CN216687131U - 一种用于磁控溅射换靶的辅助装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于磁控溅射换靶的辅助装置。所述用于磁控溅射换靶的辅助装置，包括：龙门架组件，所述龙门架组件包括横梁，所述横梁底部的两侧均通过螺栓固定安装有支撑组件，所述支撑组件包括底部支撑柱。本实用新型提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置，通过底部支撑柱、内部支撑柱和中间支撑柱的可伸缩设计，可在运输的过程中将内部支撑柱和中间支撑柱统一收纳至底部支撑柱的内部，且横梁与其液为可拆卸式设计，可方便对其进行运输，并且，底部支撑柱、内部支撑柱和中间支撑柱均为中空设计，通过采用中空设计，可方便工作人员进行搬运，在运输过程无需多人配合，从而可简化装置整体的操作步骤，方便进行使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及靶材更换领域，尤其涉及一种用于磁控溅射换靶的辅助装置。
背景技术
目前全国的离线镀膜玻璃生产线有125条，镀膜生产线的镀膜机在每生产一个周期后应对设备进行停机维护和更换靶材。
在现有的厂房结构和镀膜线布局的条件下，更换靶材的操作是：阴极盖板在换靶小车上反转后，将龙门架移至换靶小车中间位置；卷扬机通过吊带拉住靶材，操作人员将旧靶材与阴极端头脱离，卷扬机吊着旧靶材延工字钢梁方向移动到靶材放置小车上方，卷扬机的吊钩下降将旧靶材放置在小车上。操作人员抽出旧靶材里的磁棒，移走旧靶材并将新靶材放置在小车上，然后塞入磁棒。卷扬机通过吊带把新靶材吊至阴极端头处，操作人员将靶材与阴极端头固定，取下吊带完成更换旋转靶材操作流程。
在更换靶材的过程中需要将龙门架移至换靶小车中间位置，由于现有的龙门架大都为一体化设置，对其进行运输时，需要多个人配合工作才能完成搬运，其操作步骤较为麻烦，不方便进行使用。
因此，有必要提供一种用于磁控溅射换靶的辅助装置解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型提供一种用于磁控溅射换靶的辅助装置，解决了现有的龙门架不方便进行运输的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置，包括：
龙门架组件，所述龙门架组件包括横梁，所述横梁底部的两侧均通过螺栓固定安装有支撑组件，所述支撑组件包括底部支撑柱，所述底部支撑柱的内部滑动连接有内部支撑柱，所述内部支撑柱的外部滑动连接有中间支撑柱，所述底部支撑柱、内部支撑柱和中间支撑柱两两之间通过限位组件进行限位，所述限位组件的数量为两个，两个所述限位组件均包括伸缩槽；
伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的一端固定于所述伸缩槽内部的一侧，所述伸缩弹簧的另一端固定连接有限位块，所述中间支撑柱的内部开设有与限位块相适配的限位槽，所述限位槽内部的一侧滑动连接有按压杆，所述按压杆的一端贯穿中间支撑柱并延伸至中间支撑柱的外部，所述按压杆延伸至中间支撑柱外部的一端固定连接有手柄，所述限位块的内部设置有定位槽，并且定位槽的内部设置有定位杆。
优选的，所述按压杆的外表面套设有挤压弹簧。
优选的，所述挤压弹簧的一端与手柄的一侧固定连接，所述挤压弹簧的另一端与中间支撑柱的一侧固定连接。
优选的，所述支撑组件的底部通过螺栓固定连接有安装板，所述安装板的底部固定连接有移动组件。
优选的，所述移动组件包括底板，所述底板底部的两侧均固定安装有移动轮。
优选的，所述底板的底部且位于两个移动轮之间固定连接有支架，所述支架的内部滑动连接有滑动板，所述滑动板底部的两侧均固定连接有支撑腿。
优选的，所述底板的内部螺纹连接有丝杆，所述丝杆的底端通过轴承与滑动板的顶部转动连接。
与相关技术相比较，本实用新型提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置具有如下有益效果：
本实用新型提供一种用于磁控溅射换靶的辅助装置，通过底部支撑柱、内部支撑柱和中间支撑柱的可伸缩设计，可在运输的过程中将内部支撑柱和中间支撑柱统一收纳至底部支撑柱的内部，且横梁与其液为可拆卸式设计，可方便对其进行运输，并且，底部支撑柱、内部支撑柱和中间支撑柱均为中空设计，通过采用中空设计，可方便工作人员进行搬运，在运输过程无需多人配合，从而可简化装置整体的操作步骤，方便进行使用。
附图说明
图1为本实用新型提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置的第一实施例的结构示意图；
