CN216696553U - 一种转向定位座及芯片测试设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种转向定位座及芯片测试设备，转向定位座包括：承载件；支撑件，支撑件位于承载件下方，支撑件与承载件相距第一预设值设置；弹性件，承载件与支撑件通过弹性件活动连接，以使承载件在第一位置与第二位置之间运动，第一位置为承载件相距支撑件的距离为第一预设值，第二位置为承载件相距支撑件的距离为第二预设值，第二预设值小于第一预设值。本申请通过弹性件能够吸收承载件的冲击力，弹性件起到缓冲作用，承载件不与支撑件刚性碰撞。对应地，吸嘴不会与芯片发生刚性碰撞，进而避免放置偏差的芯片受损。

Description

一种转向定位座及芯片测试设备

技术领域

本实用新型一般涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种转向定位座及芯片测试设备。

背景技术

芯片测试设备包括吸嘴、工件块和转向定位座及芯片测试设备，定位座用于承载转向定位座及芯片测试设备和旋转；工件块上形成有芯片槽，芯片槽用于放置芯片；吸嘴用于吸附芯片且将芯片放置于工件块上。

若芯片放置偏差，未完全放置于芯片槽内，这此过程中，吸嘴会挤压芯片，导致芯片缺损。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种转向定位座及芯片测试设备。

本申请提供一种转向定位座，其包括：

承载件；

支撑件，所述支撑件位于所述承载件下方，所述支撑件与所述承载件相距第一预设值设置；

弹性件，所述承载件与所述支撑件通过所述弹性件活动连接，以使所述承载件在第一位置与第二位置之间运动，所述第一位置为所述承载件相距所述支撑件的距离为第一预设值，所述第二位置为所述承载件相距所述支撑件的距离为第二预设值，所述第二预设值小于所述第一预设值。

作为可选的方案，所述弹性件位于所述承载件与所述支撑件之间，所述弹性件一端连接至所述承载件，所述弹性件另一端连接至所述支撑件。

作为可选的方案，所承载件朝向所述支撑件的端面上形成第一凹槽，所述弹性件与所述第一凹槽嵌插配合，或/和，所述支撑件朝向所述承载件的端面上形成第二凹槽，所述弹性件与所述第二凹槽嵌插配合。

作为可选的方案，还包括沿所述第一预设位置至所述第二预设位置的方向设置的导向柱，所述导向柱连接至所述承载件与所述支撑件中的一者，另一者设有导向孔，所述导向孔与所述导向柱导向配合以使所述承载件沿竖直方向运动。

作为可选的方案，所述导向柱为若干个，若干个所述导向柱呈环状布置，所述弹性件为若干个，若干个所述弹性件呈环状阵列布置，且所述弹性件与所述导向柱交替设置。

作为可选的方案，所述承载件与所述支撑件通过滑柱与滑孔滑动配合以使所述承载件运动，所述弹性件套设于所述滑柱或位于所述滑孔内。

作为可选的方案，所述滑柱位于所述承载件朝向所述支撑件的端面和所述支撑件朝向所述承载件的端面中一者，所述滑孔位于另一者。

作为可选的方案，所述弹性件套设于所述滑柱，设有所述滑柱的端面上还设有第三凹槽，所述第三凹槽轴线与所述滑柱轴线重合，所述第三凹槽与所述弹性件嵌插配合，或者，

设有所述滑孔的端面上还设有第四凹槽，所述第四凹槽轴线与所述滑孔轴线重合，所述第四凹槽与所述弹性件嵌插配合。

作为可选的方案，还包括驱动电机，所述支撑件设有容置腔，所述驱动电机放置于所述容置腔，所述驱动电机驱动所述承载件自转。

本申请还提供一种芯片测试设备，其包括：上述中任一项所述的转向定位座。

本申请通过弹性件能够吸收承载件的冲击力，弹性件起到缓冲作用，承载件不与支撑件刚性碰撞。对应地，吸嘴不会与芯片发生刚性碰撞，进而避免放置偏差的芯片受损。弹簧两端均采用嵌插配合方式固定连接于承载件和支撑件；弹性件套设于滑柱或位于滑孔内，结构简单，紧凑。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1是本实用新型实施例提供的一种转向定位座的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种转向定位座的爆炸图；

