CN216618904U - 一种半导体制造用阀门密封连接装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种半导体制造用阀门密封连接装置，包括全氟橡胶密封外环、软密封填料环、防腐硅胶密封内环、第一遇水膨胀橡胶密封环形片以及丁基橡胶封堵环形片，全氟橡胶密封外环左右端面对称粘接有第一遇水膨胀橡胶密封环形片，全氟橡胶密封外环内环形侧面填充有软密封填料环，软密封填料环左右端面对称粘接有丁基橡胶封堵环形片，软密封填料环内环形侧面贴合有防腐硅胶密封内环，该设计解决了原有阀门与管道连接处容易出现渗漏的问题，本实用新型结构合理，密封效果好，避免管道与阀门连接处轻易出现渗漏情况，并且方便拆装维护。

Description

一种半导体制造用阀门密封连接装置

技术领域

本实用新型是一种半导体制造用阀门密封连接装置，属于阀门技术领域。

背景技术

目前，阀门是流体输送系统中的控制部件，具有截止、调节、导流、防止逆流、稳压、分流或溢流泄压等功能，用于流体控制系统的阀门，从最简单的截止阀到极为复杂的自控系统中所用的各种阀门，其品种和规格相当繁多，阀门可用于控制空气、水、蒸汽、各种腐蚀性介质、泥浆、油品、液态金属和放 射性介质等各种类型流体的流动。

在对半导体制造过程中需要用到阀门对管道通断进行控制，但现有的的阀门管道连接密封结构比较简单，在使用一段时间后管道还是会有出现渗漏的情况，并且一旦出现渗漏就需要直接更换掉旧的连接装置，无形中增加了使用成本，在实用性方面有待提高，现在急需一种半导体制造用阀门密封连接装置来解决上述出现的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种半导体制造用阀门密封连接装置，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型结构合理，密封效果好，避免管道与阀门连接处轻易出现渗漏情况，并且方便拆装维护。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种半导体制造用阀门密封连接装置，包括阀体、密封连接组件以及管道，所述阀体左右端面对称设置有密封连接组件，所述密封连接组件左端面连接有管道，所述密封连接组件包括第一连接法兰盘、第二连接法兰盘、连接螺杆、全氟橡胶密封外环、软密封填料环、防腐硅胶密封内环、第一遇水膨胀橡胶密封环形片、丁基橡胶封堵环形片以及第二遇水膨胀橡胶密封环形片，所述阀体左右端面对称焊连有第一连接法兰盘，所述第一连接法兰盘内部上下两侧和前后两侧均对称穿插有连接螺杆，所述第一连接法兰盘左端面嵌装有全氟橡胶密封外环，所述全氟橡胶密封外环左右端面对称粘接有第一遇水膨胀橡胶密封环形片，所述全氟橡胶密封外环内环形侧面填充有软密封填料环，所述软密封填料环左右端面对称粘接有丁基橡胶封堵环形片，所述软密封填料环内环形侧面贴合有防腐硅胶密封内环，所述防腐硅胶密封内环左右端面对称粘接有第二遇水膨胀橡胶密封环形片，所述管道右端面焊连有第二连接法兰盘。

进一步地，所述连接螺杆等规格穿插有八组，所述连接螺杆环形侧面右侧啮合有六角紧固螺母，且六角紧固螺母等规格啮合有八组，所述连接螺杆环形侧面右侧套装有加固垫片，且加固垫片等规格套装有八组。

进一步地，所述第一连接法兰盘和第二连接法兰盘等规格焊连有两组，所述第一连接法兰盘左端面外侧和第二连接法兰盘右端面外侧均开设有第一环形嵌装槽，且第一环形嵌装槽分别与全氟橡胶密封外环和第一遇水膨胀橡胶密封环形片相匹配，所述第一连接法兰盘左端面内侧和第二连接法兰盘右端面内侧均开设有第二环形嵌装槽，且第二环形嵌装槽分别与防腐硅胶密封内环和第二遇水膨胀橡胶密封环形片相匹配。

