CN216757430U - 一种半导体清洗用辅助设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体清洗用辅助设备，包括外罩，所述外罩内安装成对网筒，且两个网筒沿上下方向依次分布，所述外罩内安装转动调节机构，且转动调节机构用于调整成对网筒上下位置，所述网筒内安装有隔网，且隔网沿网筒筒腔长度方向呈横向阵列状分布，所述外罩内安装有伸缩调节机构。本实用新型通过在外罩内设置成对网筒，通过伸缩调节机构同时调整两个网筒内隔网伸缩，以使相邻隔网之间硅片处于运动状态，保证清洗的洁净度；通过转动调节机构调整成对网筒上下位置，以对清洗用网筒和晾干用网筒进行往复置换，可利用自动夹持机构自动将晾干用网筒内硅片之间取出，这样操作效率高，且拿取便捷，省时省力。

Description

一种半导体清洗用辅助设备

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体清洗用辅助设备。

背景技术

目前用于集成电路制造的硅抛光片大都采用拉晶、切片、倒角、腐蚀、抛光、清洗等工艺流程，抛光后的硅片表面附着大量颗粒，清洗为整个工艺的最后一步，因而清洗效果的好坏将直接反应到客户那，硅片清洗一般直接放置于清洗槽内清洗，清洗效果不佳，需要人为拿放硅片，这样操作效率低，且拿取不便捷，费事费力，鉴于此，我们提出一种半导体清洗用辅助设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体清洗用辅助设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体清洗用辅助设备，包括外罩，所述外罩内安装成对网筒，且两个网筒沿上下方向依次分布，所述外罩内安装转动调节机构，且转动调节机构用于调整成对网筒上下位置，所述网筒内安装有隔网，且隔网沿网筒筒腔长度方向呈横向阵列状分布，所述外罩内安装有伸缩调节机构，且伸缩调节机构用于同时控制两个网筒内隔网伸缩移动，所述外罩底罩口内固定安装底网，且外罩顶罩口口壁铰接有罩盖，所述罩盖内安装有自动夹持机构，且自动夹持机构用于对相应网筒内晶片夹取。

优选的，所述外罩外固定安装有密封罩，且电机和第一电动缸均置于密封罩内。

优选的，所述伸缩调节机构包括第一电动缸、伸缩架和安装座，所述外罩内设伸缩架，且伸缩架通过第一电动缸驱动，所述伸缩架为U字形，所述伸缩架两侧端分别延伸至两个网筒内，且两个延伸端上分别固定安装有安装座，所述安装座上固定安装有第一贯穿轴，且第一贯穿轴贯穿相应隔网，所述隔网上远离第一贯穿轴的一端贯穿有第二贯穿轴，且第二贯穿轴固定于网筒内壁上。

优选的，所述自动夹持机构包括第二电动缸、升降座、挤压块、安装板、铰接轴、第一夹片和第二夹片，所述罩盖上安装成对第二电动缸，且两个第二电动缸自由端固定安装同一升降座，所述升降座上固定安装有挤压块，且挤压块沿升降座长度方向呈纵向阵列状分布，所述罩盖内固定安装有安装板，且安装板上固定有铰接轴，所述铰接轴和挤压块对应的纵向阵列状分布，所述铰接轴上转动安装有第一夹片和第二夹片，且位于同一铰接轴上第一夹片夹头端和第二夹片夹头端平行设置，所述挤压块上设导槽，且导槽由外端至里端呈逐步收缩状设置，同一所述铰接轴上第一夹片按压端和第二夹片按压端置于相应导槽槽腔内。

优选的，所述外罩外固定安装有密封罩，且电机和第一电动缸均置于密封罩内。

优选的，所述外罩内固定安装有加热管，且加热管正对上侧网筒。

优选的，所述外罩两侧分别套有伸缩套座，所述外罩两侧分别设有滑槽，所述伸缩套座延伸至相应滑槽内，且可沿相应滑槽内槽壁滑动。

优选的，所述伸缩套座上转动安装有插轴，且插轴上固定套设轴套，所述伸缩座上螺纹安装有拧紧销，且插轴上设有和拧紧销适配的螺纹槽，所述轴套内插有伸缩轴，且伸缩轴通过固定销固定于轴套上，所述伸缩轴远离轴套一端安装万向轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过在外罩内设置成对网筒，通过伸缩调节机构同时调整两个网筒内隔网伸缩，以使相邻隔网之间硅片处于运动状态，保证清洗的洁净度；通过转动调节机构调整成对网筒上下位置，以对清洗用网筒和晾干用网筒进行往复置换，可利用自动夹持机构自动将晾干用网筒内硅片之间取出，这样操作效率高，且拿取便捷，省时省力。

