CN216719890U - 一种新型陶瓷变节距硅片放料机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种新型陶瓷变节距硅片放料机构,其结构简单,与硅片接触没有印痕,减少划伤出现,并且不易积留碎片残渣;包括底座以及固定在底座端部且与底座垂直的连接板,底座前表面两端上均安装有一块基板,基板上沿基板长度方向安装有一排呈圆柱状的圆棒,同一排相邻圆棒之间具有硅片放置间隙,圆棒轴线垂直于基板。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工附属装置的技术领域,特别是涉及一种新型陶瓷变节距硅片放料机构。
背景技术
授权公告号为:CN213414656U,公开了一种硅片放料结构,包括分体设置的陶瓷基板和分隔块,所述陶瓷基板和分隔块依次交替设置,使得相邻两个所述陶瓷基板之间具有硅片放置间隙,所述硅片放置间隙的宽度与所述分隔块的厚度相关,所述分隔块为非陶瓷绝缘块。本实用新型的硅片放料结构,大大降低制造成本,且可实现变节距放置硅片,具有很好的兼容性。
上述装置存在以下缺点:采用陶瓷基板和分隔块构成的方形齿状结构,极易对硅片产生印痕,产生划伤,影响硅片质量。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种新型陶瓷变节距硅片放料机构,其结构简单,与硅片接触没有印痕,减少划伤出现,并且不易积留碎片残渣。
本实用新型的一种新型陶瓷变节距硅片放料机构,包括底座以及固定在底座端部且与底座垂直的连接板,底座前表面两端上均安装有一块基板,基板上沿基板长度方向安装有一排呈圆柱状的圆棒,同一排相邻圆棒之间具有硅片放置间隙,圆棒轴线垂直于基板。
进一步地,所述圆棒为陶瓷材质。
进一步地,所述基板通过若干螺钉固定在底座上。
进一步地,底座上安装有两个加强板,加强板处于基板与连接板之间。
进一步地,底座中部开设若干通孔。
与现有技术相比本实用新型的有益效果为:在使用时,将硅片置于到这些间隙之间,两根圆棒将硅片架起,由于圆棒呈圆柱状,使得硅片在放置时,与圆棒的接触面积极小,不会产生印痕,不会对硅片产生划伤,相对于现有技术的方式来说,本装置还具有不容易积留碎片残渣,成本低廉的优点,同时改变相邻圆棒之间间隙的大小,可对不同型号硅片进行适应。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型的结构示意图;
附图中标记:1、底座;2、连接板;3、基板;4、圆棒;5、间隙;6、加强板。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
如图1至图2所示,本实用新型的一种新型陶瓷变节距硅片放料机构,包括底座1以及固定在底座1端部且与底座1垂直的连接板2,底座1前表面两端上均安装有一块基板3,基板3上沿基板3长度方向安装有一排呈圆柱状的圆棒4,同一排相邻圆棒4之间具有硅片放置间隙5,圆棒4轴线垂直于基板3;
在本实施例中,在使用时,将硅片置于到这些间隙5之间,两根圆棒4将硅片架起,由于圆棒4呈圆柱状,使得硅片在放置时,与圆棒4的接触面积极小,不会产生印痕,不会对硅片产生划伤,相对于现有技术的方式来说,本装置还具有不容易积留碎片残渣,成本低廉的优点,同时改变相邻圆棒4之间间隙5的大小,可对不同型号硅片进行适应。
作为上述实施例的优选方案,圆棒4为陶瓷材质;
在本实施例中,圆棒4为陶瓷材质,不会对硅片产生损伤,同时长时间使用后不会发生锈蚀。
作为上述实施例的优选方案,基板3通过若干螺钉固定在底座1上;
在本实施例中,使得基板3可更加牢固的固定在底座1上。
作为上述实施例的优选方案,底座1上安装有两个加强板6,加强板6处于基板3与连接板2之间;
在本实施例中,加强板6以及基板3将连接板2顶住,防止连接板2变形。
作为上述实施例的优选方案,底座1中部开设若干通孔;
在本实施例中,在底座1中部开设通孔,减小原材料使用,释放应力。
本实用新型的一种新型陶瓷变节距硅片放料机构,在使用时,将硅片置于到同一水平面的两根圆棒4上,这两根圆棒4将硅片架起,由于圆棒4呈圆柱状,使得硅片在放置时,与圆棒4的接触面积极小,不会产生印痕,不会对硅片产生划伤,相对于现有技术的方式来说,本装置还具有不容易积留碎片残渣,成本低廉的优点,同时改变相邻圆棒4之间间隙5的大小,可对不同型号硅片进行适应。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种新型陶瓷变节距硅片放料机构,其特征在于,包括底座(1)以及固定在底座(1)端部且与底座(1)垂直的连接板(2),底座(1)前表面两端上均安装有一块基板(3),基板(3)上沿基板(3)长度方向安装有一排呈圆柱状的圆棒(4),同一排相邻圆棒(4)之间具有硅片放置间隙(5),圆棒(4)轴线垂直于基板(3)。
2.如权利要求1所述的一种新型陶瓷变节距硅片放料机构,其特征在于,所述圆棒(4)为陶瓷材质。
3.如权利要求2所述的一种新型陶瓷变节距硅片放料机构,其特征在于,所述基板(3)通过若干螺钉固定在底座(1)上。
4.如权利要求3所述的一种新型陶瓷变节距硅片放料机构,其特征在于,底座(1)上安装有两个加强板(6),加强板(6)处于基板(3)与连接板(2)之间。
5.如权利要求4所述的一种新型陶瓷变节距硅片放料机构,其特征在于,底座(1)中部开设若干通孔。
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CN202122894880.XU CN216719890U (zh) | 2021-11-24 | 2021-11-24 | 一种新型陶瓷变节距硅片放料机构 |
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- 2021-11-24 CN CN202122894880.XU patent/CN216719890U/zh active Active
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