CN216749829U - 晶圆分片装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及晶圆测试技术领域，公开了一种晶圆分片装置，包括机架，机架具有一台面；机箱，设于台面上，机箱内设有收容空间，且机箱上开设有至少两个与收容空间连通的开口；至少两个晶圆盒，均设于台面上且每个晶圆盒均包括可拆卸连接的盒体和盒盖，盒盖朝向对应的开口设置，盒体位于盒盖背离机箱的一侧；开盖机构，滑动连接于机架，用于拆装和移动盒盖；取放机构，位于收容空间内且用于将其中一个晶圆盒内的晶圆转移至另一晶圆盒内。上述晶圆分片装置可在密封环境内实现晶圆分片，避免二次污染；此外，分片过程自动化程度高，避免人工分片导致的破片风险，提高分片效率，确保产品质量。

Description

晶圆分片装置

技术领域

本申请涉及晶圆测试技术领域，尤其涉及一种晶圆分片装置。

背景技术

目前，晶圆产品前期做验证需要将晶圆出货到不同的封装厂，因此需要将一个晶圆盒内的晶圆进行分片操作。传统的分片方式有以下两种：第一种是利用探针台将晶圆移出晶圆盒，再放置一个新的晶圆盒，探针台把之前取出的晶圆放入新的晶圆盒，方法繁琐且耗时；第二种为人工手动将晶圆从一个晶圆盒移至另外一个晶圆盒，容易造成二次污染和破片等风险。上述两种方法操作风险大，分片效率低，无法保证产品质量。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供了一种晶圆分片装置，至少解决现有技术中晶圆产品分片步骤繁琐、效率低，且无法保证产品质量的问题。

本申请实施例提出一种晶圆分片装置，包括机架，所述机架具有一台面，所述晶圆分片装置还包括：

机箱，设于所述台面上，所述机箱内设有收容空间，且所述机箱上开设有至少两个与所述收容空间连通的开口；

至少两个晶圆盒，均设于所述台面上且每个所述晶圆盒均包括可拆卸连接的盒体和盒盖，所述盒盖朝向对应的所述开口设置，所述盒体位于所述盒盖背离所述机箱的一侧；

开盖机构，滑动连接于所述机架，用于拆装和移动所述盒盖；

取放机构，位于所述收容空间内且用于将其中一个所述晶圆盒内的晶圆转移至另一晶圆盒内。

在一实施例中，所述开盖机构包括升降件和开盖件，所述升降件沿第一方向滑动连接于所述机架，所述开盖件沿垂直于所述第一方向的第二方向滑动连接于所述升降件以接触所述盒盖并固定连接于所述盒盖。

在一实施例中，所述盒盖上设有锁定件，所述锁定件包括打开状态和关闭状态，当所述锁定件处于所述打开状态时，所述盒盖与所述盒体固定连接；当所述锁定件处于所述关闭状态时，所述盒盖可随所述开盖件远离所述盒体；

所述开盖机构还包括解锁件，所述解锁件的一端固定连接于所述开盖件，另一端可插设于所述锁定件并驱动所述锁定件在所述打开状态和所述关闭状态之间转换。

在一实施例中，所述机架内设有沿所述第一方向延伸的支撑柱，所述升降件沿所述第一方向滑动连接于所述支撑柱；所述开盖件可与所述盒盖相贴合，且所述开盖件上开设有与真空泵相连通的抽气孔。

在一实施例中，所述开盖机构还包括连接于所述升降件的感应器，所述感应器用于采集所述升降件与所述开盖件之间的位置信息并传递给外部控制中心，所述外部控制中心用于发出控制指令以驱动或关闭所述真空泵、或用于控制所述升降件的移动、或用于控制所述开盖件的移动。

在一实施例中，所述开盖机构还包括第一驱动件，所述第一驱动件包括驱动缸和沿所述第二方向延伸的限位件，所述驱动缸设于所述升降件背离所述开盖件的一侧，且所述驱动缸的驱动轴穿设于所述升降件并抵接于所述开盖件，以驱动所述开盖件沿所述第二方向运动，所述限位件的一端固定连接于所述开盖件，另一端滑动连接于所述升降件。

