CN216696166U - 半导体超声波扫描设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种半导体超声波扫描设备，包括：水槽；架设于所述水槽内的样品台；安装于所述水槽上并位于所述样品台下方的超声波震棒；与所述超声波震棒连接并设于所述水槽外侧的控制盒；靠近所述水槽设置的超声波探头。本实用新型利用超声波震棒消除半导体产品表面的气泡，以避免对后续超声波检测产生影响，相比于人为清除气泡，超声波震棒能够提高检测效率，还不需要人为的再次确认是否有气泡。另外，利用超声波震棒进行超声波震荡时，能够让产品内部的层间连接不牢固脱离开，让存在质量隐患的产品将缺陷显现出来，便于超声波探头检测出，从而提高了产品的检测效果。

Description

半导体超声波扫描设备

技术领域

本实用新型涉及半导体封装技术领域，特指一种半导体超声波扫描设备。

背景技术

半导体产品(也即芯片)在生产过程中，需要经过质检，在检测半导体产品内部是否分层时，现有技术中常用超声波进行检测，将半导体产品浸入水中，利用特定的超声波不能够穿透空气的原理，查看半导体产品内部各个层面之间是否存在空气(也即分层)，当产品中存在空气时会自动呈黑色图像，最终形成缺陷式样图，检测出缺陷，及时发现样品的分层异常。而在将半导体产品浸入水中时，半导体产品的表面经常附着细微气泡，在进行超声波检测时，该些细微气泡会被误认为产品存在分层，从而得到错误结论，为了去除气泡的影响，需要人为多次清除产品表面的气泡，这给检测带来了一定的麻烦，使得检测的效率低下。另外，针对产品内部存在的假性连接，也即产品内部存在层间连接不牢固，但又未完全分离开，此时超声波检测时可能会无法检测出，后续产品出厂后可能会引起质量问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种半导体超声波扫描设备，解决现有的产品检测时因气泡影响而使得检测效率低下的问题以及现有超声波检测不检测出产品的假性连接导致的检测效果不佳的问题。

实现上述目的的技术方案是：

本实用新型提供了一种半导体超声波扫描设备，包括：

水槽；

架设于所述水槽内的样品台；

安装于所述水槽上并位于所述样品台下方的超声波震棒；

与所述超声波震棒连接并设于所述水槽外侧的控制盒；以及

靠近所述水槽设置的超声波探头。

本实用新型的半导体超声波扫描设备在对半导体产品进行检测时，将产品置于样品台上，之后启动超声波震棒，利用超声波震棒消除半导体产品表面的气泡，以避免对后续超声波检测产生影响，相比于人为清除气泡，超声波震棒能够提高检测效率，还不需要人为的再次确认是否有气泡。另外，利用超声波震棒进行超声波震荡时，能够让产品内部的层间连接不牢固脱离开，让存在质量隐患的产品将缺陷显现出来，便于超声波探头检测出，从而提高了产品的检测效果。

本实用新型的半导体超声波扫描设备的进一步改进在于，所述水槽的侧部靠近底部处开设有贯穿孔；

所述超声波震棒自所述贯穿孔伸入至所述水槽内，且所述超声波震棒的端部与所述贯穿孔之间嵌设有密封圈。

本实用新型的半导体超声波扫描设备的进一步改进在于，还包括支撑连接在所述水槽相对的两个内侧壁之间的至少两个承托杆；

所述样品台置于所述承托杆上。

本实用新型的半导体超声波扫描设备的进一步改进在于，还包括支设于所述水槽内的多个支腿；

所述样品台置于所述支腿上。

本实用新型的半导体超声波扫描设备的进一步改进在于，还包括架设于所述水槽两侧的纵向轨道、滑设于所述纵向轨道上的横向轨道以及滑设于所述横向轨道上的安装座；

所述超声波探头安装于所述安装座上。

本实用新型的半导体超声波扫描设备的进一步改进在于，还包括设于所述纵向轨道上并与所述横向轨道驱动连接的纵向驱动件，通过所述纵向驱动件可驱动所述横向轨道沿着纵向轨道进行移动。

本实用新型的半导体超声波扫描设备的进一步改进在于，还包括设于所述横向轨道上并与所述安装座驱动连接的横向驱动件，通过所述横向驱动件可驱动所述安装座沿着所述横向轨道进行移动。