图2为图1所示的支撑组件的三维图；
图3为图2所示的剖视图；
图4为图3所示的A处局部放大图；
图5为本实用新型提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置的第二实施例的结构示意图；
图6为图5所示的移动组件的结构示意图。
图中标号：
1、龙门架组件，11、支撑组件，111、底部支撑柱，112、内部支撑柱， 113、中间支撑柱，12、横梁；
2、限位组件，21、伸缩槽，22、伸缩弹簧，23、限位块，24、限位槽， 25、按压杆，26、挤压弹簧，27、手柄，28、定位杆；
3、安装板；
4、移动组件，41、底板，42、移动轮，43、支架，44、滑动板，45、丝杆，46、支撑腿。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
第一实施例
请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本实用新型提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置的第一实施例的结构示意图；图2为图1所示的支撑组件的三维图；图3为图2所示的剖视图；图4为图3所示的A处局部放大图。一种用于磁控溅射换靶的辅助装置，包括：
龙门架组件1，所述龙门架组件1包括横梁12，所述横梁12底部的两侧均通过螺栓固定安装有支撑组件11，所述支撑组件11包括底部支撑柱111，所述底部支撑柱111的内部滑动连接有内部支撑柱112，所述内部支撑柱112 的外部滑动连接有中间支撑柱113，所述底部支撑柱111、内部支撑柱112和中间支撑柱113两两之间通过限位组件2进行限位，所述限位组件2的数量为两个，两个所述限位组件2均包括伸缩槽21；
伸缩弹簧22，所述伸缩弹簧22的一端固定于所述伸缩槽21内部的一侧，所述伸缩弹簧22的另一端固定连接有限位块23，所述中间支撑柱113的内部开设有与限位块23相适配的限位槽24，所述限位槽24内部的一侧滑动连接有按压杆25，所述按压杆25的一端贯穿中间支撑柱113并延伸至中间支撑柱 113的外部，所述按压杆25延伸至中间支撑柱113外部的一端固定连接有手柄27，所述限位块23的内部设置有定位槽，并且定位槽的内部设置有定位杆 28。
本装置中间支撑柱113上设置有四个限位槽24、四个按压杆25和四个四个手柄27，通过限位槽24、按压杆25和手柄27的配合设置，可方便根据实际使用需求对中间支撑柱113的位置进行改变，从而可方便进行使用。
所述按压杆25的外表面套设有挤压弹簧26。
所述挤压弹簧26的一端与手柄27的一侧固定连接，所述挤压弹簧26的另一端与中间支撑柱113的一侧固定连接。
通过挤压弹簧26的弹力作用，可提高按压杆25运动时的稳定性。
本实用新型提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置的第一实施例工作原理如下：
使用时，可先根据实际使用需求对底部支撑柱111、内部支撑柱112和中间支撑柱113进行调节，当底部支撑柱111、内部支撑柱112已经满足使用高度时，可将中间支撑柱113拆卸，当底部支撑柱111、内部支撑柱112不能够满足使用高度时，无需将中间支撑柱113拆卸；
调节完成后，可将其进行两两限位，操作时，可先拉动内部支撑柱112，内部支撑柱112拉伸至最高点时，通过伸缩弹簧22的弹力作用可使限位块23 进入相对应限位槽24的内部，当限位块23与限位槽24卡合时，可通过定位杆28对限位块23进行再次限位；
限位完成后，可通过螺栓将横梁12进行安装，安装完成后，便可投入使用；
当需要对其进行运输时，可先通过螺栓将横梁12进行拆卸，拆卸完成后，再依次解除对中间支撑柱113和内部支撑柱112的限位，操作时，可先拔出定位杆28，解除对限位块23的限位，再同时按压限位块23，通过限位块23的移动可间接带动两个按压杆25进行同向移动，通过两个按压杆25的移动可对限位块23进行挤压，这时，限位块23就会脱离相对应限位槽24的内部，最后，移动中间支撑柱113和内部支撑柱112，使其进入底部支撑柱111的内部，即可完成拆卸工作，拆卸完成后，即可对其进行运输。
与相关技术相比较，本实用新型提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置具有如下有益效果：