在一实施例中，所述开盖机构还包括设于所述支撑柱上的第二驱动件，所述第二驱动件连接所述升降件，用于带动所述升降件和所述开盖件沿所述第一方向在所述机架和所述收容空间内移动。

在一实施例中，所述机架内设有机器本体，所述机器本体沿所述第一方向穿设所述台面并延伸至所述收容空间；

所述取放机构包括相连接的调节件和至少一个手臂，所述调节件设于所述机器本体远离所述机架的端部并用于调节所述手臂的位置，所述手臂用于拿取晶圆。

在一实施例中，所述晶圆分片装置还包括铰接于所述机箱的晶圆盒罩，所述晶圆盒罩罩设于所述晶圆盒上并隔绝所述晶圆盒与外界的连通。

在一实施例中，所述晶圆分片装置还包括设于所述机箱上的观测机构，所述观测机构包括镜头，所述机箱上开设有与所述收容空间相连通的观察孔，所述镜头与所述观察孔对应设置并用于采集所述晶圆的表面图像。

上述晶圆分片装置包括机架、机箱、至少两个晶圆盒、开盖机构和取放机构，其中，机箱内设有收容空间且机箱上开设有与收容空间相连通的开口，由于晶圆盒包括可拆卸连接的盒盖和盒体，且盒盖朝向对应的开口设置，则开盖机构拆除并移动盒盖后，盒体与收容空间相连通，从而取放机构可直接通过开口抓取盒体内的晶圆，并根据所需将晶圆转移至另一晶圆盒，可在密封环境内实现晶圆分片，避免二次污染；此外，分片过程自动化程度高，避免人工分片导致的破片风险，提高分片效率，确保产品质量，有效解决了现有技术中晶圆产品分片步骤繁琐、效率低，且无法保证产品质量的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例提供的晶圆分片装置的立体示意图；

图2为图1所示晶圆分片装置的内部结构示意图；

图3为图1所示晶圆分片装置中晶圆盒的立体示意图；

图4为图3所示晶圆盒的立体分解示意图；

图5为图1所示晶圆分片装置中开盖机构的立体示意图；

图6为图5所示开盖机构的立体分解示意图；

图7为图1所示晶圆分片装置中第二驱动件的立体示意图；

图8为图7所示第二驱动件的立体分解示意图；

图9为图1所示晶圆分片装置中取放机构的立体示意图；

图10为图9所示取放机构的立体分解示意图；

图11为图9所示取放机构中手臂的立体示意图；

图12为图11所示手臂的立体分解示意图；

图13为图1所示晶圆分片装置中观测机构的立体示意图；

图14为图1所示晶圆分片装置中机箱的立体示意图。

图中标记的含义为：

100、晶圆分片装置；

10、机架；11、台面；12、支撑柱；13、机器本体；14、晶圆盒固定座；

20、机箱；21、收容空间；22、开口；23、观察孔；24、急停按钮；

30、晶圆盒；31、盒体；32、盒盖；33、晶圆；34、锁定件；35、晶圆固定器；36、密封圈；

40、开盖机构；41、升降件；411、轴套；42、开盖件；421、抽气孔；422、接头；43、解锁件；431、第一电机；432、解锁部；44、感应器；45、第一驱动件；451、驱动缸；452、限位件；46、第二驱动件；461、导轨；462、丝杆；463、第二电机；464、滑块；465、电机固定架；

50、取放机构；51、调节件；511、升降轴部；512、第二轴旋转部；513、第三轴旋转部；514、第四轴旋转部；52、手臂；521、连接端；522、取放端；523、盲孔；524、金属密封板；

60、晶圆盒罩；61、合页；

70、观测机构；71、镜头。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图即实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

