CN117517464A - 一种半导体超声波扫描设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体检测技术领域，公开了一种半导体超声波扫描设备，包括浸液槽端，所述浸液槽端的内侧面固定连接有内固架板，所述内固架板的内侧设置有传输结构，所述传输结构包括传送带、卡位条、卡位板、夹杆、收紧块、按压块、橡胶块，所述传送带设置在内固架板的内侧，所述卡位条固定连接在传送带的表面，所述卡位板卡合连接在卡位条的表面，所述夹杆转动连接在卡位板的表面，所述收紧块铰接连接在夹杆的表面，所述按压块固定连接在夹杆的表面，所述橡胶块固定连接在夹杆的侧面；所述传送带的内侧设置有扫描辅助结构，所述皮带轮转动连接在内固架板的内侧面，本发明，具有液体流动将气泡排出避免振动的特点。

Description

一种半导体超声波扫描设备

技术领域

本发明涉及半导体检测技术领域，具体为一种半导体超声波扫描设备。

背景技术

芯片焊接完成后，需要对芯片进行检测，以防止芯片之间出现分层导致故障，为防止出现分层的故障芯片出厂，可利用超声波穿透空气的原理，判断芯片之间是否出现分层来排除故障。

申请号为CN202122704621.6的专利公开了一种半导体超声波扫描设备，包括：水槽；架设于所述水槽内的样品台；安装于所述水槽上并位于所述样品台下方的超声波震棒；与所述超声波震棒连接并设于所述水槽外侧的控制盒；靠近所述水槽设置的超声波探头。该专利利用超声波震棒消除半导体产品表面的气泡，以避免对后续超声波检测产生影响，相比于人为清除气泡，超声波震棒能够提高检测效率，还不需要人为的再次确认是否有气泡。另外，利用超声波震棒进行超声波震荡时，能够让产品内部的层间连接不牢固脱离开，让存在质量隐患的产品将缺陷显现出来，便于超声波探头检测出，从而提高了产品的检测效果。

该专利虽然解决了上述问题，但仍存在超声波震棒与水槽整体一同振动影响检测效果的问题，因此，设计液体流动将气泡排出避免振动的一种半导体超声波扫描设备是很有必要的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体超声波扫描设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种半导体超声波扫描设备，包括浸液槽端，所述浸液槽端的内侧面固定连接有内固架板，所述内固架板的内侧设置有传输结构，所述传输结构包括传送带、卡位条、卡位板、夹杆、收紧块、按压块、橡胶块，所述传送带设置在内固架板的内侧，所述卡位条固定连接在传送带的表面，所述卡位板卡合连接在卡位条的表面，所述夹杆转动连接在卡位板的表面，所述收紧块铰接连接在夹杆的表面，所述按压块固定连接在夹杆的表面，所述橡胶块固定连接在夹杆的侧面；所述传送带的内侧设置有扫描辅助结构，所述扫描辅助结构包括皮带轮、侧冠齿、滑杆固板、复位杆、波动杆、拨流杆、波动板，所述皮带轮转动连接在内固架板的内侧面，所述侧冠齿固定连接在皮带轮的末端侧面，所述滑杆固板固定连接在内固架板的右侧面，所述复位杆固定连接在滑杆固板的侧面，所述波动杆滑动连接在滑杆固板的内侧，所述拨流杆固定连接在波动杆的右侧末端，所述波动板固定连接在拨流杆的侧面，所述内固架板的外侧面固定连接有固定侧板，所述浸液槽端的内侧固定连接有投射架，所述投射架的上方设置有超声波感应器，所述复位杆的外侧设置有弹簧，且弹簧一端与滑杆固板固定连接，并且弹簧另一端与拨流杆固定连接，所述复位杆与拨流杆滑动连接，所述波动杆与侧冠齿相互接触，利用投射架上的超声波感应器检测前，需要将溶液倒入浸液槽端内，让夹杆表面处收紧块连接的弹簧收缩将芯片夹住，并让夹杆表面固定的按压块压住芯片的四角进行固定，夹杆与芯片接触通过橡胶块接触实现固定，传送带上的卡位板与卡位条卡合，实现芯片的固定，当传送带通过外置驱动电机带动，让传送带转动将芯片推送到浸液槽端内并浸入液体内，此时通过投射架上的超声波感应器反射超声波，并利用超声波不穿透空气的原理检测芯片内部是否出现分层情况，通过卡位板与卡位条卡合，并利用夹杆对芯片进行夹持持续推送到指定位置，可提升检测效率，以便衔接芯片生产流水线进行检测，提升检测效率，同时，利用皮带轮转动带动侧面的侧冠齿转动，让接触侧冠齿的波动杆被推动，波动杆被推动后会通过连接的拨流杆带动复位杆与滑杆固板相远离并拉动复位杆外侧弹簧拉伸，从而让拨流杆高频率带动波动板推动浸液槽端内液体流动，通过液体流动让芯片进入液体时表面附着的气泡排出，提升检测的准确性，同时利用皮带轮及传送带转动将气泡排出，不会让浸液槽端和投射架受到振动干扰，进一步提升测试的精准度。

