CN216549701U - 一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，包括：机架、安装在所述机架上的蒸发罐、与所述蒸发罐相连通的除雾器、与所述除雾器相连通的冷凝单元、与所述冷凝单元连接的抽真空单元、设置在所述蒸发罐上的加热件；所述蒸发罐内设置有蒸发腔，所述蒸发腔内设置有旋转管，所述旋转管上设置有螺旋推进器；所述机架上设置有用于驱动所述旋转管旋转地旋转驱动装置，所述螺旋推进器与所述蒸发腔的内壁接触，且所述螺旋推进器上设置有若干导流孔。本实用新型可实现药水废液蒸发过程中的搅拌，药水废液可从螺旋推进器上的导流孔内翻越，而螺旋推进器与蒸发腔的发热面之间的液体呈现湍流，提高了蒸发罐内的热交换效率，从而提高蒸发效率。

Description

一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备

技术领域

本实用新型涉及废液处理设备领域，尤其涉及一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备。

背景技术

现有技术中，高污染性废液的处理方法为将液体储存到储存化学药物的大罐中埋入地下或采用统一化学法处理。目前，市场废液处理设备存在以下问题：1、虽具备烘干、真空的技术，但处理效率低，自动化程度不高；2、蒸发过程中的热交换效率低，导致蒸发浓缩的效率低，且无法实现蒸发后残渣的自动推送，影响蒸馏的液的收集；3、设备内在多次干燥使用后，内壁上会存在水垢，难以去除。

因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，解决现有技术中，药水废液蒸发效率低，自动化程度低的问题；同时解决蒸发罐内壁上水垢难以去除的问题。

本实用新型的技术方案如下：一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，包括：机架、安装在所述机架上的蒸发罐、与所述蒸发罐相连通的除雾器、与所述除雾器相连通的冷凝单元、与所述冷凝单元连接的抽真空单元、设置在所述蒸发罐上的加热件；所述蒸发罐内设置有蒸发腔，所述蒸发腔内设置有旋转管，所述旋转管上设置有螺旋推进器；所述机架上设置有用于驱动所述旋转管旋转地旋转驱动装置，所述螺旋推进器与所述蒸发腔的内壁接触，且所述螺旋推进器上设置有若干导流孔。

进一步地，所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，还包括：安装在所述机架上的积水槽、与所述积水槽连接的排水泵，所述积水槽通过管道与所述抽真空单元连接。

进一步地，所述螺旋推进器包括：螺旋固定板、设置在所述螺旋固定板上的若干桨叶，所述桨叶的一端与所述螺旋固定板连接，另一端与所述旋转管连接，所述导流孔设置在相邻两桨叶之间。

进一步地，所述蒸发罐的一端上设置有观察窗，所述蒸发罐的出料端设置有排渣组件。

进一步地，所述排渣组件包括：排渣管、设置在所述排渣管上的法兰和密封圈、设置在所述排渣管内的活塞、设置在所述排渣管一端的直线驱动装置。

进一步地，所述冷凝单元包括：冷凝管、设置在所述冷凝管内的换热器，所述冷凝管的一端上设置有蒸汽进口，另一端上设置有冷却物出口；所述换热器的一端上设置有冷凝水进口，另一端上设置有冷凝水出口。

进一步地，所述抽真空单元包括：真空箱、与所述真空箱连接的真空泵。

进一步地，所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，还包括：安装在所述机架上的电控柜，所述电控柜上设置有若干操作按钮。

进一步地，所述蒸发罐、冷凝单元、除雾器、排渣组件的材料均为钛合金；所述抽真空单元、积水槽、排水泵的材料均为316L不锈钢。

进一步地，所述加热件为电热丝加热片，且所述加热件贴合在所述蒸发罐上。

采用上述方案，本实用新型提供一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，具有以下有益效果：

1、可实现药水废液蒸发过程中的搅拌，而药水废液可从其上的导流孔内翻越，而螺旋推进器与蒸发腔的发热面之间的液体呈现湍流，提高了蒸发罐内的热交换效率，从而提高蒸发效率；

2、可实现获得浓缩废液、提纯回收再利用的目的，可达到零污染排放标准；

3、可实现药水废液蒸发处理的全自动化，有效提高生产效率；

4、可防止结晶体粘附在蒸发腔的内壁上，防止形成水垢后难以清除的问题，结晶物可直接推入至排渣管。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的另一角度的结构示意图；