本实用新型提供一种用于磁控溅射换靶的辅助装置，通过底部支撑柱111、内部支撑柱112和中间支撑柱113的可伸缩设计，可在运输的过程中将内部支撑柱112和中间支撑柱113统一收纳至底部支撑柱111的内部，且横梁12与其液为可拆卸式设计，可方便对其进行运输，并且，底部支撑柱111、内部支撑柱112和中间支撑柱113均为中空设计，通过采用中空设计，可方便工作人员进行搬运，在运输过程无需多人配合，从而可简化装置整体的操作步骤，方便进行使用。
第二实施例
请结合参阅图5-6，基于本申请的第一实施例提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置，本申请的第二实施例提出另一种用于磁控溅射换靶的辅助装置。第二实施例仅仅是第一实施例优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。
具体的，本申请的第二实施例提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置的不同之处在于：所述支撑组件11的底部通过螺栓固定连接有安装板3，所述安装板3的底部固定连接有移动组件4。
所述移动组件4包括底板41，所述底板41底部的两侧均固定安装有移动轮42。
移动轮42为刹车轮。
所述底板41的底部且位于两个移动轮42之间固定连接有支架43，所述支架43的内部滑动连接有滑动板44，所述滑动板44底部的两侧均固定连接有支撑腿46。
支撑腿46的底部固定有防滑垫，通过防滑垫的设置，可增大支撑腿46 与地面的摩擦力，方便支撑腿46对设备进行支撑。
所述底板41的内部螺纹连接有丝杆45，所述丝杆45的底端通过轴承与滑动板44的顶部转动连接。
本实用新型提供的用于磁控溅射换靶的辅助装置的第二实施例工作原理如下：
使用时，当龙门架组件1需要移动时，可通过螺栓将安装板3固定在支撑组件11的底部，固定完成后，当设备需要移动时，可通过移动轮42来完成设备整体的移动；
当设备无需移动时，可旋转丝杆45，丝杆45旋转时，就会间接通过螺纹传动作用带动滑动板44下移，通过滑动板44的移动可间接带动支撑腿46下移，通过支撑腿46的不断移动，可使移动轮42悬空，这时，可通过支撑腿 46对设备进行支撑；
设备需要运输时，可通过螺栓将其拆卸，从而可方便对其进行运输；
本实用新型提供一种用于磁控溅射换靶的辅助装置，通过安装板3和移动组件4的配合设置，可方便设备整体进行移动，进而可提高装置整体的灵活性。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (7)
1.一种用于磁控溅射换靶的辅助装置，其特征在于，包括：
龙门架组件，所述龙门架组件包括横梁，所述横梁底部的两侧均通过螺栓固定安装有支撑组件，所述支撑组件包括底部支撑柱，所述底部支撑柱的内部滑动连接有内部支撑柱，所述内部支撑柱的外部滑动连接有中间支撑柱，所述底部支撑柱、内部支撑柱和中间支撑柱两两之间通过限位组件进行限位，所述限位组件的数量为两个，两个所述限位组件均包括伸缩槽；
伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的一端固定于所述伸缩槽内部的一侧，所述伸缩弹簧的另一端固定连接有限位块，所述中间支撑柱的内部开设有与限位块相适配的限位槽，所述限位槽内部的一侧滑动连接有按压杆，所述按压杆的一端贯穿中间支撑柱并延伸至中间支撑柱的外部，所述按压杆延伸至中间支撑柱外部的一端固定连接有手柄，所述限位块的内部设置有定位槽，并且定位槽的内部设置有定位杆。
2.根据权利要求1所述的用于磁控溅射换靶的辅助装置，其特征在于，所述按压杆的外表面套设有挤压弹簧。
3.根据权利要求2所述的用于磁控溅射换靶的辅助装置，其特征在于，所述挤压弹簧的一端与手柄的一侧固定连接，所述挤压弹簧的另一端与中间支撑柱的一侧固定连接。
4.根据权利要求1所述的用于磁控溅射换靶的辅助装置，其特征在于，所述支撑组件的底部通过螺栓固定连接有安装板，所述安装板的底部固定连接有移动组件。
5.根据权利要求4所述的用于磁控溅射换靶的辅助装置，其特征在于，所述移动组件包括底板，所述底板底部的两侧均固定安装有移动轮。
6.根据权利要求5所述的用于磁控溅射换靶的辅助装置，其特征在于，所述底板的底部且位于两个移动轮之间固定连接有支架，所述支架的内部滑动连接有滑动板，所述滑动板底部的两侧均固定连接有支撑腿。
7.根据权利要求6所述的用于磁控溅射换靶的辅助装置，其特征在于，所述底板的内部螺纹连接有丝杆，所述丝杆的底端通过轴承与滑动板的顶部转动连接。
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