实用新型的进一步改进，各所述横挡杆位于同一水平面内，各纵挡杆位于同一水平面内，所述横挡杆和纵挡杆在竖直高度方向错开设置。错开的横挡杆和纵挡杆可以避免两者移动调整时发生干涉。
作为本实用新型的进一步改进，所述纵挡杆上的定位组件为螺纹连接在相应纵挡杆另一端的压紧螺栓一，横挡杆上的定位组件为螺纹连接在相应横挡杆另一端的压紧螺栓二。拧紧压紧螺栓一、压紧螺栓二后，螺栓压靠着对应侧挡板，可以将横挡杆和纵挡杆的位置固定；松开压紧螺栓一、压紧螺栓二后，可以前后移动调整横挡杆的位置，纵挡杆可以左右移动调整位置。
作为本实用新型的进一步改进，所述横挡杆、纵挡杆、底座板、侧挡板和支撑垫块的材质均为高密度聚乙烯，横挡杆和纵挡杆均设置有三根。托盘的材质为抗冲击高密度聚乙烯HDPE，载重可达4000KG。
作为本实用新型的进一步改进，所述支撑垫块设置有九个，九个支撑垫块呈三排三列等间隔分布，相邻的两个支撑垫块的间距为30cm。托盘下方30cm宽度处液压车正好可以插入，将托盘抬起。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构图。
图2为侧挡板和纵挡杆的位置关系图。
其中，1底座板，2侧挡板，3横挡杆，4纵挡杆，5可调单元区，6支撑垫块，7滑槽，8贯穿槽，9压紧螺栓一，10压紧螺栓二。
具体实施方式
如图1和2所示，为一种wafer专用托盘，包括水平设置的矩形底座板1，底座板1的四周均设置有侧挡板2，四块侧挡板2围成矩形运输区，侧挡板2与底座板1相垂直，左右相对的两块侧挡板2之间设置有若干根可前后移动的横挡杆3，横挡杆3上设置有定位组件，前后相对的两块侧挡板2之间设置有若干根可左右移动的纵挡杆4，纵挡杆4上也设置有定位组件，所述运输区经各横挡杆3、纵挡杆4分隔为若干可调单元区5，底座板1的下侧设置有若干支撑垫块6。
为了便于滑动挡杆，横挡杆3和纵挡杆4的截面均为矩形，横挡杆3、纵挡杆4的一端分别与相应侧挡板2内侧的滑槽7滑动连接，横挡杆3、纵挡杆4的另一端分别伸入相应侧挡板2上的贯穿槽8内并与贯穿槽8相滑动连接。横挡杆3可以前后移动调整位置，纵挡杆4可以左右移动调整位置。
为了防止横挡杆3和纵挡杆4移动时干涉，各横挡杆3位于同一水平面内，各纵挡杆4位于同一水平面内，横挡杆3和纵挡杆4在竖直高度方向错开设置。错开的横挡杆3和纵挡杆4可以避免两者移动调整时发生干涉。
纵挡杆4上的定位组件为螺纹连接在相应纵挡杆4另一端的压紧螺栓一9，横挡杆3上的定位组件为螺纹连接在相应横挡杆3另一端的压紧螺栓二10。拧紧压紧螺栓一9、压紧螺栓二10后可以将横挡杆3和纵挡杆4的位置固定；松开压紧螺栓一9、压紧螺栓二10后，可以前后移动调整横挡杆3的位置，纵挡杆4可以左右移动调整位置。
为了增加托盘的负重，横挡杆3、纵挡杆4、底座板1、侧挡板2和支撑垫块6的材质均为高密度聚乙烯，横挡杆3和纵挡杆4均设置有三根。托盘的材质为抗冲击高密度聚乙烯HDPE，载重可达4000KG。
支撑垫块6设置有九个，九个支撑垫块6呈三排三列等间隔分布，相邻的两个支撑垫块6的间距为30cm。托盘下方30cm宽度处液压车正好可以插入，将托盘抬起。
本实用新型的托盘的长宽高尺寸分别为120*120*15cm，侧挡板2高度为2cm，横挡杆3、纵挡杆4的宽度均为1cm，8寸和12寸的Wafer包装盒的长度尺寸分别是25*25cm/38*38cm，可调节挡杆调节可调单元区5的面积范围为27*27cm~ 40*40cm，正好将面积不同大小的wafer放入卡住，内部隔档可以有效的防止wafer之间的相互碰撞。本托盘为保障Wafer（一种产品，方形，尺寸分8寸和12寸两种规格，包装箱包装多片晶圆后的体积分别为25*25*25CM和38*38*38CM，用防静电铝箔袋真空包装，易碎品，价格昂贵）运输过程中起到防止碰撞与滑落的作用，托盘四周加上包边，防止wafer滑落；内部加上横挡杆3、纵挡杆4将晶圆包装箱隔开，防止wafer碰撞，有效避免产品的破损；挡杆可左右调节，改变放置区域的大小，针对8寸和12寸规格不同的晶圆产品均可摆放，整体提升人员运输作业效率，降低破损导致的金额赔偿。本实用新型的优点在于：运输过程中防止wafer滑落；运输过程中防止wafer相互碰撞；可根据产品的体积大小自由调节放置区域；提升人员运输效率。
Claims (6)
1.一种wafer专用托盘，其特征在于，包括水平设置的矩形底座板，底座板的四周均设置有侧挡板，四块侧挡板围成矩形运输区，侧挡板与底座板相垂直，左右相对的两块侧挡板之间设置有若干根可前后移动的横挡杆，横挡杆上设置有定位组件，前后相对的两块侧挡板之间设置有若干根可左右移动的纵挡杆，纵挡杆上也设置有定位组件，所述运输区经各横挡杆、纵挡杆分隔为若干可调单元区，所述底座板的下侧设置有若干支撑垫块。
2.根据权利要求1所述的一种wafer专用托盘，其特征在于，所述横挡杆和纵挡杆的截面均为矩形，横挡杆、纵挡杆的一端分别与相应侧挡板内侧的滑槽滑动连接，横挡杆、纵挡杆的另一端分别伸入相应侧挡板上的贯穿槽内并与贯穿槽相滑动连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种wafer专用托盘，其特征在于，各所述横挡杆位于同一水平面内，各纵挡杆位于同一水平面内，所述横挡杆和纵挡杆在竖直高度方向错开设置。
4.根据权利要求2所述的一种wafer专用托盘，其特征在于，所述纵挡杆上的定位组件为螺纹连接在相应纵挡杆另一端的压紧螺栓一，横挡杆上的定位组件为螺纹连接在相应横挡杆另一端的压紧螺栓二。
5.根据权利要求1或2所述的一种wafer专用托盘，其特征在于，所述横挡杆、纵挡杆、底座板、侧挡板和支撑垫块的材质均为高密度聚乙烯，横挡杆和纵挡杆均设置有三根。
6.根据权利要求1或2所述的一种wafer专用托盘，其特征在于，所述支撑垫块设置有九个，九个支撑垫块呈三排三列等间隔分布，相邻的两个支撑垫块的间距为30cm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202220225543.3U CN216762562U (zh) | 2022-01-27 | 2022-01-27 | 一种wafer专用托盘 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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| CN202220225543.3U Active CN216762562U (zh) | 2022-01-27 | 2022-01-27 | 一种wafer专用托盘 |
Country Status (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115258357A (zh) * | 2022-08-18 | 2022-11-01 | 湖南越摩先进半导体有限公司 | 装载布局可调的托盘 |
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2022
- 2022-01-27 CN CN202220225543.3U patent/CN216762562U/zh active Active
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