图3为图2中A-A线的剖面图；

图4为本实用新型的蒸发罐、除雾器的结构示意图；

图5为本实用新型的旋转管、螺旋推进器的结构示意图。

其中：机架1、蒸发罐2、旋转管20、螺旋推进器21、螺旋固定板210、桨叶211、旋转驱动装置22、导流孔23、观察窗24、排渣组件25、排渣管250、法兰251、密封圈252、活塞253、直线驱动装置254、除雾器3、冷凝单元4、冷凝管40、换热器41、抽真空单元5、真空箱50、真空泵51、加热件6、积水槽7、排水泵8、电控柜9。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。

请参照图1-图5，本实用新型提供一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，包括：机架1、安装在所述机架1上的蒸发罐2、与所述蒸发罐2相连通的除雾器3、与所述除雾器3相连通的冷凝单元4、与所述冷凝单元4连接的抽真空单元5、设置在所述蒸发罐2上的加热件6；所述蒸发罐2内设置有蒸发腔，所述蒸发腔内设置有旋转管20，所述旋转管20上设置有螺旋推进器21；所述机架1上设置有用于驱动所述旋转管20旋转地旋转驱动装置22，所述螺旋推进器21与所述蒸发腔的内壁接触，且所述螺旋推进器21上设置有若干导流孔23；所述旋转管20包括：中心轴、套在所述中心轴上的螺旋推进器焊接管，所述中心轴与所述旋转驱动装置22的输出端连接，在旋转驱动装置22的作用下，带动旋转管20、螺旋推进器21在蒸发腔内旋转，具体地，所述旋转驱动装置22为伺服电机。药水废液导入至蒸发罐2内，通过加热件6给蒸发罐2加热，实现蒸发罐2内药水废液的蒸发，在螺旋推进器21的作用下，药水废液可穿过导流孔23，而加热壁面上结晶出来的晶体则在螺旋推进器21的作用下，可推送至蒸发罐2的出料端，蒸发腔内蒸发后产生的蒸汽则可通过螺旋推进器21上的导流孔23流向除雾器3内，除雾器3可阻隔固、液雾进入至冷凝管40(蒸汽罐内搅拌过程中易产生悬浮颗粒)，经过除雾器3处理后可提高进入至冷凝单元4内的蒸汽的纯度，蒸汽进入冷凝单元4内进行冷却，在抽真空单元5的作用下，可加快冷凝单元4内的冷却效率，同时可快速将冷却产物抽出，完成药水废液的处理；本实用新型中的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备在蒸发罐2内设置一螺旋推进器21，可实现药水废液蒸发过程中的搅拌，而药水废液可从其上的导流孔23内翻越，而螺旋推进器21与蒸发腔的发热面之间的液体呈现湍流，提高了蒸发罐2内的热交换效率，从而提高蒸发效率，实现获得浓缩废液、提纯回收再利用的目的，可达到零污染排放标准；同时在螺旋推进器21的作用下可防止结晶体粘附在蒸发腔的内壁上，防止形成水垢后难以清除的问题。

具体地，在本实施例中，所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，还包括：安装在所述机架1上的积水槽7、与所述积水槽7连接的排水泵8，所述积水槽7通过管道与所述抽真空单元5连接；所述抽真空单元5包括：真空箱50、与所述真空箱50连接的真空泵51，在真空泵51的作用下，将经过冷凝单元4处理后的液体抽入至真空箱50内，进一步进入至积水槽7内，最终在排水泵8的作用下排出。

具体地，在本实施例中，所述螺旋推进器21包括：螺旋固定板210、设置在所述螺旋固定板210上的若干桨叶211，所述桨叶211的一端与所述螺旋固定板210连接，另一端与所述旋转管20连接，所述导流孔23设置在相邻两桨叶211之间。由于所述螺旋固定板210为螺旋状，因此每一圈上均设置有若干个桨叶211，每一圈上的桨叶211均等间距设置，具体地本实施例中，每一圈上等间距地设置有五片桨叶211、五个导流孔23，任一圈上对应位置的导流孔23均处于连通状态，保证螺旋推进器21旋转过程中，药水废液的正常翻越。

具体地，在本实施例中，所述蒸发罐2的一端上设置有观察窗24，通过观察窗24可查看蒸发过程中，蒸发罐2内的蒸发情况；所述蒸发罐2的出料端设置有排渣组件25，所述排渣组件25包括：排渣管250、设置在所述排渣管250上的法兰251和密封圈252、设置在所述排渣管250内的活塞253、设置在所述排渣管250一端的直线驱动装置254，所述直线驱动装置254为驱动气缸；在螺旋推进器21的作用下，可将蒸发腔加热内壁上的结晶物、固化物推送至排渣管250内，进一步排出至设备外，另外在直线驱动装置254和活塞253的作用下可实现蒸发罐2出料端(排渣口)的密封。