进一步地，所述全氟橡胶密封外环等规格嵌装有两组，所述第一遇水膨胀橡胶密封环形片等规格粘接有四组。

进一步地，所述防腐硅胶密封内环等规格嵌装有两组，所述第二遇水膨胀橡胶密封环形片等规格粘接有四组。

进一步地，所述软密封填料环等规格填充有两组，所述丁基橡胶封堵环形片等规格粘接有四组。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种半导体制造用阀门密封连接装置，因本实用新型添加了全氟橡胶密封外环、软密封填料环、防腐硅胶密封内环、第一遇水膨胀橡胶密封环形片、丁基橡胶封堵环形片以及第二遇水膨胀橡胶密封环形片，在阀体使用过程中，两组防腐硅胶密封内环方便对第一连接法兰盘与第二连接法兰盘之间进行一次密封，并且四组第二遇水膨胀橡胶密封环形片使防腐硅胶密封内环左右端面密封性更好，而两组全氟橡胶密封外环方便对第一连接法兰盘与第二连接法兰盘之间进行二次密封，并且四组第一遇水膨胀橡胶密封环形片使两组全氟橡胶密封外环左右端面密封性更好，同时两组软密封填料环会对防腐硅胶密封内环与全氟橡胶密封外环之间进行封堵，而四组丁基橡胶封堵环形片使软密封填料环左右端面密封性更好，从而避免第一连接法兰盘与第二连接法兰盘连接处轻易出现渗漏情况。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种半导体制造用阀门密封连接装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种半导体制造用阀门密封连接装置中密封连接组件的正视剖面图；

图3为图2中A的放大图；

图中：1-阀体、2-密封连接组件、3-管道、21-第一连接法兰盘、22-第二连接法兰盘、23-连接螺杆、231-六角紧固螺母、232-加固垫片、24-全氟橡胶密封外环、25-软密封填料环、26-防腐硅胶密封内环、27-第一遇水膨胀橡胶密封环形片、28-丁基橡胶封堵环形片、29-第二遇水膨胀橡胶密封环形片。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体制造用阀门密封连接装置，包括阀体1、密封连接组件2以及管道3，阀体1左右端面对称设置有密封连接组件2，密封连接组件2左端面连接有管道3。

密封连接组件2包括第一连接法兰盘21、第二连接法兰盘22、连接螺杆23、全氟橡胶密封外环24、软密封填料环25、防腐硅胶密封内环26、第一遇水膨胀橡胶密封环形片27、丁基橡胶封堵环形片28以及第二遇水膨胀橡胶密封环形片29，阀体1左右端面对称焊连有第一连接法兰盘21，第一连接法兰盘21内部上下两侧和前后两侧均对称穿插有连接螺杆23，第一连接法兰盘21左端面嵌装有全氟橡胶密封外环24，全氟橡胶密封外环24左右端面对称粘接有第一遇水膨胀橡胶密封环形片27，全氟橡胶密封外环24内环形侧面填充有软密封填料环25，软密封填料环25左右端面对称粘接有丁基橡胶封堵环形片28，软密封填料环25内环形侧面贴合有防腐硅胶密封内环26，防腐硅胶密封内环26左右端面对称粘接有第二遇水膨胀橡胶密封环形片29，管道3右端面焊连有第二连接法兰盘22，该设计解决了原有阀门与管道连接处容易出现渗漏的问题。

连接螺杆23等规格穿插有八组，连接螺杆23环形侧面右侧啮合有六角紧固螺母231，且六角紧固螺母231等规格啮合有八组，连接螺杆23环形侧面右侧套装有加固垫片232，且加固垫片232等规格套装有八组，六角紧固螺母231方便对连接螺杆23进行固定，进而对第一连接法兰盘21和第二连接法兰盘22进行连接，而加固垫片232使六角紧固螺母231紧固性更好。

第一连接法兰盘21和第二连接法兰盘22等规格焊连有两组，第一连接法兰盘21左端面外侧和第二连接法兰盘22右端面外侧均开设有第一环形嵌装槽，且第一环形嵌装槽分别与全氟橡胶密封外环24和第一遇水膨胀橡胶密封环形片27相匹配，第一连接法兰盘21左端面内侧和第二连接法兰盘22右端面内侧均开设有第二环形嵌装槽，且第二环形嵌装槽分别与防腐硅胶密封内环26和第二遇水膨胀橡胶密封环形片29相匹配，第一环形嵌装槽方便对全氟橡胶密封外环24和第一遇水膨胀橡胶密封环形片27进行定位，而第二环形嵌装槽方便对防腐硅胶密封内环26和第二遇水膨胀橡胶密封环形片29进行定位。