根据上述技术方案，所述浸液槽端的后侧面设置有吸水结构，所述吸水结构包括排料槽板、复位刮板、套轴柄、铰连杆、推杆、鼓气腔、出气管、吸水棉，所述排料槽板固定连接在浸液槽端的后侧面，所述复位刮板转动连接在排料槽板的内侧，所述套轴柄固定连接在传送带的左侧面，所述铰连杆铰接连接在套轴柄的表面，所述推杆铰接连接在铰连杆的末端，所述鼓气腔固定连接在内固架板的侧面，所述出气管固定连接在鼓气腔的前侧面，所述吸水棉固定连接在复位刮板的侧面，所述出气管与吸水棉固定连接，所述复位刮板的侧面设置有扭转弹簧，且扭转弹簧内侧末端与复位刮板固定连接，并且扭转弹簧外侧末端与排料槽板固定连接，当芯片检测后会随着传送带转动从浸液槽端的后侧穿出至排料槽板的内侧，并让芯片及滑杆固板上携带的液体滴落到排料槽板上，让排料槽板内的液体顺着倾斜的排料槽板流回浸液槽端的内部，传送带持续移动与复位刮板侧面的吸水棉接触，利用吸水棉将芯片及滑杆固板上的液体通过接触吸收，从而防止芯片及滑杆固板等结构的部分水滴落到地面，导致地面湿滑，或滴落到设备上导致设备部分金属件受到锈蚀影响，同时，当传送带转动时会带动套轴柄转动并拉动铰连杆，使铰连杆带动推杆末端连接的活塞在鼓气腔内往复运动，从而让鼓气腔内的空气通过出气管通入到吸水棉，让鼓入到吸水棉的空气将内部的水挤出，从而降低吸水棉内的含水率，提升吸水棉吸水效果。