为了说明本申请所述的技术方案，下面结合具体附图及实施例来进行说明。

本申请实施例提供一种晶圆分片装置，用于在密封环境下对晶圆盒内的晶圆进行分片操作。

请参照图1至图3，本申请的实施例提出一种晶圆分片装置100，包括机架10、机箱20、至少两个晶圆盒30、开盖机构40和取放机构50。

机架10具有一台面11，机箱20设于台面11上，机箱20内设有收容空间21，且机箱20上开设有至少两个与收容空间21连通的开口22，也就是说机箱20通过开口22实现与外界的连通。可以理解，当封堵开口22时，机箱20内的收容空间21与外界处于隔绝状态。

至少两个晶圆盒30均设于台面11上且每个晶圆盒30均包括可拆卸连接的盒体31和盒盖32，盒盖32朝向对应的开口22设置，即盒盖32位于开口22和盒体31之间，盒体31位于盒盖32背离机箱20的一侧。

开盖机构40滑动连接于机架10，用于拆装和移动盒盖32，以使机箱20内的收容空间21通过开口22和盒体31相连通。可以理解，开盖机构40拆除并移动盒盖32后，晶圆盒30与机箱20相连通。

取放机构50位于收容空间21内且用于将其中一个晶圆盒30内的晶圆33转移至另一晶圆盒30内。

在本实施例中，晶圆分片装置100包括两个呈中心对称分布的晶圆盒30，取放机构50位于收容空间21内，且位于两个晶圆盒30的中间位置，如此，取放机构50距离两个晶圆盒30的距离相等，方便取放晶圆33的准确性。

上述晶圆分片装置100包括机架10、机箱20、至少两个晶圆盒30、开盖机构40和取放机构50，其中，机箱20内设有收容空间21且机箱20上开设有与收容空间21相连通的开口22，由于晶圆盒30包括可拆卸连接的盒盖32和盒体31，且盒盖32朝向对应的开口22设置，则开盖机构40拆除并移动盒盖32后，盒体31与收容空间21相连通，从而取放机构50可直接通过开口22抓取盒体31内的晶圆33，并根据所需将晶圆33转移至另一晶圆盒30，可在密封环境内实现晶圆33分片，避免二次污染；此外，分片过程自动化程度高，避免人工分片导致的破片风险，提高分片效率，确保产品质量，有效解决了现有技术中晶圆产品分片步骤繁琐、效率低，且无法保证产品质量的问题。

其中，在对晶圆盒30内的晶圆33进行分片时，可先将晶圆盒30放置于目标位置，并使盒盖32和开口22正对，然后通过控制中心驱动开盖机构40和取放机构50进行分片操作。

请参照图1至图3、图5，在本申请的一个实施例中，开盖机构40包括升降件41和开盖件42，升降件41沿第一方向(图示X方向)滑动连接于机架10，开盖件42沿垂直于第一方向的第二方向(图示Y方向)滑动连接于升降件41以接触盒盖32并固定连接于盒盖32。如此，通过直线运动改变升降件41及开盖件42沿第一方向的移动距离和位置，以及开盖件42沿第二方向的移动距离和位置，可灵活地调节开盖件42的位置，从而可精准地移动开盖件42，且调节方式简单。

由于升降件41沿第一方向滑动连接于机架10，且开盖件42沿垂直于第一方向的第二方向滑动连接于升降件41，则当升降件41沿第一方向滑动时，开盖件42也随升降件41沿第一方向滑动；而开盖件42沿第二方向滑动时，可以理解，升降件41应处于静止状态。

其中，请再次参照图5，升降件41和开盖件42为相平行的升降板和开盖板，但不限于此。

可以理解，在本申请的其他实施例中，升降件41也可省略，开盖件42可在二维的水平面内实现位置的自由移动和调节，从而可将晶圆盒30的盒盖32在水平面内进行平移以露出盒体31及盒体31内的晶圆33，在此不作限制。