附图说明

图1为本实用新型正面剖视结构示意图；

图2为本实用新型伸缩调节机构部分结构示意图；

图3为本实用新型外罩升降调节部分结构示意图；

图4为图1中A的放大结构示意图。

图中：1外罩、2底网、3转轴、4套板、5网筒、6密封罩、7电机、8第一电动缸、9伸缩架、10安装座、11第一贯穿轴、12隔网、13第二贯穿轴、14罩盖、15第二电动缸、16升降座、17挤压块、18安装板、19铰接轴、20第一夹片、21第二夹片、22防滑垫、23伸缩套座、24拧紧销、25插轴、26轴套、27伸缩轴、28固定销、29万向轮、30加热管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体清洗用辅助设备，包括外罩1，外罩1内安装成对网筒5，且两个网筒5沿上下方向依次分布，外罩1内安装转动调节机构，且转动调节机构用于调整成对网筒5上下位置，网筒5内安装有隔网12，且隔网12沿网筒5筒腔长度方向呈横向阵列状分布，外罩1内安装有伸缩调节机构，且伸缩调节机构用于同时控制两个网筒5内隔网12伸缩移动，外罩1底罩口内固定安装底网2，且外罩1顶罩口口壁铰接有罩盖14，罩盖14内安装有自动夹持机构，且自动夹持机构用于对相应网筒5内晶片夹取。

由上述可知，通过在外罩1内设置成对网筒5，通过伸缩调节机构同时调整两个网筒5内隔网12伸缩，以使相邻隔网12之间硅片处于运动状态，保证清洗的洁净度；通过转动调节机构调整成对网筒5上下位置，以对清洗用网筒5和晾干用网筒5进行往复置换，可利用自动夹持机构自动将晾干用网筒5内硅片之间取出，这样操作效率高，且拿取便捷，省时省力。

作为本实施例的优选方案，转动调节机构包括转轴3、套板4和电机7，外罩1两侧内罩壁转动安装有同一转轴3，且转轴3上固定套设有套板4，转轴3通过电机7驱动，套板4上下侧分别固定安装网筒5，通过启动电机7，可使转轴3转动调整套板4正反面置换，从而根据需要实现清洗用网筒5和晾干用网筒5进行置换。

作为本实施例的优选方案，伸缩调节机构包括第一电动缸8、伸缩架9和安装座10，外罩1内设伸缩架9，且伸缩架9通过第一电动缸8驱动，伸缩架9为U字形，伸缩架9两侧端分别延伸至两个网筒5内，且两个延伸端上分别固定安装有安装座10，安装座10上固定安装有第一贯穿轴11，且第一贯穿轴11贯穿相应隔网12，隔网12上远离第一贯穿轴11的一端贯穿有第二贯穿轴13，且第二贯穿轴13固定于网筒5内壁上，通过启动第一电动缸8，实现伸缩架9的伸缩，可同时带动两个安装座10伸缩，这样带动隔网12往复倾仰转动，硅片置于相邻两个隔网12之间，隔网12往复倾仰转动会带动硅片倾仰转动，清洗或晾干的硅片都处于运动状态，提高清洗效率和晾干效率。

作为本实施例的优选方案，自动夹持机构包括第二电动缸15、升降座16、挤压块17、安装板18、铰接轴19、第一夹片20和第二夹片21，罩盖14上安装成对第二电动缸15，且两个第二电动缸15自由端固定安装同一升降座16，升降座16上固定安装有挤压块17，且挤压块17沿升降座16长度方向呈纵向阵列状分布，罩盖14内固定安装有安装板18，且安装板18上固定有铰接轴19，铰接轴19和挤压块17对应的纵向阵列状分布，铰接轴19上转动安装有第一夹片20和第二夹片21，且位于同一铰接轴19上第一夹片20夹头端和第二夹片21夹头端平行设置，挤压块17上设导槽，且导槽由外端至里端呈逐步收缩状设置，同一铰接轴19上第一夹片20按压端和第二夹片21按压端置于相应导槽槽腔内，通过启动第二电动缸15，使升降座16下移，利用挤压块17下压相应的第一夹片20按压端和第二夹片21按压端，从而使位于同一铰接轴19上第一夹片20夹头端和第二夹片21夹头端相向夹紧，从而将对应相邻两个隔网12之间清洗后的硅片稳固夹紧，打开罩盖14可直接将成排硅片由外罩1移出。

作为本实施例的优选方案，外罩1外固定安装有密封罩6，且电机7和第一电动缸8均置于密封罩6内，通过设密封罩6对电机7和第一电动缸8进行防护，避免清洗液侵蚀电机7和第一电动缸8。

作为本实施例的优选方案，外罩1内固定安装有加热管30，且加热管30正对上侧网筒5，通过启动加热管30可对晾杆用网筒5内硅片进行加热晾干。

作为本实施例的优选方案，外罩1两侧分别套有伸缩套座23，外罩1两侧分别设有滑槽，伸缩套座23延伸至相应滑槽内，且可沿相应滑槽内槽壁滑动，可根据原有清洗池池长相依调整成对伸缩套座23相对于外罩1的伸缩位置，以可将伸缩套座23架于清洗池池口两端，限定本装置位置稳固于清洗池上。