全氟橡胶密封外环24等规格嵌装有两组，第一遇水膨胀橡胶密封环形片27等规格粘接有四组，两组全氟橡胶密封外环24方便对第一连接法兰盘21与第二连接法兰盘22之间进行二次密封，而四组第一遇水膨胀橡胶密封环形片27使两组全氟橡胶密封外环24左右端面密封性更好，防腐硅胶密封内环26等规格嵌装有两组，第二遇水膨胀橡胶密封环形片29等规格粘接有四组，两组防腐硅胶密封内环26方便对第一连接法兰盘21与第二连接法兰盘22之间进行一次密封，而四组第二遇水膨胀橡胶密封环形片29使防腐硅胶密封内环26左右端面密封性更好，软密封填料环25等规格填充有两组，丁基橡胶封堵环形片28等规格粘接有四组，两组软密封填料环25方便对防腐硅胶密封内环26与全氟橡胶密封外环24之间进行封堵，而四组丁基橡胶封堵环形片28使软密封填料环25左右端面密封性更好。

作为本实用新型的一个实施例：安装人员首先借助八组六角紧固螺母231和加固垫片232分别对两组第一连接法兰盘21和第二连接法兰盘22进行连接固定，以便阀体1与管道3相连通，而在阀体1使用过程中，两组防腐硅胶密封内环26方便对第一连接法兰盘21与第二连接法兰盘22之间进行一次密封，并且四组第二遇水膨胀橡胶密封环形片29使防腐硅胶密封内环26左右端面密封性更好，而两组全氟橡胶密封外环24方便对第一连接法兰盘21与第二连接法兰盘22之间进行二次密封，并且四组第一遇水膨胀橡胶密封环形片27使两组全氟橡胶密封外环24左右端面密封性更好，同时两组软密封填料环25会对防腐硅胶密封内环26与全氟橡胶密封外环24之间进行封堵，而四组丁基橡胶封堵环形片28使软密封填料环25左右端面密封性更好，从而避免第一连接法兰盘21与第二连接法兰盘22连接处轻易出现渗漏情况。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种半导体制造用阀门密封连接装置，包括阀体、密封连接组件以及管道，其特征在于：所述阀体左右端面对称设置有密封连接组件，所述密封连接组件左端面连接有管道；

所述密封连接组件包括第一连接法兰盘、第二连接法兰盘、连接螺杆、全氟橡胶密封外环、软密封填料环、防腐硅胶密封内环、第一遇水膨胀橡胶密封环形片、丁基橡胶封堵环形片以及第二遇水膨胀橡胶密封环形片，所述阀体左右端面对称焊连有第一连接法兰盘，所述第一连接法兰盘内部上下两侧和前后两侧均对称穿插有连接螺杆，所述第一连接法兰盘左端面嵌装有全氟橡胶密封外环，所述全氟橡胶密封外环左右端面对称粘接有第一遇水膨胀橡胶密封环形片，所述全氟橡胶密封外环内环形侧面填充有软密封填料环，所述软密封填料环左右端面对称粘接有丁基橡胶封堵环形片，所述软密封填料环内环形侧面贴合有防腐硅胶密封内环，所述防腐硅胶密封内环左右端面对称粘接有第二遇水膨胀橡胶密封环形片，所述管道右端面焊连有第二连接法兰盘。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用阀门密封连接装置，其特征在于：所述连接螺杆等规格穿插有八组，所述连接螺杆环形侧面右侧啮合有六角紧固螺母，且六角紧固螺母等规格啮合有八组，所述连接螺杆环形侧面右侧套装有加固垫片，且加固垫片等规格套装有八组。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造用阀门密封连接装置，其特征在于：所述第一连接法兰盘和第二连接法兰盘等规格焊连有两组，所述第一连接法兰盘左端面外侧和第二连接法兰盘右端面外侧均开设有第一环形嵌装槽，且第一环形嵌装槽分别与全氟橡胶密封外环和第一遇水膨胀橡胶密封环形片相匹配，所述第一连接法兰盘左端面内侧和第二连接法兰盘右端面内侧均开设有第二环形嵌装槽，且第二环形嵌装槽分别与防腐硅胶密封内环和第二遇水膨胀橡胶密封环形片相匹配。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制造用阀门密封连接装置，其特征在于：所述全氟橡胶密封外环等规格嵌装有两组，所述第一遇水膨胀橡胶密封环形片等规格粘接有四组。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制造用阀门密封连接装置，其特征在于：所述防腐硅胶密封内环等规格嵌装有两组，所述第二遇水膨胀橡胶密封环形片等规格粘接有四组。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制造用阀门密封连接装置，其特征在于：所述软密封填料环等规格填充有两组，所述丁基橡胶封堵环形片等规格粘接有四组。

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