请参照图2至图5，在本申请的一个实施例中，盒盖32上设有锁定件34，锁定件34包括打开状态和关闭状态，当锁定件34处于打开状态时，晶圆盒30处于锁定状态，盒盖32与盒体31固定连接，盒盖32无法从盒体31上移除；当锁定件34处于关闭状态时，晶圆盒30处于打开状态，盒盖32和盒体31之间连接关系解除，盒盖32可随开盖件42远离盒体31。

对应地，开盖机构40还包括解锁件43，解锁件43的一端固定连接于开盖件42，另一端可插设于锁定件34并驱动锁定件34在打开状态和关闭状态之间转换。如此，可通过开盖机构40的解锁件43改变晶圆盒30的盒体31与盒盖32之间的连接关系，无需人工手动操作，实现晶圆盒30盒盖32取放的自动化，并避免二次污染。

在本实施例中，请参照图4至图6，锁定件34包括两个设于盒盖32上的固定旋钮，解锁件43包括两个第一电机431，每个第一电机431的电机轴的一端设有解锁部432，开盖件42上开设有通孔，解锁部432可穿设通孔并插入固定旋钮中，此时第一电机431抵接于开盖件42，电机轴旋转一定角度后使得晶圆盒30的盒盖32与盒体31的固定关系解除。其中，解锁部432与固定旋钮的形状相适配且卡持；相应地，通孔的形状及尺寸应满足可供解锁部432穿设并阻挡第一电机431。

可以理解，在本申请的其他实施例中，锁定件34和解锁件43的数量及结构也可为其他，例如，在另一实施例中，锁定件34可包括通过弹簧等弹性件滑动连接于盒盖32的锁定舌，盒体31上设有用于对锁定舌进行限位的锁定槽，解锁件43可通过按压或拉伸以改变弹簧等弹性件的压缩状态，从而带动锁定舌滑进或脱离锁定槽，锁定件34状态的改变可实现晶圆盒30的盒体31与盒盖32之间连接关系的改变，但不限于此。

其中，请参照图4，晶圆盒30的盒盖32上、及盒体31的相对两侧壁上均设有晶圆固定器35，晶圆固定器35包括多个平行的沟槽，尺寸统一并用于支撑晶圆33的边部，晶圆33可卡持于沟槽中。可以理解，多个晶圆固定器35的结构及安装高度应一致，以确保多个晶圆33之间的平行且间隔分布。特别的，本申请中的晶圆盒30用于放置12寸晶圆33，可以理解，晶圆33的尺寸和晶圆盒30的尺寸应相适配，避免晶圆33晃动或卡持过紧。

此外，在本实施例中，晶圆盒30还包括设于盒盖32和盒体31之间的密封圈36，用于保证晶圆盒30的密封性。

请参照图1至图3、图5及图6，在本申请的一个实施例中，机架10内设有沿第一方向延伸的支撑柱12，升降件41沿第一方向滑动连接于支撑柱12；开盖件42可与盒盖32相贴合，且开盖件42上开设有与真空泵相连通的抽气孔421。如此可通过开启真空泵经由抽气孔421排出开盖件42和盒盖32之间的空气，从而在大气压的作用下使开盖件42和盒盖32紧密且固定连接，以方便后续盒盖32随开盖件42移动至目标位置。

在本实施例中，请参照图5和图6，开盖件42上还设有用于连接真空管以连通真空泵的接头422，接头422插设于抽气孔421内。其中，接头422的数量有两个，可高效完成排气过程。

在本实施例中，支撑柱12和晶圆盒30的数量一致，均为两个。可以理解，两个晶圆盒30的开盖过程是相互独立的，可根据实际需求设计两个晶圆盒30的开盖顺序。

其中，请参照图5和图6，在本实施例中，开盖机构40还包括连接于升降件41的感应器44，感应器44用于采集升降件41与开盖件42之间的位置信息并传递给外部控制中心，外部控制中心用于发出控制指令以驱动或关闭真空泵、或用于控制升降件41的移动、或用于控制开盖件42的移动。由于外部控制中心可通过感应器44采集的相关信息控制真空泵、升降件41及开盖件42，则晶圆分片过程无需人为判断各组合部件的工作情况，实现晶圆分片过程的自动化。