根据上述技术方案，所述复位刮板的左端设置有下料结构，所述下料结构包括滑槽摆杆、联动杆、长连杆、下料通道、长挡板、导向竖条、弯折拉杆、翻转压板，所述滑槽摆杆固定连接在复位刮板的末端，所述联动杆滑动连接在滑槽摆杆的侧面，所述长连杆固定连接在联动杆的顶侧末端，所述下料通道设置在固定侧板的内侧，所述长挡板滑动连接在下料通道的外侧底端，所述导向竖条固定连接在下料通道内侧壁，所述弯折拉杆固定连接在长挡板前侧面，所述翻转压板转动连接在下料通道的前侧面，所述长连杆与固定侧板滑动连接，所述下料通道的顶端设置有固定横杆，且固定横杆与固定侧板固定连接，所述长挡板与长连杆固定连接，所述翻转压板与弯折拉杆滑动连接，当芯片经过复位刮板时会推动复位刮板翻转，复位刮板翻转使滑槽摆杆摆动，并拉动联动杆与长连杆向后移动，使长连杆拉动两侧的长挡板顺着下料通道的底端外侧滑动，当长挡板滑动一端距离后下料通道内放入大芯片及固定芯片的滑杆固板会顺着下料通道内侧的导向竖条下落，从而通过滑槽摆杆摆动控制长挡板的移动，进而控制芯片及滑杆固板下落的时机，让滑杆固板刚好与传送带表面的卡位条对齐，控制下落时机进而实现自动对准安装位置，可简化操控流程提升检测效率，同时，通过长挡板移动将弯折拉杆拉动，让弯折拉杆顶端的连杆顺着翻转压板侧面的槽滑动，从而让翻转压板翻转后对按压块表面施压，从而让卡位条与卡位板连接处对齐插入，从而实现固定，通过自动下料安装，可在测试前将芯片安装到卡位板上，从而节省该装置停下安装芯片的时间，以便应对大批量芯片的检测。

根据上述技术方案，所述下料通道的内侧顶端设置有防呆结构，所述防呆结构包括防呆挡板、凸棱条、阻力胶条、防呆滑槽，所述防呆挡板固定连接在下料通道的顶端，所述凸棱条固定连接在防呆挡板的后侧表面，所述阻力胶条设置在凸棱条的下方，所述防呆滑槽开设在下料通道的侧面，所述阻力胶条与防呆挡板固定连接，所述防呆挡板倾斜设置并与下料通道顶端倾斜处平行，将安装了芯片的滑杆固板放入到下料通道与防呆挡板之间时，滑杆固板凸起处会与下料通道顶端的防呆滑槽契合，从而让滑杆固板安装芯片的厚度刚好可以通过凸棱条与下料通道之间的间隔，如果滑杆固板放反，滑杆固板侧面的凸起处就被凸棱条挡住，无法顺着下料通道滑动，从而防止滑杆固板放反，同时，滑杆固板顺着下料通道滑动会触碰阻力胶条，让阻力胶条挡住滑杆固板一侧下滑，从而防止滑杆固板下落时发生翻转，避免滑杆固板被下料通道内的结构卡住。

与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：

本发明，通过设置有传送带、卡位条、卡位板、夹杆、收紧块、按压块、橡胶块，利用超声波不穿透空气的原理检测芯片内部是否出现分层情况，通过卡位板与卡位条卡合，并利用夹杆对芯片进行夹持持续推送到指定位置，可提升检测效率，以便衔接芯片生产流水线进行检测，提升检测效率，同时，通过液体流动让芯片进入液体时表面附着的气泡排出，提升检测的准确性，同时利用皮带轮及传送带转动将气泡排出，不会让浸液槽端和投射架受到振动干扰，进一步提升测试的精准度；

本发明，通过设置有排料槽板、复位刮板、套轴柄、铰连杆、推杆、鼓气腔、出气管、吸水棉，利用吸水棉将芯片及滑杆固板上的液体通过接触吸收，从而防止芯片及滑杆固板等结构的部分水滴落到地面，导致地面湿滑，或滴落到设备上导致设备部分金属件受到锈蚀影响，同时，让鼓入到吸水棉的空气将内部的水挤出，从而降低吸水棉内的含水率，提升吸水棉吸水效果；

本发明，通过设置有滑槽摆杆、联动杆、长连杆、下料通道、长挡板、导向竖条、弯折拉杆、翻转压板，通过滑槽摆杆摆动控制长挡板的移动，进而控制芯片及滑杆固板下落的时机，让滑杆固板刚好与传送带表面的卡位条对齐，控制下落时机进而实现自动对准安装位置，可简化操控流程提升检测效率，同时，从而实现固定，通过自动下料安装，可在测试前将芯片安装到卡位板上，从而节省该装置停下安装芯片的时间，以便应对大批量芯片的检测；