图3是图2中A方向的承载件的示意图；

图4是图2中B-B方向的剖面示意图；

图5是图2中C-C方向的剖面示意图；

图6是本实用新型实施例提供的另一种转向定位座的剖面示意图；

图7是本实用新型实施例提供的再一种转向定位座的剖面示意图；

图8是本实用新型实施例提供的工件块的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

本实用新型使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本实用新型。在本实用新型和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。

如图1和图2所示，图1为本实用新型实施例提供的一种转向定位座的结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的一种转向定位座的爆炸图。

本申请提出的一种转向定位座，其包括：承载件10、支撑件20及弹性件30。支撑件20位于承载件10下方，支撑件20与承载件10相距第一预设值设置；承载件10与支撑件20通过弹性件30活动连接，以使承载件10在第一位置与第二位置之间运动，第一位置为承载件10相距支撑件20的距离为第一预设值，第二位置为承载件10相距支撑件20的距离为第二预设值，第二预设值小于第一预设值。

需要说明的是，承载件10用于承载工件块50，其中，承载件10背向支撑件20的端面上设有安装孔13，定位凸柱14连接至安装孔13内，工件块50安装于定位凸柱14。工件块50用于固定芯片60，如图8所示，工件块50上设有容置槽51以容置芯片60。弹性件30用于缓冲承载件10向支撑件20的冲击力，例如，弹性件30可以为弹簧元件、弹片元件等。承载件10与支撑件20活动连接，以使承载件10在第一预设位置与第二预设位置之间运动。第二预设位置可以为承载件10抵靠于支撑件20的位置，即承载件10相距支撑件20的距离为零，第二预设位置可以为承载件10靠近于支撑件20的位置，即承载件10相距支撑件20的距离大于零且小于第一预设距离。弹性件30的设置，使得承载件10从第一位置运动至第二运动位置时，承载件10对支撑件20的冲击力被弹性件30吸收，弹性件30起到缓冲作用。

在相关技术中，芯片60测试设备包括吸嘴、工件块50和转向定位座及芯片60测试设备，定位座用于承载转向定位座及芯片60测试设备和旋转；工件块50上形成有芯片60槽，芯片60槽用于放置芯片60；吸嘴用于吸附芯片60且将芯片60放置于工件块50上。若芯片60放置偏差，未完全放置于芯片60槽内，这此过程中，吸嘴会挤压芯片60，导致芯片60缺损。

基于此，本申请提出一种转向定位座，吸嘴向下运动吸附芯片60。参考图1和图8所示，工件块50受到向下的作用力，从而承载有工件块50的承载件10向下运动，承载件10进而向支撑件20运动。由于弹性件30能够吸收承载件10的冲击力，弹性件30起到缓冲作用，承载件10不与支撑件20刚性碰撞。对应地，吸嘴不会与芯片60发生刚性碰撞，进而避免放置偏差的芯片60受损。

作为可实现的方式，弹性件30位于承载件10与支撑件20之间，弹性件30一端连接至承载件10，弹性件30另一端连接至支撑件20。弹性件30沿第一位置至第二位置的方向设置，弹性件30的一端固定连接在承载件10上，弹性件30的另一端固定连接在支撑件20上，从而实现承载件10与支撑件20之间稳定的活动连接。

如图2、图3及图5所示，在具体实施例中，弹性件30为弹簧。承载件10朝向支撑件20的端面上可以形成第一凹槽11，弹性件30一端与第一凹槽11嵌插配合，从而实现承载件10与弹性件30的固定连接，上述二者连接方式简单、组装方便。弹簧另一端与支撑件20通过焊接、螺纹连接等方式固定连接。