具体地，请参照图5和图6，开盖机构40还包括第一驱动件45，第一驱动件45包括驱动缸451和沿第二方向延伸的限位件452，驱动缸451设于升降件41背离开盖件42的一侧，且驱动缸451的驱动轴穿设于升降件41并抵接于开盖件42，以驱动开盖件42沿第二方向运动，限位件452的一端固定连接于开盖件42，另一端滑动连接于升降件41。如此，限位件452可对开盖件42的移动进行限位，确保开盖件42沿第二方向准确移动，避免出现移动偏差，提升开盖机构40开盖过程的准确性和效率。

在本实施例中，感应器44包括两个，且均设于驱动缸451上，限位件452包括四根平行设置的导杆，升降件41上设有轴套411，限位件452远离开盖件42的一端套接轴套411内，并可穿过轴套411滑动，即限位件452可沿第二方向滑动连接于升降件41。其中，当驱动缸451的驱动轴伸到其中一个感应器44位置时触发，开盖件42与晶圆盒30的盒盖32相贴合并通过启动真空泵抽真空以吸住盒盖32，此时解锁件43中的第一电机431转动并带动解锁部432打开晶圆盒30上的锁定件34，驱动缸451通过驱动轴及限位件452带动盒盖32回缩，直至被另外一个感应器44触发，此时升降件41开始沿第一方向下降，并带动盒盖32移动到机架10内，完成开盖动作。

可以理解，在本申请的其他实施例中，感应器44也可安装于升降件41或开盖件42上的任意位置，且类型可为红外线传感器或激光测距传感器等，并通过感测开盖件42与升降件41之间的距离是否达到预设距离，并在达到预设距离后将位置信息传递给外部控制中心，在此不作限制。

此外，请参照图2、图7和图8，在本实施例中，开盖机构40还包括设于支撑柱12上的第二驱动件46，第二驱动件46连接升降件41，用于带动升降件41和开盖件42沿第一方向在机架10和收容空间21内移动。如此，可准确地将升降件41及设于升降件41上的开盖件42移动至与晶圆盒30的盒盖32水平位置一致。

其中，第二驱动件46包括相连接的导轨461和丝杆462、设置在丝杆462一端的第二电机463、及设于丝杆462上的滑块464，第二电机463用于驱动丝杆462旋转，丝杆462表面上有外螺纹，跟滑块464上的内螺纹匹配，滑块464随着丝杆462的旋转而沿丝杆462的延伸方向，即沿第一方向滑动，升降件41则可通过螺丝连接或卡扣连接等固定连接于滑块464，并随滑块464实现沿第一方向的往复移动。此外，第二驱动件46还包括电机固定架465，设于第二电机463和导轨461之间，可保护第二电机463的电机轴并加固第二电机463和导轨461之间的连接。

可以理解，第二驱动件46的结构不唯一，在本申请的其他实施例中，第二驱动件46可为齿轮齿条、气缸等直线驱动件，在此不作限制。

此外，台面11上开设有避让通道，则升降件41和开盖件42可沿第一方向从避让通道穿设台面11，从而实现升降件41和开盖件42在机架10和收容空间21内的移动，避免碰撞。

可以理解，解锁件43、感应器44、第一驱动件45、第二驱动件46、真空泵均电连接于外部控制中心。

请参照图1、图2和图9，在本申请的一个实施例中，机架10内设有机器本体13，机器本体13沿第一方向穿设台面11并延伸至收容空间21，则机器本体13收容于机架10与机箱20内，晶圆分片装置100的整体性高，可节省晶圆分片装置100所占用的空间。

取放机构50包括相连接的调节件51和至少一个手臂52，调节件51设于机器本体13远离机架10的端部并用于调节手臂52的位置，手臂52用于拿取晶圆33。如此，可通过机械化的手臂52对晶圆33进行取放，避免人工转移过程中损坏晶圆33，且可避免污染。