本发明，通过设置有防呆挡板、凸棱条、阻力胶条、防呆滑槽，防止滑杆固板放反，同时，滑杆固板顺着下料通道滑动会触碰阻力胶条，让阻力胶条挡住滑杆固板一侧下滑，从而防止滑杆固板下落时发生翻转，避免滑杆固板被下料通道内的结构卡住。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。

在附图中：

图1是本发明的整体立体结构示意图；

图2是本发明浸液槽端的内部结构示意图；

图3是本发明传输结构的结构示意图；

图4是本发明图3中A的放大结构示意图；

图5是本发明图3中B的放大结构示意图；

图6是本发明吸水结构的结构示意图；

图7是本发明下料结构的结构示意图

图8是本发明防呆结构的结构示意图；

图9是本发明图8中C的放大结构示意图；

图中：1、浸液槽端；2、内固架板；3、传输结构；31、传送带；32、卡位条；33、卡位板；34、夹杆；35、收紧块；36、按压块；37、橡胶块；4、扫描辅助结构；41、皮带轮；42、侧冠齿；43、滑杆固板；44、复位杆；45、波动杆；46、拨流杆；47、波动板；5、吸水结构；51、排料槽板；52、复位刮板；53、套轴柄；54、铰连杆；55、推杆；56、鼓气腔；57、出气管；58、吸水棉；6、下料结构；61、滑槽摆杆；62、联动杆；63、长连杆；64、下料通道；65、长挡板；66、导向竖条；67、弯折拉杆；68、翻转压板；7、投射架；8、防呆结构；81、防呆挡板；82、凸棱条；83、阻力胶条；84、防呆滑槽；9、超声波感应器；10、固定侧板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-图9，本发明的一个实施例为一种半导体超声波扫描设备，包括浸液槽端1，浸液槽端1的内侧面固定连接有内固架板2，内固架板2的内侧设置有传输结构3，传输结构3包括传送带31、卡位条32、卡位板33、夹杆34、收紧块35、按压块36、橡胶块37，传送带31设置在内固架板2的内侧，卡位条32固定连接在传送带31的表面，卡位板33卡合连接在卡位条32的表面，夹杆34转动连接在卡位板33的表面，收紧块35铰接连接在夹杆34的表面，按压块36固定连接在夹杆34的表面，橡胶块37固定连接在夹杆34的侧面；传送带31的内侧设置有扫描辅助结构4，扫描辅助结构4包括皮带轮41、侧冠齿42、滑杆固板43、复位杆44、波动杆45、拨流杆46、波动板47，皮带轮41转动连接在内固架板2的内侧面，侧冠齿42固定连接在皮带轮41的末端侧面，滑杆固板43固定连接在内固架板2的右侧面，复位杆44固定连接在滑杆固板43的侧面，波动杆45滑动连接在滑杆固板43的内侧，拨流杆46固定连接在波动杆45的右侧末端，波动板47固定连接在拨流杆46的侧面，内固架板2的外侧面固定连接有固定侧板10，浸液槽端1的内侧固定连接有投射架7，投射架7的上方设置有超声波感应器9，利用投射架7上的超声波感应器9检测前，需要将溶液倒入浸液槽端1内，让夹杆34表面处收紧块35连接的弹簧收缩将芯片夹住，并让夹杆34表面固定的按压块36压住芯片的四角进行固定，夹杆34与芯片接触通过橡胶块37接触实现固定，传送带31上的卡位板33与卡位条32卡合，实现芯片的固定，当传送带31通过外置驱动电机带动，让传送带31转动将芯片推送到浸液槽端1内并浸入液体内，此时通过投射架7上的超声波感应器9反射超声波，并利用超声波不穿透空气的原理检测芯片内部是否出现分层情况，通过卡位板33与卡位条32卡合，并利用夹杆34对芯片进行夹持持续推送到指定位置，可提升检测效率，以便衔接芯片生产流水线进行检测，提升检测效率，复位杆44的外侧设置有弹簧，且弹簧一端与滑杆固板43固定连接，并且弹簧另一端与拨流杆46固定连接，复位杆44与拨流杆46滑动连接，波动杆45与侧冠齿42相互接触，同时，利用皮带轮41转动带动侧面的侧冠齿42转动，让接触侧冠齿42的波动杆45被推动，波动杆45被推动后会通过连接的拨流杆46带动复位杆44与滑杆固板43相远离并拉动复位杆44外侧弹簧拉伸，从而让拨流杆46高频率带动波动板47推动浸液槽端1内液体流动，通过液体流动让芯片进入液体时表面附着的气泡排出，提升检测的准确性，同时利用皮带轮41及传送带31转动将气泡排出，不会让浸液槽端1和投射架7受到振动干扰，进一步提升测试的精准度。