作为本实施例的优选方案，伸缩套座23上转动安装有插轴25，且插轴25上固定套设轴套26，伸缩座23上螺纹安装有拧紧销24，且插轴25上设有和拧紧销24适配的螺纹槽，轴套26内插有伸缩轴27，且伸缩轴27通过固定销28固定于轴套26上，伸缩轴27远离轴套26一端安装万向轮29，可根据清洗池池深，调整外罩1相对于清洗的放置深浅位置，具体操作为沿着伸缩套座23调整轴套26转动弧度，且通过拧紧销24固定角度位置，且可调整伸缩轴27相对于轴套26的伸缩长度，通过固定销28固定，以达到调整外罩1相对于清洗的放置深浅位置的效果。

工作原理：通过在外罩1内设置成对网筒5，通过伸缩调节机构同时调整两个网筒5内隔网12伸缩，以使相邻隔网12之间硅片处于运动状态，保证清洗的洁净度；通过转动调节机构调整成对网筒5上下位置，以对清洗用网筒5和晾干用网筒5进行往复置换，可利用自动夹持机构自动将晾干用网筒5内硅片之间取出，这样操作效率高，且拿取便捷，省时省力。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种半导体清洗用辅助设备，其特征在于：包括外罩（1），所述外罩（1）内安装成对网筒（5），且两个网筒（5）沿上下方向依次分布，所述外罩（1）内安装转动调节机构，且转动调节机构用于调整成对网筒（5）上下位置，所述网筒（5）内安装有隔网（12），且隔网（12）沿网筒（5）筒腔长度方向呈横向阵列状分布，所述外罩（1）内安装有伸缩调节机构，且伸缩调节机构用于同时控制两个网筒（5）内隔网（12）伸缩移动，所述外罩（1）底罩口内固定安装底网（2），且外罩（1）顶罩口口壁铰接有罩盖（14），所述罩盖（14）内安装有自动夹持机构，且自动夹持机构用于对相应网筒（5）内晶片夹取。

2.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备，其特征在于：所述转动调节机构包括转轴（3）、套板（4）和电机（7），所述外罩（1）两侧内罩壁转动安装有同一转轴（3），且转轴（3）上固定套设有套板（4），所述转轴（3）通过电机（7）驱动，所述套板（4）上下侧分别固定安装网筒（5）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备，其特征在于：所述伸缩调节机构包括第一电动缸（8）、伸缩架（9）和安装座（10），所述外罩（1）内设伸缩架（9），且伸缩架（9）通过第一电动缸（8）驱动，所述伸缩架（9）为U字形，所述伸缩架（9）两侧端分别延伸至两个网筒（5）内，且两个延伸端上分别固定安装有安装座（10），所述安装座（10）上固定安装有第一贯穿轴（11），且第一贯穿轴（11）贯穿相应隔网（12），所述隔网（12）上远离第一贯穿轴（11）的一端贯穿有第二贯穿轴（13），且第二贯穿轴（13）固定于网筒（5）内壁上。

4.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备，其特征在于：所述自动夹持机构包括第二电动缸（15）、升降座（16）、挤压块（17）、安装板（18）、铰接轴（19）、第一夹片（20）和第二夹片（21），所述罩盖（14）上安装成对第二电动缸（15），且两个第二电动缸（15）自由端固定安装同一升降座（16），所述升降座（16）上固定安装有挤压块（17），且挤压块（17）沿升降座（16）长度方向呈纵向阵列状分布，所述罩盖（14）内固定安装有安装板（18），且安装板（18）上固定有铰接轴（19），所述铰接轴（19）和挤压块（17）对应的纵向阵列状分布，所述铰接轴（19）上转动安装有第一夹片（20）和第二夹片（21），且位于同一铰接轴（19）上第一夹片（20）夹头端和第二夹片（21）夹头端平行设置，所述挤压块（17）上设导槽，且导槽由外端至里端呈逐步收缩状设置，同一所述铰接轴（19）上第一夹片（20）按压端和第二夹片（21）按压端置于相应导槽槽腔内。

5.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备，其特征在于：所述外罩（1）外固定安装有密封罩（6），且电机（7）和第一电动缸（8）均置于密封罩（6）内。

6.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备，其特征在于：所述外罩（1）内固定安装有加热管（30），且加热管（30）正对上侧网筒（5）。

7.根据权利要求1所述的一种半导体清洗用辅助设备，其特征在于：所述外罩（1）两侧分别套有伸缩套座（23），所述外罩（1）两侧分别设有滑槽，所述伸缩套座（23）延伸至相应滑槽内，且可沿相应滑槽内槽壁滑动。

8.根据权利要求7所述的一种半导体清洗用辅助设备，其特征在于：所述伸缩套座（23）上转动安装有插轴（25），且插轴（25）上固定套设轴套（26），所述伸缩套座（23）上螺纹安装有拧紧销（24），且插轴（25）上设有和拧紧销（24）适配的螺纹槽，所述轴套（26）内插有伸缩轴（27），且伸缩轴（27）通过固定销（28）固定于轴套（26）上，所述伸缩轴（27）远离轴套（26）一端安装万向轮（29）。

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