其中，请参照图9和图10，调节件51为四轴机械手，包括依次连接的升降轴部511、第二轴旋转部512、第三轴旋转部513和第四轴旋转部514，升降轴部511用于调节手臂52的高度，第二轴旋转部512、第三轴旋转部513和第四轴旋转部514均用于调节手臂52在水平面内的位置，自由度多，调节件51的灵活性强。

在本实施例中，请参照图2、图9至图12，晶圆分片装置100包括两个中心对称分布的晶圆盒30，取放机构50包括两个陶瓷手臂52，且每个手臂52均包括连接端521和取放端522，两个手臂52的连接端521均固定连接于调节件51，两个手臂52的取放端522呈中心对称，则晶圆33的取出和放置可以同时进行。此外，每个手臂52的取放端522呈U形，且取放端522处开设有盲孔523，用于连通手臂52内的气道并连接至真空泵，以使取放端522接触晶圆33时，通过大气压作用保持晶圆33与手臂52的固定连接。为了保证手臂52内部气道的密封性，还通过金属密封板524对陶瓷手臂52进行密封处理。

可以理解，在本申请的其他实施例中，取放机构50也可只包括一个手臂52，则晶圆33的取出和放置需逐次进行。

请参照图1、图2和图14，在本申请的一个实施例中，晶圆分片装置100还包括铰接于机箱20的晶圆盒罩60，晶圆盒罩60罩设于晶圆盒30上并隔绝晶圆盒30与外界的连通。如此，当晶圆盒30放置到预设位置后，晶圆盒罩60可转动至罩设晶圆盒30，确保在晶圆分片的过程中，晶圆33始终与外界的空气隔绝连通，避免污染。

其中，台面11上设有晶圆盒固定座14，晶圆盒30可拆卸地连接于晶圆盒固定座14，以实现固定。晶圆盒罩60通过合页61铰接于机箱20的外侧顶部，方便晶圆盒30的取放，且每个晶圆盒罩60通过两个合页61铰接于机箱20，以确保晶圆盒罩60转动过程的稳定性。可以理解，在本申请的其他实施例中，晶圆盒罩60与机箱20之间还可通过卡扣等实现可拆卸连接，但不限于此。

请参照图1、图2、图13及图14，在本申请的一个实施例中，晶圆分片装置100还包括设于机箱20上的观测机构70，观测机构70包括镜头71，机箱20上开设有与收容空间21相连通的观察孔23，镜头71与观察孔23对应设置并用于采集晶圆33的表面图像。

可以理解，通过观测机构70采集晶圆33的表面图像后，若晶圆33自身质量无问题，可通过取放机构50将其转移至另一晶圆盒30；若晶圆33的表面出现机械损伤等问题，可通过取放机构50将其再转移至原晶圆盒30内。

在本实施例中，观测机构70设于机箱20的顶部，方便观测晶圆33。此外，机箱20的顶部还设有急停按钮24，方便操作者随时紧急制动，以停止机箱20内部的分片过程。

本申请提出的晶圆分片装置100，上述晶圆分片装置100包括机架10、机箱20、至少两个晶圆盒30、开盖机构40和取放机构50，由于晶圆盒30包括可拆卸连接的盒盖32和盒体31，且盒盖32朝向对应的开口22设置，则开盖机构40拆除并移动盒盖32后，盒体31与收容空间21相连通，从而取放机构50可直接通过开口22抓取盒体31内的晶圆33，并根据所需将晶圆33转移至另一晶圆盒30，可在密封环境内实现晶圆33分片，避免二次污染；此外，分片过程自动化程度高，避免人工分片导致的破片风险，提高分片效率，确保产品质量，有效解决了现有技术中晶圆产品分片步骤繁琐、效率低，且无法保证产品质量的问题；此外，观测机构70的设置，满足晶圆外观检测的需求，一台设备可以实现两种功能，从而提高设备利用率并大幅降低设备成本。