浸液槽端1的后侧面设置有吸水结构5，吸水结构5包括排料槽板51、复位刮板52、套轴柄53、铰连杆54、推杆55、鼓气腔56、出气管57、吸水棉58，排料槽板51固定连接在浸液槽端1的后侧面，复位刮板52转动连接在排料槽板51的内侧，套轴柄53固定连接在传送带31的左侧面，铰连杆54铰接连接在套轴柄53的表面，推杆55铰接连接在铰连杆54的末端，鼓气腔56固定连接在内固架板2的侧面，出气管57固定连接在鼓气腔56的前侧面，吸水棉58固定连接在复位刮板52的侧面，当芯片检测后会随着传送带31转动从浸液槽端1的后侧穿出至排料槽板51的内侧，并让芯片及滑杆固板43上携带的液体滴落到排料槽板51上，让排料槽板51内的液体顺着倾斜的排料槽板51流回浸液槽端1的内部，传送带31持续移动与复位刮板52侧面的吸水棉58接触，利用吸水棉58将芯片及滑杆固板43上的液体通过接触吸收，从而防止芯片及滑杆固板43等结构的部分水滴落到地面，导致地面湿滑，或滴落到设备上导致设备部分金属件受到锈蚀影响，出气管57与吸水棉58固定连接，复位刮板52的侧面设置有扭转弹簧，且扭转弹簧内侧末端与复位刮板52固定连接，并且扭转弹簧外侧末端与排料槽板51固定连接，同时，当传送带31转动时会带动套轴柄53转动并拉动铰连杆54，使铰连杆54带动推杆55末端连接的活塞在鼓气腔56内往复运动，从而让鼓气腔56内的空气通过出气管57通入到吸水棉58，让鼓入到吸水棉58的空气将内部的水挤出，从而降低吸水棉58内的含水率，提升吸水棉58吸水效果。

工作原理，利用投射架7上的超声波感应器9检测前，需要将溶液倒入浸液槽端1内，让夹杆34表面处收紧块35连接的弹簧收缩将芯片夹住，并让夹杆34表面固定的按压块36压住芯片的四角进行固定，夹杆34与芯片接触通过橡胶块37接触实现固定，传送带31上的卡位板33与卡位条32卡合，实现芯片的固定，当传送带31通过外置驱动电机带动，让传送带31转动将芯片推送到浸液槽端1内并浸入液体内，此时通过投射架7上的超声波感应器9反射超声波，并利用超声波不穿透空气的原理检测芯片内部是否出现分层情况，通过卡位板33与卡位条32卡合，并利用夹杆34对芯片进行夹持持续推送到指定位置，可提升检测效率，以便衔接芯片生产流水线进行检测，提升检测效率，同时，利用皮带轮41转动带动侧面的侧冠齿42转动，让接触侧冠齿42的波动杆45被推动，波动杆45被推动后会通过连接的拨流杆46带动复位杆44与滑杆固板43相远离并拉动复位杆44外侧弹簧拉伸，从而让拨流杆46高频率带动波动板47推动浸液槽端1内液体流动，通过液体流动让芯片进入液体时表面附着的气泡排出，提升检测的准确性，同时利用皮带轮41及传送带31转动将气泡排出，不会让浸液槽端1和投射架7受到振动干扰，进一步提升测试的精准度；