具体地，在本实施例中，所述冷凝单元4包括：冷凝管40、设置在所述冷凝管40内的换热器41，所述冷凝管40的一端上设置有蒸汽进口，另一端上设置有冷却物出口；所述换热器41的一端上设置有冷凝水进口，另一端上设置有冷凝水出口。所述蒸汽进口与除雾器3的出料端连接，所述冷却物出口与所述抽真空单元5的进料端连接；所述冷凝管40可以是冷却水冷却装置或是带有压缩机的冷却装置，冷凝水进口可外接低温冷却液体，以快速冷却冷凝器内的蒸汽，提高冷却效率。

具体地，在本实施例中，所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，还包括：安装在所述机架1上的电控柜9，所述电控柜9上设置有若干操作按钮，通过电控柜9可实现对本实用新型中各个设备运行过程的控制，实现药水废液蒸发的全自动化过程，有效提高生产效率。

具体地，在本实施例中，所述蒸发罐2、冷凝单元4、除雾器3、排渣组件25的材料均为钛合金，采用钛合金材料，使得本实用新型中的述蒸发罐2、冷凝单元4、除雾器3、排渣组件25可耐高酸碱腐蚀，可进行强酸强碱溶液的蒸发浓缩操作；所述抽真空单元5、积水槽7、排水泵8的材料均为316L不锈钢；所述加热件6为电热丝加热片，且所述加热件6贴合在所述蒸发罐2上，具体地加热件6贴合在蒸发罐2的底部侧面上。

综上所述，本实用新型提供一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，具有以下有益效果：

1、可实现药水废液蒸发过程中的搅拌，而药水废液可从其上的导流孔内翻越，而螺旋推进器与蒸发腔的发热面之间的液体呈现湍流，提高了蒸发罐内的热交换效率，从而提高蒸发效率；

2、可实现获得浓缩废液、提纯回收再利用的目的，可达到零污染排放标准；

3、可实现药水废液蒸发处理的全自动化，有效提高生产效率；

4、可防止结晶体粘附在蒸发腔的内壁上，防止形成水垢后难以清除的问题，结晶物可直接推入至排渣管。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，包括：机架、安装在所述机架上的蒸发罐、与所述蒸发罐相连通的除雾器、与所述除雾器相连通的冷凝单元、与所述冷凝单元连接的抽真空单元、设置在所述蒸发罐上的加热件；所述蒸发罐内设置有蒸发腔，所述蒸发腔内设置有旋转管，所述旋转管上设置有螺旋推进器；所述机架上设置有用于驱动所述旋转管旋转地旋转驱动装置，所述螺旋推进器与所述蒸发腔的内壁接触，且所述螺旋推进器上设置有若干导流孔。

2.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，还包括：安装在所述机架上的积水槽、与所述积水槽连接的排水泵，所述积水槽通过管道与所述抽真空单元连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述螺旋推进器包括：螺旋固定板、设置在所述螺旋固定板上的若干桨叶，所述桨叶的一端与所述螺旋固定板连接，另一端与所述旋转管连接，所述导流孔设置在相邻两桨叶之间。

4.根据权利要求2所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述蒸发罐的一端上设置有观察窗，所述蒸发罐的出料端设置有排渣组件。

5.根据权利要求4所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述排渣组件包括：排渣管、设置在所述排渣管上的法兰和密封圈、设置在所述排渣管内的活塞、设置在所述排渣管一端的直线驱动装置。

6.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述冷凝单元包括：冷凝管、设置在所述冷凝管内的换热器，所述冷凝管的一端上设置有蒸汽进口，另一端上设置有冷却物出口；所述换热器的一端上设置有冷凝水进口，另一端上设置有冷凝水出口。

7.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述抽真空单元包括：真空箱、与所述真空箱连接的真空泵。

8.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，还包括：安装在所述机架上的电控柜，所述电控柜上设置有若干操作按钮。

9.根据权利要求4所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述蒸发罐、冷凝单元、除雾器、排渣组件的材料均为钛合金；所述抽真空单元、积水槽、排水泵的材料均为316L不锈钢。

10.根据权利要求1所述的一种真空蒸发半导体制程药水废液处理设备，其特征在于，所述加热件为电热丝加热片，且所述加热件贴合在所述蒸发罐上。

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