或者，支撑件20朝向承载件10的端面上形成第二凹槽21，弹性件30一端与第二凹槽21嵌插配合，从而实现支撑件20与弹性件30的固定连接。弹簧另一端与承载件10通过焊接、螺纹连接等方式固定连接。

或者，承载件10朝向支撑件20的端面上可以形成第一凹槽11，弹性件30一端与第一凹槽11嵌插配合；支撑件20朝向所述承载件10的端面上形成第二凹槽21，弹性件30另一端与第二凹槽21嵌插配合。弹簧两端均采用嵌插配合方式固定连接。

进一步地，该转向定位座还包括沿第一预设位置至第二预设位置方向设置的导向柱40，导向柱40连接至承载件10与支撑件20中的一者，另一者设有导向孔12，导向孔12与导向柱40导向配合以使承载件10在第一预设位置和第二预设位置之间运动。通过导向柱40的设置，约束承载件10的运动方向，使得承载件10仅沿第一预设位置至第二预设位置的方向运动。

如图2所示，在具体实施例中，在支撑件20朝向承载件10的端面上凹陷形成螺纹孔22，导向柱40一端部设有外螺纹，导向柱40螺纹连接至支撑件20上。在承载件10朝向支撑件20的端面上凹陷形成导向孔12，导向孔12与导向柱40另一端导向配合，以使承载件10在第一预设位置和第二预设位置之间运动。

进一步地，在一实施例中，弹性件30为若干个，若干个弹性件30呈环状布置，有利于增大弹性件30的缓冲作用力，提高缓冲作用效果。例如图所示，承载件10和支撑件20均为圆柱体，若干个弹性件30相对于承载件10(支撑件20)的轴线呈环状布置，任意两个相邻的弹性件30之间的夹角均相等。

如图4所示，在另一实施例中，导向柱40为若干个，若干个导向柱40呈环状阵列布置，有利于各个弹性件30受到均匀大小的作用力，进而保证各个弹性件30各个时刻的压缩量均相等。例如图所示，承载件10和支撑件20均为圆柱体，若干个导向柱40相对于承载件10(支撑件20)的轴线呈环状布置，任意两个相邻的导向柱40之间的夹角均相等。

此外，弹性件30与导向柱40交替设置，进一步有利于保证各个弹性件30各个时刻的压缩量均相等。

作为可实现的方式，承载件10与支撑件20通过滑柱24与滑孔15滑动配合以使承载件10运动，弹性件30套设于滑柱24或位于滑孔15内。上述设置方式，结构简单，紧凑。

如图6所示，在一具体实施例中，在支撑件20朝向承载件10的端面上凸设滑柱24，在承载件10朝向支撑件20的端面凹陷形成滑孔15。弹性件30为弹簧，弹簧可以套设于滑柱24上。滑柱24与滑孔15滑动配合，进而使得承载件10在第一预设位置和第二预设位置之间运动。

如图7所示，在另一具体实施例中，在承载件10朝向支撑件20的端面上凹陷形成滑孔15，在支撑件20朝向承载件10的端面凸设形成滑柱24。弹性件30为弹簧，弹簧可以位于滑孔15内。滑柱24与滑孔15滑动配合，进而使得承载件10在第一预设位置和第二预设位置之间运动。

进一步地，当弹性件30套设于滑柱24，设有滑柱24的端面上还设有第三凹槽(未示出)，第三凹槽轴线与滑柱24轴线重合，第三凹槽与弹性件30一端嵌插配合，使得弹性件30一端固定连接于承载件10或支撑件20上，避免弹簧的窜动。

或者，设有滑孔15的端面上设有第四凹槽(未示出)，第四凹槽轴线与滑孔15轴线重合，第四凹槽与弹性件30一端嵌插配合，使得弹性件30一端固定连接于承载件10或支撑件20上，避免弹簧的窜动。