当芯片检测后会随着传送带31转动从浸液槽端1的后侧穿出至排料槽板51的内侧，并让芯片及滑杆固板43上携带的液体滴落到排料槽板51上，让排料槽板51内的液体顺着倾斜的排料槽板51流回浸液槽端1的内部，传送带31持续移动与复位刮板52侧面的吸水棉58接触，利用吸水棉58将芯片及滑杆固板43上的液体通过接触吸收，从而防止芯片及滑杆固板43等结构的部分水滴落到地面，导致地面湿滑，或滴落到设备上导致设备部分金属件受到锈蚀影响，同时，当传送带31转动时会带动套轴柄53转动并拉动铰连杆54，使铰连杆54带动推杆55末端连接的活塞在鼓气腔56内往复运动，从而让鼓气腔56内的空气通过出气管57通入到吸水棉58，让鼓入到吸水棉58的空气将内部的水挤出，从而降低吸水棉58内的含水率，提升吸水棉58吸水效果。

请参阅图1-图9，在上述实施例的基础上，本发明的另一个实施例中，复位刮板52的左端设置有下料结构6，下料结构6包括滑槽摆杆61、联动杆62、长连杆63、下料通道64、长挡板65、导向竖条66、弯折拉杆67、翻转压板68，滑槽摆杆61固定连接在复位刮板52的末端，联动杆62滑动连接在滑槽摆杆61的侧面，长连杆63固定连接在联动杆62的顶侧末端，下料通道64设置在固定侧板10的内侧，长挡板65滑动连接在下料通道64的外侧底端，导向竖条66固定连接在下料通道64内侧壁，弯折拉杆67固定连接在长挡板65前侧面，翻转压板68转动连接在下料通道64的前侧面，当芯片经过复位刮板52时会推动复位刮板52翻转，复位刮板52翻转使滑槽摆杆61摆动，并拉动联动杆62与长连杆63向后移动，使长连杆63拉动两侧的长挡板65顺着下料通道64的底端外侧滑动，当长挡板65滑动一端距离后下料通道64内放入大芯片及固定芯片的滑杆固板43会顺着下料通道64内侧的导向竖条66下落，从而通过滑槽摆杆61摆动控制长挡板65的移动，进而控制芯片及滑杆固板43下落的时机，让滑杆固板43刚好与传送带31表面的卡位条32对齐，控制下落时机进而实现自动对准安装位置，可简化操控流程提升检测效率，长连杆63与固定侧板10滑动连接，下料通道64的顶端设置有固定横杆，且固定横杆与固定侧板10固定连接，长挡板65与长连杆63固定连接，翻转压板68与弯折拉杆67滑动连接，同时，通过长挡板65移动将弯折拉杆67拉动，让弯折拉杆67顶端的连杆顺着翻转压板68侧面的槽滑动，从而让翻转压板68翻转后对按压块36表面施压，从而让卡位条32与卡位板33连接处对齐插入，从而实现固定，通过自动下料安装，可在测试前将芯片安装到卡位板33上，从而节省该装置停下安装芯片的时间，以便应对大批量芯片的检测。

下料通道64的内侧顶端设置有防呆结构8，防呆结构8包括防呆挡板81、凸棱条82、阻力胶条83、防呆滑槽84，防呆挡板81固定连接在下料通道64的顶端，凸棱条82固定连接在防呆挡板81的后侧表面，将安装了芯片的滑杆固板43放入到下料通道64与防呆挡板81之间时，滑杆固板43凸起处会与下料通道64顶端的防呆滑槽84契合，从而让滑杆固板43安装芯片的厚度刚好可以通过凸棱条82与下料通道64之间的间隔，如果滑杆固板43放反，滑杆固板43侧面的凸起处就被凸棱条82挡住，无法顺着下料通道64滑动，从而防止滑杆固板43放反，阻力胶条83设置在凸棱条82的下方，防呆滑槽84开设在下料通道64的侧面，阻力胶条83与防呆挡板81固定连接，防呆挡板81倾斜设置并与下料通道64顶端倾斜处平行，同时，滑杆固板43顺着下料通道64滑动会触碰阻力胶条83，让阻力胶条83挡住滑杆固板43一侧下滑，从而防止滑杆固板43下落时发生翻转，避免滑杆固板43被下料通道64内的结构卡住。