以上所述实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆分片装置，包括机架，所述机架具有一台面，其特征在于，所述晶圆分片装置还包括：

机箱，设于所述台面上，所述机箱内设有收容空间，且所述机箱上开设有至少两个与所述收容空间连通的开口；

至少两个晶圆盒，均设于所述台面上且每个所述晶圆盒均包括可拆卸连接的盒体和盒盖，所述盒盖朝向对应的所述开口设置，所述盒体位于所述盒盖背离所述机箱的一侧；

开盖机构，滑动连接于所述机架，用于拆装和移动所述盒盖；

取放机构，位于所述收容空间内且用于将其中一个所述晶圆盒内的晶圆转移至另一晶圆盒内。

2.根据权利要求1所述的晶圆分片装置，其特征在于，所述开盖机构包括升降件和开盖件，所述升降件沿第一方向滑动连接于所述机架，所述开盖件沿垂直于所述第一方向的第二方向滑动连接于所述升降件以接触所述盒盖并固定连接于所述盒盖。

3.根据权利要求2所述的晶圆分片装置，其特征在于，所述盒盖上设有锁定件，所述锁定件包括打开状态和关闭状态，当所述锁定件处于所述打开状态时，所述盒盖与所述盒体固定连接；当所述锁定件处于所述关闭状态时，所述盒盖可随所述开盖件远离所述盒体；

所述开盖机构还包括解锁件，所述解锁件的一端固定连接于所述开盖件，另一端可插设于所述锁定件并驱动所述锁定件在所述打开状态和所述关闭状态之间转换。

4.根据权利要求2所述的晶圆分片装置，其特征在于，所述机架内设有沿所述第一方向延伸的支撑柱，所述升降件沿所述第一方向滑动连接于所述支撑柱；所述开盖件可与所述盒盖相贴合，且所述开盖件上开设有与真空泵相连通的抽气孔。

5.根据权利要求4所述的晶圆分片装置，其特征在于，所述开盖机构还包括连接于所述升降件的感应器，所述感应器用于采集所述升降件与所述开盖件之间的位置信息并传递给外部控制中心，所述外部控制中心用于发出控制指令以驱动或关闭所述真空泵、或用于控制所述升降件的移动、或用于控制所述开盖件的移动。

6.根据权利要求4所述的晶圆分片装置，其特征在于，所述开盖机构还包括第一驱动件，所述第一驱动件包括驱动缸和沿所述第二方向延伸的限位件，所述驱动缸设于所述升降件背离所述开盖件的一侧，且所述驱动缸的驱动轴穿设于所述升降件并抵接于所述开盖件，以驱动所述开盖件沿所述第二方向运动，所述限位件的一端固定连接于所述开盖件，另一端滑动连接于所述升降件。

7.根据权利要求4所述的晶圆分片装置，其特征在于，所述开盖机构还包括设于所述支撑柱上的第二驱动件，所述第二驱动件连接所述升降件，用于带动所述升降件和所述开盖件沿所述第一方向在所述机架和所述收容空间内移动。

8.根据权利要求2所述的晶圆分片装置，其特征在于，所述机架内设有机器本体，所述机器本体沿所述第一方向穿设所述台面并延伸至所述收容空间；

所述取放机构包括相连接的调节件和至少一个手臂，所述调节件设于所述机器本体远离所述机架的端部并用于调节所述手臂的位置，所述手臂用于拿取晶圆。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的晶圆分片装置，其特征在于，所述晶圆分片装置还包括铰接于所述机箱的晶圆盒罩，所述晶圆盒罩罩设于所述晶圆盒上并隔绝所述晶圆盒与外界的连通。

10.根据权利要求1-8中任一项所述的晶圆分片装置，其特征在于，所述晶圆分片装置还包括设于所述机箱上的观测机构，所述观测机构包括镜头，所述机箱上开设有与所述收容空间相连通的观察孔，所述镜头与所述观察孔对应设置并用于采集所述晶圆的表面图像。

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