进一步地，滑动配合对应设有若干个滑柱24和若干个滑孔15，一个滑柱24对应一个滑孔15。在一实施例中，承载件10和支撑件20均为圆柱体，在承载件10朝向支撑件20的端面上凸设形成滑柱24，若干个滑柱24相对于承载件10的轴线呈环状布置，任意两个相邻的滑柱24之间的夹角均相等。在支撑件20朝向承载件10的端面上凹陷形成滑孔15，若干个滑孔15相对于支撑件20的轴线呈环状布置，任意两个相邻的滑柱24之间的夹角均相等。

作为可实现的方式，一种转向定位座包括驱动电机，支撑件20设有容置腔，驱动电机放置于容置腔，驱动电机驱动承载件10自转。转向定位座能够根据需求使得承载件10旋转预设角度。

此外，本申请提出还提成一种芯片60测试设备，该芯片60测试设备包括上述的转向定位座。弹性件30能够吸收承载件10的冲击力，弹性件30起到缓冲作用，承载件10不与支撑件20刚性碰撞。对应地，吸嘴不会与芯片60发生刚性碰撞，进而避免放置偏差的芯片60受损。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述实用新型构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种转向定位座，其特征在于，包括：

承载件；

支撑件，所述支撑件位于所述承载件下方，所述支撑件与所述承载件相距第一预设值设置；

弹性件，所述承载件与所述支撑件通过所述弹性件活动连接，以使所述承载件在第一位置与第二位置之间运动，所述第一位置为所述承载件相距所述支撑件的距离为第一预设值，所述第二位置为所述承载件相距所述支撑件的距离为第二预设值，所述第二预设值小于所述第一预设值。

2.根据权利要求1所述的转向定位座，其特征在于，所述弹性件位于所述承载件与所述支撑件之间，所述弹性件一端连接至所述承载件，所述弹性件另一端连接至所述支撑件。

3.根据权利要求2所述的转向定位座，其特征在于，所承载件朝向所述支撑件的端面上形成第一凹槽，所述弹性件与所述第一凹槽嵌插配合，或/和，所述支撑件朝向所述承载件的端面上形成第二凹槽，所述弹性件与所述第二凹槽嵌插配合。

4.根据权利要求2所述的转向定位座，其特征在于，还包括沿所述第一预设位置至所述第二预设位置的方向设置的导向柱，所述导向柱连接至所述承载件与所述支撑件中的一者，另一者设有导向孔，所述导向孔与所述导向柱导向配合以使所述承载件沿竖直方向运动。

5.根据权利要求4所述的转向定位座，其特征在于，所述导向柱为若干个，若干个所述导向柱呈环状布置，所述弹性件为若干个，若干个所述弹性件呈环状阵列布置，且所述弹性件与所述导向柱交替设置。

6.根据权利要求1所述的转向定位座，其特征在于，所述承载件与所述支撑件通过滑柱与滑孔滑动配合以使所述承载件运动，所述弹性件套设于所述滑柱或位于所述滑孔内。

7.根据权利要求6所述的转向定位座，其特征在于，所述滑柱位于所述承载件朝向所述支撑件的端面和所述支撑件朝向所述承载件的端面中一者，所述滑孔位于另一者。

8.根据权利要求7所述的转向定位座，其特征在于，所述弹性件套设于所述滑柱，设有所述滑柱的端面上还设有第三凹槽，所述第三凹槽轴线与所述滑柱轴线重合，所述第三凹槽与所述弹性件嵌插配合，或者，

设有所述滑孔的端面上还设有第四凹槽，所述第四凹槽轴线与所述滑孔轴线重合，所述第四凹槽与所述弹性件嵌插配合。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的转向定位座，其特征在于，还包括驱动电机，所述支撑件设有容置腔，所述驱动电机放置于所述容置腔，所述驱动电机驱动所述承载件自转。

10.一种芯片测试设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的转向定位座。

Images