工作原理，当芯片经过复位刮板52时会推动复位刮板52翻转，复位刮板52翻转使滑槽摆杆61摆动，并拉动联动杆62与长连杆63向后移动，使长连杆63拉动两侧的长挡板65顺着下料通道64的底端外侧滑动，当长挡板65滑动一端距离后下料通道64内放入大芯片及固定芯片的滑杆固板43会顺着下料通道64内侧的导向竖条66下落，从而通过滑槽摆杆61摆动控制长挡板65的移动，进而控制芯片及滑杆固板43下落的时机，让滑杆固板43刚好与传送带31表面的卡位条32对齐，控制下落时机进而实现自动对准安装位置，可简化操控流程提升检测效率，同时，通过长挡板65移动将弯折拉杆67拉动，让弯折拉杆67顶端的连杆顺着翻转压板68侧面的槽滑动，从而让翻转压板68翻转后对按压块36表面施压，从而让卡位条32与卡位板33连接处对齐插入，从而实现固定，通过自动下料安装，可在测试前将芯片安装到卡位板33上，从而节省该装置停下安装芯片的时间，以便应对大批量芯片的检测。

将安装了芯片的滑杆固板43放入到下料通道64与防呆挡板81之间时，滑杆固板43凸起处会与下料通道64顶端的防呆滑槽84契合，从而让滑杆固板43安装芯片的厚度刚好可以通过凸棱条82与下料通道64之间的间隔，如果滑杆固板43放反，滑杆固板43侧面的凸起处就被凸棱条82挡住，无法顺着下料通道64滑动，从而防止滑杆固板43放反，同时，滑杆固板43顺着下料通道64滑动会触碰阻力胶条83，让阻力胶条83挡住滑杆固板43一侧下滑，从而防止滑杆固板43下落时发生翻转，避免滑杆固板43被下料通道64内的结构卡住。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种半导体超声波扫描设备，包括浸液槽端（1），其特征在于：所述浸液槽端（1）的内侧面固定连接有内固架板（2），所述内固架板（2）的内侧设置有传输结构（3），所述传输结构（3）包括传送带（31）、卡位条（32）、卡位板（33）、夹杆（34）、收紧块（35）、按压块（36）、橡胶块（37），所述传送带（31）设置在内固架板（2）的内侧，所述卡位条（32）固定连接在传送带（31）的表面，所述卡位板（33）卡合连接在卡位条（32）的表面，所述夹杆（34）转动连接在卡位板（33）的表面，所述收紧块（35）铰接连接在夹杆（34）的表面，所述按压块（36）固定连接在夹杆（34）的表面，所述橡胶块（37）固定连接在夹杆（34）的侧面；

所述传送带（31）的内侧设置有扫描辅助结构（4），所述扫描辅助结构（4）包括皮带轮（41）、侧冠齿（42）、滑杆固板（43）、复位杆（44）、波动杆（45）、拨流杆（46）、波动板（47），所述皮带轮（41）转动连接在内固架板（2）的内侧面，所述侧冠齿（42）固定连接在皮带轮（41）的末端侧面，所述滑杆固板（43）固定连接在内固架板（2）的右侧面，所述复位杆（44）固定连接在滑杆固板（43）的侧面，所述波动杆（45）滑动连接在滑杆固板（43）的内侧，所述拨流杆（46）固定连接在波动杆（45）的右侧末端，所述波动板（47）固定连接在拨流杆（46）的侧面，所述内固架板（2）的外侧面固定连接有固定侧板（10），所述浸液槽端（1）的内侧固定连接有投射架（7），所述投射架（7）的上方设置有超声波感应器（9）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体超声波扫描设备，其特征在于：所述复位杆（44）的外侧设置有弹簧，且弹簧一端与滑杆固板（43）固定连接，并且弹簧另一端与拨流杆（46）固定连接，所述复位杆（44）与拨流杆（46）滑动连接，所述波动杆（45）与侧冠齿（42）相互接触。