本实用新型的半导体超声波扫描设备的进一步改进在于，还包括机架；

所述水槽、所述控制盒以及所述超声波探头均安装于所述机架上。

本实用新型的半导体超声波扫描设备的进一步改进在于，所述水槽为方形槽。

附图说明

图1为本实用新型半导体超声波扫描设备的原理图。

图2为本实用新型半导体超声波扫描设备的另一实施例的原理图。

图3为本实用新型半导体超声波扫描设备的又一实施例的原理图。

图4为本实用新型半导体超声波扫描设备的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。

参阅图1，本实用新型提供了一种半导体超声波扫描设备，用于解决现有的半导体产品在超声波扫描检测时表面经常附着细微气泡而影响检测结果的问题，还用于解决现有检测方法难以检测出层间连接不牢固的缺陷而引起的存在质量隐患的问题。本发明的半导体超声波扫描设备在水槽的底部设置了超声波震棒，利用超声波震棒清除待检测产品表面的气泡，能够保证气泡去除干净，使得检测结果更准确，减少误判几率。另外，超声波震棒还能够让产品内部的层间连接不牢固的缺陷显现出来，通过超声波震荡让产品内部的层间连接不牢固的地方脱离开，形成间隙，进而在利用超声波探头进行检测时，就能够检测出该产品缺陷，提高了产品检测结果的准确性。下面结合附图对本实用新型半导体超声波扫描设备进行说明。

参阅图1，显示了本实用新型半导体超声波扫描设备的原理图。下面结合图1，对本实用新型半导体超声波扫描设备进行说明。

如图1所示，本实用新型的半导体超声波扫描设备包括水槽21、样品台22、超声波震棒23、控制盒24以及超声波探头25，水槽21内部形成有容置空间，用于盛装水；样品台22架设在水槽21内，该样品台22用于承载待检测的样品10，也即半导体产品。超声波震棒23安装在水槽21上并位于样品台22的下方，其中样品台22和超声波震棒22均浸没在水槽21的水中，待检测的样品10置于样品台22上时该样品10也浸没在水中。控制盒24设于水槽21的外侧并与超声波震棒23连接，控制盒24用于控制超声波震棒23的运行。超声波探头25靠近水槽21设置，该超声波探头25伸入至水槽21内并位于待检测的样品10的上方，超声波探头25在对样品10进行检测时也浸没在水中。

本发明的半导体超声波扫描设备在对样品进行检测时，先向水槽内加入水，然后将待检测的样品置于样品台上，通过控制盒启动超声波震棒进行超声波震荡，利用超声波震荡将水中的气泡消除，确保待检测的样品的表面没有气泡，避免因气泡存在而影响检测结果。超声波震棒在运行时，可能够将产品内部的层间连接不牢固的地方震开，以让存在质量隐患的产品的缺陷显现出来，提高产品的检测效果，避免不良品流出而引发质量问题。

在本实用新型的一种具体实施方式中，如图1所示，水槽21的侧部靠近底部处开设有贯穿孔；超声波震棒23自该贯穿孔伸入至水21内，且该超声波震棒23的端部与贯穿孔之间嵌设有密封圈26，通过密封圈26密封该贯穿孔和超声波震棒23端部之间的间隙，避免漏水。

在另一较佳实施方式中，超声波震棒23与控制盒24之间通过导线连接，超声波震棒23置于水槽21的底部，该导线有部分穿置在贯穿孔中，密封圈26嵌设于贯穿孔内，且密封圈的内部对应导线设有与供导线穿过的通孔，且密封圈26的内侧紧紧的贴在导线上，实现密封的效果。

在本实用新型的一种具体实施方式中，如图2所示，本实用新型的半导体超声波扫描设备还包括支撑连接在水槽21相对的两个内侧壁之间的至少两个承托杆221，样品台22置于承托杆221上。

较佳地，在水槽21的内侧壁上开设有插接孔，承托杆221的端部部分插设于插接孔内，从而使得承托杆221支撑连接在水槽21内。通过承托杆221承托样品台22。样品台22较佳为一平面板。

在本实用新型的一种具体实施方式中，如图3所示，本实用新型的半导体超声波扫描设备还包括支设于水槽21内的多个支腿222，支腿222立设在水槽21的底部，样品台22置于支腿222之上。通过多个支腿222将样品台22支撑在水槽21内。较佳地，支腿222有四个，设于样品台22的四个角部处。样品台22较佳为方形板。

在本实用新型的一种具体实施方式中，如图4所示，本实用新型的半导体超声波扫描设备还包括架设在水槽21两侧的纵向轨道27、滑设在纵向轨道27上的横向轨道28以及滑设在横向轨道28上的安装座29，超声波探头25安装在安装座29上。通过横向轨道28沿着纵向轨道27的移动调节可带着安装座29及超声波探头25在纵向上进行移动调节，通过安装座29沿着横向轨道28的移动调节带着超声波探头25在横向上进行移动调节，使得超声波探头25能够在样品台22的上方进行横向和纵向的调节，以使得超声波探头25能够对准待检测的样品。