3.根据权利要求2所述的一种半导体超声波扫描设备，其特征在于：所述浸液槽端（1）的后侧面设置有吸水结构（5），所述吸水结构（5）包括排料槽板（51）、复位刮板（52）、套轴柄（53）、铰连杆（54）、推杆（55）、鼓气腔（56）、出气管（57）、吸水棉（58），所述排料槽板（51）固定连接在浸液槽端（1）的后侧面，所述复位刮板（52）转动连接在排料槽板（51）的内侧，所述套轴柄（53）固定连接在传送带（31）的左侧面，所述铰连杆（54）铰接连接在套轴柄（53）的表面，所述推杆（55）铰接连接在铰连杆（54）的末端，所述鼓气腔（56）固定连接在内固架板（2）的侧面，所述出气管（57）固定连接在鼓气腔（56）的前侧面，所述吸水棉（58）固定连接在复位刮板（52）的侧面。

4.根据权利要求3所述的一种半导体超声波扫描设备，其特征在于：所述出气管（57）与吸水棉（58）固定连接，所述复位刮板（52）的侧面设置有扭转弹簧，且扭转弹簧内侧末端与复位刮板（52）固定连接，并且扭转弹簧外侧末端与排料槽板（51）固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体超声波扫描设备，其特征在于：所述复位刮板（52）的左端设置有下料结构（6），所述下料结构（6）包括滑槽摆杆（61）、联动杆（62）、长连杆（63）、下料通道（64）、长挡板（65）、导向竖条（66）、弯折拉杆（67）、翻转压板（68），所述滑槽摆杆（61）固定连接在复位刮板（52）的末端，所述联动杆（62）滑动连接在滑槽摆杆（61）的侧面，所述长连杆（63）固定连接在联动杆（62）的顶侧末端，所述下料通道（64）设置在固定侧板（10）的内侧，所述长挡板（65）滑动连接在下料通道（64）的外侧底端，所述导向竖条（66）固定连接在下料通道（64）内侧壁，所述弯折拉杆（67）固定连接在长挡板（65）前侧面，所述翻转压板（68）转动连接在下料通道（64）的前侧面。

6.根据权利要求5所述的一种半导体超声波扫描设备，其特征在于：所述长连杆（63）与固定侧板（10）滑动连接，所述下料通道（64）的顶端设置有固定横杆，且固定横杆与固定侧板（10）固定连接，所述长挡板（65）与长连杆（63）固定连接，所述翻转压板（68）与弯折拉杆（67）滑动连接。

7.根据权利要求6所述的一种半导体超声波扫描设备，其特征在于：所述下料通道（64）的内侧顶端设置有防呆结构（8），所述防呆结构（8）包括防呆挡板（81）、凸棱条（82）、阻力胶条（83）、防呆滑槽（84），所述防呆挡板（81）固定连接在下料通道（64）的顶端，所述凸棱条（82）固定连接在防呆挡板（81）的后侧表面，所述阻力胶条（83）设置在凸棱条（82）的下方，所述防呆滑槽（84）开设在下料通道（64）的侧面。

8.根据权利要求7所述的一种半导体超声波扫描设备，其特征在于：所述阻力胶条（83）与防呆挡板（81）固定连接，所述防呆挡板（81）倾斜设置并与下料通道（64）顶端倾斜处平行。