在进行样品检测时，样品台22上放置有复数个样品，超声波探头25通过移动调节一一对样品台22上的样品进行检测。

进一步地，还包括设于纵向轨道27上的并与横向轨道28驱动连接的纵向驱动件271，通过该纵向驱动件271可驱动横向轨道28沿着纵向轨道27进行移动。较佳地，纵向驱动件271为无杆气缸。

具体地，纵向轨道27上设有轨槽，横向轨道28为一横向板，该横向板的端部部分插入轨槽内，从而该横向板可在轨槽中沿着轨槽进行移动。纵向轨道27相对的设于水槽21的两侧，横向板的两个端部滑设在对应的轨槽内。纵向轨道27较佳为竖向板，竖向板立设在水槽21的两侧，在竖向板的上部设有轨槽。

在进步一地，还包括设于横向轨道28上并与安装座29驱动连接的横向驱动件281，通过横向驱动件281可驱动安装座29沿着横向轨道28进行移动。较佳地，横向轨道28上设有横向槽，安装座29上对应横向槽设有凸起，该凸起插设于横向槽内，从而安装座29通过凸起与横向槽的相互配合可沿着横向槽进行移动调节。在横向轨道28上设有一竖向安装板，通过该竖向安装板来安装固定横向驱动件281，较佳地，横向驱动件281为无杆气缸。

安装座29较佳为一平面板，超声波探头25安装在安装座29的底部并伸入至水槽21内。

在本实用新型的一种具体实施方式中，如图1所示，本实用新型的半导体超声波扫描设备还包括机架，水槽21、控制盒24以及超声波探头25均安装于机架上。

在本实用新型的一种具体实施方式中，水槽21为方形槽。

本实用新型的半导体超声波扫描设备用于对半导体产品(也即芯片)进行质量检测，其在水槽的底部设置了超声波震棒，利用超声波震棒消除水中的气泡，避免气泡的存在而对检测结果产生影响。

超声波震棒消除气泡，能够确保气泡清除的效果，无需人工在此确认，能够确保得到准确的检测结果，还减少了人工检查的时间，对于产品分层的检测，提升了准确性，避免了人为失误导致的分析结果不准确。

超声波震棒还能够将产品内层间连接不牢固的地方震开，让存在质量隐患的产品将缺陷显现出来，便于超声波探头检测出，避免不良品流出而引起质量问题。

以上结合附图实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域中普通技术人员可根据上述说明对本实用新型做出种种变化例。因而，实施例中的某些细节不应构成对本实用新型的限定，本实用新型将以所附权利要求书界定的范围作为本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种半导体超声波扫描设备，其特征在于，包括：

水槽；

架设于所述水槽内的样品台；

安装于所述水槽上并位于所述样品台下方的超声波震棒；

与所述超声波震棒连接并设于所述水槽外侧的控制盒；以及

靠近所述水槽设置的超声波探头。

2.如权利要求1所述的半导体超声波扫描设备，其特征在于，所述水槽的侧部靠近底部处开设有贯穿孔；

所述超声波震棒自所述贯穿孔伸入至所述水槽内，且所述超声波震棒的端部与所述贯穿孔之间嵌设有密封圈。

3.如权利要求1所述的半导体超声波扫描设备，其特征在于，还包括支撑连接在所述水槽相对的两个内侧壁之间的至少两个承托杆；

所述样品台置于所述承托杆上。

4.如权利要求1所述的半导体超声波扫描设备，其特征在于，还包括支设于所述水槽内的多个支腿；

所述样品台置于所述支腿上。

5.如权利要求1所述的半导体超声波扫描设备，其特征在于，还包括架设于所述水槽两侧的纵向轨道、滑设于所述纵向轨道上的横向轨道以及滑设于所述横向轨道上的安装座；

所述超声波探头安装于所述安装座上。

6.如权利要求5所述的半导体超声波扫描设备，其特征在于，还包括设于所述纵向轨道上并与所述横向轨道驱动连接的纵向驱动件，通过所述纵向驱动件可驱动所述横向轨道沿着纵向轨道进行移动。

7.如权利要求5所述的半导体超声波扫描设备，其特征在于，还包括设于所述横向轨道上并与所述安装座驱动连接的横向驱动件，通过所述横向驱动件可驱动所述安装座沿着所述横向轨道进行移动。

8.如权利要求1所述的半导体超声波扫描设备，其特征在于，还包括机架；所述水槽、所述控制盒以及所述超声波探头均安装于所述机架上。

9.如权利要求1所述的半导体超声波扫描设备，其特征在于，所述水槽为方形槽。

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